JPH042539B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH042539B2 JPH042539B2 JP60149226A JP14922685A JPH042539B2 JP H042539 B2 JPH042539 B2 JP H042539B2 JP 60149226 A JP60149226 A JP 60149226A JP 14922685 A JP14922685 A JP 14922685A JP H042539 B2 JPH042539 B2 JP H042539B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- titanium
- layer
- powder
- titanium nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 24
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 15
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 12
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- FFRBMBIXVSCUFS-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitro-1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=C([N+]([O-])=O)C=C([N+]([O-])=O)C2=C1 FFRBMBIXVSCUFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N azanylidyneniobium Chemical compound [Nb]#N CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 hafnium nitride Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
<産業上の利用分野>
本発明は表面層が窒化チタンで内部が酸窒化チ
タンよりなる焼結体に関する。 <従来技術およびその問題点> IVa族、Va族金属の窒化物、即ち、窒化チタ
ン、窒化ジルコニウム、窒化ハフニウム、窒化ニ
オブ等は耐熱性、耐食性に優れた高硬度化合物
で、美麗な黄金光沢を有する。さらに、これらの
化合物は導電性を有するため、ほこり等が付着し
にくい。それゆえ、フイルムや磁気テープの巻き
取りのガイド部材や、合成繊維やフイルム等を製
造する際のガイド部材として極めて優れた特性を
有し、また装飾用としても有用である。 これらの化合物のなかでも、窒化チタンは低比
重であり、比較的安価であるため最も一般的に使
用されている。 窒化チタンの焼結体は、従来、二酸化チタンと
炭素材料を混合した粉末を窒素雰囲気中で還元窒
化することによつて、窒化チタン粉末を得、該粉
末を圧縮成形し、真空中またはアルゴン等の不活
性雰囲気中において1700℃以上の高温で焼結して
製造している。しかし、前記方法で得られる窒化
チタン粉末は粒度が粗く、焼結に長時間を要し、
しかも緻密な焼結体を得ることができない。緻密
な焼結体を得ようとして、より高温で焼結を行な
うと、脱窒を起す。 それゆえ、他の化合物の焼結体の表面に窒化チ
タンをコーテイングすることも行なわれている
が、母材と窒化チタンの被膜が剥離し易いという
欠点があり、さらに被膜自体の強度にも問題があ
る。 <発明の構成> 本発明は上記従来の問題点を解決するものであ
つて、本発明によれば、表面層が主に窒化チタン
であり、該表面層から内部にかけて窒素含有量が
次第に減少する一方酸素含有量が増加し、内部が
酸窒化チタンである焼結体が提供される。 本発明の焼結体は表面層が窒化チタンであり、
内部が酸窒化チタンであつて、表面の窒化チタン
層と内部の酸窒化チタン層との間には、表面から
内部に進むにつれて窒素含有量が減少する一方酸
素含有量が増加する中間層が存在する。即ち本発
明の焼結体は表面の窒化チタン層と内部の酸窒化
チタン層間に上記中間層が介在する漸次的な二重
構造を有する。表面層および内部層の窒素含有量
および酸素含有量はそれぞれ次の表の通りであ
る。
タンよりなる焼結体に関する。 <従来技術およびその問題点> IVa族、Va族金属の窒化物、即ち、窒化チタ
ン、窒化ジルコニウム、窒化ハフニウム、窒化ニ
オブ等は耐熱性、耐食性に優れた高硬度化合物
で、美麗な黄金光沢を有する。さらに、これらの
化合物は導電性を有するため、ほこり等が付着し
にくい。それゆえ、フイルムや磁気テープの巻き
取りのガイド部材や、合成繊維やフイルム等を製
造する際のガイド部材として極めて優れた特性を
有し、また装飾用としても有用である。 これらの化合物のなかでも、窒化チタンは低比
重であり、比較的安価であるため最も一般的に使
用されている。 窒化チタンの焼結体は、従来、二酸化チタンと
炭素材料を混合した粉末を窒素雰囲気中で還元窒
化することによつて、窒化チタン粉末を得、該粉
末を圧縮成形し、真空中またはアルゴン等の不活
性雰囲気中において1700℃以上の高温で焼結して
製造している。しかし、前記方法で得られる窒化
チタン粉末は粒度が粗く、焼結に長時間を要し、
しかも緻密な焼結体を得ることができない。緻密
な焼結体を得ようとして、より高温で焼結を行な
うと、脱窒を起す。 それゆえ、他の化合物の焼結体の表面に窒化チ
タンをコーテイングすることも行なわれている
が、母材と窒化チタンの被膜が剥離し易いという
欠点があり、さらに被膜自体の強度にも問題があ
る。 <発明の構成> 本発明は上記従来の問題点を解決するものであ
つて、本発明によれば、表面層が主に窒化チタン
であり、該表面層から内部にかけて窒素含有量が
次第に減少する一方酸素含有量が増加し、内部が
酸窒化チタンである焼結体が提供される。 本発明の焼結体は表面層が窒化チタンであり、
内部が酸窒化チタンであつて、表面の窒化チタン
層と内部の酸窒化チタン層との間には、表面から
内部に進むにつれて窒素含有量が減少する一方酸
素含有量が増加する中間層が存在する。即ち本発
明の焼結体は表面の窒化チタン層と内部の酸窒化
チタン層間に上記中間層が介在する漸次的な二重
構造を有する。表面層および内部層の窒素含有量
および酸素含有量はそれぞれ次の表の通りであ
る。
【表】
本発明の焼結体はこのように表面から内部にか
けて窒素含有量と酸素含有量とが徐々に変化する
組成であるため、従来のように表面に窒化チタン
をコーテイングしたものに比べて表面の窒化チタ
ン層と内部の酸窒化チタン層との結合が極めて強
固である。更に焼結体の密度も格段に大きい。因
に窒化チタン粉末を圧縮成形して焼結した従来の
焼結体はピツカーズ硬度が800〜1500Kg/mm2程度、
密度が90〜97%程度であるのに対し本発明の焼結
体はピツカース硬度および密度がそれぞれ1700〜
1850Kg/mm2、98%以上であり従来の焼結体に比べ
て緻密、かつ強固である。また従来の焼結体の導
電性は1×10-3Ωcm程度であるのに比べ本発明の
焼結体は1〜5×10-4Ωcmであり導電性もすぐれ
ている。 次に上記焼結体は、酸窒化チタン粉末を圧縮成
形し、1200〜1700℃の温度範囲において窒素ある
いはアンモニア雰囲気中で焼結することによつて
得られる。原料の酸窒化チタン粉末は二酸化チタ
ン粉末を700〜1000℃の温度範囲においてアンモ
ニアガスと反応させて得られるものが好適であ
る。アンモニア雰囲気中で二酸化チタン粉末を
700〜1000℃の温度範囲で加熱すると、二酸化チ
タンの還元と窒化が起つて酸窒化チタン粉末が得
られる。この温度範囲では焼結は殆ど起らないの
で、微細な二酸化チタン粉末を原料として使用す
ると、そのままの微細な酸窒化チタンを得ること
ができる。 酸窒化チタンの原料となる二酸化チタンは、ど
のような製法のものでもよいが、微細な酸窒化チ
タン粉末を得るためには、できるだけ微細な二酸
化チタン粉末を用いなければならない。二酸化チ
タン粉末とアンモニアの反応は700〜1000℃の温
度範囲において1時間以上行なう。700℃未満で
は反応速度が充分でなく、未反応の二酸化チタン
が多量に残留し、高強度の焼結体を得るための原
料としては不適である。また1000℃を超える温度
では粒子の結合が起り、得られる酸窒化チタン粉
末は粗大なものとなるので焼結原料としては同様
に不適である。 上記のようにして得られた酸窒化チタン粉末を
所望の形状に圧縮成形する。この時、バインダー
としてPVA、CMC、PVP等の粘結物質(糊料)
を少量添加しておく方が圧粉体の強度を高め取扱
を容易にする。プレス圧は特に限定されない。 この圧粉体をアンモニア雰囲気または窒素雰囲
気で1200〜1700℃の温度範囲で焼結する。 焼結温度を1200〜1700℃に限定する理由は、
1200℃未満では、いかに長時間焼結しても密度は
上がらず、充分な硬度を有する焼結体が得られな
い。また1700℃を超える温度で焼結しても、焼結
時間は短縮されないのみならず、脱窒素が起りは
じめ、緻密な焼結体を得ることができない。また
焼結温度に達するまでの昇温速度は500℃/hr以
下が望ましい。500℃/hrを超える速度で昇温す
ると、ひび割れを生じたり、表面の窒化チタン層
が剥離することがある。 なお、内部の酸窒化チタンの酸素量は二酸化チ
タン粉末をアンモニアと反応させる際の温度と反
応時間を調整することによつて制御できる。 更に、圧粉体をアンモニアあるいは窒素雰囲気
中で焼成する際、アンモニアあるいは窒素50vol
%未満の不活性ガスないし水素ガスを混合して表
面の窒化チタン層の厚さを制御することが出来
る。尚、酸窒化チタンの粉末を得る際、二酸化チ
タンとアンモニアとの反応が充分でないと、焼結
体の表面に二酸化チタンが残存する場合がある
が、表面層の酸素量が40%以下の場合の硬度に悪
影響を与えないので差し支えない。またこの場合
内部層にも二酸化チタンが少量残存するが殆ど影
響ない。 以上の製造方法により表面が窒化チタンで内部
が酸窒化チタンのままである焼結体が得られる。
この焼結体は微細な酸窒化チタン粉末を焼結原料
とするために短時間で緻密な焼結体を得ることが
出来る。 <実施例および比較例> 実施例 1 平均粒径0.03μの二酸化チタンを800℃の温度で
アンモニア雰囲気中において4時間反応させて得
られた粉末にPVA1%を加え造粒した粉末を1t/
cm2の圧力で30×30mmの金型を用いて8mmの厚さの
圧粉体とした。この圧粉体をアンモニア雰囲気中
で1600℃において2時間焼結したところ黄金色の
焼結体が得られた。 この焼結体の表面から0.1mmのところまでは1.7
%のTiO2が混在する窒化チタン層からなり、0.3
mmより中心部は、酸素量8.2%、窒素量16.7%チ
タン量75.1%の組成より成る層によつて形成され
ていた。また表面から0.1mm〜0.3mmの層は徐々に
酸素含有量が増加し、窒素量が減少している酸窒
化チタン層であつた。この焼結体のピツカース硬
度は1830Kg/mm2であつた。 実施例 2 実施例1と同じ圧粉体を窒素雰囲気中で1300℃
で3時間焼結し、得られた焼結体は表面から0.05
mmのところまでは4.0%のTiO2が混在する窒化チ
タン層よりなり、0.05〜0.2mmの層は徐々に酸素
含有量が増加、窒素含有量が減少し、0.2mmより
中心部は酸素量8.0%、窒素量17.0%の酸窒化チ
タン層より成つていた。この焼結体のビツカース
硬度は1790Kg/mm2であつた。色調は実施例1で得
られたものとほぼ同じであつた。 実施例 3 実施例1、2と同じ二酸化チタン粉末を900℃
の温度で3時間反応させた粉体を実施例1、2と
同じ条件で圧粉体とした。この圧粉体を窒素を
20vol%のアルゴンで希釈した雰囲気下で1500℃
において3時間焼結した。この焼結体は表面から
0.07mmのところまでは2.3%のTiO2が混在する窒
化チタン層より成り、0.07〜0.25mmの層は徐々に
酸素含有量が増加、窒素含有量が減少し、0.25mm
より中心部は酸素量8.0%窒素量17.1%の酸窒化
チタン層で形成されていた。この焼結体の色調は
実施例1、2とほぼ同じ黄金色で、ピツカース硬
度は1810Kg/mm2であつた。 比較例 平均粉末1.0μの窒化チタン粉末を実施例と同じ
条件で圧粉体とし窒素雰囲気中で1700℃で4時間
焼結した。得られた焼結体の色調は暗い赤色でピ
ツカース硬度は900Kg/mm2であつた。
けて窒素含有量と酸素含有量とが徐々に変化する
組成であるため、従来のように表面に窒化チタン
をコーテイングしたものに比べて表面の窒化チタ
ン層と内部の酸窒化チタン層との結合が極めて強
固である。更に焼結体の密度も格段に大きい。因
に窒化チタン粉末を圧縮成形して焼結した従来の
焼結体はピツカーズ硬度が800〜1500Kg/mm2程度、
密度が90〜97%程度であるのに対し本発明の焼結
体はピツカース硬度および密度がそれぞれ1700〜
1850Kg/mm2、98%以上であり従来の焼結体に比べ
て緻密、かつ強固である。また従来の焼結体の導
電性は1×10-3Ωcm程度であるのに比べ本発明の
焼結体は1〜5×10-4Ωcmであり導電性もすぐれ
ている。 次に上記焼結体は、酸窒化チタン粉末を圧縮成
形し、1200〜1700℃の温度範囲において窒素ある
いはアンモニア雰囲気中で焼結することによつて
得られる。原料の酸窒化チタン粉末は二酸化チタ
ン粉末を700〜1000℃の温度範囲においてアンモ
ニアガスと反応させて得られるものが好適であ
る。アンモニア雰囲気中で二酸化チタン粉末を
700〜1000℃の温度範囲で加熱すると、二酸化チ
タンの還元と窒化が起つて酸窒化チタン粉末が得
られる。この温度範囲では焼結は殆ど起らないの
で、微細な二酸化チタン粉末を原料として使用す
ると、そのままの微細な酸窒化チタンを得ること
ができる。 酸窒化チタンの原料となる二酸化チタンは、ど
のような製法のものでもよいが、微細な酸窒化チ
タン粉末を得るためには、できるだけ微細な二酸
化チタン粉末を用いなければならない。二酸化チ
タン粉末とアンモニアの反応は700〜1000℃の温
度範囲において1時間以上行なう。700℃未満で
は反応速度が充分でなく、未反応の二酸化チタン
が多量に残留し、高強度の焼結体を得るための原
料としては不適である。また1000℃を超える温度
では粒子の結合が起り、得られる酸窒化チタン粉
末は粗大なものとなるので焼結原料としては同様
に不適である。 上記のようにして得られた酸窒化チタン粉末を
所望の形状に圧縮成形する。この時、バインダー
としてPVA、CMC、PVP等の粘結物質(糊料)
を少量添加しておく方が圧粉体の強度を高め取扱
を容易にする。プレス圧は特に限定されない。 この圧粉体をアンモニア雰囲気または窒素雰囲
気で1200〜1700℃の温度範囲で焼結する。 焼結温度を1200〜1700℃に限定する理由は、
1200℃未満では、いかに長時間焼結しても密度は
上がらず、充分な硬度を有する焼結体が得られな
い。また1700℃を超える温度で焼結しても、焼結
時間は短縮されないのみならず、脱窒素が起りは
じめ、緻密な焼結体を得ることができない。また
焼結温度に達するまでの昇温速度は500℃/hr以
下が望ましい。500℃/hrを超える速度で昇温す
ると、ひび割れを生じたり、表面の窒化チタン層
が剥離することがある。 なお、内部の酸窒化チタンの酸素量は二酸化チ
タン粉末をアンモニアと反応させる際の温度と反
応時間を調整することによつて制御できる。 更に、圧粉体をアンモニアあるいは窒素雰囲気
中で焼成する際、アンモニアあるいは窒素50vol
%未満の不活性ガスないし水素ガスを混合して表
面の窒化チタン層の厚さを制御することが出来
る。尚、酸窒化チタンの粉末を得る際、二酸化チ
タンとアンモニアとの反応が充分でないと、焼結
体の表面に二酸化チタンが残存する場合がある
が、表面層の酸素量が40%以下の場合の硬度に悪
影響を与えないので差し支えない。またこの場合
内部層にも二酸化チタンが少量残存するが殆ど影
響ない。 以上の製造方法により表面が窒化チタンで内部
が酸窒化チタンのままである焼結体が得られる。
この焼結体は微細な酸窒化チタン粉末を焼結原料
とするために短時間で緻密な焼結体を得ることが
出来る。 <実施例および比較例> 実施例 1 平均粒径0.03μの二酸化チタンを800℃の温度で
アンモニア雰囲気中において4時間反応させて得
られた粉末にPVA1%を加え造粒した粉末を1t/
cm2の圧力で30×30mmの金型を用いて8mmの厚さの
圧粉体とした。この圧粉体をアンモニア雰囲気中
で1600℃において2時間焼結したところ黄金色の
焼結体が得られた。 この焼結体の表面から0.1mmのところまでは1.7
%のTiO2が混在する窒化チタン層からなり、0.3
mmより中心部は、酸素量8.2%、窒素量16.7%チ
タン量75.1%の組成より成る層によつて形成され
ていた。また表面から0.1mm〜0.3mmの層は徐々に
酸素含有量が増加し、窒素量が減少している酸窒
化チタン層であつた。この焼結体のピツカース硬
度は1830Kg/mm2であつた。 実施例 2 実施例1と同じ圧粉体を窒素雰囲気中で1300℃
で3時間焼結し、得られた焼結体は表面から0.05
mmのところまでは4.0%のTiO2が混在する窒化チ
タン層よりなり、0.05〜0.2mmの層は徐々に酸素
含有量が増加、窒素含有量が減少し、0.2mmより
中心部は酸素量8.0%、窒素量17.0%の酸窒化チ
タン層より成つていた。この焼結体のビツカース
硬度は1790Kg/mm2であつた。色調は実施例1で得
られたものとほぼ同じであつた。 実施例 3 実施例1、2と同じ二酸化チタン粉末を900℃
の温度で3時間反応させた粉体を実施例1、2と
同じ条件で圧粉体とした。この圧粉体を窒素を
20vol%のアルゴンで希釈した雰囲気下で1500℃
において3時間焼結した。この焼結体は表面から
0.07mmのところまでは2.3%のTiO2が混在する窒
化チタン層より成り、0.07〜0.25mmの層は徐々に
酸素含有量が増加、窒素含有量が減少し、0.25mm
より中心部は酸素量8.0%窒素量17.1%の酸窒化
チタン層で形成されていた。この焼結体の色調は
実施例1、2とほぼ同じ黄金色で、ピツカース硬
度は1810Kg/mm2であつた。 比較例 平均粉末1.0μの窒化チタン粉末を実施例と同じ
条件で圧粉体とし窒素雰囲気中で1700℃で4時間
焼結した。得られた焼結体の色調は暗い赤色でピ
ツカース硬度は900Kg/mm2であつた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 表面層が主に窒化チタンであり、該表面層か
ら内部にかけて窒素含有量が次第に減少する一方
酸素含有量が増加し、内部が酸窒化チタンである
表面が窒化チタンで内部が酸窒化チタンからなる
焼結体。 2 表面層の窒素含有量が21重量%以上であり、
内部の酸素含有量が2〜25重量%、窒素含有量10
〜21重量%である特許請求の範囲第1項の焼結
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60149226A JPS6212669A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 表面が窒化チタンで内部が酸窒化チタンからなる焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60149226A JPS6212669A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 表面が窒化チタンで内部が酸窒化チタンからなる焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6212669A JPS6212669A (ja) | 1987-01-21 |
| JPH042539B2 true JPH042539B2 (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=15470619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60149226A Granted JPS6212669A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 表面が窒化チタンで内部が酸窒化チタンからなる焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6212669A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5415194B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2014-02-12 | 東芝ホクト電子株式会社 | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-07-09 JP JP60149226A patent/JPS6212669A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6212669A (ja) | 1987-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4351787A (en) | Process for sintering reaction bonded silicon nitride | |
| JPS6152108B2 (ja) | ||
| US5200373A (en) | High strength composite ceramic structure and process for producing the same | |
| JPH042539B2 (ja) | ||
| JPS6357390B2 (ja) | ||
| JPS6341870B2 (ja) | ||
| KR20010003819A (ko) | 세라믹스-알루미늄 복합체 및 그 제조방법 | |
| JPS6041634B2 (ja) | 高密度窒化珪素反応焼結体の製造方法 | |
| JP2001507667A (ja) | 成形用組成物および金属様外観を示すセラミック成形体の製法 | |
| JPH08730B2 (ja) | 炭窒化チタン質焼結体及びその製造方法 | |
| JPS61143686A (ja) | 寸法精度の優れた耐熱性治具用炭化珪素質焼結体 | |
| JP3735397B2 (ja) | 窒化チタン焼結体及びその製造方法 | |
| JPS62123070A (ja) | 窒化ボロン系焼結体の製造方法 | |
| JP2004091243A5 (ja) | ||
| JPH01145380A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製法 | |
| JPS60255673A (ja) | 酸窒化チタン焼結体の製造方法 | |
| KR100278013B1 (ko) | 고강도 질화규소 결합 탄화규소질 내화재료의 제조방법 | |
| JPH0568428B2 (ja) | ||
| KR910002077B1 (ko) | Si_3N_4- Al_2O_3 복합소결체 및 그 제조방법 | |
| JPS59207877A (ja) | 高密度な窒化珪素反応焼結体の製造法 | |
| JPH0478584B2 (ja) | ||
| JP2631109B2 (ja) | 窒化珪素質複合焼結体の製造方法 | |
| JPH07206526A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH02157163A (ja) | 窒化珪素複合焼結体の製造方法 | |
| JPS6311575A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造法 |