JPH0425367A

JPH0425367A - 磁気記録媒体のテクスチャー装置

Info

Publication number: JPH0425367A
Application number: JP12750690A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Otsuka; 大塚　正弘; Masaru Tsukada; 塚田　勝; Shoji Ishida; 祥二石田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-17
Filing date: 1990-05-17
Publication date: 1992-01-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［概要］回転する磁気記録媒体に対して、加圧ローラを用いて研
磨テープを押圧し、前記磁気記録媒体に筋目を入れる磁
気記録媒体のテクスチャー装置に関し・、加工条件の変動に対して安定し、傷やスクラッチが発生
しに＜＜、加工レートも高い磁気記録媒体のテクスチャ
ー装置を提供することを目的とし、前記加圧ローラの表
面に、軟質と硬質のゴムを積層ライニングするように構
成する。

［産業上の利用分野］本発明は、回転する磁気記録媒体に対して、加圧ローラ
を用いて研磨テープを押圧し、前記磁気記録媒体に筋目
を入れる磁気記録媒体のテクスチャー装置に関する。

［従来の技術］次に図面を用いて従来例を説明する。第８図はテクスチ
ャー装置の全体構成を説明する斜視図、第９図は第８図
における加圧ローラの断面図である。

先ず、第８図を用いてテープ研磨装置の全体構成を説明
する。図において、１は図示しない駆動装置によって回
転駆動される基板（磁気記録媒体）である。２は研磨テ
ープ３の供給リール、４は図示しない駆動モータによっ
て回転駆動され、供給リール３より巻き出された研磨テ
ープを巻き取る巻き取りリールである。

５は供給リール２より繰り出された研磨テープ３を基板
１方向へ案内するガイドローラ、６は後述の加圧機構に
よって、研磨テープ３を基板１方向へ加圧する加圧ロー
ラである。７，８は研磨テープ３を挟持し、研磨テープ
３を一定の速度で駆動するキャプスタンと、ピンチロー
ラである。

９は研磨テープ３と基板ｌとの当接部近傍に、研磨液や
冷却潤滑剤を供給するノズルである。

次に、第９図を用いて、加圧ローラ６を説明する。図に
おいて、１１は金属製のコアローラ、１２はコアローラ
１１上にライニングされ、硬度が４０〜５０°のウレタ
ンゴムである。

次に、上記構成の作動を説明する。基板１は図示しない
駆動モータによって回転している。そして、キャプスタ
ン７及びピンチローラ８によって、研磨テープ３は一定
速度で巻き取りリール４に巻き取られる。更に、研磨テ
ープ３は、加圧ローラ６によって、基板１方向に押圧さ
れている。

更に、ノズル９より研磨液や冷却潤滑剤が研磨テープ３
と基板１との当接部近傍に、供給される。

こうして、基板１は研磨される。

［発明が解決しようとする課題］上記構成の加圧ローラにおいて、硬度の低いウレタンゴ
ムを用いると、第１０図（ａ）に示すように、面積の大
きなフットプリントが得られる。

ここで、フットプリントとは、加圧ローラ６が加圧状態
で、基板１を固定し、研磨テープ３を駆動した時の研磨
テープ３の接触面の跡を基板１上に着けたものである。

このような場合、単位面積当りの圧力が低いため、研磨
テープ３の品質や、回転している基板１の内径や外径で
の周速差や、加圧力等の加工条件の変動があっても均一
な研磨を行うことができるが、加工レートが低いという
問題点がある。

一方、硬度の高いウレタンゴムを用いると、第１０図（
ｂ）に示すように、シャープなフットプリントが得られ
る。このような場合、単位面積当りの圧力が高いので、
加工レートが高いが、基板１に傷やスクラッチが発生し
やすく、また、表面粗さも四部が深くなりやすいという
問題点がある。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その［１
的は、加工条件の変動に対して安定し、傷やスクラッチ
が発生しにくく、加工レートも高い磁気記録媒体のテク
スチャー装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］第１図は本発明の原理図である。図において、２１は回
転する磁気記録媒体、２２は加圧ローラ２３は磁気記録
媒体２１に対して、加圧ローラ２２によって押圧される
研磨テープである。

そして、加圧ローラ２２の表面は軟質ゴム２４と、硬質
ゴム２５が積層ライニングされている。

尚、本原理図においては、硬質ゴム２５上に軟質ゴム２
４をライニングしたものを図示したが、逆でもよい。

［作用］第１図に示す磁気記録媒体のテクスチャー装置において
、回転する磁気記録媒体２１に対して、研磨テープ２３
は、硬度の異なるゴム２４．２５が表面に積層ライニン
グされている加圧ローラ２２によって押圧されることに
より、磁気記録媒体２１に筋目が入れられる。

そして、研磨テープ２３が加圧ローラ２２に押圧される
と、軟質ゴム２４が変形し、加工条件の変動に対し安定
し、傷やスクラッチが発生しにくく、加工レートも高く
なる。

［実施例］次に、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。第２
図は本発明の第１の実施例を示す加圧ローラの断面図、
第３図は第２図に示す加圧ローラで研磨を行ったときの
表面粗さを説明する図、第４図は従来の加圧ローラで研
磨を行ったときの表面粗さを説明する図、第５図は第２
図で示す加圧ローラと従来の加圧ローラとで研磨を行っ
たときの加工レートを説明する図、第６図は本発明の第
２の実施例を示す加圧ローラの断面図、第７図は第６図
に示す加圧ローラで研磨を行ったときの表面粗さを説明
する図である。

まず、第２図乃至第５図を用いて本発明の第１の実施例
を説明する。なお、本実施例においては、従来例と相違
する点は加圧ローラのみであるので、以下加圧ローラの
みを説明する。

図において、４１は加圧ローラである。この加圧ローラ
４１は、金属製のコアローラ４２の円筒面に、まず厚さ
４．０ｍｍの軟質（硬度４０’　）のゴム４３がライニ
ングされ、このゴム４３の表面に厚さ１．２＋ｕｎの硬
質（硬度４０”　）のゴム４４がライニングされている
。

このような構成の加圧ローラ４１と平均粒径５μｍの研
磨テープを用いて、磁気記録媒体を研磨すると第３図に
示すようになる。一方、従来の加圧ローラで平均粒径５
μ−の研磨テープを用いて、磁気記録媒体を研磨したと
きは第４図のようになる。この２つの図を比較してみる
と、従来の加圧ローラを用いた場合は、表面粗さの凹凸
で、特に四部（傷やスクラッチに相当する）が深くなっ
ているが、本実施例の加圧ローラ４１を用いた研磨の場
合には、表面粗さの凹凸において、四部の突出が少なく
なっており、傷やスクラッチが減少していることが判る
。

また、本実施例の加圧ローラ４１及び従来の加工ローラ
を用いて研磨を行ったときの加工レートは、第５図に示
すようになる。なお、本研磨の条件を下記に示す加工テープ種類−酸化アルミナ砥粒（νＡ）平均中心砥
粒　；３μ纏加工回転数　　；　２００ｒｐＩ１１加工基板　　　、　Ｎ１−Ｐメツキ基板加工加圧力　　
；　２．２Ｋｇ／ｅａｃｈ　５ｉｄｅ加］ニテープ送り
；■、■　４００ｍｍ／ｍｉｎ■　　　６００ｍｏ＋／
ｍｉｎ図により、本実施例の加圧ローラ４１を用いると、加工
レートが大幅にアップすることが判る。

上記構成によれば、軟質のゴム４３の変形で大きな接触
面が得られ、硬質のゴム４４のよって、研磨テープの砥
粒が大きな力で磁気記録媒体に押圧される。よって、第
３図乃至第５図で説明を行ったように、加工条件の変動
に対して安定し、傷やスクラッチが発生しに＜＜、加工
レートも高くなる。

次に、第６図及び第７図を用いて本発明の第２の実施例
を説明する。なお、本実施例においても、従来例と相違
する点は加圧ローラのみであるので、以下加圧ローラの
みを説明する。

図において、５１は加圧ローラである。この加圧ローラ
５１は、金属製のコアローラ５２の円筒面に、まず厚さ
４．０＋＋＋ｍの硬質（硬度６０６）のゴム５３がライ
ニングされ、このゴム５３の表面に厚さ０６酊の軟質（
硬度４０°）のゴム５４がライニングされている。

このような構成の加圧ローラ５１と平均粒径５μ■の研
磨テープを用いて、磁気記録媒体を研磨すると第７図に
示すようになる。

本実施例の加圧ローラ５１を用いた研磨の場合にも、表
面粗さの凹凸において、凹部の突出がなくなっており、
傷やスクラッチが減少していることが判る。

上記構成によれば、硬質のゴム５３で発生しやすい傷や
スクラッチを軟質のゴム５４が緩衝材となって防止でき
、第１の実施例と同様に加ニレードアツブすることがで
きる。

［発明の効果］以上説明したように本発明によれば、加圧ローラの表面
に、軟質と硬質のゴムを積層ライニングするように構成
したことにより、加工条件の変動に対して安定し、傷や
スクラッチが発生しにくく、加工レートも高い磁気記録
媒体のテクスチャー装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図、第２図は本発明の第１の実施例を示す加圧ローラの断面
図、第３図は第２図に示す加圧ローうて研磨を行ったときの
表面粗さを説明する図、第４図は従来の加圧ローラで研磨を行ったときの表面粗
さを説明する図、第５図は第２図で示す加圧ローラと従来の加圧ローラと
で研磨を行ったときの加工レートを説明する図、第６図は本発明の第２の実施例を示す加圧ローラの断面
図、第７図は第６図に示す加圧ローラで研磨を行ったときの
表面粗さを説明する図、第８図はテクスチャー装置の全体構成を説明する斜視図
、第９図は第８図における加圧ローラの断面図、第１０図
は従来の加圧ローラによるフットプリントを説明する図
である。第１図乃至第７図において２１は磁気記録媒体、２２．４１．５１は加圧ローラ、２３は研磨テープ、２４．４３．５４は軟質ゴム、２５．４４．５３は硬質ゴムである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）回転する磁気記録媒体（２１）に対して、加圧ロ
ーラ（２２）を用いて研磨テープ（２３）を押圧し、前
記磁気記録媒体（２１）に筋目を入れる磁気記録媒体の
テクスチャー装置において、前記加圧ローラ（２２）の表面に、軟質と硬質のゴム（２４、２５）を積層ライニングしたことを
特徴とする磁気記録媒体のテクスチャー装置。
（２）前記加圧ローラは軟質のゴムの上に硬質のゴムが
積層ライニングされていることを特徴とする請求項１記
載の磁気記録媒体のテクスチャー装置。
（３）前記加圧ローラは硬質のゴムの上に軟質のゴムが
積層ライニングされていることを特徴とする請求項１記
載の磁気記録媒体のテクスチャー装置。