JPH04240194A - 複合型フェライトの製造方法 - Google Patents
複合型フェライトの製造方法Info
- Publication number
- JPH04240194A JPH04240194A JP3041409A JP4140991A JPH04240194A JP H04240194 A JPH04240194 A JP H04240194A JP 3041409 A JP3041409 A JP 3041409A JP 4140991 A JP4140991 A JP 4140991A JP H04240194 A JPH04240194 A JP H04240194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrite
- polycrystalline
- oxygen
- temperature
- molded body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 22
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 19
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 13
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N iron(II,III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば接合型の磁気ヘ
ッドに用いられる、単結晶フェライトと多結晶フェライ
トからなる複合型フェライトの製造方法に関するもので
ある。
ッドに用いられる、単結晶フェライトと多結晶フェライ
トからなる複合型フェライトの製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気ヘッド例えばビデオヘッドと
して複合型フェライトが注目されている。この複合型フ
ェライトは、従来の単結晶フェライトで構成されるもの
と比べて、摺動ノイズが小さくS/N 比やC/N 比
が良く、特にハイバンド用磁気ヘッドとして好適に使用
されている。
して複合型フェライトが注目されている。この複合型フ
ェライトは、従来の単結晶フェライトで構成されるもの
と比べて、摺動ノイズが小さくS/N 比やC/N 比
が良く、特にハイバンド用磁気ヘッドとして好適に使用
されている。
【0003】この複合型フェライトは単結晶フェライト
と多結晶フェライトを接合した形状を有しており、その
製造方法の一例として本願人は特公昭61ー10438
号公報及び特公昭61ー3313 号公報において、単
結晶フェライトと多結晶フェライトとを接触させ加熱処
理して固相反応により接合させる技術を開示している。
と多結晶フェライトを接合した形状を有しており、その
製造方法の一例として本願人は特公昭61ー10438
号公報及び特公昭61ー3313 号公報において、単
結晶フェライトと多結晶フェライトとを接触させ加熱処
理して固相反応により接合させる技術を開示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た固相反応を利用した接合方法では、仮接合体を加熱し
て固相反応を生じさせるための温度範囲が1290℃か
ら1310℃とごく限られた範囲でしか単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとが接合せず、1290℃未満で
あると接合不良が多発し1310℃を越えると単結晶化
が進んでしまい、焼成温度範囲の制御が難しく、また本
願人が先に開示した特公昭62−49647 号公報で
は、単結晶化後所定の厚さまで切削加工する必要があり
、所望の単結晶と多結晶とを仕様形状に仕上げるのに量
産に好適でない問題があった。
た固相反応を利用した接合方法では、仮接合体を加熱し
て固相反応を生じさせるための温度範囲が1290℃か
ら1310℃とごく限られた範囲でしか単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとが接合せず、1290℃未満で
あると接合不良が多発し1310℃を越えると単結晶化
が進んでしまい、焼成温度範囲の制御が難しく、また本
願人が先に開示した特公昭62−49647 号公報で
は、単結晶化後所定の厚さまで切削加工する必要があり
、所望の単結晶と多結晶とを仕様形状に仕上げるのに量
産に好適でない問題があった。
【0005】本発明の目的は上述した課題を解消して、
固相反応を広い温度範囲で可能とし、単結晶フェライト
と多結晶フェライトとの接合歩留りを改善することがで
きるとともに品質も良好な複合型フェライトの製造方法
を提供しようとするものである。
固相反応を広い温度範囲で可能とし、単結晶フェライト
と多結晶フェライトとの接合歩留りを改善することがで
きるとともに品質も良好な複合型フェライトの製造方法
を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の複合型フェライ
トの製造方法の第1発明は、酸化鉄としてスピネル構造
を有するか、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主とし
て用いたフェライト原料から成形体を製造し、得られた
フェライト成形体を減圧下で焼成した後、0.1%から
3%の酸素を含むHe雰囲気で1250℃から1370
℃の温度で焼成して多結晶フェライトを製造し、得られ
た多結晶フェライトを種子単結晶フェライトと接触させ
て仮接合体を得、この仮接合体をN2または3%以下の
酸素を含むN2雰囲気中1275℃から1350℃の温
度で加熱処理して接合することを特徴とするものである
。
トの製造方法の第1発明は、酸化鉄としてスピネル構造
を有するか、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主とし
て用いたフェライト原料から成形体を製造し、得られた
フェライト成形体を減圧下で焼成した後、0.1%から
3%の酸素を含むHe雰囲気で1250℃から1370
℃の温度で焼成して多結晶フェライトを製造し、得られ
た多結晶フェライトを種子単結晶フェライトと接触させ
て仮接合体を得、この仮接合体をN2または3%以下の
酸素を含むN2雰囲気中1275℃から1350℃の温
度で加熱処理して接合することを特徴とするものである
。
【0007】また、本発明の複合型フェライトの製造方
法の第2発明は、酸化鉄としてスピネル構造を有するか
、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主として用いたフ
ェライト原料から成形体を製造し、得られたフェライト
成形体を真空処理した後、30% から60% の酸素
を含むHe雰囲気で1250℃から1370℃の温度で
焼成して多結晶フェライトを製造し、得られた多結晶フ
ェライトを種子単結晶フェライトと接触させて接合体を
得、この接合体をN2または3%以下の酸素を含むN2
雰囲気中1325℃から1375℃の温度で加熱処理し
て接合することを特徴とするものである。
法の第2発明は、酸化鉄としてスピネル構造を有するか
、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主として用いたフ
ェライト原料から成形体を製造し、得られたフェライト
成形体を真空処理した後、30% から60% の酸素
を含むHe雰囲気で1250℃から1370℃の温度で
焼成して多結晶フェライトを製造し、得られた多結晶フ
ェライトを種子単結晶フェライトと接触させて接合体を
得、この接合体をN2または3%以下の酸素を含むN2
雰囲気中1325℃から1375℃の温度で加熱処理し
て接合することを特徴とするものである。
【0008】
【作用】上述した構成において、多結晶フェライトの焼
成酸素濃度と温度及び固相反応による接合時の加熱酸素
濃度と温度とを所定の範囲にすることにより、多結晶フ
ェライトの一部が単結晶化する問題及び単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとの接合不良の問題を解消し、品
質の良好な複合型フェライトを歩留り良く得ることがで
きる。
成酸素濃度と温度及び固相反応による接合時の加熱酸素
濃度と温度とを所定の範囲にすることにより、多結晶フ
ェライトの一部が単結晶化する問題及び単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとの接合不良の問題を解消し、品
質の良好な複合型フェライトを歩留り良く得ることがで
きる。
【0009】すなわち、本願発明は多結晶フェライトの
焼成条件及び接合時の加熱条件を酸素濃度に着目して検
討したものであり、固相反応法のようなフェライト単結
晶の製造には、多結晶体中で急激な異常粒成長が起こる
ことが必要であり、この現象は焼成中の酸素濃度が大き
く寄与していることを見いだしたことによる。
焼成条件及び接合時の加熱条件を酸素濃度に着目して検
討したものであり、固相反応法のようなフェライト単結
晶の製造には、多結晶体中で急激な異常粒成長が起こる
ことが必要であり、この現象は焼成中の酸素濃度が大き
く寄与していることを見いだしたことによる。
【0010】これは換言すれば、焼成中の酸素濃度によ
っては界面移動が抑止されることを示し、この因子とし
ては酸素量の多少が関係する。従って、多結晶フェライ
ト焼成時の酸素が0.1%から3.0%と少ない場合及
び40% から60% と多い場合には、その接合雰囲
気がN2または3%以下の酸素を含むN2雰囲気におい
て、単結晶育成開始温度と異常粒成長開始温度の幅が広
がるとともに、単結晶育成開始温度と異常粒成長開始温
度が通常のそれらより高温側にスライドし、単結晶化を
遅らせている。
っては界面移動が抑止されることを示し、この因子とし
ては酸素量の多少が関係する。従って、多結晶フェライ
ト焼成時の酸素が0.1%から3.0%と少ない場合及
び40% から60% と多い場合には、その接合雰囲
気がN2または3%以下の酸素を含むN2雰囲気におい
て、単結晶育成開始温度と異常粒成長開始温度の幅が広
がるとともに、単結晶育成開始温度と異常粒成長開始温
度が通常のそれらより高温側にスライドし、単結晶化を
遅らせている。
【0011】なお、本願発明において品質が良好とは、
VTR用磁気ヘッドの場合、媒体走行チップ幅2mmに
対して単結晶フェライト部が100 μm のとき、単
結晶フェライトと多結晶フェライトとの界面のうねりが
10μm から30μm の場合をいい、この場合は極
めて低い摺動ノイズを示す。そのため、摺動から鑑みる
と優れた接合強度を示し、電磁変換特性が優れる。また
、本発明の第1および第2発明において、多結晶フェラ
イトを製造する際は、1100℃から1220℃の比較
的低温において減圧下で焼成することが、Zn成分の揮
散の影響が少なく緻密化できる点で好ましい。
VTR用磁気ヘッドの場合、媒体走行チップ幅2mmに
対して単結晶フェライト部が100 μm のとき、単
結晶フェライトと多結晶フェライトとの界面のうねりが
10μm から30μm の場合をいい、この場合は極
めて低い摺動ノイズを示す。そのため、摺動から鑑みる
と優れた接合強度を示し、電磁変換特性が優れる。また
、本発明の第1および第2発明において、多結晶フェラ
イトを製造する際は、1100℃から1220℃の比較
的低温において減圧下で焼成することが、Zn成分の揮
散の影響が少なく緻密化できる点で好ましい。
【0012】また、フェライト成形体を作製するのに使
用する酸化鉄原料としては、従来から公知のように、ス
ピネル構造を有するかあるいはその履歴を有することが
単結晶フェライトの製造に必須であるため、本発明でも
原料を規定している。
用する酸化鉄原料としては、従来から公知のように、ス
ピネル構造を有するかあるいはその履歴を有することが
単結晶フェライトの製造に必須であるため、本発明でも
原料を規定している。
【0013】
【実施例】酸化鉄原料として湿式合成したマグネタイト
を焙焼し、これをMnO 31mol%,ZnO16m
ol%,Fe2O3 53mol%の組成に調合し、混
合、1050℃での仮焼、粉砕を経由した後、3500
0psiの圧力で成形した。その後、得られた成形体を
1200℃で2時間の減圧下で焼成した後、1350℃
で8時間、表1に示す種々の酸素濃度のHe雰囲気中で
焼成して、接合すべき多結晶フェライトを得た。
を焙焼し、これをMnO 31mol%,ZnO16m
ol%,Fe2O3 53mol%の組成に調合し、混
合、1050℃での仮焼、粉砕を経由した後、3500
0psiの圧力で成形した。その後、得られた成形体を
1200℃で2時間の減圧下で焼成した後、1350℃
で8時間、表1に示す種々の酸素濃度のHe雰囲気中で
焼成して、接合すべき多結晶フェライトを得た。
【0014】このようにして得られた多結晶フェライト
を長さ27mm、幅5mm 、厚さ10mmの板状に加
工し、単結晶と界面を接する部分は鏡面研磨仕上げした
。これを、同じように接する部分を鏡面研磨した長さ2
7mm、幅5mm 、厚さ1mm の単結晶フェライト
と、研磨面が向かい合うように硝酸塗布で仮接合した。
を長さ27mm、幅5mm 、厚さ10mmの板状に加
工し、単結晶と界面を接する部分は鏡面研磨仕上げした
。これを、同じように接する部分を鏡面研磨した長さ2
7mm、幅5mm 、厚さ1mm の単結晶フェライト
と、研磨面が向かい合うように硝酸塗布で仮接合した。
【0015】得られた仮接合体を、300 ℃/hの昇
温速度で1150℃までN2雰囲気中で昇温し、表1の
接合条件に示す酸素濃度の窒素ガス雰囲気に切り換えて
表1に示す温度で2時間保持した後、窒素ガス雰囲気中
で冷却した。
温速度で1150℃までN2雰囲気中で昇温し、表1の
接合条件に示す酸素濃度の窒素ガス雰囲気に切り換えて
表1に示す温度で2時間保持した後、窒素ガス雰囲気中
で冷却した。
【0016】得られた接合体の単結晶化が進んだ距離を
測定し、表1中、その距離が10μm から30μm
のものを接合良好として○印、40μm 以上接合界面
より粒成長したものを△印、剥離したものを接合不良と
して▼印、大きく単結晶化したものを×印で表示した。
測定し、表1中、その距離が10μm から30μm
のものを接合良好として○印、40μm 以上接合界面
より粒成長したものを△印、剥離したものを接合不良と
して▼印、大きく単結晶化したものを×印で表示した。
【0017】
【表1】
【0018】表1の結果から、本発明で規定した、接合
すべき多結晶フェライトの焼成条件として酸素濃度が0
.1%から3%と30% から60% の範囲で、接合
条件として酸素濃度がN2(0%)または3%以下のも
のが、広い接合温度範囲で良好な複合型フェライトを得
ることができることがわかる。また、多結晶フェライト
の焼成条件として酸素濃度が0.1%から3%と30%
から60% とでは、接合に適する温度範囲が若干異
なることもわかる。
すべき多結晶フェライトの焼成条件として酸素濃度が0
.1%から3%と30% から60% の範囲で、接合
条件として酸素濃度がN2(0%)または3%以下のも
のが、広い接合温度範囲で良好な複合型フェライトを得
ることができることがわかる。また、多結晶フェライト
の焼成条件として酸素濃度が0.1%から3%と30%
から60% とでは、接合に適する温度範囲が若干異
なることもわかる。
【0019】また、図1に単結晶化が進んだ距離が10
μm から30μm の接合良好な複合型フェライトの
接合界面の断面の顕微鏡写真を、図2に40μm 以上
の粒成長が起きた複合型フェライトの接合界面の断面の
顕微鏡写真を、図3に剥離が生じ接合不良が起きた複合
型フェライトの接合界面の断面の顕微鏡写真をそれぞれ
示す。
μm から30μm の接合良好な複合型フェライトの
接合界面の断面の顕微鏡写真を、図2に40μm 以上
の粒成長が起きた複合型フェライトの接合界面の断面の
顕微鏡写真を、図3に剥離が生じ接合不良が起きた複合
型フェライトの接合界面の断面の顕微鏡写真をそれぞれ
示す。
【0020】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、固相反応を利用して複合型フェライトを得る
に当たり、接合すべき多結晶フェライトの焼成条件を特
定するとともに接合条件をも特定することにより、固相
による接合を広い温度範囲で可能とし、単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとの接合歩留りを改善でき、複合
型フェライトを大量生産することが可能となる。
によれば、固相反応を利用して複合型フェライトを得る
に当たり、接合すべき多結晶フェライトの焼成条件を特
定するとともに接合条件をも特定することにより、固相
による接合を広い温度範囲で可能とし、単結晶フェライ
トと多結晶フェライトとの接合歩留りを改善でき、複合
型フェライトを大量生産することが可能となる。
【0021】また、固相反応を利用して接合しているた
め、加圧等の特別な手段を必要とせず、さらに単結晶フ
ェライトと多結晶フェライトとの間に介在物を入れたり
する必要もなく、生産性を上げるとともにコストの低減
も達成できる。
め、加圧等の特別な手段を必要とせず、さらに単結晶フ
ェライトと多結晶フェライトとの間に介在物を入れたり
する必要もなく、生産性を上げるとともにコストの低減
も達成できる。
【図1】接合良好な複合型フェライトの接合界面の断面
の金属組織を示す顕微鏡写真である。
の金属組織を示す顕微鏡写真である。
【図2】接合界面より40μm 以上異常粒成長した複
合型フェライトの接合界面の断面を示す顕微鏡写真であ
る。
合型フェライトの接合界面の断面を示す顕微鏡写真であ
る。
【図3】剥離した複合型フェライトの接合界面の断面を
示す顕微鏡写真である。
示す顕微鏡写真である。
Claims (2)
- 【請求項1】 酸化鉄としてスピネル構造を有するか
、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主として用いたフ
ェライト原料から成形体を製造し、得られたフェライト
成形体を減圧下で焼成した後、0.1%から3%の酸素
を含むHe雰囲気で1250℃から1370℃の温度で
焼成して多結晶フェライトを製造し、得られた多結晶フ
ェライトを種子単結晶フェライトと接触させて仮接合体
を得、この仮接合体をN2または3%以下の酸素を含む
N2雰囲気中1275℃から1350℃の温度で加熱処
理して接合することを特徴とする単結晶フェライトと多
結晶フェライトからなる複合型フェライトの製造方法。 - 【請求項2】 酸化鉄としてスピネル構造を有するか
、あるいはその履歴を有する酸化鉄を主として用いたフ
ェライト原料から成形体を製造し、得られたフェライト
成形体を減圧下で焼成した後、30% から60% の
酸素を含むHe雰囲気で1250℃から1370℃の温
度で焼成して多結晶フェライトを製造し、得られた多結
晶フェライトを種子単結晶フェライトと接触させて仮接
合体を得、この仮接合体をN2または3%以下の酸素を
含むN2雰囲気中1325℃から1375℃の温度で加
熱処理して接合することを特徴とする単結晶フェライト
と多結晶フェライトからなる複合型フェライトの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041409A JP2862694B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 複合型フェライトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041409A JP2862694B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 複合型フェライトの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04240194A true JPH04240194A (ja) | 1992-08-27 |
| JP2862694B2 JP2862694B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=12607562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3041409A Expired - Lifetime JP2862694B2 (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 複合型フェライトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2862694B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118063224A (zh) * | 2023-08-07 | 2024-05-24 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种高振实密度的永磁铁氧体预烧料的制备方法及应用 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6215518B2 (ja) | 2011-08-26 | 2017-10-18 | ローム株式会社 | 磁性金属基板およびインダクタンス素子 |
| JP6249647B2 (ja) | 2013-06-18 | 2017-12-20 | 三菱電機株式会社 | 空気調和機の室内機 |
| KR101846224B1 (ko) | 2014-07-11 | 2018-04-06 | 엘에스산전 주식회사 | 전자 개폐기 |
-
1991
- 1991-01-18 JP JP3041409A patent/JP2862694B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118063224A (zh) * | 2023-08-07 | 2024-05-24 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种高振实密度的永磁铁氧体预烧料的制备方法及应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2862694B2 (ja) | 1999-03-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04501251A (ja) | エピタキシャルBa―Y―Cu―O超伝導薄膜 | |
| JP2862694B2 (ja) | 複合型フェライトの製造方法 | |
| JP2862693B2 (ja) | 複合型フェライトの製造方法 | |
| JPS6215518B2 (ja) | ||
| JPS6241797A (ja) | 単結晶フェライト体の製造法 | |
| JPS6215517B2 (ja) | ||
| JPS6249647B2 (ja) | ||
| JP2799238B2 (ja) | Mn―Znフェライト接合体の製造方法 | |
| JPS5918188A (ja) | 単結晶フエライトの製造方法 | |
| JPS58156588A (ja) | 単結晶体の製造法 | |
| JPH03271171A (ja) | Mn―Znフェライト接合体の製造方法 | |
| JP3284638B2 (ja) | 接合フェライトの製造方法 | |
| JPH0211559B2 (ja) | ||
| JPH0796476B2 (ja) | 単結晶フェライトの製造法 | |
| JPH04240195A (ja) | 単結晶フェライトの製造方法 | |
| JPS6021892A (ja) | 表面単結晶化基板およびその製造方法 | |
| JP2925775B2 (ja) | 複合型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS61101484A (ja) | 単結晶フエライトの製造方法 | |
| JPH0440318B2 (ja) | ||
| JPH0468277B2 (ja) | ||
| JPH04254497A (ja) | 単結晶フェライトの製造方法 | |
| JPS5926994A (ja) | 酸化物単結晶の製造方法 | |
| JPS60195096A (ja) | フエライト単結晶の製造法 | |
| JPS62223098A (ja) | 単結晶フエライトの製造法 | |
| JPH0474317B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981110 |