JPH0424078U - - Google Patents

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JPH0424078U
JPH0424078U JP6615590U JP6615590U JPH0424078U JP H0424078 U JPH0424078 U JP H0424078U JP 6615590 U JP6615590 U JP 6615590U JP 6615590 U JP6615590 U JP 6615590U JP H0424078 U JPH0424078 U JP H0424078U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による第１の実施例を示す回路
構成図、第２図は従来のノイズ測定回路の構成図
、第３図は半導体装置の電源電圧に対するノイズ
レベル特性を示す図、第４図は従来における測定
回路のバイアスの時間波形図、第５図は電源電圧
Ｖｃｃの１ステツプの拡大図、第６図ｂは本考案
に係る方式によるＶｃｃ電圧波形図、第６図ａは
第６図ｂに示した時の半導体装置から出力される
ノイズレベルを示す図であり、Ｖｔｈは良否判定
レベルを示す（細いひげ状のものが電圧依存性ノ
イズと呼ばれる）、第７図は本考案による第２の
実施例を示す回路構成図である。 １……タイミング制御回路、２，３……演算増
幅器、４……比較器、５……検波器、６……ＡＣ
増幅器、７……ゲート、８……フリツプフロツプ
ＦＦ、１０〜１２……スイツチ、２７……制御・
判定部、２８……Ｄ／Ａコンバータ、２９……ロ
ーパスフイルタＬＰＦ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体装置の電源端子にランプ状の電圧を
    印加させる為のランプ電圧発生回路と、半導体装
    置から発生するノイズを増幅するＡＣ増幅器と、
    このＡＣ増幅器の出力を検波して直流化する検波
    器と、この検波器の検波出力を閾値電圧と比較し
    て良否を判定するコンパレータ部とからなること
    を特徴とする半導体装置のノイズ検査装置。 (2) 前記ランプ電圧発生回路を、第１の演算増
    幅器を主要部として形成された積分回路と、第２
    の演算増幅器を主要部として形成され前記第１の
    演算増幅器の出力とスタート電圧とを加算する加
    算回路とにより構成したことを更に特徴とする請
    求項(1)に記載の半導体装置のノイズ検査装置。 (3) 前記ランプ電圧発生回路を、マイクロコン
    ピユータ等により構成された制御・判定手段と、
    該制御・判定手段から微少時間単位で第１の電圧
    から第２の電圧に漸増する電圧を連続的に入力す
    るＤ／Ａコンバータと、該Ｄ／Ａコンバータの出
    力を入力するローパスフイルタとにより構成した
    ことを更に特徴とする請求項(1)に記載の半導体
    装置のノイズ検査装置。
JP6615590U 1990-06-22 1990-06-22 半導体装置のノイズ検査装置 Expired - Lifetime JP2538678Y2 (ja)

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