JPH04252902A - 線形位置移動式トランスデューサ - Google Patents

線形位置移動式トランスデューサ

Info

Publication number
JPH04252902A
JPH04252902A JP3177671A JP17767191A JPH04252902A JP H04252902 A JPH04252902 A JP H04252902A JP 3177671 A JP3177671 A JP 3177671A JP 17767191 A JP17767191 A JP 17767191A JP H04252902 A JPH04252902 A JP H04252902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
steel foil
transducer
silicon steel
shield
insulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3177671A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3122851B2 (ja
Inventor
Robert W Redlich
ロバート ダブリュー.レドリッチ
Douglas Bliss
ダグラス ブリス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Data Instruments Co
Original Assignee
Data Instruments Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Data Instruments Co filed Critical Data Instruments Co
Publication of JPH04252902A publication Critical patent/JPH04252902A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3122851B2 publication Critical patent/JP3122851B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/202Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by movable a non-ferromagnetic conductive element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、トランスデューサ、特
に、線形移動を測定するためのトランスデューサに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】1987年5月19日に発行された米国
特許明細書第4,667,158 号におけるロバート
  W.レドリッチの「線形位置移動式トランスデュー
サ及び信号プロセッサ」では、直線移動を測定するため
のトランスデューサを開示している。前記トランスデュ
ーサの種々の実施例が、前記特許に開示されており、そ
の特許明細書の記載及び図面を例として従来例を説明す
る。
【0003】概ね、図1及び図2に前記トランスデュー
サを示す。前記トランスデューサは、中空管状ボビン1
(プラスチックのような電気的絶縁素材からなる)と、
前記ボビン1の外周面に沿って取り囲んでいる螺旋コイ
ル2(銅のような良質な導体)と、前記ボビン1内を軸
線方向に可動し得る円筒状ロッドあるいは管3(銅ある
いはアルミニウムのような低透磁率を有する良質の導体
)と、検査物の移動を測定するための前記ロッド3に連
結している付属ロッド3Aと、前記トランスデューサの
残部を囲みかつコイル2を介して流れる電流によって発
生する磁束を前記トランスデューサ内に閉じ込め、更に
、漂遊磁界からコイル2を遮蔽する外側遮蔽管4(高導
電率でしかも軟鉄あるいは低炭素銅のような高透磁率を
有する素材からなる)と、コイル2と遮蔽管4の間に配
設され、かつこの空間内の電磁抵抗を低値に抑える効果
を有する管状層13(硬化接着剤内に散布されたフェラ
イト粉のような高透磁率でしかも低導電率を有する素材
からなる)と、から構成されている。
【0004】更に、前記付属ロッド3Aが、測定される
検査物と接触すると、前記コイルが適切に活動を起こし
、測定される検査物の位置変化が前記コイル2と関連し
てロッド3の位置変化となり、コイル2と関連するロッ
ド3の移動が、表皮効果によってコイル2のインダクタ
ンスにおける変化を順々に生じさせる。そのインダクタ
ンスにおける変化をブリッジ回路等からなる信号処理器
によって測定することによって、検査物の線形移動を示
すことができる。
【0005】前記米国特許明細書第4,667,158
 号のコラム6の8乃至12行には、コイル2と外側遮
蔽管4間に配設されている管状層13は、高透磁率でし
かも低導電率を有するフェライト素材であると記載され
ている。更に、同該明細書のコラム6の15乃至17行
には、『…フェライト13は、好ましくは硬化接着剤内
に散布されたフェライト粉である』と述べられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】実際のところ、必須条
件であるフェライト粉は、特に、所望どおりの形状を得
るのが困難であることが判っている。また更に、前記フ
ェライト粉から適切な管状層13を製造するには、所望
するものより費用も時間もかかりかつまた複雑であるこ
とが判っている。
【0007】例えば、米国特許明細書第4,667,1
58 号に記載された種類のトランスデューサを製造す
るには、現在、ある1つの方法が利用されており、フェ
ライト粉製管状層13を使用するには、以下のような工
程、すなわち、まず最初に、フェライト粉及び接着剤の
適切な混合物を用意する段階、それから、この前記混合
物を遮蔽管4に充填し、かつその前記混合物が、前記遮
蔽管4内で均一に散布されることに十分配慮する段階、
次に、熱ランプを照らして遠心分離機で装荷シールドを
回転させる段階、更にその後、前記装荷シールドを一晩
中硬化させる段階、次に、トランスデューサの内部構成
部品用に空間ができるよう旋盤で前記装荷シールドを穴
開けする段階、そして、前記装荷シールド内にトランス
デューサの内部構成部品を組み立てる段階、とが必要と
されている。
【0008】しかしながら、実際のところ、前述したよ
うなフェライト粉からの管状層13の形成にあたっては
、トランスデューサの温度が変わると変形を生じ、又更
に、均一な混合並びに散布がなかった場合には、トラン
スデューサの正確性を損なうことが判っている。
【0009】本発明による一つの目的は、製造するのに
比較的迅速かつ簡単でしかも安価であり、動作が正確な
線形位置移動式トランスデューサを提供することである
【0010】更にもう一つの目的は温度特性及びS/N
比を改善することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも外
径の4倍の長さを有する絶縁素材の管と、前記管の周り
を取り囲んで巻かれかつ少なくとも前記外径の4倍の長
さを有する螺旋形電導コイルと、前記管内に嵌挿して収
容されかつ前記管内を軸線方向に往復滑動し得る導体、
すなわち非強磁性の延伸磁心と、前記コイルを取り囲み
かつ少なくとも前記外径の4倍の長さを有する少なくと
も1つのシリコン製鋼箔層とから構成されることを特徴
とするものである。
【0012】
【作用】本発明によれば、改良された温度動作特性を有
し、雑音比に対して改良された信号を供給できる線形位
置移動式トランスデューサを提供することである。
【0013】
【実施例】以下、本発明による目的及び特徴を好適実施
例を挙げ添付図面を参照して詳細に説明する。
【0014】図3及び図4には、本発明により改良され
た線形位置移動式トランスデューサ100が図示してあ
る。
【0015】トランスデューサ100は、後に、詳細に
説明する点を除いては、前記図1及び図2に開示されて
いる線形位置移動式トランスデューサと同一である。
【0016】さらに、前記トランスデューサ100は、
中空管状ボビン101(プラスチックのような電気的絶
縁素材からなる)と、前記ボビン101の外周面に沿っ
て囲まれかつ適切な端子ピン(図示せず)に接続されて
いる両端102A、102Bを有する螺旋形コイル10
2(銅のような良質な電気導体からなる)と、前記ボビ
ン101内で軸線方向に可動し得る円筒状ロッドあるい
は管103(銅あるいはアルミニウムのような低透磁率
を有する良質の電気導体からなる)と、検査物の移動を
測定する前記ロッド103と連結している付属ロッド1
03Aと、前記トランスデューサの残部を囲みかつコイ
ル102を介して流れる電流によって発生する磁束を前
記トランスデューサ内に閉じ込め、更に、漂遊磁界から
コイル102を遮蔽する外側遮蔽管104(高導電率で
しかも軟鉄あるいは低炭素銅のような高透磁率を有する
素材からなる)と、コイル102と遮蔽管104の間に
配設され、かつコイル102と遮蔽管104の間に電流
路を供給することなくこの空間内の電磁抵抗を低値に抑
える効果を有する部材113(高透磁率でしかも低導電
率を有する素材からなる)と、から構成されている。
【0017】トランスデューサ100のボビン101は
、前記従来例として示した図1,図2に開示されたトラ
ンスデューサのボビン1と本質的には同一であり、外径
の4倍以上の長さを有する。トランスデューサ100の
螺旋形コイル102は、前記図1,図2に開示されたト
ランスデューサの螺旋形コイル2と本質的には同一であ
り、外径の4倍以上の長さを有する。トランスデューサ
100の円筒状ロッド103、トランスデューサ100
の付属ロッド103A、更にトランスデューサ100の
外側遮蔽管104もそれぞれ前記図1,図2に示した従
来例と実質的に同一のものである。
【0018】また前記トランスデューサ100の部材1
13は、前記図1,図2に開示されたトランスデューサ
の管状層13と類似しているが、実質的には構成におい
て異なっており、その詳細については後で説明する。前
記部材113は、可能なかぎり高透磁率でしかも低導電
率であり更にコイル102と遮蔽管104間に電流路を
供給することなくコイル102と遮蔽管104間の空間
内の電磁抵抗を抑える効果を有するように形成される。
【0019】前記部材113は、少なくともその部材の
一側面について電気絶縁体113Bで被覆された前記外
径の4倍以上の長さを有する一枚あるいはそれ以上のシ
リコン製鋼箔シート材113Aからできている。
【0020】その外側の周りを電気絶縁体113Bで巻
かれている前記シリコン製鋼箔シート材113Aは、前
記コイル102と前記外側遮蔽管104間の間隙に挿入
され、更に前記外側遮蔽管104と接触するまで解き拡
げられる。これが生じると、電気絶縁体113Bは、前
記外側遮蔽管104と接触しかつ前記シリコン製鋼箔シ
ート材113Aが、遮蔽管104との直接的電気接触を
防いでいる。
【0021】好ましくは、前記シリコン製鋼箔シート材
113Aが、約0.001インチの厚さを有する常温圧
延3%のシリコン製鋼箔からなる方が良い。更に、この
ようなシリコン製鋼箔は、広範囲な変形に利用されてお
り、例えば、商標名シレクトロン(Silectron
)に基づくアレグヘニールドラム(Allegheny
 Ludlum)により販売されたシリコン製鋼箔であ
る。また更に好ましくは、前記シリコン製鋼箔シート材
113Aは、コイル102と遮蔽管104間に配設され
た少なくとも6枚の箔である。 実際のところは、3枚のシリコン製鋼箔を使用しており
、合計で9枚巻かれた製品がよく回転する。もちろん、
トランスデューサの性能特性に依存するもので、シリコ
ン製鋼箔がより少ない枚数でも使用することができるが
、実際のところ、シリコン製鋼箔の使用枚数少なくする
とトランスデューサの非線形特性が出てしまう。また、
より少ないシリコン製鋼箔を使用することによってトラ
ンスデューサの温度動作特性を悪化させる傾向があるこ
とが判っている。
【0022】シリコン製鋼箔113Aの隣接層が、絶縁
体113Bの層によって他から絶縁されているので過電
流を形成する部材113内には閉路がないことが重要で
ある。また、シリコン製鋼箔113Aの断面領域が、ト
ランスデューサ内の磁界の結果として飽和状態に陥らな
いような十分な大きさとなるように、シリコン製鋼箔1
13Aの枚数が選定される。同時に、それぞれのシリコ
ン製鋼箔113Aが電位コア損失を最少限にする非常に
薄い状態に保持される。
【0023】更に、絶縁体113Bは、好ましくは絶縁
体(シリコン製鋼箔113Aの外側層を遮蔽管104及
び他のものとの直接電気接触から妨げる)としても、更
にトランスデューサ内の位置にシリコン製鋼箔113A
を保持する接着剤としての役割をも果たすような素材か
らなる。また、前記絶縁体113Bは、絶縁と同様に比
較的安定した温度でなおかつ非吸湿性があることが重要
である。満足のいく絶縁または接着素材によって、広範
囲な変形を利用できる。例えば、商標名プリオボンド(
PLIOBOND)に基くオハイオ州アクロンのW.J
.ルスコー(Ruscoe)カンパニーにより販売され
た絶縁または接着剤から構成されても良い。
【0024】絶縁または接着素材は、均一に形成された
十分な厚さでシリコン製鋼箔113Aの外面に使用され
、例えば、効果的に絶縁あるいは接着素材が湿った場合
、ほぼ0.002インチの厚さで膨脹しても良い。この
絶縁または接着素材は、シリコン製鋼箔113Aの外面
に噴霧されるかまたは、従来技術で周知の別の方法で適
応することができる。またこの絶縁または接着素材が、
シリコン製鋼箔113Aの外面に使用されたのち、その
絶縁または接着素材は、剥離しないような十分な粘着性
を有することが重要である。もし、トランスデューサ内
に堅固にシリコン製鋼箔113Aを固着する必要があれ
ば、更にその絶縁または接着素材がヒートセットされる
【0025】この絶縁又は接着素材は、シリコン製鋼箔
113Aの外面に接着されたシート状の絶縁または接着
素材からなる。
【0026】シリコン製鋼箔113Aは、トランスデュ
ーサ内の位置においてしっかりと保持されることが重要
である。万一、絶縁体113Bが絶縁体としてのみの機
能を有し接着剤としての機能を果たさない材料からなる
場合には、その他のものと遮蔽管104に対してシリコ
ン鋼箔層の適切な接着を施すために、付加的な接着素材
をその絶縁素材上に加える必要がある。
【0027】この絶縁体113Bは約0.001インチ
の厚さを有するカプトン(Kapton) (R)テー
プのような電気的絶縁テープからなる。もちろん、この
113Bは、電気的絶縁テープであり、接着素材が他の
ものと遮蔽管104に対してシリコン層の適切な固着を
促すため、テープの外面に付加されている。
【0028】シリコン製鋼箔113A及び電気的絶縁体
113Bが、高透磁率を有する層を備える部材113を
形成するので、コイル102と遮蔽管104間の間隙の
電磁抵抗を低値に抑えている。同時に、絶縁体113B
は、コイル102が遮蔽管104と接触するのを防いで
いるので、コイル102と遮蔽管104との間に電流路
が供給されない。
【0029】前述した構成によりトランスデューサを形
成する場合、シリコン製鋼箔の透磁率が負荷された応力
で変化するので、シリコン製鋼箔113Aにおける応力
を最少限にすることが重要である。また、シリコン製鋼
箔113Aの層が、箔のしわのない状態でトランスデュ
ーサ内に均一に位置決めされることが大切であり、例え
ば、トランスデューサの線形性はトランスデューサ内の
漂遊磁界の均一性に依存するので、従ってトランスデュ
ーサはシリコン製鋼箔層の均一性に依存する。前記層1
13がコイル102の周りに位置決めされた後、接着剤
114がコイル102と層113間の間隙に充填するの
に使用される。また、その接着剤114は、絶縁するの
と同様に一定の温度かつ非吸湿性である素材から形成さ
れる。更にその接着剤114は、絶縁体113B(この
場合、トランスデューサのセルへ接着剤を流し込むため
に絶縁体113B用に使用された素材より吸湿性のある
もので形成されることを除いて)を形成するのに使用さ
れた同じ絶縁又は接着素材からなり、又は、従来技術で
周知のような種々の接着剤でも良い。更に、コイル10
2の両端102A,102Bの電気的アクセスを供給す
る一方、トランスデューサの両端は、前述したトランス
デューサの部材間に何等かの電流路の発生を防ぐために
従来技術で周知の方法(図示せず)で覆われている。
【0030】先の構成の結果として、付属ロッド103
Aが、測定される検査物の移動に接続されると、コイル
102が適切に活動し、測定される検査物の移動位置に
おける変化が、そのコイルと関連してロッド103の位
置変化となり、コイル2と関連するロッド3のこの可動
が表皮効果によってコイル2のインダクタンスにおける
変化を生じさせ、そのインダクタンスにおける変化が、
検査物の線形移動を示して測定することができる。これ
に関しては、前記従来例として示した米国特許明細書第
4,667,158 号に開示されたような適切なコイ
ル活動及び信号プロセス装置が、本発明を構成する線形
位置移動式トランスデューサと共に利用されている。
【0031】更に、ここで説明した部材113を形成す
ることによって、より優れた温度動作特性及び雑音比(
S/N比)に対して改良された信号を有する改良された
線形位置移動式トランスデューサが形成できる。
【0032】
【発明の効果】前述したように、本発明を駆使すること
により以下に開示する多くの効果を得ることができる。
【0033】一つは、製造するのに比較的、迅速かつ簡
単でしかも安価であり、動作が正確な線形位置移動式ト
ランスデューサを提供できることである。
【0034】更には、より優れた温度動作特性及び雑音
比に対して改良された信号を有する改良された線形位置
移動式トランスデューサを提供できることである。
【図面の簡単な説明】
【図1】管状層13を形成するのにフェライト粉を駆使
する従来技術の線形位置移動式トランスデューサの軸線
方向断面図。
【図2】図1に示した従来技術の線形位置移動式トラン
スデューサの放射線方向断面図。
【図3】本発明により形成された改良された線形位置移
動式トランスデューサの軸線方向断面図。
【図4】図3に示した改良された線形位置移動式トラン
スデューサの放射線方向断面図である。
【符号の説明】
100  トランスデューサ 101  ボビン 102  螺旋形コイル 103  円筒状ロッド 103A  付属ロッド 104  遮蔽管 113  部材 113A  シリコン製鋼箔 113B  絶縁体 114  接着剤

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  少なくとも外径の4倍の長さを有する
    絶縁素材の管と、前記管の周りを取り囲んで巻かれかつ
    少なくとも前記外径の4倍の長さを有する螺旋形電導コ
    イルと、前記管内に嵌挿して収容されかつ前記管内を軸
    線方向に往復滑動し得る導体、すなわち非強磁性の延伸
    磁心と、前記コイルを取り囲みかつ少なくとも前記外径
    の4倍の長さを有する少なくとも1つのシリコン製鋼箔
    層とから構成されることを特徴とする線形位置移動式ト
    ランスデューサ。
  2. 【請求項2】  管状の電気導体シールドが、少なくと
    も前記一つのシリコン製鋼箔層を囲み、更に前記シール
    ドと前記一つのシリコン製鋼箔層間に電流が流れるのを
    防ぐように絶縁体が前記シールドと前記一つのシリコン
    製鋼箔層間に配設されていることを特徴とする請求項1
    記載の線形位置移動式トランスデューサ。
  3. 【請求項3】  少なくとも前記一つのシリコン製鋼箔
    層が前記コイルに向かって配設された内側面及び前記シ
    ールドに向かって配設された外側面からなり、さらに、
    前記絶縁体が少なくとも前記一つのシリコン製鋼箔層の
    前記外側面に接着されていることを特徴とする請求項2
    記載の線形位置移動式トランスデューサ。
  4. 【請求項4】  前記絶縁体が、少なくとも前記一つの
    シリコン製鋼箔層を前記シールドに固着するための接着
    剤であることを特徴とする請求項3記載の線形位置移動
    式トランスデューサ。
  5. 【請求項5】  前記絶縁体が、ほぼ0.002インチ
    の厚さであることを特徴とする請求項4記載の線形位置
    移動式トランスデューサ。
  6. 【請求項6】  接着剤が、少なくとも前記一つのシリ
    コン製鋼箔層を前記シールドに固着するために前記絶縁
    体と前記シールド間に充填されることを特徴とする請求
    項3記載の線形位置移動式トランスデューサ。
  7. 【請求項7】  前記絶縁体が、絶縁テープからなり、
    更に前記接着剤が、前記絶縁体と前記シールド間に充填
    されることを特徴とする請求項6記載の線形位置移動式
    トランスデューサ。
  8. 【請求項8】  前記絶縁テープが、ほぼ0.001イ
    ンチの厚さであることを特徴とする請求項7記載の線形
    位置移動式トランスデューサ。
  9. 【請求項9】  前記少なくとも一つのシリコン製鋼箔
    層が、少なくとも6枚のシリコン製鋼箔からなり、その
    シリコン製鋼箔のそれぞれが約0.001インチの厚さ
    を有する常温圧延3%のシリコン製鋼箔からなることを
    特徴とする請求項1記載の線形位置移動式トランスデュ
    ーサ。
  10. 【請求項10】  管状の電気導体シールドが、少なく
    とも6枚のシリコン製鋼箔の外側面を囲み、更にその6
    枚のシリコン製鋼箔のそれぞれが、前記コイルに向かっ
    て配設された内側面及び前記シールドに向かって配設さ
    れた外側面からなるとともに絶縁体が、前記シールドと
    少なくとも6枚のシリコン製鋼箔の外側面との間に電流
    が流れるのを防ぎ、かつ少なくとも6枚のシリコン製鋼
    箔間に放射電流が流れるのを防ぐように、少なくとも6
    枚のシリコン製鋼箔のそれぞれの外側面に配設されてい
    ることを特徴とする請求項9記載の線形位置移動式トラ
    ンスデューサ。
  11. 【請求項11】  前記絶縁体が、少なくとも6枚のシ
    リコン製鋼箔を他へ固着しかつ、少なくとも6枚のシリ
    コン製鋼箔の外側面を前記シールドに固着するための接
    着剤であることを特徴とする請求項10記載の線形位置
    移動式トランスデューサ。
  12. 【請求項12】  前記絶縁体が、ほぼ0.002イン
    チの厚さであることを特徴とする請求項11記載の線形
    位置移動式トランスデューサ。
  13. 【請求項13】  接着剤は、少なくとも6枚のシリコ
    ン製鋼箔を他へ固着しかつ、少なくとも6枚のシリコン
    製鋼箔の外側面を前記シールドに固着するように前記絶
    縁体の上面の少なくとも6枚のシリコン製鋼箔の外側面
    に配設されることを特徴とする請求項10記載の線形位
    置移動式トランスデューサ。
  14. 【請求項14】  前記絶縁体が少なくとも6枚のシリ
    コン製鋼箔からなり、鋼箔それぞれの外側面に絶縁テー
    プを配設したことを特徴とする請求項13記載の線形位
    置移動式トランスデューサ。
  15. 【請求項15】  前記絶縁テープがほぼ0.001イ
    ンチの厚さであることを特徴とする請求項14記載の線
    形位置移動式トランスデューサ。
  16. 【請求項16】  前記少なくとも一つのシリコン製鋼
    箔層が、9枚のシリコン製鋼箔からなり、かつそれぞれ
    が約0.001インチの厚さを有しており、常温圧延3
    %のシリコン製鋼箔からなることを特徴とする請求項1
    記載の線形位置移動式トランスデューサ。
  17. 【請求項17】  接着剤が、前記コイルと前記一つの
    コイルのシリコン製鋼箔層間に配設されることを特徴と
    する請求項1記載の線形位置移動式トランスデューサ。
JP03177671A 1990-06-22 1991-06-21 線形位置移動式トランスデューサ Expired - Fee Related JP3122851B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/542,152 US5068607A (en) 1990-06-22 1990-06-22 Electrical linear position transducer with silicon steel foil shield surrounding transducer coil
US07/542152 1990-06-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04252902A true JPH04252902A (ja) 1992-09-08
JP3122851B2 JP3122851B2 (ja) 2001-01-09

Family

ID=24162558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03177671A Expired - Fee Related JP3122851B2 (ja) 1990-06-22 1991-06-21 線形位置移動式トランスデューサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5068607A (ja)
EP (1) EP0463236B1 (ja)
JP (1) JP3122851B2 (ja)
AT (1) ATE96901T1 (ja)
DE (1) DE69004421T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2485439C2 (ru) * 2011-07-26 2013-06-20 Сергей Александрович Матюнин Индуктивный датчик линейного перемещения

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3910297A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-04 Micro Epsilon Messtechnik Beruehrungslos arbeitendes wegmesssystem
US5350397A (en) 1992-11-13 1994-09-27 Target Therapeutics, Inc. Axially detachable embolic coil assembly
US5453685A (en) * 1993-07-30 1995-09-26 Philips Electronics North America Corporation Inductive position sensing device and apparatus with selectable winding configuration
DE19500982C2 (de) * 1995-01-14 1997-07-17 Bosch Gmbh Robert Weggeber
DE19806529C2 (de) * 1998-02-17 2002-04-18 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor
DE10025661A1 (de) 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
SE541400C2 (en) * 2017-02-27 2019-09-17 Sem Ab Inductive position sensor with improved plunger core design
WO2018163878A1 (ja) * 2017-03-08 2018-09-13 住友電工プリントサーキット株式会社 フレキシブルプリント配線板
SE541423C2 (en) * 2018-01-26 2019-09-24 Borgwarner Sweden Ab An electrical motor

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3346643A1 (de) * 1983-12-23 1985-07-04 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Sensor fuer magnetisierbare materialien
US4667158A (en) * 1985-04-01 1987-05-19 Redlich Robert W Linear position transducer and signal processor
GB8810214D0 (en) * 1988-04-29 1988-06-02 Lucas Ind Plc Movement transducer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2485439C2 (ru) * 2011-07-26 2013-06-20 Сергей Александрович Матюнин Индуктивный датчик линейного перемещения

Also Published As

Publication number Publication date
ATE96901T1 (de) 1993-11-15
US5068607A (en) 1991-11-26
DE69004421D1 (de) 1993-12-09
EP0463236A1 (en) 1992-01-02
JP3122851B2 (ja) 2001-01-09
DE69004421T2 (de) 1994-03-10
EP0463236B1 (en) 1993-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04252902A (ja) 線形位置移動式トランスデューサ
US4164770A (en) Thin film magnetoresistive head
JP2643402B2 (ja) 電磁石およびその製造方法
CN103140741B (zh) 用于检测磁场的方法和设备
US4362990A (en) Current- and voltage-measurement transducer
SE8003001L (sv) Magnetanordning for omvandling av en magnetoresistans
US3473381A (en) Electric position sensor with switch locator
US6310472B1 (en) Multiple hall effect sensor of magnetic core displacement
JPH07198755A (ja) アースされた金属ケーシングを有する電気設備において利用可能なロゴスキー・コイルとこの種のコイルの製造方法
US2362470A (en) Artificial line and method of making same
US11953562B2 (en) MI sensor and method for manufacturing MI sensor
US1891481A (en) Inductance coil
JPS60501434A (ja) 能動型変流器
JPS6166104A (ja) 金属薄膜膜厚測定方法
US3356933A (en) Displacement sensor comprising differential transformer with nonmagnetic core
JPH04307907A (ja) コイル
US2888654A (en) Transformers
WO2022186082A1 (ja) 電流センサ及び電流センサの製造方法
JPH0645844Y2 (ja) 渦電流式膜厚センサ
US2459155A (en) Pressure cell
US3789374A (en) Domain wall propagating device
US3430132A (en) Magnetic thickness measuring apparatus utilizing one fixed and one movable measuring coil
Lewis A miniature mutual-inductive proximity transducer
JP2004219294A (ja) 電流センサとその製作方法
JP2000258468A (ja) 高周波電流検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees