JPH0424946B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、物体を磁気力を用いて非接触に支承
するとともに、この磁気力を用いて上記物体の空
間的な位置を調整する非接触位置決め装置に関す
る。 〔発明の技術的背景とその問題点〕 従来の、物体の二次元的または三次元的な位置
を比較的精度良く定める方法の一つとして、滑ら
かなガイドに載置されたプレートを精密ボールネ
ジで移動させる方法が知られている。しかしなが
ら、このように機械的な位置決めを行う方法は、
部品を極めで高い精度で加工しなければならず、
たとえ部品の高精度な加工が可能であるとして
も、ボールネジのいわゆるバツクラツシユを完全
に回避することができない。このため、従来のこ
の種の位置決め装置では高い精度で位置決めを行
なうことができなかつた。また、このような装置
で三次元的な位置決めを行なう場合には、空間の
持つ自由度の数と同数の６個の位置決め装置を併
せて用いなければならず、全体として大型で高価
なものになつていた。 そこで、このような欠点を克服し得る位置決め
装置として、電磁石あるいは永久磁石の磁気的吸
引力を利用して、物体を非接触状態で位置決めさ
せるようにした非接触位置決め装置が提案されて
いる。しかしながら、磁気的吸引力を利用した位
置決め装置にあつては、吸引部材と被吸引部材と
の間の吸引力が、両者の距離に対して非線形変化
を示すので、これを制御するための制御電流も非
線形に変化させる必要がある。そのため、高精度
な位置制御を実現するには、バイアス用の磁気力
供給源や線形化装置を必要としなければならず、
装置の複雑化や信頼性の低下をもたらすという問
題があつた。 〔発明の目的〕 本発明は、かかる問題点に鑑みなされたもので
あり、その目的とするところは、機械的な誤差の
少ない非接触位置決め装置にあつて、６軸方向の
位置制御に際して、磁気空〓に関し無依存であ
り、線形的な制御を可能化し、もつて構造の簡単
化および信頼性の向上化が図れる非接触位置決め
装置を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明は、浮揚体を、磁気的吸引力によつて支
承あるいは位置調整の為に駆動させるのではな
く、磁界と、該磁界中に配置された導電部材に流
れる電流との間に生ずる電磁気的な相互作用によ
つて支承あるいは位置調整の為に駆動させるよう
にしたことを特徴としている。 すなわち本発明は、固定体と浮揚体との間の非
接触状態を保つとともに固定体に対して浮揚体の
位置を磁気的に調整する非接触位置決め装置にお
いて、前記固定体または前記浮揚体のいずれか一
方に設けられた磁性材製の二重円筒体および他方
に設けられて上記二重円筒体を構成している外円
筒と内円筒との間に非接触に嵌入する非磁性材製
の単一円筒体と、前記二重円筒体および前記単一
円筒体からなる２つの円筒体のうちの一方の円筒
体に設けられ、上記単一円筒体を厚み方向に貫通
させるとともに上記二重円筒体の前記外円筒と前
記内円筒とを経由する経路で磁束を通過させる軸
方向回りの磁路を周方向に等間隔に複数形成する
磁界発生手段と、前記各磁路における半径方向に
延びる部分を横切る関係に前記２つの円筒体のう
ちの他方の円筒体に固定された軸方向位置制御用
導電部材、半径方向位置制御用導電部材および周
方向位置制御用導電部材と、前記二重円筒体と前
記単一円筒体との相対位置を非接触に検出する複
数の位置検出器と、これら位置検出器の出力と目
標位置とに基いて前記各導電部材に流れる電流の
方向と制御して前記二重円筒体と前記単一円筒体
との相対位置を可変する手段とを具備したもので
あり、前記導電部材に流れる電流の方向および前
記磁界発生手段で発生した磁界の方向と直交する
方向に生ずる前記磁界発生手段と前記導電部材と
の間の相対的な電磁力によつて前記浮揚体を前記
固定体に対して移動させるものであることを特徴
としている。 〔発明の効果〕 上記の如き構成であると、機械的な誤差を回避
できるという非接触位置決め装置特有の効果が得
られることは勿論のこと、次のような効果を奏す
ることができる。 すなわち、位置決め対象である浮揚体は、磁気
的吸引力によつて支承あるいは駆動させるのでは
なく、磁界と、該磁界中に配置された導電部材に
流れる電流との間の電磁気的な相互作用によつて
支承あるいは起動されるので、上記支承力および
駆動力は、浮揚体と固定体との間の磁気間隙とは
全く無依存である。したがつて、導電部材に供給
する電流を非線形に制御する必要がなくなる。し
たがつて、本発明によれば、新たに線形化装置や
バイアス付与手段を付加する必要がないので、構
造の簡単化および信頼性の向上化、更には精度の
向上化を図ることができる。 〔発明の実施例〕 以下、図面を参照し本発明の実施例について説
明する。 第１図乃至第３図は、本発明の一実施例に係る
非接触位置決め装置の構成を示す図であり、第１
図は本装置を一部切欠した分解斜視図、第２図は
本装置を第３図におけるＡ−Ａ線に沿つて切断し
た矢視断面図、第３図は本装置を第２図における
Ｂ−Ｂ線に沿つて切断した矢視断面図である。こ
れら各図に示すように、本装置は、固定体１と、
この固定体１に非接触状態で嵌合する浮揚体２
と、固定体１に対する浮揚体２の位置を電磁気的
に調整する浮揚体位置調整手段３とで構成されて
いる。 固定体１は、固定体側の主体となる外円筒６
と、この外円筒６の内側に同軸配置された内円筒
７と、これら両円筒６，７の下端部間を一体的に
結合する環状底壁８と、上記内円筒７の上端部を
閉塞する上端壁９とで構成されており、例えば非
磁性材料で形成されたものである。 浮揚体２は、互いの間に前述した外円筒６を非
接触に嵌入させるように二重筒状に配置された外
円筒１１および内円筒１２と、これら両円筒１
１，１２の上端部を一体的に閉塞する上端壁１３
とで構成されており、例えば、高透磁率材料でか
つ電磁遮断材料である珪素鋼で形成されたもので
ある。 また、浮揚体位置調整手段３は、次のように構
成されている。すなわち、上記浮揚体２の内円筒
１２の外周面でかつ上部位置には、適当な広がり
角を有する永久磁石１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１
６ｄが、周方向に略90°の位相ピツチで取着され
ている。また、上記浮揚体２の内円筒１２の外周
面でかつ下部位置には、適当な広がり角を有する
永久磁石１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄが、上
記永久磁石１６ａ〜１６ｄと周方向位置を同じく
するように略90°の位相ピツチで取着されている。
これら永久磁石１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｂ
は、それぞれ半径方向に着磁されている。この着
磁は、例えば軸心線方向に隣接する２個の永久磁
石によつて、後述するところの１組の磁気ループ
が形成されるように、軸心線方向に隣接する１組
の永久磁石が互いに逆向きとなる如く着磁され
る。一方、前記固定体１の外円筒６の内周部で、
かつ前記永久磁石１６ａ〜１６ｄおよび前記永久
磁石１７ａ〜１７ｄを対向する軸方向位置には、
それぞれ周方向に延びる溝１８，１９が形成され
ている。これら溝１８，１９には、周方向に巻回
された軸方向制御コイル２０，２１が装着されて
いる。また、固定体１の外筒６の外周面で、かつ
前記永久磁石１６ａ〜１６ｄおよび前記永久磁石
１７ａ〜１７ｄの各周方向端部と対向する位置に
は、径方向に僅か延出する計16個の凸部２２ａ〜
２２ｈ，２３ａ〜２３ｈ（但し、２３ａ，２３ｃ
〜２３ｇは図示せず）が形成されている。そし
て、これら凸部のうち、凸部２２ａ，２２ｃ，２
２ｅ，２２ｇ，２３ａ，２３ｃ，２３ｅ，２３ｇ
には、それぞれ半径方向制御コイル２４ａ〜２４
ｈが巻装されている。また、これら凸部のうち、
凸部２２ｂ，２２ｄ，２２ｆ，２２ｈ，２３ｂ，
２３ｄ，２３ｆ，２３ｈには、それぞれ周方向
（中心軸回り方向）制御コイル２５ａ〜２５ｈが
巻装されている。これら各制御コイル２０，２
１，２４ａ〜２４ｈ，２５ａ〜２５ｈ、永久磁石
１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄとの関係位置
は、第４図に示す如くとなる。なお、この図は第
３図におけるＣ矢視図である。この図から明らか
なように、例えば永久磁石１６ａから発生する磁
界は、軸心線を中心として巻回された軸方向制御
コイル２０と、径方向を中心として巻回された半
径方向制御コイル２４ａおよび周方向制御コイル
２５ａの軸方向に延びる部分とにそれぞれ直交す
るように貫通している。各制御コイルの数は、要
求される力の大きさに応じて任意に設定すること
ができ、更に前記各制御コイルを取着する部位
も、対応する永久磁石から発生される磁界の方向
に対して直交し、かつ要求方向の力が発生する場
所であれば自由に設定できる。一方、固定対１の
内円筒７の外周面で、上下位置には、浮揚体２の
内円筒１２の内周面に対向するように半径方向位
置検出器３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂが突設
されている。また、同内円筒７の外周面で、中央
位置には、浮揚体２の内円筒１２に形成された切
欠窓３３ａ，３３ｂにそれぞれ対向するように互
いに180°離間させて周方向（軸心線回り方向）位
置検出器３４ａ，３４ｂが突設されている。さら
に、同内円筒７の上端部を閉塞する上端壁９に
は、浮揚体２の上端壁１３の内面に対向するよう
に軸方向位置検出器３５が突設されている。そし
て、半径方向位置検出器３１ａ，３１ｂ，３２
ａ，３２ｂおよび軸方向位置検出器３５は、浮揚
体２の対向面との距離を非接触に検出し、周方向
位置検出器３４ａ，３４ｂは、その検出面とこの
検出面に対向する切欠窓３３ａ，３３ｂとの間の
相対位置変動によつて上記検出面を覆う部材の面
積変動を感知して浮揚体の周方向位置を検出す
る。なお、周方向位置を検出するのに２個の周方
向位置検出器３４ａ，３４ｂを使用しているの
は、浮揚体２の半径方向および軸方向の変位と周
方向の変位とを区別させる為である。さらに検出
精度を高めたい場合には、各々の制御軸方向の位
置検出器の組を増加させれば良い。なお、各位置
検出器および各制御コイルは信号線３６を介して
別途設置された制御装置３７と電気的に接続され
ており、各位置検出器からの検出信号に基づいて
各制御コイルが付勢されるようになつている。以
上が浮揚体位置調整手段３の概略構成である。 次に、このように構成された本実施例に係る非
接触位置決め装置の作用について説明する。 永久磁石１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄのう
ち、例えば永久磁石１６ａ，１７ａから供給され
る磁束は、第２図に示すように、永久磁石１６ａ
〜軸方向制御コイル２０〜固定体１の外円筒６〜
半径方向制御コイル２４ａおよび周方向制御コイ
ル２５ａ〜浮揚体２の外円筒１１〜半径方向制御
コイル２４ｅおよび周方向制御コイル２５ｅ〜固
定体１の外円筒６〜軸方向制御コイル２１〜永久
磁石１７ａ〜浮揚体２の内円筒１２〜永久磁石１
６ａの経路を通る磁気ループＭ１を形成する。こ
のように、本装置においては軸方向に隣接する２
つで１組の永久磁石によつて、周方向に90°の間
隔をあけて４つの磁気ループＭ１〜Ｍ４が形成さ
れる。そして、各磁気ループＭ１〜Ｍ４は、半径
方向制御コイル２４ａ〜２４ｈおよび周方向制御
コイル２５ａ〜２５ｈの軸方向に延びる２つの部
分のうち永久磁石１６ａ〜１６ｄと対向する一方
の部分、さらには軸方向制御コイル２０，２２に
略直交して貫通する。 ところで、周知の如く、定常磁界中に設置され
た導電部材に電流を流すと、該導電部材は、上記
磁界中を横切る導電部材の流さと、該導電部材に
流す電流値とに比例した大きさで、かつフレミン
グの左手の法則に従う向きの電磁力を受ける。こ
の実施例のように浮揚体２に磁界供給源である永
久磁石１６ａ〜１６ｄ，１７ａ，１７ｂを設置
し、固定体１に導電部材である制御コイルを取着
した場合、上記各制御コイルには、上記法則に従
つた力が付与されるわけであるが、上記導電部材
の取着された固定体１は静止しているので、結果
的に前記浮揚体２がこの反力を受けて移動する。
勿論、浮揚体２に制御コイルが取着され、かつ固
定体１に磁界供給源が取着される場合には、上記
浮揚体２に直接電磁力が付与されることは言うま
でもない。 第５図は、浮揚体２を半径方向に位置決めする
場合の過程を説明するための図であり、説明に関
係しない部分の構成要素は省略した。すなわち、
いま浮揚体２を図中Fxで示すように紙面右向き
に変位させたい場合には、半径方向制御コイル２
４ａ，２４ｅの磁気ループＭ１を横切る部分に軸
方向上向きに電流が流れるようにこれら制御コイ
ル２４ａ，２４ｅを付勢するとともに、半径方向
制御コイル２４ｃ，２４ｇの磁気ループＭ３を横
切る部分に軸方向下向きに電流が流れるようにこ
れら制御コイル２４ｃ，２４ｇを付勢する。この
結果、制御コイル２４ａ，２４ｅの上記部分およ
び制御コイル２４ｃ，２４ｇの上記部分には、変
位させたいFxの向きとは逆向きの電磁力fa，fc
が発生する。従つて、浮揚体２は、その反力とし
てこれから電磁力fa，fcとは逆向きの力Fxを受
け、この力Fxが浮揚体２の半径方向の位置調整
力として作用する。なお、制御コイル２４ａ，２
４ｃ，２４ｅ，２４ｇに流す電流の向きを反転さ
せれば、浮揚体２は上記Fxとは全く逆向きの力
を受けることになる。一方、上記制御コイル２４
ａ，２４ｃ，２４ｅ，２４ｇと90°位相をずらし
て設置された制御コイル２４ｂ，２４ｄ，２４
ｆ，２４ｈにおいても、上述と同様に互いに対応
する制御コイルに逆向きに電流を流すようにすれ
ば、これら制御コイル２４ｂ，２４ｄ，２４ｆ，
２４ｈの磁気ループＭ２，Ｍ４内に存在する部分
は、それぞれfb，fdの電磁力を受け、その反力と
して浮揚体をFyで示す向きに変位させることが
できる。これらの制御を行なうにあたり、各制御
コイルへの電流は、半径方向位置検出器３１ａ，
３１ｂ，３２ａ，３２ｂからの検出値に基づいて
制御装置３７から供給される。 第６図は、浮揚体２を中心軸回り、すなわち周
方向に位置決めする場合の過程を説明するための
図であり、この図においても説明に関係しない部
分の構成要素は省略した。すなわち、いま浮揚体
２を図中Frで示す時計回りの向きに回転変位さ
せたい場合には、周方向制御コイル２５ａ〜２５
ｈの各磁気ループＭ１〜Ｍ４を横切る部分に軸方
向上向きの電流が流れるようにこれら制御コイル
２５ａ〜２５ｈを付勢する。この結果、各制御コ
イル２５ａ〜２５ｈの上記部分には、反時計回り
の向きの電磁力fa〜fdが発生する。従つて、浮揚
体２は、その反力としてこれら電磁力fa〜fdとは
逆向きの力Frを受け、この力Frが浮揚体２の周
方向の位置調整力として作用する。なお、制御コ
イル２５ａ〜２５ｈに流す電流の向きを反転すれ
ば、浮揚体２は上記Frとは全く逆向きの力を受
けることになる。 第７図は、浮揚体２を軸方向に位置決めする場
合の過程を説明するための図であり、この図にお
いても説明に関係しない部分の構成要素は省略し
た。この場合には、軸方向制御コイル２０を横切
る磁束の向きと、軸方向制御コイル２１を横切る
磁束の向きとは各々逆向きであるから、これら制
御コイル２０，２１に流す電流の向きをそれぞれ
逆向きに設定すれば、これら制御コイル２０，２
１には、同一の向きの電磁力が付与されることに
なる。例えば、制御コイル２０には、図中上方か
ら見て反時計回りの向きに電流を流し、また、制
御コイル２１には、同時計回りの向きに電流を流
せば、これら制御コイル２０，２１には、図中下
向きの電磁力fza，fzbが発生し、その結果、浮揚
体２は図中上向きの力Fzを受けて該向きに移動
する。各制御コイル２０，２１に流す電流の向き
を逆向きにすれば、浮揚体２は逆向きに移動す
る。 このように、本実施例によれば、空間の有する
全ての自由度に対して浮揚体２を移動させ得るよ
うに、浮揚体２を半径方向、周方向および軸方向
にそれぞれ独立に非接触支承および位置調整のた
め駆動するようにしている。このため、空間の任
意の位置への位置決めが可能になる。そして、こ
の場合には、浮揚体２は、磁気的吸引力によつて
支承あるいは駆動されるのではなく、永久磁石１
６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄが供給する定常的
な磁界と、各制御コイルに流れる電流との相互作
用によつて支承および駆動されるので、各制御コ
イルに供給される電流は、固定体１と浮揚体２と
の間の磁気間隙に対し無依存である。したがつ
て、線形化装置やバイアス手段などを必要とせ
ず、特に制御部分の大幅な簡略化を図ることがで
きるうえ、位置決め精度の向上化を図ることがで
きる。また、浮揚体２の運動は、固定体１に固定
された位置検出器３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２
ｂ，３５によつて常時モニタされ、この信号が制
御装置３７を介して付勢電流として制御コイルに
供給されるようになつているので、装置の位置決
め精度は、上記位置検出器の位置決め精度と略同
程度の精度が確保できる。さらに、この実施例に
おいては浮揚体２を電磁気遮断部材で形成し、こ
の浮揚体２によつて浮揚体位置調整手段３の全体
を覆うようにしているので、浮揚体位置調整手段
３からの電磁波は、上記浮揚体２よりも外側に漏
れることなく、電磁波の影響を受け易い装置を近
接設置することも可能である。 なお、本発明は、上述した実施例に限定される
ものではない。例えば上記実施例では軸方向に２
段の永久磁石１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄを
設け、これらの永久磁石によつて磁界を供給させ
るようにしたが、第８図（第９図におけるＤ−Ｄ
線に沿つて切断した矢視断面図）および第９図
（第８図におけるＥ−Ｅ線に沿つて切断した矢視
断面図）に示すように、永久磁石４１ａ〜４１
ｄ，４２ａ〜４２ｄ，４３ａ〜４３ｄ（但し、４
１ｃ，４３ｂ〜４３ｄは図示せず）を浮揚体２の
中心軸方向について３段設けるようにし、軸方向
に２段の磁気ループMa，Mbを形成するように
しても良い。この例では、各永久磁石に対応させ
て半径方向制御コイル４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜
４５ｄ，４６ａ〜４６ｄ（但し、４４ｄ，４５ｂ，
４６ｂ〜４６ｄは図示せず）および周方向位置制
御コイル４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄ，４９
ａ〜４９ｄ（但し、４７ｃ，４８ａ，４８ｄ，４
９ａ，４９ｃ，４9dは図示せず）も３段に設け
るようにし、また軸方向制御コイル５０は最も磁
束の集中する永久磁石４２ａ〜４２ｄと対向する
部分のみに設けるようにしている。そして、第９
図に示すように、半径方向制御コイル４４ａ〜４
４ｄ，４５ａ〜４５ｄ，４６ａ〜４６ｄおよび周
方向制御コイル４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８
ｄ，４９ａ〜４９ｄの巻回数を多くするようにし
ている。 このような構成であれば、半径方向および周方
向に大きな負荷が印加された場合でも十分な支承
力あるいは位置調整の為の駆動力を得ることがで
きる。このように、必要な力に応じた適当な数の
制御コイルを配置するため、種々の変形例が考え
られる。なお、半径方向と周方向の制御コイルを
区別せずに各々の制御信号を重畳して用いても良
い。 また、先に示した実施例においては、磁界供給
源である永久磁石１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７
ｄを浮揚体２の内円筒１２の外周面上のみに設け
るようにしたが、第１０図に示すように、外円筒
１１の内周面にも前記永久磁石１６ａ〜１６ｄ，
１７ａ〜１７ｄに対向させて新たな永久磁石５１
ａ〜５１ｄ，５２ａ〜５２ｄ（但し、５１ｂ〜５
１ｄ，５２ｂ〜５２ｄは図示せず）を設けるよう
にしても良い。このような構成であれば、磁束の
漏洩を少なくできることはもとより、定常磁界の
大きさも増加するため、より大きな支承力あるい
は位置調整のための駆動力を得ることができる。 また、これまでの説明では磁界供給源として永
久磁石を用いていたが、永久磁石に替えて第１１
図に示すように電磁石６１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜
６２ｄ（但し、６１ｂ，６１ｃ，６２ｂ，６２ｃ
は図示せず）を用いるようにしても良い。この場
合には、浮揚体２から導線が引出されるが、その
影響はそれ程大きなものではない。 なお、以上述べた内容は、固定体１に設置され
る要素と、浮揚体２に設置される要素とを交換し
ても同様の効果を得ることができる。 要するに本発明はその要旨を逸脱しない範囲で
種々変更して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明の一実施例に係る非
接触位置決め装置を説明するための図であり、第
１図は同装置を一部切欠した分解斜視図、第２図
は同装置の縦断面図、第３図は同装置の横断面
図、第４図は第３図におけるＣ矢視図、第５図は
同装置の半径方向制御の様子を説明するための
図、第６図は同周方向制御の様子を説明するため
の図、第７図は同中心軸方向制御の様子を説明す
るための図、第８図乃至第１１図はそれぞれ他の
実施例に係る非接触位置決め装置を示す図であ
る。 １……固定体、２……浮揚体、３……浮揚体位
置調整手段、１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄ，
４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄ，４３ａ〜４３
ｄ，５１ａ〜５１ｄ，５２ａ〜５２ｄ……永久磁
石、２０，２１，５０……軸方向制御コイル、２
４ａ〜２４ｈ，４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５
ｄ，４６ａ〜４６ｄ……半径方向制御コイル、２
５ａ〜２５ｈ，４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８
ｄ，４９ａ〜４９ｄ……周方向制御コイル、３１
ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ……半径方向位置検
出器、３４ａ，３４ｂ……周方向位置検出器、３
５……軸方向位置検出器、３７……制御装置、６
１ａ〜６１ｄ，６２ａ〜６２ｄ……電磁石。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 固定体と浮揚体との間の非接触状態を保つと
   ともに固定体に対して浮揚体の位置を磁気的に調
   整する非接触位置決め装置において、前記固定体
   または前記浮揚体のいずれか一方に設けられた磁
   性材製の二重円筒体および他方に設けられて上記
   二重円筒体を構成している外円筒と内円筒との間
   に非接触に嵌入する非磁性材製の単一円筒体と、
   前記二重円筒体および前記単一円筒体からなる２
   つの円筒体のうちの一方の円筒体に設けられ、上
   記単一円筒体を厚み方向に貫通させるとともに上
   記二重円筒体の前記外円筒と前記内円筒とを経由
   する経路で磁束を通過させる軸方向回りの磁路を
   周方向に等間隔に複数形成する磁界発生手段と、
   前記各磁路の半径方向に延びる部分を横切る関係
   に前記２つの円筒体のうちの他方の円筒体に固定
   された軸方向位置制御用導電部材、半径方向位置
   制御用導電部材および周方向位置制御用導電部材
   と、前記二重円筒体と前記単一円筒体との相対位
   置を非接触に検出する複数の位置検出器と、これ
   ら位置検出器の出力と目標位置とに基いて前記各
   導電部材に流れる電流の方向を制御して前記二重
   円筒体と前記単一円筒体との相対位置を可変する
   手段とを具備してなることを特徴とする非接触位
   置決め装置。 ２ 前記磁界発生手段は、磁極面をそれぞれ前記
   他方の円筒体の周面に対向させて前記一方の円筒
   体の周面に固定された複数個の永久磁石もしくは
   複数個の電磁石を主体に構成されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接触位置
   決め装置。 ３ 前記二重円筒体の前記外円筒は、磁気遮蔽部
   材を兼ねていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の非接触位置決め装置。