JPH0425706Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425706Y2 JPH0425706Y2 JP17021088U JP17021088U JPH0425706Y2 JP H0425706 Y2 JPH0425706 Y2 JP H0425706Y2 JP 17021088 U JP17021088 U JP 17021088U JP 17021088 U JP17021088 U JP 17021088U JP H0425706 Y2 JPH0425706 Y2 JP H0425706Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- cleaning
- vacuum chuck
- developed
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 101100327917 Caenorhabditis elegans chup-1 gene Proteins 0.000 description 4
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はデイツプ現像用装置のカツプ内面洗浄
装置に関する。
装置に関する。
（従来の技術）
従来のデイツプ現像用装置は第１図Ａ（斜視
図）、Ｂ（同Ｘ−Ｘ断面図）に示す通りであつて、
カツプ１の内底面２の周側壁近くに適当間隔で複
数の薬液供給口３が設けてあり、これから現像用
薬液４を流入させカツプ１内にセツトされたマス
ク又はウエハー（以下、被現像物と言う）５の現
像処理を行わしめ、処理後は第２図に示す如く廃
液バルブ６を開放すると共に、カツプ内中央部附
近に形成した山状体ｍ及びカツプ周壁上面部ｎの
適当間隔位置に設けたノズル７，８から洗浄液を
噴出させてカツプ内底面２の洗浄をすることが行
われている。なお、図面で９はバキユームチヤツ
ク、１０はスピンドルチヤツクである。
図）、Ｂ（同Ｘ−Ｘ断面図）に示す通りであつて、
カツプ１の内底面２の周側壁近くに適当間隔で複
数の薬液供給口３が設けてあり、これから現像用
薬液４を流入させカツプ１内にセツトされたマス
ク又はウエハー（以下、被現像物と言う）５の現
像処理を行わしめ、処理後は第２図に示す如く廃
液バルブ６を開放すると共に、カツプ内中央部附
近に形成した山状体ｍ及びカツプ周壁上面部ｎの
適当間隔位置に設けたノズル７，８から洗浄液を
噴出させてカツプ内底面２の洗浄をすることが行
われている。なお、図面で９はバキユームチヤツ
ク、１０はスピンドルチヤツクである。
（考案が解決しようとする課題）
上記、従来のものに於いて現像処理後、カツプ
内底面２の全周を洗滌するには、ノズル７及び８
が固定されていることから、各ノズルから噴出す
る洗浄液の当らない部分や、当りの弱い部分に於
て現像時に発生する残留物等が完全に除去され
ず、従つて繰り返し作動させるに伴つてデイツプ
現像液中の不純物の濃度を高め、被現像物のパタ
ーンに悪影響を及ぼしていた。また、現像液排出
時にその流速によつて不純物を流そうとするた
め、傾斜底面ｏの傾斜角θが勢い大きくなつてし
まい、一回のデイツプ現像に使用する液量が多く
なると言う問題があつた。
内底面２の全周を洗滌するには、ノズル７及び８
が固定されていることから、各ノズルから噴出す
る洗浄液の当らない部分や、当りの弱い部分に於
て現像時に発生する残留物等が完全に除去され
ず、従つて繰り返し作動させるに伴つてデイツプ
現像液中の不純物の濃度を高め、被現像物のパタ
ーンに悪影響を及ぼしていた。また、現像液排出
時にその流速によつて不純物を流そうとするた
め、傾斜底面ｏの傾斜角θが勢い大きくなつてし
まい、一回のデイツプ現像に使用する液量が多く
なると言う問題があつた。
（課題を解決するための手段）
本考案は上記課題を解決せんとするものであつ
て、その特徴とするところは洗浄にさいし被現物
をスピンドルチヤツクに吸着させた状態で回転さ
せながら被現像物と内底面との間の微少な空間内
で洗浄液を噴出させ、傾斜角θを大ならしめない
で効果的な処理が行われるようになしたものであ
る。
て、その特徴とするところは洗浄にさいし被現物
をスピンドルチヤツクに吸着させた状態で回転さ
せながら被現像物と内底面との間の微少な空間内
で洗浄液を噴出させ、傾斜角θを大ならしめない
で効果的な処理が行われるようになしたものであ
る。
本考案は以下の実施例によつて具体的に説明さ
れる。
れる。
（実施例）
第３図は本考案装置の部分断面図であつて１が
カツプ、２がカツプ１の内底面、３が薬液供給
口、４が現像用薬液、５が被現像物、６が廃液バ
ルブ、９がバキユームチヤツク、１０がスピンド
ルチヤツクであることは第１図の従来例のものと
変りがないが、本考案装置では山状体ｍから内底
面２に向う傾斜角θを非常に緩やかな傾斜角θに
形成すると共に、従来に於けるノズル７及８を省
略してバキユームチヤツク９の途中導管に対し洗
浄液導管１１を接続させる。しかしてバキユーム
チヤツク９を洗浄ズル１２と兼用するようになさ
しめるのである。
カツプ、２がカツプ１の内底面、３が薬液供給
口、４が現像用薬液、５が被現像物、６が廃液バ
ルブ、９がバキユームチヤツク、１０がスピンド
ルチヤツクであることは第１図の従来例のものと
変りがないが、本考案装置では山状体ｍから内底
面２に向う傾斜角θを非常に緩やかな傾斜角θに
形成すると共に、従来に於けるノズル７及８を省
略してバキユームチヤツク９の途中導管に対し洗
浄液導管１１を接続させる。しかしてバキユーム
チヤツク９を洗浄ズル１２と兼用するようになさ
しめるのである。
（作用）
本考案装置は状態構成であつて被現像物５のカ
ツプ１内でのデイツプ現像が終了し、次にカツプ
内を洗浄せんとする場合には第４図に示す如く廃
液バルブ６を開放するが、このさいスピンドルチ
ヤツク１０で被現像物５を吸着させ、被現像物を
バキユームチヤツク９から外すと共に、スピンド
ルチヤツク１０を回転させながら微少な隙間ΔX
に位置させる。
ツプ１内でのデイツプ現像が終了し、次にカツプ
内を洗浄せんとする場合には第４図に示す如く廃
液バルブ６を開放するが、このさいスピンドルチ
ヤツク１０で被現像物５を吸着させ、被現像物を
バキユームチヤツク９から外すと共に、スピンド
ルチヤツク１０を回転させながら微少な隙間ΔX
に位置させる。
ところで、噴出する洗浄液は被現像物の回転に
より、その粘性から回転しながらカツプ全周に広
がり、現像残留物を洗浄しながら、その遠心力で
カツプ外周へ排出される。また、この時マスク又
はウエハーなどの被現像物の裏面洗浄も同時に行
われるものとなる。
より、その粘性から回転しながらカツプ全周に広
がり、現像残留物を洗浄しながら、その遠心力で
カツプ外周へ排出される。また、この時マスク又
はウエハーなどの被現像物の裏面洗浄も同時に行
われるものとなる。
（考案の効果）
本考案は以上の如く構成せしめるものであつ
て、本考案によればカツプ内底面に対する傾斜角
θを非常に緩やかな傾斜角θ（可及的に0°に近づ
けることができる）となしても何ら差支えなく洗
浄作用の行えるものとなるのであり、且つ現像時
に使用する現像液量を大巾に縮小して効率化を図
ることのできるものである。
て、本考案によればカツプ内底面に対する傾斜角
θを非常に緩やかな傾斜角θ（可及的に0°に近づ
けることができる）となしても何ら差支えなく洗
浄作用の行えるものとなるのであり、且つ現像時
に使用する現像液量を大巾に縮小して効率化を図
ることのできるものである。
また上記構成では現像液の温度条件などのコン
トロールも極めて容易であり、更らに該微少空間
内では洗浄液に回転が付与されて跳ね返ることゝ
相俟つて、傾斜角θの非常に少ないものでも有効
的な洗浄作用が短時間内に遂行できるものとなる
のである。
トロールも極めて容易であり、更らに該微少空間
内では洗浄液に回転が付与されて跳ね返ることゝ
相俟つて、傾斜角θの非常に少ないものでも有効
的な洗浄作用が短時間内に遂行できるものとなる
のである。
第１図は従来装置を示すものでＡは斜視図、Ｂ
は同Ｘ−Ｘ線断面図、第２図はその洗浄作用説明
図、第３図は本考案装置の部分断面図、第４図は
その作用説明図である。 １……カツプ、２……内底面、３……薬液供給
口、４……現像用薬液、５……被現像物、６……
廃液バルブ、９……バキユームチヤツク、１０…
…スピンドルチヤツク、１１……洗浄液導管。
は同Ｘ−Ｘ線断面図、第２図はその洗浄作用説明
図、第３図は本考案装置の部分断面図、第４図は
その作用説明図である。 １……カツプ、２……内底面、３……薬液供給
口、４……現像用薬液、５……被現像物、６……
廃液バルブ、９……バキユームチヤツク、１０…
…スピンドルチヤツク、１１……洗浄液導管。
Claims (1)
- カツプ内中央部附近に山状体を形成し、該山状
体に被現像物を吸着保持するバキユームチヤツク
を取付けしめたデイツプ現像用装置に於いて、バ
キユームチヤツクの導管途中に洗浄液導管を連結
してバキユームチヤツクを洗浄ノズルに兼用可能
となさしめると共に、該位置からカツプ内定面に
向う下降傾斜角θが比較的小となるように構成し
たことを特徴とするデイツプ現像用装置のカツプ
内面洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021088U JPH0425706Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021088U JPH0425706Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290846U JPH0290846U (ja) | 1990-07-18 |
| JPH0425706Y2 true JPH0425706Y2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=31460958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17021088U Expired JPH0425706Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425706Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-30 JP JP17021088U patent/JPH0425706Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0290846U (ja) | 1990-07-18 |
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