JPH04265871A - Burn-in chamber - Google Patents

Burn-in chamber

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Publication number
JPH04265871A
JPH04265871A JP4912891A JP4912891A JPH04265871A JP H04265871 A JPH04265871 A JP H04265871A JP 4912891 A JP4912891 A JP 4912891A JP 4912891 A JP4912891 A JP 4912891A JP H04265871 A JPH04265871 A JP H04265871A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
board
chamber
boards
connector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4912891A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Iwao Sakai
巌 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP4912891A priority Critical patent/JPH04265871A/en
Publication of JPH04265871A publication Critical patent/JPH04265871A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、ICをバーンインす
るバーンインチャンバーに関し、特に複数のバーンイン
ボードとコネクタとを接続する際にバーンインボードの
位置決めを行う位置決めガイドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a burn-in chamber for burning in ICs, and more particularly to a positioning guide for positioning burn-in boards when connecting a plurality of burn-in boards to a connector.

【0002】0002

【従来の技術】バーンインボードに搭載した複数の半導
体チップを、大量に一括してバーンインテストする場合
、バーンイン装置の用地占有率の点から、バーンインボ
ードを地面と垂直になるようにセットする方式が採られ
ている。
[Prior Art] When performing a burn-in test on a large number of semiconductor chips mounted on a burn-in board at once, it is recommended to set the burn-in board perpendicular to the ground in view of the space occupancy rate of the burn-in equipment. It is taken.

【0003】図3(a)はバーンインボードを地面と垂
直になるよう収納するタイプのバーンイン装置において
、バーンインチャンバー及びバーンインテスターとの位
置関係を示す斜視図、同図(b)はバーンインチャンバ
ー内のバーンインボードキャリアを示す一部断面斜視図
で、図において、4は地面と垂直になるようにセットさ
れたバーンインボード、5はテスト実施時に信号波形を
送り込むためバーンインボード4と接続されるコネクタ
、6はバーンインボード4を複数枚収納できるバーンイ
ンボードキャリア、7はバーンインボードキャリア6内
のスロット、8はバーンインボードキャリア6をセット
するバーンインチャンバー、9はバーンインテスターで
ある。
FIG. 3(a) is a perspective view showing the positional relationship between the burn-in chamber and the burn-in tester in a burn-in device of the type in which the burn-in board is housed perpendicular to the ground, and FIG. 3(b) is a perspective view showing the positional relationship between the burn-in chamber and the burn-in tester. This is a partial cross-sectional perspective view showing a burn-in board carrier. In the figure, 4 is a burn-in board set perpendicular to the ground, 5 is a connector connected to the burn-in board 4 to send a signal waveform during testing, and 6 1 is a burn-in board carrier capable of storing a plurality of burn-in boards 4, 7 is a slot in the burn-in board carrier 6, 8 is a burn-in chamber in which the burn-in board carrier 6 is set, and 9 is a burn-in tester.

【0004】また図4は従来のバーンインチャンバー8
内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で、
図において、2はバーンインボード基準面、3はバーン
インボード4をバーンインチャンバー8内に精度よく挿
入する為の位置決めガイドである。
FIG. 4 shows a conventional burn-in chamber 8.
A cross-sectional side view showing the burn-in board insertion part in the
In the figure, 2 is a burn-in board reference plane, and 3 is a positioning guide for accurately inserting the burn-in board 4 into the burn-in chamber 8.

【0005】次に動作について説明する。まずバーンイ
ンボードキャリア6内の各スロット部分7に、地面と垂
直になるようにバーンインボード4を予め所望の枚数分
収納しておき、バーンインボードキャリア6ごとバーン
インチャンバー8内にセットする。収納されている複数
のバーンインボード4はバーンインテスト実施時、バー
ンインチャンバー8下部に設けられた基準面2と位置決
めガイド3とによって自動的に上下方向の位置決めを行
われた後、各々対応するコネクタ5と接続される。
Next, the operation will be explained. First, a desired number of burn-in boards 4 are stored in advance in each slot portion 7 in the burn-in board carrier 6 so as to be perpendicular to the ground, and the burn-in board carrier 6 is set in the burn-in chamber 8. When performing a burn-in test, the plurality of stored burn-in boards 4 are automatically positioned in the vertical direction by the reference plane 2 provided at the bottom of the burn-in chamber 8 and the positioning guide 3, and then the corresponding connectors 5 are connected to.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来のバーンインチャ
ンバーは以上のように構成されているので、バーンイン
ボード4の挿入挿抜を繰り返すことによって基準面2が
バーンインボード4の自重ですり減るため、位置決め精
度が劣化してバーンインボード4とコネクタ5との接続
の精度も悪くなり、バーンインテスト時にコネクタ5か
らバーンインボード4へ精度よく信号波形を送り込み難
くなるという問題点があった。
[Problem to be Solved by the Invention] Since the conventional burn-in chamber is constructed as described above, the reference surface 2 is worn down by the own weight of the burn-in board 4 due to repeated insertion and removal of the burn-in board 4, resulting in poor positioning accuracy. Due to the deterioration, the accuracy of the connection between the burn-in board 4 and the connector 5 deteriorates, resulting in a problem that it becomes difficult to accurately send a signal waveform from the connector 5 to the burn-in board 4 during a burn-in test.

【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、バーンインボードの挿入挿抜を
繰り返した場合においても、基準面がすり減ることなく
、バーンインボードとコネクタ間の精度の高い位置決め
が可能なバーンインチャンバーを得ることを目的とする
。
The present invention was made to solve the above-mentioned problems, and even when the burn-in board is repeatedly inserted and removed, the reference surface does not wear out, and a highly accurate connection between the burn-in board and the connector can be achieved. The purpose is to obtain a burn-in chamber that can be positioned.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明に係るバーンイ
ンチャンバーは、バーンインボードとドライバとの接続
時にバーンインボードの上下方向を決定する位置決めガ
イドをベアリングで構成したものである。
[Means for Solving the Problems] The burn-in chamber according to the present invention includes a bearing as a positioning guide that determines the vertical direction of the burn-in board when the burn-in board is connected to the driver.

【0009】[0009]

【作用】この発明におけるバーンインチャンバーは、位
置決めガイドがベアリングで構成されているので、バー
ンインボードの挿入挿抜を繰り返しても基準面がすり減
ることはなく、バーンインボードとコネクタ間の精度の
高い位置決めが可能になる。
[Operation] In the burn-in chamber of this invention, the positioning guide is composed of a bearing, so even if the burn-in board is repeatedly inserted and removed, the reference surface will not wear out, and highly accurate positioning between the burn-in board and the connector is possible. become.

【0010】0010

【実施例】図1はこの発明の一実施例による図3に示し
たバーンインボードキャリアの一部拡大図、図2は本発
明の一実施例によるバーンインチャンバー内でのバーン
インボード挿入部を示しており、図において図3乃至図
4と同一符号は同一部分を示し、1はバーンインボード
の上下方向の位置決めを行うベアリング型位置決めガイ
ドである。
[Embodiment] FIG. 1 is a partially enlarged view of the burn-in board carrier shown in FIG. 3 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a burn-in board insertion part in a burn-in chamber according to an embodiment of the present invention. In the figures, the same reference numerals as in FIGS. 3 and 4 indicate the same parts, and 1 is a bearing type positioning guide for vertically positioning the burn-in board.

【0011】次に動作について図1乃至図3を用いて説
明する。バーンインボードキャリア6内の各スロット6
に、地面と垂直になるように所望の枚数分予め収納され
たバーンインボード4は、バーンインボードキャリア6
をバーンインチャンバー8内にセット後、バーンインチ
ャンバー8下部に設けられた基準面2とベアリング型位
置決めガイド1とによって、自動的に上下方向の位置決
めを行われ、各々対応するコネクタ5と精度よく接続さ
れる。
Next, the operation will be explained using FIGS. 1 to 3. Each slot 6 in the burn-in board carrier 6
A desired number of burn-in boards 4 are stored in advance so as to be perpendicular to the ground in a burn-in board carrier 6.
After being set in the burn-in chamber 8, the vertical positioning is automatically performed by the reference surface 2 provided at the bottom of the burn-in chamber 8 and the bearing-type positioning guide 1, and the connectors 5 are accurately connected to the corresponding connectors 5. Ru.

【0012】0012

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、バーン
インボード接続時の上下方向の位置決めをベアリング型
ガイドで行うようにしたので、挿入挿抜を繰り返しても
バーンインボードの自重によって基準面がすり減ること
なく、半永久的に精度の高い位置決めが得られてコネク
タとの精度良い接続が可能になる効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, vertical positioning when connecting a burn-in board is performed using a bearing-type guide, so even if insertion and removal are repeated, the reference surface will be worn down by the weight of the burn-in board. This has the effect that highly accurate positioning can be obtained semi-permanently without any problems, and that accurate connection with the connector can be made.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】この発明の一実施例による、図3に示したバー
ンインボードキャリアの一部拡大図である。
FIG. 1 is a partially enlarged view of the burn-in board carrier shown in FIG. 3, according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の一実施例によるバーンインチャンバ
ー内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional side view showing a burn-in board insertion portion within a burn-in chamber according to an embodiment of the present invention.

【図3】(a) はバーンインテストを実施するバーン
インチャンバーとバーンインテスターとの位置関係を示
す斜視図、(b) はバーンインチャンバー内のバーン
インボードキャリアを示す一部断面斜視図である。
FIG. 3(a) is a perspective view showing the positional relationship between a burn-in chamber for performing a burn-in test and a burn-in tester, and FIG. 3(b) is a partially sectional perspective view showing a burn-in board carrier in the burn-in chamber.

【図4】従来のバーンインチャンバー内でのバーンイン
ボード挿入部を示した断面側面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional side view showing a burn-in board insertion portion within a conventional burn-in chamber.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    ベアリング型位置決めガイド2    バー
ンインボード基準面 3    位置決めガイド 4    バーンインボード 5    コネクタ 6    バーンインボードキャリア 7    スロット 8    バーンインチャンバー 9    バーンインテスター
1 Bearing type positioning guide 2 Burn-in board reference surface 3 Positioning guide 4 Burn-in board 5 Connector 6 Burn-in board carrier 7 Slot 8 Burn-in chamber 9 Burn-in tester

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  複数のバーンインボードを地面と垂直
になるよう収納するタイプのバーンインチャンバーにお
いて、前記複数のバーンインボードを前記複数のバーン
インボードに対応するバーンインテスター側のコネクタ
に接続するためのバーンインボードの位置決めガイドを
、ベアリングにて構成したことを特徴とするバーンイン
チャンバー。
1. A burn-in board for connecting a plurality of burn-in boards to a connector on a burn-in tester side corresponding to the plurality of burn-in boards in a burn-in chamber of a type in which a plurality of burn-in boards are housed perpendicular to the ground. A burn-in chamber characterized by a positioning guide composed of bearings.
JP4912891A 1991-02-20 1991-02-20 Burn-in chamber Pending JPH04265871A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4912891A JPH04265871A (en) 1991-02-20 1991-02-20 Burn-in chamber

Applications Claiming Priority (1)

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JP4912891A JPH04265871A (en) 1991-02-20 1991-02-20 Burn-in chamber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04265871A true JPH04265871A (en) 1992-09-22

Family

ID=12822429

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JP4912891A Pending JPH04265871A (en) 1991-02-20 1991-02-20 Burn-in chamber

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076241A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Nippon Eng Kk Semiconductor testing device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59181633A (en) * 1983-03-31 1984-10-16 Toshiba Corp Inserting and extracting device to cage for aging integrated circuit printed board

Patent Citations (1)

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