JPH04244932A - 光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置 - Google Patents
光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置Info
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- JPH04244932A JPH04244932A JP1111991A JP1111991A JPH04244932A JP H04244932 A JPH04244932 A JP H04244932A JP 1111991 A JP1111991 A JP 1111991A JP 1111991 A JP1111991 A JP 1111991A JP H04244932 A JPH04244932 A JP H04244932A
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- Japan
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- liquid crystal
- crystal display
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光学式液晶ディスプレ
イ欠陥検査装置に関し、特に液晶ディスプレイに形成さ
れている電極などの欠陥を光学的に検査するような光学
式液晶ディスプレイ欠陥検査装置に関する。
イ欠陥検査装置に関し、特に液晶ディスプレイに形成さ
れている電極などの欠陥を光学的に検査するような光学
式液晶ディスプレイ欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近では、各種の電子機器に液晶ディス
プレイが多く用いられつつある。しかも、液晶ディスプ
レイに表示される情報量が多くなってきており、表示密
度の高い液晶ディスプレイが要求されている。表示密度
を高めるためには、液晶表示器と端子との間の配線パタ
ーンを細くし、しかも隣接するパターンとの間隔を少な
くする必要がある。ところが、パターンの密度を高める
と、パターンのエッチング工程で、エッチングが不十分
なために隣接するパターン同士が電気的に接続されてし
まうことがある。このような液晶ディスプレイの欠陥を
検査する方法として、液晶ディスプレイにテストのため
のパターンを表示しておき、それを光学的に読み取って
標準データと比較し、一致していなければ欠陥であると
判別する方法が考えられる。
プレイが多く用いられつつある。しかも、液晶ディスプ
レイに表示される情報量が多くなってきており、表示密
度の高い液晶ディスプレイが要求されている。表示密度
を高めるためには、液晶表示器と端子との間の配線パタ
ーンを細くし、しかも隣接するパターンとの間隔を少な
くする必要がある。ところが、パターンの密度を高める
と、パターンのエッチング工程で、エッチングが不十分
なために隣接するパターン同士が電気的に接続されてし
まうことがある。このような液晶ディスプレイの欠陥を
検査する方法として、液晶ディスプレイにテストのため
のパターンを表示しておき、それを光学的に読み取って
標準データと比較し、一致していなければ欠陥であると
判別する方法が考えられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】液晶ディスプレイのパ
ターンを光学的に読み取る場合、その読み取りのために
イメージセンサが用いられる。イメージセンサは多数の
光電変換素子をアレイ状に配列したものであるが、液晶
ディスプレイの画素に比べてイメージセンサの画素の方
が細かく、液晶ディスプレイの１つの画素に対して、あ
るイメージセンサでは、その素子は数十個に対応する。 このため、液晶ディスプレイの１つの画素に対応して数
十個の標準データを用意しなければならず、標準データ
を記憶するためのメモリ容量が増大するばかりでなく、
イメージセンサの数十個の光電変換素子の読み取り出力
と標準データとを比較しなければならず、処理時間が長
くなってしまうという問題点がある。
ターンを光学的に読み取る場合、その読み取りのために
イメージセンサが用いられる。イメージセンサは多数の
光電変換素子をアレイ状に配列したものであるが、液晶
ディスプレイの画素に比べてイメージセンサの画素の方
が細かく、液晶ディスプレイの１つの画素に対して、あ
るイメージセンサでは、その素子は数十個に対応する。 このため、液晶ディスプレイの１つの画素に対応して数
十個の標準データを用意しなければならず、標準データ
を記憶するためのメモリ容量が増大するばかりでなく、
イメージセンサの数十個の光電変換素子の読み取り出力
と標準データとを比較しなければならず、処理時間が長
くなってしまうという問題点がある。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的、液晶
ディスプレイの各画素の中心に対応するイメージセンサ
の読み取り出力と標準データとを比較することにより、
メモリ容量を少なくでき、しかも処理時間を短縮し得る
光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置を提供することで
ある。
ディスプレイの各画素の中心に対応するイメージセンサ
の読み取り出力と標準データとを比較することにより、
メモリ容量を少なくでき、しかも処理時間を短縮し得る
光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置を提供することで
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は画素がマトリ
クス状に配列された液晶ディスプレイの欠陥を検査する
ための光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置であって、
液晶ディスプレイを一方方向に移動させるための可動ス
テージと、液晶ディスプレイに検査のためのパターンを
表示させる表示制御手段と、液晶ディスプレイの各画素
よりも小さい光電変換素子がアレイ状に多数配列され、
可動ステージの上方から液晶ディスプレイに表示された
画像パターンを読み取るイメージセンサと、液晶ディス
プレイを一方方向に移動させ、液晶ディスプレイの各画
素の中心に近いイメージセンサの光電変換素子の読み取
り出力を選択し、その読み取り出力と標準データとを比
較して、液晶ディスプレイの欠陥を判別する判別手段と
を備えて構成される。
クス状に配列された液晶ディスプレイの欠陥を検査する
ための光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置であって、
液晶ディスプレイを一方方向に移動させるための可動ス
テージと、液晶ディスプレイに検査のためのパターンを
表示させる表示制御手段と、液晶ディスプレイの各画素
よりも小さい光電変換素子がアレイ状に多数配列され、
可動ステージの上方から液晶ディスプレイに表示された
画像パターンを読み取るイメージセンサと、液晶ディス
プレイを一方方向に移動させ、液晶ディスプレイの各画
素の中心に近いイメージセンサの光電変換素子の読み取
り出力を選択し、その読み取り出力と標準データとを比
較して、液晶ディスプレイの欠陥を判別する判別手段と
を備えて構成される。
【０００６】
【作用】この発明に係る光学式液晶ディスプレイ欠陥検
査装置は、液晶ディスプレイを一方方向に移動させたと
き、液晶ディスプレイの各画素の中心に近いイメージセ
ンサの光電変換素子の読み取り出力を選択し、その読み
取り出力と標準データとを比較して、液晶ディスプレイ
の欠陥を判別することにより標準データを記憶するため
のメモリ容量を減少できるばかりでなく処理時間を短縮
することができる。
査装置は、液晶ディスプレイを一方方向に移動させたと
き、液晶ディスプレイの各画素の中心に近いイメージセ
ンサの光電変換素子の読み取り出力を選択し、その読み
取り出力と標準データとを比較して、液晶ディスプレイ
の欠陥を判別することにより標準データを記憶するため
のメモリ容量を減少できるばかりでなく処理時間を短縮
することができる。
【０００７】
【発明の実施例】図２はこの発明の一実施例の概略ブロ
ック図である。図２を参照して、テーブル１の上に可動
ステージ２が設けられる。可動ステージ２は液晶ディス
プレイ３を一方方向に移動させるためのものであって、
たとえばリニアモータによって駆動される。可動ステー
ジ２の上方にはＣＣＤユニット４が設けられる。ＣＣＤ
ユニット４は可動ステージ２によって一方方向に移動す
る液晶ディスプレイ３の表示パターンを読み取るもので
あって、多数の光電変換素子がアレイ状に多数配列され
たＣＣＤイメージセンサが用いられる。
ック図である。図２を参照して、テーブル１の上に可動
ステージ２が設けられる。可動ステージ２は液晶ディス
プレイ３を一方方向に移動させるためのものであって、
たとえばリニアモータによって駆動される。可動ステー
ジ２の上方にはＣＣＤユニット４が設けられる。ＣＣＤ
ユニット４は可動ステージ２によって一方方向に移動す
る液晶ディスプレイ３の表示パターンを読み取るもので
あって、多数の光電変換素子がアレイ状に多数配列され
たＣＣＤイメージセンサが用いられる。
【０００８】全体の制御を行なうために、パーソナルコ
ンピュータ５が設けられる。パーソナルコンピュータ５
はＣＣＤユニット４を制御するために、ＣＣＤ制御回路
６からＣＣＤ駆動回路７に制御信号を出力させ、ＣＣＤ
駆動回路７はその制御信号に応じてＣＣＤユニット４を
駆動する。ＣＣＤユニット４の読み取り出力はパーソナ
ルコンピュータ５に与えられる。さらに、パーソナルコ
ンピュータ５はパルス発生器８からパルス信号を発生さ
せ、このパルス信号はテーブル位置決めユニット９に与
えられ、テーブル位置決めユニット９はそのパルス信号
に応じて可動ステージ２を一方方向に順次移動させ、可
動ステージ２の位置決めを行なう。パーソナルコンピュ
ータ５はさらにパターンジェネレータ１０から検査のた
めの標準パターンデータを発生させる。このパターンデ
ータはＬＣＤ駆動回路１１に与えられる。ＬＣＤ駆動回
路１１は液晶ディスプレイ３を駆動し、与えられたパタ
ーンデータに応じてそのパターンを表示させる。
ンピュータ５が設けられる。パーソナルコンピュータ５
はＣＣＤユニット４を制御するために、ＣＣＤ制御回路
６からＣＣＤ駆動回路７に制御信号を出力させ、ＣＣＤ
駆動回路７はその制御信号に応じてＣＣＤユニット４を
駆動する。ＣＣＤユニット４の読み取り出力はパーソナ
ルコンピュータ５に与えられる。さらに、パーソナルコ
ンピュータ５はパルス発生器８からパルス信号を発生さ
せ、このパルス信号はテーブル位置決めユニット９に与
えられ、テーブル位置決めユニット９はそのパルス信号
に応じて可動ステージ２を一方方向に順次移動させ、可
動ステージ２の位置決めを行なう。パーソナルコンピュ
ータ５はさらにパターンジェネレータ１０から検査のた
めの標準パターンデータを発生させる。このパターンデ
ータはＬＣＤ駆動回路１１に与えられる。ＬＣＤ駆動回
路１１は液晶ディスプレイ３を駆動し、与えられたパタ
ーンデータに応じてそのパターンを表示させる。
【０００９】図１はこの発明の一実施例の具体的な動作
を説明するためのフロー図であり、図３は液晶ディスプ
レイの画素の中心に近いイメージセンサの光電変換素子
を選択する方法を説明するための図である。次に、図１
ないし図３を参照して、この発明の一実施例の具体的な
動作について説明する。まず、液晶ディスプレイ３を可
動ステージ２の上にローディングする。パーソナルコン
ピュータ５はパターンジェネレータ１０からパターンデ
ータを発生させる。ＬＣＤ駆動回路１１はそのパターン
データに応じて液晶ディスプレイ３に表示パターンを表
示させる。パーソナルコンピュータ５はパルス発生器８
からパルス信号を発生させ、ＬＣＤ駆動回路１１はその
パルス信号に応じて可動ステージ２を一方方向に順次移
動させる。パーソナルコンピュータ５はＣＣＤ制御回路
６から制御信号を発生させ、ＣＣＤ駆動回路７はその制
御信号に応じてＣＣＤユニット４を駆動する。ＣＣＤユ
ニット４は順次移動する可動ステージ２上の液晶ディス
プレイ３に表示されたパターンを読みとり、その読み取
り出力をパーソナルコンピュータ５に与える。
を説明するためのフロー図であり、図３は液晶ディスプ
レイの画素の中心に近いイメージセンサの光電変換素子
を選択する方法を説明するための図である。次に、図１
ないし図３を参照して、この発明の一実施例の具体的な
動作について説明する。まず、液晶ディスプレイ３を可
動ステージ２の上にローディングする。パーソナルコン
ピュータ５はパターンジェネレータ１０からパターンデ
ータを発生させる。ＬＣＤ駆動回路１１はそのパターン
データに応じて液晶ディスプレイ３に表示パターンを表
示させる。パーソナルコンピュータ５はパルス発生器８
からパルス信号を発生させ、ＬＣＤ駆動回路１１はその
パルス信号に応じて可動ステージ２を一方方向に順次移
動させる。パーソナルコンピュータ５はＣＣＤ制御回路
６から制御信号を発生させ、ＣＣＤ駆動回路７はその制
御信号に応じてＣＣＤユニット４を駆動する。ＣＣＤユ
ニット４は順次移動する可動ステージ２上の液晶ディス
プレイ３に表示されたパターンを読みとり、その読み取
り出力をパーソナルコンピュータ５に与える。
【００１０】パーソナルコンピュータ５は液晶ディスプ
レイ３の画素の中心に近いＣＣＤユニット４の光電変換
素子を選択する。すなわち、図３に示すように、液晶デ
ィスプレイ３はマトリクス状に多数の画素３１，３２…
３ｊが配列されているのに対して、ＣＣＤユニット４の
光電変換素子は液晶ディスプレイ３の画素３１，３２…
３ｊよりも細かい。そこで、液晶ディスプレイ３の画素
３ｊの中心に近いＣＣＤユニット４の光電変換素子４ｉ
の読み取り出力を選択する。ここで、ＣＣＤユニット４
の一端からｊ列目の液晶ディスプレイ３の画素の中心ま
での距離をＬ（ｊ）とし、ＣＣＤユニット４の１つの光
電変換素子の大きさをΔＣとすると、ｊ列目の画素の中
心に近いＣＣＤユニット４の４ｉ番目の光電変換素子は
、 ｉ＝（Ｌ（ｊ）−ΔＣ／２）／ΔＣ で求めることができる。送り方向についても同様の計算
により液晶ディスプレイ画素の中心に近いＣＣＤユニッ
ト４の光電変換素子を選択する。
レイ３の画素の中心に近いＣＣＤユニット４の光電変換
素子を選択する。すなわち、図３に示すように、液晶デ
ィスプレイ３はマトリクス状に多数の画素３１，３２…
３ｊが配列されているのに対して、ＣＣＤユニット４の
光電変換素子は液晶ディスプレイ３の画素３１，３２…
３ｊよりも細かい。そこで、液晶ディスプレイ３の画素
３ｊの中心に近いＣＣＤユニット４の光電変換素子４ｉ
の読み取り出力を選択する。ここで、ＣＣＤユニット４
の一端からｊ列目の液晶ディスプレイ３の画素の中心ま
での距離をＬ（ｊ）とし、ＣＣＤユニット４の１つの光
電変換素子の大きさをΔＣとすると、ｊ列目の画素の中
心に近いＣＣＤユニット４の４ｉ番目の光電変換素子は
、 ｉ＝（Ｌ（ｊ）−ΔＣ／２）／ΔＣ で求めることができる。送り方向についても同様の計算
により液晶ディスプレイ画素の中心に近いＣＣＤユニッ
ト４の光電変換素子を選択する。
【００１１】パーソナルコンピュータ５は上述のごとく
して求めたＣＣＤユニット４の光電変換素子４ｉの読み
取り出力と標準データとを比較し、両者の一致を判別す
る。不一致であれば、検査した液晶ディスプレイ３が不
良品であると判断して処理し、良品であれば良品の処理
をし、その結果を図示しないプリンタで印字したり、あ
るいは図示しないＣＲＴディスプレイに表示させる。そ
の後、パーソナルコンピュータ５は可動ステージ２を逆
方向に移動させ、もとの位置に戻ると液晶ディスプレイ
３をアンローディングする。そして、上述の動作を繰り
返し、次の液晶ディスプレイの検査を行なう。
して求めたＣＣＤユニット４の光電変換素子４ｉの読み
取り出力と標準データとを比較し、両者の一致を判別す
る。不一致であれば、検査した液晶ディスプレイ３が不
良品であると判断して処理し、良品であれば良品の処理
をし、その結果を図示しないプリンタで印字したり、あ
るいは図示しないＣＲＴディスプレイに表示させる。そ
の後、パーソナルコンピュータ５は可動ステージ２を逆
方向に移動させ、もとの位置に戻ると液晶ディスプレイ
３をアンローディングする。そして、上述の動作を繰り
返し、次の液晶ディスプレイの検査を行なう。
【００１２】なお、上述の実施例では、液晶ディスプレ
イ３として反射式のものを適用したがこれに限ることな
く透過式のものであってもよい。その場合には、テーブ
ル１の下側に光源を設け、光源から液晶ディスプレイ３
に光を照射するようにすればよい。
イ３として反射式のものを適用したがこれに限ることな
く透過式のものであってもよい。その場合には、テーブ
ル１の下側に光源を設け、光源から液晶ディスプレイ３
に光を照射するようにすればよい。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、液晶
ディスプレイの検査のためのパターンを表示しながら一
方方向に移動させ、そのパターンをイメージセンサで読
み取り、液晶ディスプレイの各画素の中心に近いイメー
ジセンサの光電変換素子の読み取り出力を選択し、その
読み取り出力と標準データとを比較して液晶ディスプレ
イの欠陥を検査することにより、標準データを記憶する
ためのメモリ容量を少なくでき、しかも処理時間を短縮
することができる。
ディスプレイの検査のためのパターンを表示しながら一
方方向に移動させ、そのパターンをイメージセンサで読
み取り、液晶ディスプレイの各画素の中心に近いイメー
ジセンサの光電変換素子の読み取り出力を選択し、その
読み取り出力と標準データとを比較して液晶ディスプレ
イの欠陥を検査することにより、標準データを記憶する
ためのメモリ容量を少なくでき、しかも処理時間を短縮
することができる。
【図１】この発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図である。
ロー図である。
【図２】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図３】液晶ディスプレイの画素の中心に近いイメージ
センサの光電変換素子を選択する方法を説明するための
図である。
センサの光電変換素子を選択する方法を説明するための
図である。
１ テーブル
２ 可動ステージ
３ 液晶ディスプレイ
４ ＣＣＤユニット
５ パーソナルコンピュータ
６ ＣＣＤ制御回路
７ ＣＣＤ駆動回路
８ パルス発生器
９ テーブル位置決めユニット
１０ パターンジェネレータ
１１ ＬＣＤ駆動回路
Claims (1)
- 【請求項１】 画素がマトリクス状に配列された液晶
ディスプレイの欠陥を検査するための光学式液晶ディス
プレイ欠陥検査装置であって、前記液晶ディスプレイを
一方方向に移動させるための可動ステージ、前記液晶デ
ィスプレイに検査のためのパターンを表示させる表示制
御手段、前記液晶ディスプレイの各画素よりも小さい光
電変換素子がアレイ状に多数配列され、前記可動ステー
ジの上方から前記液晶ディスプレイに表示された画像パ
ターンを読み取るイメージセンサ、および前記液晶ディ
スプレイを一方方向に移動させ、前記イメージセンサに
おける前記液晶ディスプレイの各画素の中心に近い光電
変換素子の読み取り出力を選択し、その読み取り出力と
標準データとを比較して前記液晶ディスプレイの欠陥を
判別する判別手段を備えた、光学式液晶ディスプレイ欠
陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1111991A JPH04244932A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1111991A JPH04244932A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244932A true JPH04244932A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=11769125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1111991A Withdrawn JPH04244932A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244932A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0783799A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Minato Electron Kk | 表示素子検査方式 |
| US6943919B1 (en) * | 2000-06-29 | 2005-09-13 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for correcting defects in a spatial light modulator based printing system |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP1111991A patent/JPH04244932A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0783799A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-31 | Minato Electron Kk | 表示素子検査方式 |
| US6943919B1 (en) * | 2000-06-29 | 2005-09-13 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for correcting defects in a spatial light modulator based printing system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |