JPH0426526U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0426526U JPH0426526U JP6674490U JP6674490U JPH0426526U JP H0426526 U JPH0426526 U JP H0426526U JP 6674490 U JP6674490 U JP 6674490U JP 6674490 U JP6674490 U JP 6674490U JP H0426526 U JPH0426526 U JP H0426526U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing chamber
- passage space
- rotating
- wafer
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Description
第１図ａ，ｂはそれぞれこの考案一実施例の縦
縦断面図および横断面図、第２図は従来の装置の
縦断面図である。 １……処理室、２……上蓋、２ａ……ひさし、
２ｂ……通路空間、２ｃ……スリツト、２ｄ……
排出口、２ｅ……側路、３……下蓋、４……ウエ
ハ、５……回転載置台、６……供液パイプ。
縦断面図および横断面図、第２図は従来の装置の
縦断面図である。 １……処理室、２……上蓋、２ａ……ひさし、
２ｂ……通路空間、２ｃ……スリツト、２ｄ……
排出口、２ｅ……側路、３……下蓋、４……ウエ
ハ、５……回転載置台、６……供液パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上蓋と下蓋で形成される処理室と、前記上蓋と
下蓋の少なくとも一方を上下させて前記処理室を
開放もしくは密封する上下手段と、前記処理室内
に設けられてウエハ等を載置保持する回転載置台
と、この回転載置台を回転させる回転手段と、前
記回転載置台に載置されたウエハ等の上に所用の
処理液を滴下する処理液供給手段と、処理室の開
放時にウエハ等を移送する搬送手段とを備えたウ
エハ等の現像・洗浄装置において、 前記上蓋はその下部壁内に周縁を囲繞して設け
られる通路空間と、この通路空間に沿つて設けら
れる通路空間から上記処理室へ通ずるスリツトと
、上記通路空間に通じる少なくとも一つの排出口
とを外側に有し、かつこの排出口に接続され前記
処理室内を吸引するバキユーム手段とを具備した
ことを特徴とするウエハ等の現像・洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6674490U JPH0537470Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6674490U JPH0537470Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426526U true JPH0426526U (ja) | 1992-03-03 |
| JPH0537470Y2 JPH0537470Y2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=31599712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6674490U Expired - Lifetime JPH0537470Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0537470Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP6674490U patent/JPH0537470Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537470Y2 (ja) | 1993-09-22 |
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