JPH04244281A - ガス回収装置 - Google Patents
ガス回収装置Info
- Publication number
- JPH04244281A JPH04244281A JP2950891A JP2950891A JPH04244281A JP H04244281 A JPH04244281 A JP H04244281A JP 2950891 A JP2950891 A JP 2950891A JP 2950891 A JP2950891 A JP 2950891A JP H04244281 A JPH04244281 A JP H04244281A
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- Japan
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- gas
- gas recovery
- recovered
- condensing
- condensing liquid
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄装置等のガス回収
装置に係るもの、迅速で確実なガス回収を可能にするも
のである。
装置に係るもの、迅速で確実なガス回収を可能にするも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、洗浄装置等に設けたガス回収機構
は、特公平２ー５５１１３号、特公昭６１ー５０６６８
号公報記載の発明のごとく、洗浄槽の上部に冷却コイル
を巻き回し、この冷却コイルに溶剤ガスを接触させて凝
縮回収するものが知られている。
は、特公平２ー５５１１３号、特公昭６１ー５０６６８
号公報記載の発明のごとく、洗浄槽の上部に冷却コイル
を巻き回し、この冷却コイルに溶剤ガスを接触させて凝
縮回収するものが知られている。
【０００３】この方法は、機構を複雑化せずに溶剤ガス
の回収が可能である利点を有している。しかしながら、
この方法は洗浄槽の上部に冷却コイルを位置したもので
あるから、洗浄槽内に存在する溶剤ガスの全てを急速に
除去したり、溶剤ガスのレベルを任意に調整したりする
ことは出来ない。また、溶剤ガスの回収能力に限界があ
り溶剤ガスの大気中への拡散等の問題も生じ易いもので
あった。
の回収が可能である利点を有している。しかしながら、
この方法は洗浄槽の上部に冷却コイルを位置したもので
あるから、洗浄槽内に存在する溶剤ガスの全てを急速に
除去したり、溶剤ガスのレベルを任意に調整したりする
ことは出来ない。また、溶剤ガスの回収能力に限界があ
り溶剤ガスの大気中への拡散等の問題も生じ易いもので
あった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のごとき
課題を解決しようとするものであって、洗浄槽内に存在
する溶剤ガスの全てを急速に除去したり、洗浄槽中の溶
剤ガスのレベルを任意に調整したりすることを可能とし
、また溶剤ガスの回収能力を向上し、溶剤ガスの大気中
への拡散を確実に防止しようとするものである。
課題を解決しようとするものであって、洗浄槽内に存在
する溶剤ガスの全てを急速に除去したり、洗浄槽中の溶
剤ガスのレベルを任意に調整したりすることを可能とし
、また溶剤ガスの回収能力を向上し、溶剤ガスの大気中
への拡散を確実に防止しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、ガス回収槽内に完全フッ素化液体を
主成分とする凝縮用液体を冷却して収納するとともにガ
ス回収槽に、回収ガスの供給源に開閉弁を介して連通し
た導入管を接続し、この導入管の接続位置を、凝縮用液
体と回収ガスとを接触し得る位置に形成してなるもので
ある。
題を解決するため、ガス回収槽内に完全フッ素化液体を
主成分とする凝縮用液体を冷却して収納するとともにガ
ス回収槽に、回収ガスの供給源に開閉弁を介して連通し
た導入管を接続し、この導入管の接続位置を、凝縮用液
体と回収ガスとを接触し得る位置に形成してなるもので
ある。
【０００６】また凝縮用液体は、ガス回収槽内に貯留し
たものであり、この貯留した凝縮用液体に回収ガスを吹
き込み、回収ガスと凝縮用液体とを接触して、回収ガス
の凝縮回収を行うものであっても良い。
たものであり、この貯留した凝縮用液体に回収ガスを吹
き込み、回収ガスと凝縮用液体とを接触して、回収ガス
の凝縮回収を行うものであっても良い。
【０００７】また凝縮用液体は、ガス回収槽内にノズル
から霧状またはシャワー状に噴射し、この噴射した凝縮
用液体と回収ガスとを接触して、回収ガスの凝縮回収を
行うものであっても良い。
から霧状またはシャワー状に噴射し、この噴射した凝縮
用液体と回収ガスとを接触して、回収ガスの凝縮回収を
行うものであっても良い。
【０００８】また、回収ガスの供給源は、被洗浄物の蒸
気洗浄槽であっても良い。
気洗浄槽であっても良い。
【０００９】また、回収ガスは、被洗浄物の洗浄蒸気で
あっても良い。
あっても良い。
【００１０】また、導入管には吸引ファンを形成したも
のであっも良い。
のであっも良い。
【００１１】また、ガス回収槽には、凝縮用液体と接触
する部分に加熱手段を接続し、凝縮用液体を任意に加熱
可能としたものであっも良い。
する部分に加熱手段を接続し、凝縮用液体を任意に加熱
可能としたものであっも良い。
【００１２】また、加熱手段は、ガス回収槽内に形成し
たものであっても良い。
たものであっても良い。
【００１３】また、加熱手段は、ガス回収槽とは別個に
形成した蒸留塔に設け、この蒸留塔をガス回収槽に接続
したものであっても良い。
形成した蒸留塔に設け、この蒸留塔をガス回収槽に接続
したものであっても良い。
【００１４】またガス回収槽の上部には、冷却凝縮部を
設けたものであっても良い。
設けたものであっても良い。
【００１５】
【作用】本発明は上述のごとく構成したものであるから
、被洗浄物の洗浄槽中に存在する溶剤ガスを回収するに
は、回収ガスの供給源である洗浄槽とガス回収槽とを連
通する開閉弁を開放する。この開閉弁の開放により、回
収ガスはガス回収槽内に流入する。この回収ガスを流入
させる連通管を洗浄槽の下底に接続すれば、空気より比
重の重い回収ガスを、容易にガス回収槽に導入出来るが
、導入管に吸引ファンを形成すれば、更に容易で迅速な
ガスの回収槽への導入を可能にする。
、被洗浄物の洗浄槽中に存在する溶剤ガスを回収するに
は、回収ガスの供給源である洗浄槽とガス回収槽とを連
通する開閉弁を開放する。この開閉弁の開放により、回
収ガスはガス回収槽内に流入する。この回収ガスを流入
させる連通管を洗浄槽の下底に接続すれば、空気より比
重の重い回収ガスを、容易にガス回収槽に導入出来るが
、導入管に吸引ファンを形成すれば、更に容易で迅速な
ガスの回収槽への導入を可能にする。
【００１６】この回収槽に導入した回収ガスは、ガス回
収槽内に収納した、完全フッ素化液体を主成分とする、
冷却した凝縮用液体と接触し、凝縮して回収することが
出来る。
収槽内に収納した、完全フッ素化液体を主成分とする、
冷却した凝縮用液体と接触し、凝縮して回収することが
出来る。
【００１７】この、凝縮用液体と回収ガスとの接触は、
ガス回収槽内に貯留した凝縮用液体内に回収ガスを吹き
込み、回収ガスと凝縮用液体とを接触して、回収ガスの
凝縮回収を行う事ができる。
ガス回収槽内に貯留した凝縮用液体内に回収ガスを吹き
込み、回収ガスと凝縮用液体とを接触して、回収ガスの
凝縮回収を行う事ができる。
【００１８】また、凝縮用液体と回収ガスとの接触は、
ガス回収槽内にノズルから凝縮用液体を霧状またはシャ
ワー状に噴射し、この噴射した凝縮用液体と回収ガスと
を接触して、回収ガスの凝縮回収を行う事ができ、効率
の良い気液接触を可能にする。
ガス回収槽内にノズルから凝縮用液体を霧状またはシャ
ワー状に噴射し、この噴射した凝縮用液体と回収ガスと
を接触して、回収ガスの凝縮回収を行う事ができ、効率
の良い気液接触を可能にする。
【００１９】このように、回収ガスの凝縮回収手段を、
洗浄槽等の回収ガスの供給源とは別個に設けたものであ
る。そのため、空気よりも比重の重い溶剤ガスを、洗浄
槽内に残留する事なく、急速に全量をガス回収槽に回収
し凝縮除去することが可能となり、被洗浄物の出入時等
においても溶剤ガスの外部への拡散を防止することが可
能となる。また、溶剤ガスの回収量を、開閉弁の制御に
より調整すれば、洗浄槽内に於ける溶剤ガスのレベルを
任意の位置に設定することが可能となる。
洗浄槽等の回収ガスの供給源とは別個に設けたものであ
る。そのため、空気よりも比重の重い溶剤ガスを、洗浄
槽内に残留する事なく、急速に全量をガス回収槽に回収
し凝縮除去することが可能となり、被洗浄物の出入時等
においても溶剤ガスの外部への拡散を防止することが可
能となる。また、溶剤ガスの回収量を、開閉弁の制御に
より調整すれば、洗浄槽内に於ける溶剤ガスのレベルを
任意の位置に設定することが可能となる。
【００２０】また、冷却コイルに回収ガスを接触して凝
縮回収するのに比較し、冷却した凝縮用液体との接触を
行うものであるから、凝縮効率が良く、大量の回収ガス
を短時間で回収することが可能となる。
縮回収するのに比較し、冷却した凝縮用液体との接触を
行うものであるから、凝縮効率が良く、大量の回収ガス
を短時間で回収することが可能となる。
【００２１】また、この凝縮用液体は、完全フッ素化液
体を主成分とするものであるから、回収ガスが可燃性の
ものであっても引火の虞れはない。また、一般的に洗浄
等に使用する溶剤ガスとは不溶であるから、回収凝縮し
た回収ガスとの分離が、比重差を利用した簡易な分離器
により可能となる。
体を主成分とするものであるから、回収ガスが可燃性の
ものであっても引火の虞れはない。また、一般的に洗浄
等に使用する溶剤ガスとは不溶であるから、回収凝縮し
た回収ガスとの分離が、比重差を利用した簡易な分離器
により可能となる。
【００２２】また、ガス回収槽の凝縮用液体と接触する
部分に加熱手段を接続し、凝縮用液体を任意に加熱可能
とすれば、凝縮回収の完了した後に凝縮用液体を加熱し
、完全フッ素化液体を主成分とする凝縮用液体と凝縮液
化した回収ガスとの沸点の差を利用し、蒸留することに
より凝縮液化した回収ガスを再度ガス化し、凝縮用液体
と分離しても良い。この場合は、ガス回収槽の上部に、
冷却凝縮部を設けて凝縮を行う。
部分に加熱手段を接続し、凝縮用液体を任意に加熱可能
とすれば、凝縮回収の完了した後に凝縮用液体を加熱し
、完全フッ素化液体を主成分とする凝縮用液体と凝縮液
化した回収ガスとの沸点の差を利用し、蒸留することに
より凝縮液化した回収ガスを再度ガス化し、凝縮用液体
と分離しても良い。この場合は、ガス回収槽の上部に、
冷却凝縮部を設けて凝縮を行う。
【００２３】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に於いて説明す
れば、（１）は回収ガスの供給源となる洗浄槽で、回収
ガスである洗浄蒸気（２）を導入して蒸気洗浄を行う蒸
気洗浄部（３）の上部に、蒸気圧の上昇によって開放す
る蓋体（４）を介して凝縮部（５）を設けている。この
凝縮部（５）は内周に冷却コイル（６）を巻き回して形
成するとともに上端に密閉蓋体（７）を開閉可能に形成
している。
れば、（１）は回収ガスの供給源となる洗浄槽で、回収
ガスである洗浄蒸気（２）を導入して蒸気洗浄を行う蒸
気洗浄部（３）の上部に、蒸気圧の上昇によって開放す
る蓋体（４）を介して凝縮部（５）を設けている。この
凝縮部（５）は内周に冷却コイル（６）を巻き回して形
成するとともに上端に密閉蓋体（７）を開閉可能に形成
している。
【００２４】また洗浄槽（１）には、連通弁（８）を介
して蒸気発生槽（１０）を接続し、この蒸気発生槽（１
０）は、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、５フッ化プロパノ
ール系溶剤等の溶剤液（１１）を収納し、この溶剤液（
１１）をヒーター（１２）により加熱し洗浄蒸気（２）
を形成する。また、蒸気発生槽（１０）の上部に、蒸気
圧の上昇によって開放する蓋体（１３）を介して上端に
凝縮部（１４）を設けている。この凝縮部（１４）は、
内周に冷却コイル（１５）を巻き回して形成するととも
に上端に密閉蓋体（１６）を開閉可能に形成している。 また、洗浄槽（１）の下底（１７）と溶剤液（１１）部
分をドレン管（１８）により接続し、洗浄槽（１）の下
底（１７）に溜まる溶剤液（１１）を蒸気発生槽（１０
）に回収可能としている。
して蒸気発生槽（１０）を接続し、この蒸気発生槽（１
０）は、フッ素系溶剤、塩素系溶剤、５フッ化プロパノ
ール系溶剤等の溶剤液（１１）を収納し、この溶剤液（
１１）をヒーター（１２）により加熱し洗浄蒸気（２）
を形成する。また、蒸気発生槽（１０）の上部に、蒸気
圧の上昇によって開放する蓋体（１３）を介して上端に
凝縮部（１４）を設けている。この凝縮部（１４）は、
内周に冷却コイル（１５）を巻き回して形成するととも
に上端に密閉蓋体（１６）を開閉可能に形成している。 また、洗浄槽（１）の下底（１７）と溶剤液（１１）部
分をドレン管（１８）により接続し、洗浄槽（１）の下
底（１７）に溜まる溶剤液（１１）を蒸気発生槽（１０
）に回収可能としている。
【００２５】また、回収ガスの供給源たる洗浄槽（１）
には、開閉弁（２０）を介して連通したガス回収槽（２
１）を接続している。このガス回収槽（２１）は、内部
に完全フッ素化液体を主成分とする凝縮用液体（２２）
を冷却して収納している。そして第１図に示すごとく、
この凝縮用液体（２２）内に導入管（２３）の一端を挿
入し、この導入管（２３）の他端を、吸引ファン（２４
）とこの吸引ファン（２４）の両側に設置した開閉弁（
２０）（２０）を介して、洗浄槽（１）の下底（１７）
に近接して接続してる。この接続により、吸引ファン（
２４）で吸引した回収ガスを、凝縮用液体（２２）に吹
き込み、回収ガスと凝縮用液体（２２）とを接触して、
回収ガスの凝縮回収を行うものである。
には、開閉弁（２０）を介して連通したガス回収槽（２
１）を接続している。このガス回収槽（２１）は、内部
に完全フッ素化液体を主成分とする凝縮用液体（２２）
を冷却して収納している。そして第１図に示すごとく、
この凝縮用液体（２２）内に導入管（２３）の一端を挿
入し、この導入管（２３）の他端を、吸引ファン（２４
）とこの吸引ファン（２４）の両側に設置した開閉弁（
２０）（２０）を介して、洗浄槽（１）の下底（１７）
に近接して接続してる。この接続により、吸引ファン（
２４）で吸引した回収ガスを、凝縮用液体（２２）に吹
き込み、回収ガスと凝縮用液体（２２）とを接触して、
回収ガスの凝縮回収を行うものである。
【００２６】また、ガス回収槽（２１）には、凝縮用液
体（２２）と接触する部分に、ヒーター等の加熱手段（
２５）を接続し、凝縮用液体（２２）を任意に加熱可能
としている。この加熱手段（２５）の作動は、回収ガス
の回収が進み凝縮用液体（２２）内に、回収ガスが多量
に含まれた場合に行う。この加熱により、完全フッ素化
液体を主成分とする凝縮用液体（２２）と回収ガスとの
沸点の差を利用し、回収ガスを蒸留再生する。
体（２２）と接触する部分に、ヒーター等の加熱手段（
２５）を接続し、凝縮用液体（２２）を任意に加熱可能
としている。この加熱手段（２５）の作動は、回収ガス
の回収が進み凝縮用液体（２２）内に、回収ガスが多量
に含まれた場合に行う。この加熱により、完全フッ素化
液体を主成分とする凝縮用液体（２２）と回収ガスとの
沸点の差を利用し、回収ガスを蒸留再生する。
【００２７】そして、ガス回収槽（２１）の上部には、
ガス回収槽（２１）内の蒸気圧の上昇によって開放する
凝縮蓋体（２６）を介して、上端に冷却凝縮部（２７）
を設けている。この冷却凝縮部（２７）は、内周に冷却
コイル（２８）を巻き回して形成するとともに上端に密
閉蓋体（３０）を開閉可能に形成している。また、この
冷却凝縮部（２７）には、ガス回収部（３１）との区画
壁（３２）の上面に位置して、溶剤液（１１）の排出管
（３３）を接続している。そして、この排出管（３３）
に水分分離器（３４）を介して導出管（３５）を接続し
、この導出管（３５）を蒸気発生槽（１０）の溶剤液（
１１）に凝縮溶剤を還流する。
ガス回収槽（２１）内の蒸気圧の上昇によって開放する
凝縮蓋体（２６）を介して、上端に冷却凝縮部（２７）
を設けている。この冷却凝縮部（２７）は、内周に冷却
コイル（２８）を巻き回して形成するとともに上端に密
閉蓋体（３０）を開閉可能に形成している。また、この
冷却凝縮部（２７）には、ガス回収部（３１）との区画
壁（３２）の上面に位置して、溶剤液（１１）の排出管
（３３）を接続している。そして、この排出管（３３）
に水分分離器（３４）を介して導出管（３５）を接続し
、この導出管（３５）を蒸気発生槽（１０）の溶剤液（
１１）に凝縮溶剤を還流する。
【００２８】また加熱手段（２５）は、上述のごとくガ
ス回収槽（２１）内に形成したものであっても良いが、
加熱手段（２５）は、ガス回収槽（２１）とは別個に形
成した蒸留塔（図示せず）に設け、この蒸留塔をガス回
収槽（２１）に接続したものであっても良い。
ス回収槽（２１）内に形成したものであっても良いが、
加熱手段（２５）は、ガス回収槽（２１）とは別個に形
成した蒸留塔（図示せず）に設け、この蒸留塔をガス回
収槽（２１）に接続したものであっても良い。
【００２９】また回収ガスの凝縮は、前述のごとく凝縮
用液体（２２）中に直接吹き込むものとしても良いが、
第２図に示すごとく、ガス回収槽（３１）にポンプ（３
６）を接続し、このポンプ（３６）により、ガス回収槽
（２１）内の凝縮用液体（２２）を、ノズル（３７）か
ら霧状またはシャワー状に噴射し、この噴射した凝縮用
液体（２２）と回収ガスとを接触して、回収ガスの凝縮
回収を行うものであっても良い。この方法はポンプ（３
６）等の存在により、機構を複雑化するものの、気液の
接触効率を良好とすることができる。
用液体（２２）中に直接吹き込むものとしても良いが、
第２図に示すごとく、ガス回収槽（３１）にポンプ（３
６）を接続し、このポンプ（３６）により、ガス回収槽
（２１）内の凝縮用液体（２２）を、ノズル（３７）か
ら霧状またはシャワー状に噴射し、この噴射した凝縮用
液体（２２）と回収ガスとを接触して、回収ガスの凝縮
回収を行うものであっても良い。この方法はポンプ（３
６）等の存在により、機構を複雑化するものの、気液の
接触効率を良好とすることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したもので、
回収槽に導入した回収ガスは、完全フッ素化液体を主成
分とする、冷却した凝縮用液体と接触し、凝縮回収する
ことが出来るから、冷却コイルを用いる方法に比較し、
極めて効率の良い凝縮回収を可能とする。
回収槽に導入した回収ガスは、完全フッ素化液体を主成
分とする、冷却した凝縮用液体と接触し、凝縮回収する
ことが出来るから、冷却コイルを用いる方法に比較し、
極めて効率の良い凝縮回収を可能とする。
【００３１】また、回収ガスの凝縮回収手段を、洗浄槽
等の回収ガスの供給源とは別個に設けたものであるから
、空気よりも比重の重い溶剤ガスを、洗浄槽内に残留す
る事なく、急速に全量をガス回収槽に回収し凝縮除去で
きる。そのため、被洗浄物の出入時等において、溶剤ガ
スの外部への拡散を防止することが可能となる。また、
溶剤ガスの回収量を、開閉弁の制御により調整すれば、
洗浄槽内に於ける溶剤ガスのレベルを任意の位置に設定
することが可能となる。
等の回収ガスの供給源とは別個に設けたものであるから
、空気よりも比重の重い溶剤ガスを、洗浄槽内に残留す
る事なく、急速に全量をガス回収槽に回収し凝縮除去で
きる。そのため、被洗浄物の出入時等において、溶剤ガ
スの外部への拡散を防止することが可能となる。また、
溶剤ガスの回収量を、開閉弁の制御により調整すれば、
洗浄槽内に於ける溶剤ガスのレベルを任意の位置に設定
することが可能となる。
【００３２】また、この凝縮用液体は、完全フッ素化液
体を主成分とするものであるから、回収ガスが可燃性の
ものであっても引火の虞れはない。また、一般的に洗浄
等に使用する溶剤ガスとは不溶であるから、回収凝縮し
た回収ガスとの分離が、比重差を利用した簡易な分離器
により可能となる。
体を主成分とするものであるから、回収ガスが可燃性の
ものであっても引火の虞れはない。また、一般的に洗浄
等に使用する溶剤ガスとは不溶であるから、回収凝縮し
た回収ガスとの分離が、比重差を利用した簡易な分離器
により可能となる。
【００３３】また、ガス回収槽の、加熱手段を設ければ
、凝縮回収の完了した後に凝縮用液体を加熱し、完全フ
ッ素化液体を主成分とする凝縮用液体と凝縮液化した回
収ガスとの沸点の差を利用し、蒸留することにより凝縮
液化した回収ガスを再度ガス化し、凝縮用液体と分離す
ることが可能となる。
、凝縮回収の完了した後に凝縮用液体を加熱し、完全フ
ッ素化液体を主成分とする凝縮用液体と凝縮液化した回
収ガスとの沸点の差を利用し、蒸留することにより凝縮
液化した回収ガスを再度ガス化し、凝縮用液体と分離す
ることが可能となる。
【図１】断面図
【図２】異なる実施例の断面図
２０・・・・・・・開閉弁
２１・・・・・ガス回収槽
２２・・・・・・凝縮用液体
２３・・・・・・・導入管
２４・・・・・吸引ファン
２５・・・・・・加熱手段
２７・・・・・冷却凝縮部
３７・・・・・・・ノズル
Claims (10)
- 【請求項１】ガス回収槽内に完全フッ素化液体を主成分
とする凝縮用液体を冷却して収納するとともにガス回収
槽に、回収ガスの供給源に開閉弁を介して連通した導入
管を接続し、この導入管の接続位置を、凝縮用液体と回
収ガスとを接触し得る位置に形成したことを特徴とする
ガス回収装置。 - 【請求項２】凝縮用液体は、ガス回収槽内に貯留したも
のであり、この貯留した凝縮用液体に回収ガスを吹き込
み、回収ガスと凝縮用液体とを接触して、回収ガスの凝
縮回収を行うものであることを特徴とする請求項１記載
のガス回収装置。 - 【請求項３】凝縮用液体は、ガス回収槽内にノズルから
霧状またはシャワー状に噴射し、この噴射した凝縮用液
体と回収ガスとを接触して、回収ガスの凝縮回収を行う
ものであることを特徴とする請求項１記載のガス回収装
置。 - 【請求項４】回収ガスの供給源は、被洗浄物の蒸気洗浄
槽であることを特徴とする請求項１記載のガス回収装置
。 - 【請求項５】回収ガスは、被洗浄物の洗浄蒸気であるこ
とを特徴とする請求項１記載のガス回収装置。 - 【請求項６】導入管には吸引ファンを形成したことを特
徴とする請求項１記載のガス回収装置。 - 【請求項７】ガス回収槽には、凝縮用液体と接触する部
分に加熱手段を接続し、凝縮用液体を任意に加熱可能と
したことを特徴とする請求項１記載のガス回収装置。 - 【請求項８】加熱手段は、ガス回収槽内に形成したこと
を特徴とする請求項７記載のガス回収装置。 - 【請求項９】加熱手段は、ガス回収槽とは別個に形成し
た蒸留塔に設け、この蒸留塔をガス回収槽に接続したこ
とを特徴とする請求項７記載のガス回収装置。 - 【請求項１０】ガス回収槽の上部には、冷却凝縮部を設
けたことを特徴とする請求項７、８、９記載のガス回収
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2950891A JPH04244281A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ガス回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2950891A JPH04244281A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ガス回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244281A true JPH04244281A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=12278038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2950891A Pending JPH04244281A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | ガス回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244281A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6420732B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-07-16 | Luxnet Corporation | Light emitting diode of improved current blocking and light extraction structure |
| JP2023013565A (ja) * | 2021-07-16 | 2023-01-26 | ジャパン・フィールド株式会社 | 被洗浄物の洗浄装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1991
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