JPH04255659A - 電子衝撃型イオン源 - Google Patents
電子衝撃型イオン源Info
- Publication number
- JPH04255659A JPH04255659A JP3017326A JP1732691A JPH04255659A JP H04255659 A JPH04255659 A JP H04255659A JP 3017326 A JP3017326 A JP 3017326A JP 1732691 A JP1732691 A JP 1732691A JP H04255659 A JPH04255659 A JP H04255659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- sample gas
- electron impact
- introduction tube
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフィ
質量分析計などに装備される電子衝撃型イオン源に関す
る。
質量分析計などに装備される電子衝撃型イオン源に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスクロマトグラフィ質量分析
計では、ガスクロマトグラフで成分分離された試料ガス
をイオン源でイオン化した後、質量分析部に導入してイ
オンを質量分離し、試料の定性、定量分析を行う。
計では、ガスクロマトグラフで成分分離された試料ガス
をイオン源でイオン化した後、質量分析部に導入してイ
オンを質量分離し、試料の定性、定量分析を行う。
【０００３】このような試料ガスのイオン化には、試料
ガスを熱電子により直接的に衝撃してイオン化する電子
衝撃型のイオン源が使用される場合がある。
ガスを熱電子により直接的に衝撃してイオン化する電子
衝撃型のイオン源が使用される場合がある。
【０００４】図３は、従来の電子衝撃型のイオン源の構
成を示すもので、同図において、１イオン源ボックスで
あり、図示省略した真空室内に配置されている。このイ
オン源ボックス１には、試料ガスの導入管２’が挿通さ
れるとともに、この導入管２’の挿通方向と略直交する
方向に熱電子の入射孔４と出射孔６とがそれぞれ形成さ
れる一方、イオン源ボックス１の外方の両孔４，６を結
ぶ直線上の位置には熱電子発生用のフィラメント８と、
イオン化に寄与する熱電子電流をモニタするためのトラ
ップ電極１０とが対向配置されている。なお、１２はイ
オン源ボックスに設けられたイオン出射孔である。
成を示すもので、同図において、１イオン源ボックスで
あり、図示省略した真空室内に配置されている。このイ
オン源ボックス１には、試料ガスの導入管２’が挿通さ
れるとともに、この導入管２’の挿通方向と略直交する
方向に熱電子の入射孔４と出射孔６とがそれぞれ形成さ
れる一方、イオン源ボックス１の外方の両孔４，６を結
ぶ直線上の位置には熱電子発生用のフィラメント８と、
イオン化に寄与する熱電子電流をモニタするためのトラ
ップ電極１０とが対向配置されている。なお、１２はイ
オン源ボックスに設けられたイオン出射孔である。
【０００５】この構成において、試料ガスが導入管２’
からイオン源ボックス１内に導入されると、この試料ガ
スは、フィラメント８から放射される熱電子により衝撃
されてイオン化され、このイオンはイオン出射孔１２を
通過してイオン源ボックス１の外部に出射され、図示省
略した収束レンズによりイオンビームに収束されて後段
の質量分析部に供給される。
からイオン源ボックス１内に導入されると、この試料ガ
スは、フィラメント８から放射される熱電子により衝撃
されてイオン化され、このイオンはイオン出射孔１２を
通過してイオン源ボックス１の外部に出射され、図示省
略した収束レンズによりイオンビームに収束されて後段
の質量分析部に供給される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の上記
構成の電子衝撃型イオン源においては、試料ガスの導入
管２’の先端部２ａ’は直管形で、しかも、イオン源ボ
ックス１の内壁面までしか挿通されていない。
構成の電子衝撃型イオン源においては、試料ガスの導入
管２’の先端部２ａ’は直管形で、しかも、イオン源ボ
ックス１の内壁面までしか挿通されていない。
【０００７】そのため、イオン源ボックス１内に放出さ
れた試料ガスは、短時間の内にほぼ均一に拡散する。こ
れに対して、フィラメント８から放出される熱電子の通
過領域は、熱電子の入射孔４と出射孔６とを結ぶ直線上
にほぼ集中している。したがって、従来のものでは、熱
電子によりイオン化される領域に存在する試料ガス濃度
が相対的に低くなり、イオン化効率が悪いという問題が
ある。
れた試料ガスは、短時間の内にほぼ均一に拡散する。こ
れに対して、フィラメント８から放出される熱電子の通
過領域は、熱電子の入射孔４と出射孔６とを結ぶ直線上
にほぼ集中している。したがって、従来のものでは、熱
電子によりイオン化される領域に存在する試料ガス濃度
が相対的に低くなり、イオン化効率が悪いという問題が
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、イオン源ボッ
クス内において、フィラメントからの熱電子が通過する
領域に存在する試料ガス濃度を積極的に高めることによ
り、イオン化効率を向上させるものである。
を解決するためになされたものであって、イオン源ボッ
クス内において、フィラメントからの熱電子が通過する
領域に存在する試料ガス濃度を積極的に高めることによ
り、イオン化効率を向上させるものである。
【０００９】そのため、本発明の電子衝撃型イオン源で
は、試料ガスの導入管の先端部を熱電子の入射孔と出射
孔とを結ぶ位置近くまで突出させるとともに、その先端
部の形状を、両孔を結ぶ方向にラッパ状に開口させてい
る。
は、試料ガスの導入管の先端部を熱電子の入射孔と出射
孔とを結ぶ位置近くまで突出させるとともに、その先端
部の形状を、両孔を結ぶ方向にラッパ状に開口させてい
る。
【００１０】
【作用】上記構成において、イオン源ボックス内の試料
ガスは、このボックス内で直ちに拡散するのではなくて
、導入管の先端部の形状に沿って拡散していく。この拡
散方向は、フィラメントからの熱電子が通過する方向と
同じであり、しかも、この熱電子の通過領域の直前で、
導入管から試料ガスが放出されるために、その領域の濃
度が高くなり、効率良くイオン化されることになる。
ガスは、このボックス内で直ちに拡散するのではなくて
、導入管の先端部の形状に沿って拡散していく。この拡
散方向は、フィラメントからの熱電子が通過する方向と
同じであり、しかも、この熱電子の通過領域の直前で、
導入管から試料ガスが放出されるために、その領域の濃
度が高くなり、効率良くイオン化されることになる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の実施例に係る電子衝撃型イオ
ン源の断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
り、図３に示した従来例に対応する部分には、同一の符
号を付す。
ン源の断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であ
り、図３に示した従来例に対応する部分には、同一の符
号を付す。
【００１２】図１および図２において、１はイオン源ボ
ックス、２は試料ガスの導入管、４，６は熱電子の入射
孔と出射孔、８はフィラメント、１０はトラップ電極、
１２はイオン出射孔であり、これらの構成は、図３に示
した従来例の場合と同様である。
ックス、２は試料ガスの導入管、４，６は熱電子の入射
孔と出射孔、８はフィラメント、１０はトラップ電極、
１２はイオン出射孔であり、これらの構成は、図３に示
した従来例の場合と同様である。
【００１３】この実施例の特徴は、試料ガスの導入管２
の先端部２ａを熱電子の入射孔４と出射孔６とを結ぶ位
置近くまで突出させるとともに、導入管２の先端部２ａ
の形状を、両孔４，６を結ぶ方向にラッパ状に開口させ
ていることである。
の先端部２ａを熱電子の入射孔４と出射孔６とを結ぶ位
置近くまで突出させるとともに、導入管２の先端部２ａ
の形状を、両孔４，６を結ぶ方向にラッパ状に開口させ
ていることである。
【００１４】なお、１４はイオン出射孔１２を通過した
イオンを収束する収束レンズである。
イオンを収束する収束レンズである。
【００１５】上記構成において、導入管２に導かれた試
料ガスは、イオン源ボックス１内で直ちに拡散するので
はなくて、導入管２の先端部２ａの形状に沿って次第に
拡散していく。この拡散方向は、フィラメント８からの
熱電子が通過する方向（図の上下方向）と同じであり、
しかも、熱電子の通過領域の直前で、導入管２から試料
ガスが放出されるために、熱電子の通過領域での試料ガ
ス濃度が高くなり、効率良くイオン化されることになる
。
料ガスは、イオン源ボックス１内で直ちに拡散するので
はなくて、導入管２の先端部２ａの形状に沿って次第に
拡散していく。この拡散方向は、フィラメント８からの
熱電子が通過する方向（図の上下方向）と同じであり、
しかも、熱電子の通過領域の直前で、導入管２から試料
ガスが放出されるために、熱電子の通過領域での試料ガ
ス濃度が高くなり、効率良くイオン化されることになる
。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、イオン源ボックス内に
おいて、フィラメントからの熱電子が通過する領域に存
在する試料ガス濃度が高くなるので、イオン化効率が向
上し、精度良い分析結果が得られようになる。
おいて、フィラメントからの熱電子が通過する領域に存
在する試料ガス濃度が高くなるので、イオン化効率が向
上し、精度良い分析結果が得られようになる。
【図１】本発明の実施例に係る電子衝撃型イオン源の断
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】従来の電子衝撃型イオン源の断面図である。
１ イオン源ボックス
２ 導入管
２ａ 導入管の先端部
４ 熱電子の入射孔
６ 熱電子の出射孔
８ フィラメント
Claims (1)
- 【請求項１】 イオン源ボックス（１）を有し、この
イオン源ボックス（１）には、試料ガスの導入管（２）
が挿通されるとともに、この導入管（２）の挿通方向と
略直交する方向に熱電子の入射孔（４）と出射孔（６）
とがそれぞれ形成される一方、イオン源ボックス（１）
の外方の前記両孔（４），（６）を結ぶ直線上の位置に
は熱電子発生用のフィラメント（８）が配置されている
電子衝撃型イオン源において、前記導入管（２）の先端
部（２ａ）を前記両孔（４），（６）を結ぶ位置近くま
で突出させるとともに、その先端部（２ａ）の形状を、
前記両孔（４），（６）を結ぶ方向にラッパ状に開口さ
せたことを特徴とする電子衝撃型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017326A JPH04255659A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電子衝撃型イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017326A JPH04255659A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電子衝撃型イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04255659A true JPH04255659A (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=11940924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3017326A Pending JPH04255659A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 電子衝撃型イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04255659A (ja) |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP3017326A patent/JPH04255659A/ja active Pending
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