JPH0434719A - 磁気ディスク基板及びテクスチャー加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［概要］ テクスチャーが施された磁気ディスク基板及びその基板
にテクスチャーパターンを形成するテクスチャー方法に
関し、 異常凹凸が少なく、凹凸のバランスが良好で、磁気記録
媒体に必要な摩擦特性、ヘッドの浮上量。

エラー特性及び耐久性が向上する磁気ディスク基板を提
供することを目的とし、 互いに交差するテクスチャーパターンが表面に形成され
るように構成する。

［産業上の利用分野〕 本発明は、テクスチャーが施された磁気ディスク基板及
びその基板にテクスチャーパターンを形成するテクスチ
ャー方法に関する。

［従来の技術］ 次に図面を用いて従来例を説明する。第７図は従来のテ
クスチャー装置の構成図、第８図は第７図に示すテクス
チャー装置で加工された基板のテクスチャーパターンを
示す図である。

先ず、第７図を用いてテープ研磨装置の全体構成を説明
する。図において、１は図示しない駆動手段によって回
転駆動される基板である。

次に、テープ供給手段について説明を行なう。

２は研磨テープ３の供給リール、４は、図示しない駆動
モータによって回転駆動され、供給リール３より巻き出
された研磨テープ３を巻き取る巻き取りリールである。

５は供給リール２より繰り出された研磨テープ３を基板
１方向へ案内するガイドローラである。７．８は研磨テ
ープ３を挟持し、研磨テープ３を一定の速度で駆動する
キャプスタンと、ピンチローラである。

次に、テープ抑圧手段を説明する。６は、基板１の法線
方向に配置され、図示しない加圧機構によって、研磨テ
ープ３を基板１方向へ加圧する加圧ローラである。なお
、本実施例においては、加圧ローラ６は軸方向に往復動
（オシレーション）するようになっている。

また、９は研磨テープ３と基板１との当接部近傍に、研
磨液や冷却潤滑剤を供給するノズルである。

次に、上記構成の作動を説明する。基板１は図示しない
駆動モータによって回転している。そして、キャプスタ
ン７及びピンチローラ８によって、研磨テープ３は一定
速度で巻き取りリール４に巻き取られる。

一方、加圧ローラ６は、研磨テープ３を介して基板１を
両サイド方向より挟持するように加圧している。

更に、ノズル９より研磨液や冷却潤滑剤が研磨テープ３
と基板１との当接部近傍に、供給される。

こうして、基板１の両サイド面は研磨される。

次に、第８図を用いて、第７図に示すテクスチャー装置
で加工された基板のテクスチャーパターンを説明する。

図によれば、加圧ローラ６は基板１の法線方向に配置さ
れているので、基板１に付けられるテクスチャーパター
ン（凹凸の溝）は略同心状となっている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記構成の従来例において、第１１図において、従来例
の欄に示すような条件でテクスチャリングを行なうと、
第９図及び第１０図に示すような表面粗さとなる。

ここで、第９図と第１０図とのテクスチャー条件を比較
してみると、第９図に比べて第１０図のテクスチャリン
グは、テープ送り速度が速く、基板１の回転数が少なく
、加工時間が長いテクスチャリングを行っている。

これら２つのテクスチャリングを比較すると、第９図に
示す方は、ヘッドと基板１との間の摩擦係数が大きいが
、ヘッドの浮上量は少なく、深凹溝が原因となるミッシ
ングエラーなどの欠陥が少ない。

一方、第１０図に示す方は、ヘッドと基板１との摩擦係
数は小さいが、ヘッドの浮上量大きく、ミッシングエラ
ーも多い。

このように、摩擦特性と、ヘッドの浮上特性及びミッシ
ングエラーとを両立させることがむずかしいという問題
点がある。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、異常凹凸が少なく、凹凸のバランスが良好で、磁気
記録媒体に必要な摩擦特性、ヘッドの浮上量１エラー特
性及び耐久性が向上する磁気ディスク基板及びテクスチ
ャー方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 第１図は本発明の磁気ディスク基板の原理図である。図
において、磁気ディスク上のテクスチャーパターンが互
いに交差している。

［作用］ 第１図に示す磁気ディスクにおいて、テクスチャーパタ
ーンは互いに交差しており、異常凹凸が少なく、凹凸の
バランスが良好で、磁気記録媒体に必要な摩擦特性、ヘ
ッドの浮上量、エラー特性及び耐久性が向上する ［実施例］ 次に、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。第２
図は本発明のテクスチャー加工方法の一実施例装置の要
部を示す構成図、第３図は第２図に示すテクスチャー加
工装置で磁気ディスク基板を加工した時のテクスチャー
パターンを示す図、第４図は第２図に示す装置でテクス
チャーを行ったときの磁気ディスク基板の表面粗さの第
１の例を示す図、第５図は第２図に示す装置でテクスチ
ャーを行ったときの磁気ディスク基板の表面粗さの第２
の例を示す図、第６図は本実施例における研磨テープの
一粒子の軌跡を説明する図である。

まず、第２図を用いて本発明のテクスチャー装置の一例
を説明する。図において、２１は図示しない駆動手段に
よって矢印■方向に回転駆動される磁気ディスクの基板
である。２２は図示しない第１のテープ供給手段によっ
て矢印■′力方向一定速度で駆動される第１の研磨テー
プ、２３は図示しない第２のテープ供給手段によって矢
印■′力方向一定速度で駆動される第２の研磨テープで
ある。ここで、第１及び第２の研磨テープ２２゜２３は
各テープの送り方向ｎ’　、ｎ’が互いに交差するよう
に配設されている。

２４は図しない第１の押圧手段によって、第１の研磨テ
ープ２２を基板２１方向に押圧する第１の加圧ローラ、
２５は図示しない第２の押圧手段によって第２の研磨テ
ープ２３を基板２１方向に押圧する第２の加圧ローラで
ある。

そして、第１及び第２の加圧ローラ２４．２５は、これ
ら加圧ローラ２４，２５によって押圧される研磨テープ
２２．２３の基板２１に対する接触線Ａ、Ｂが基板２１
の中心Ｏと交わらないように配設され、更に、これら加
圧ローラ２４．　２−５は軸方向にそれぞれ往復動くオ
シレーション）するようになっている。尚、本実施例に
おいて、α−！１５’としている。

次に、上記構成の作動を説明する。基板２１は図示しな
い駆動手段によって矢印■方向に回転駆動されている。

そして、第１及び第２の研磨テープ２２．２３は、第１
及び第２のテープ供給手段によって矢印■′及び矢印■
′力方向一定速度で送られている。更に、第１及び第２
のテープ押圧手段によって、ｊｌｌ及び第２の加圧ロー
ラ２４゜２５は軸方向に往復動しながら、第１及び第２
の研磨テープ２２．２３を基板２１方向に押圧する。

このような構成によれば、第６図に示すように、研磨テ
ープ２２．２３の１粒子は、研磨テープの送り速度１周
速、加圧ローラ２４，２５のオシレーション速度により
、曲線を描く。

よって、テクスチャーパターンは第３図に示すように互
いに交差したテクスチャーパターンとなる。

次に、上記構成のテクスチャー装置によって、基板２１
をテクスチャーした時の表面粗さの第１の例を第４図に
、第２の例を第５図に示す。この時のテクスチャー条件
は第１１図に示す。

本実施例によると、従来例に比べて、異常凹凸が少なく
、凹凸のバランスが良好で、磁気記録媒体に必要な摩擦
特性、ヘッドの浮上量、エラー特性及び耐久性が向上し
ていることがわかる。

［発明の効果コ 以上説明したように第１の請求項によれば、磁気ディス
ク基板に互いに交差するテクスチャーパターンが表面に
形成されるように構成した。

また、第２の請求項によれば、回転する基板に対して、
研磨テープの送り方向が互いに交差するよう複数の研磨
テープを供給し、前記研磨テープの前記基板に対する接
触線が基板の中心と交わらないようにした。

よって、異常凹凸が少なく、凹凸のバランスが良好で、
磁気記録媒体に必要な摩擦特性、ヘッドの浮上量、エラ
ー特性及び耐久性が向上する磁気ディスク基板及びテク
スチャー加工方法を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理図、 第２図は本発明のテクスチャー加工方法の一実施例装置
の要部を示す構成図、 第３図は第２図に示すテクスチャー加工装置で磁気ディ
スク基板を加工した時のテクスチャーパターンを示す図
、 第４図は第２図に示す装置でテクスチャーを行ったとき
の磁気ディスク基板の表面粗さの第１の例を示す図、 第５図は第２図に示す装置でテクスチャーを行ったとき
の磁気ディスク基板の表面粗さの第２の例を示す図、 第６図は本実施例における研磨テープの一粒子の軌跡を
説明する図、 第７図は従来のテクスチャー装置の構成図、第８図は第
７図に示すテクスチャー装置で加工された基板のテクス
チャーパターンを示す図、第９図は１７図に示すテクス
チャー装置でテクスチャーを行った時の表面粗さの一例
を示す図、第１０図は第７図に示すテクスチャー装置で
テクスチャーを行った時の表面粗さの一例を示す図、第
１１図はテクスチャリング条件をまとめた図である。 第１図乃至ｊ１１６図において ２１は基板、 ２２は第１の研磨テープ、 ２３は第２の研磨テープ、 ２４は第１の加圧ローラ、 ２５は第２の加圧ローラである。 本発明の原理図 第 図 位来のテクスチャー装置の全体構成を説明する斜視同第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに交差するテクスチャーパターンが表面に形
   成された磁気ディスク基板。
2. （２）回転する基板に対して、研磨テープの送り方向が
   互いに交差するように複数の研磨テープを供給し、 前記研磨テープの前記基板に対する接触線 が基板の中心と交わらないように前記研磨テープをそれ
   ぞれ押圧することを特徴とするテクスチャー方法。