JPH0426528U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426528U JPH0426528U JP6764290U JP6764290U JPH0426528U JP H0426528 U JPH0426528 U JP H0426528U JP 6764290 U JP6764290 U JP 6764290U JP 6764290 U JP6764290 U JP 6764290U JP H0426528 U JPH0426528 U JP H0426528U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- heater
- reactor
- cylindrical
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例に係る薄膜気相成長装
置のサセプタ近傍の縦断面図。第２図は本考案者
が以前に製作した薄膜気相成長装置のサセプタ近
傍の縦断面図。第３図は第１図中の−断面図
。 １……ウエハ、２……ホルダ、３……サセプタ
、４……ヒータ、５……回転シヤフト、６……ヒ
ータ電極、７……リアクター、８……下面リフレ
クタ、９……側面リフレクタ、１０……冷却水ジ
ヤケツト。
置のサセプタ近傍の縦断面図。第２図は本考案者
が以前に製作した薄膜気相成長装置のサセプタ近
傍の縦断面図。第３図は第１図中の−断面図
。 １……ウエハ、２……ホルダ、３……サセプタ
、４……ヒータ、５……回転シヤフト、６……ヒ
ータ電極、７……リアクター、８……下面リフレ
クタ、９……側面リフレクタ、１０……冷却水ジ
ヤケツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 縦長円筒形状で原料ガス入口と排ガス出口
を有し真空に引くことのできるリアクターと、リ
アクターの内部に回転可能に設けられる円筒状の
サセプタと、サセプタを保持し鉛直線回りに回転
できる回転シヤフトと、ウエハを上面に保持しサ
セプタの上に置かれるカーボン製のホルダと、サ
セプタの内部で水平に固定されホルダとウエハを
加熱するための抵抗加熱ヒータと、抵抗加熱ヒー
タの下に水平方向に固定されヒータの輻射熱を反
射するための下面リフレクタとよりなり、サセプ
タが石英製であることを特徴とする薄膜気相成長
装置。 (2) 固定されたヒータと回転するサセプタの間
の円筒状空間にヒータの輻射熱を反射するために
円筒状の側面リフレクタを固定して設けたことを
特徴とする請求項(1)記載の薄膜気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067642U JP2514677Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 薄膜気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067642U JP2514677Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 薄膜気相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426528U true JPH0426528U (ja) | 1992-03-03 |
| JP2514677Y2 JP2514677Y2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=31601391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990067642U Expired - Fee Related JP2514677Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 薄膜気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2514677Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016189429A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 大陽日酸株式会社 | 高温加熱装置、気相成長装置、及び気相成長方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62118519A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板加熱装置 |
| JPS63196033A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-15 | Fujitsu Ltd | 気相成長装置 |
| JPS63278322A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Fujitsu Ltd | 気相成長装置 |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP1990067642U patent/JP2514677Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62118519A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板加熱装置 |
| JPS63196033A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-15 | Fujitsu Ltd | 気相成長装置 |
| JPS63278322A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Fujitsu Ltd | 気相成長装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016189429A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 大陽日酸株式会社 | 高温加熱装置、気相成長装置、及び気相成長方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2514677Y2 (ja) | 1996-10-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |