JPH01149472U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のサセプタ回転軸冷却構造を持
つ気相成長装置の縦断面図。第２図はサセプタの
下軸の近傍のみの拡大縦断面図。第３図は本考案
（実線）と従来例（破線）の装置に於けるサセプ
タ回転軸の温度測定結果を示すグラフ。 １……真空チヤンバ、２……サセプタ、３……
ヒータ、４……ウエハ、５……サセプタ上軸、６
……サセプタ下軸、７……継手、８……回転駆動
系、９……回転導入軸、１０，１１……ベベルギ
ヤ、１２，１３……軸受、１４……スラスト軸受
、１５……チヤンバ底板、１６……冷却用パイプ
、１７……ギヤケース、１８，１９……支持環、
２０……原料ガス供給系、２１……半球体、２２
……冷却水パイプ、２３……冷却水ジヤケツト、
２４……冷却水入口、２５……冷却水出口、３０
……フランジ、３１……フランジ、３２……ボル
ト、３３……外筒、３４……内筒、３５……ヒー
タ電流導入端子、３６……排気口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 縦長の真空チヤンバ１と、真空チヤンバ１の中
   に設けられウエハをほぼ鉛直に支持する筒形のサ
   セプタ２と、サセプタ２を加熱するヒータ３と、
   サセプタ２を支持するサセプタ回転軸と、サセプ
   タ回転軸を回転駆動する回転駆動系８と、真空チ
   ヤンバ１の上頂部に原料ガスを供給する原料ガス
   供給系２０と、真空チヤンバ１のガスを排気する
   ための真空排気装置とを備えた縦型気相成長装置
   のサセプタ回転軸に於て、サセプタ回転軸がサセ
   プタ上軸５と、サセプタ下軸６とに分かれており
   、これらは継手７で結合され、サセプタ下軸６は
   軸受によつて回転可能に支持され真空チヤンバ側
   方に設けられた回転駆動系８によつて回転し、か
   つサセプタ下軸６は中空となつており、この中に
   外筒３３と内筒３４よりなる冷却用パイプ１６が
   挿入され、外筒３３と内筒３４の中に冷却媒体を
   流すことにより、サセプタ下軸６を冷却する事を
   特徴とする気相成長装置のサセプタ回転軸冷却構
   造。