JPH0425857U - - Google Patents
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- JPH0425857U JPH0425857U JP11028690U JP11028690U JPH0425857U JP H0425857 U JPH0425857 U JP H0425857U JP 11028690 U JP11028690 U JP 11028690U JP 11028690 U JP11028690 U JP 11028690U JP H0425857 U JPH0425857 U JP H0425857U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- external power
- rod
- filament
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、本考案の位置実施例を示す摸式図、
第２図は、他の構成例を示す摸式図、第３図は、
更に他の構成例を示す摸式図、第４図は、従来の
装置を示す摸式図である。 尚、図中１はチヤンバ、２，３は棒状電極、４
は外部電源、５，５ａ，５ｂ，５ｃはフイラメン
ト、６は基板、７は供給電極である。
第２図は、他の構成例を示す摸式図、第３図は、
更に他の構成例を示す摸式図、第４図は、従来の
装置を示す摸式図である。 尚、図中１はチヤンバ、２，３は棒状電極、４
は外部電源、５，５ａ，５ｂ，５ｃはフイラメン
ト、６は基板、７は供給電極である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) チヤンバ内に配置した一対の棒状電極間に
複数のフイラメントを並設し、該電極間を外部電
源にて電圧印加して各フイラメントを加熱すると
ともに、該フイラメントにセツトした蒸着材料を
蒸発させ、該チヤンバ内の基板に蒸着させる抵抗
加熱成膜装置において、 前記各棒状電極の略中央を前記外部電源に接続
させて各フイラメントに電圧印加することを特徴
とする抵抗加熱成膜装置。 (2) チヤンバ内に配置した一対の棒状電極間に
複数のフイラメントを並設し、該電極間を外部電
源にて電圧印加して各フイラメントを加熱すると
ともに、該フイラメントにセツトした蒸着材料を
蒸発させ、該チヤンバ内の基板に蒸着させる抵抗
加熱成膜装置において、 前記一方の棒状電極における前記外部電源より
遠い一端を、又他方の棒状電極における同外部電
源に近い一端を、夫々該外部電源に接続させたこ
とを特徴とする抵抗加熱成膜装置。 (3) チヤンバ内に配置した一対の棒状電極間に
複数のフイラメントを並設し、該電極間を外部電
源にて電圧印加して各フイラメントを加熱すると
ともに、該フイラメントにセツトした蒸着材料を
蒸発させ、該チヤンバ内の基板に蒸着させる抵抗
加熱成膜装置において、 前記棒状電極のうち一方の棒状電極の、外部電
源から最も近い位置にある一端と外部電源とを接
続し、 他方の棒状電極の、前記外部電源から最も遠い
位置にある一端と供給電極の一端とを接続すると
ともに該供給電極の他端と前記外部電源とを接続
したことを特徴とする抵抗加熱成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11028690U JPH0425857U (ja) | 1989-12-01 | 1990-10-22 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14010689 | 1989-12-01 | ||
| JP11028690U JPH0425857U (ja) | 1989-12-01 | 1990-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425857U true JPH0425857U (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=31890333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11028690U Pending JPH0425857U (ja) | 1989-12-01 | 1990-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425857U (ja) |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP11028690U patent/JPH0425857U/ja active Pending
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