JPH04265871A - バーンインチャンバー - Google Patents
バーンインチャンバーInfo
- Publication number
- JPH04265871A JPH04265871A JP4912891A JP4912891A JPH04265871A JP H04265871 A JPH04265871 A JP H04265871A JP 4912891 A JP4912891 A JP 4912891A JP 4912891 A JP4912891 A JP 4912891A JP H04265871 A JPH04265871 A JP H04265871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burn
- board
- chamber
- boards
- connector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣをバーンインす
るバーンインチャンバーに関し、特に複数のバーンイン
ボードとコネクタとを接続する際にバーンインボードの
位置決めを行う位置決めガイドに関するものである。
るバーンインチャンバーに関し、特に複数のバーンイン
ボードとコネクタとを接続する際にバーンインボードの
位置決めを行う位置決めガイドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】バーンインボードに搭載した複数の半導
体チップを、大量に一括してバーンインテストする場合
、バーンイン装置の用地占有率の点から、バーンインボ
ードを地面と垂直になるようにセットする方式が採られ
ている。
体チップを、大量に一括してバーンインテストする場合
、バーンイン装置の用地占有率の点から、バーンインボ
ードを地面と垂直になるようにセットする方式が採られ
ている。
【０００３】図３（ａ）はバーンインボードを地面と垂
直になるよう収納するタイプのバーンイン装置において
、バーンインチャンバー及びバーンインテスターとの位
置関係を示す斜視図、同図（ｂ）はバーンインチャンバ
ー内のバーンインボードキャリアを示す一部断面斜視図
で、図において、４は地面と垂直になるようにセットさ
れたバーンインボード、５はテスト実施時に信号波形を
送り込むためバーンインボード４と接続されるコネクタ
、６はバーンインボード４を複数枚収納できるバーンイ
ンボードキャリア、７はバーンインボードキャリア６内
のスロット、８はバーンインボードキャリア６をセット
するバーンインチャンバー、９はバーンインテスターで
ある。
直になるよう収納するタイプのバーンイン装置において
、バーンインチャンバー及びバーンインテスターとの位
置関係を示す斜視図、同図（ｂ）はバーンインチャンバ
ー内のバーンインボードキャリアを示す一部断面斜視図
で、図において、４は地面と垂直になるようにセットさ
れたバーンインボード、５はテスト実施時に信号波形を
送り込むためバーンインボード４と接続されるコネクタ
、６はバーンインボード４を複数枚収納できるバーンイ
ンボードキャリア、７はバーンインボードキャリア６内
のスロット、８はバーンインボードキャリア６をセット
するバーンインチャンバー、９はバーンインテスターで
ある。
【０００４】また図４は従来のバーンインチャンバー８
内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で、
図において、２はバーンインボード基準面、３はバーン
インボード４をバーンインチャンバー８内に精度よく挿
入する為の位置決めガイドである。
内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で、
図において、２はバーンインボード基準面、３はバーン
インボード４をバーンインチャンバー８内に精度よく挿
入する為の位置決めガイドである。
【０００５】次に動作について説明する。まずバーンイ
ンボードキャリア６内の各スロット部分７に、地面と垂
直になるようにバーンインボード４を予め所望の枚数分
収納しておき、バーンインボードキャリア６ごとバーン
インチャンバー８内にセットする。収納されている複数
のバーンインボード４はバーンインテスト実施時、バー
ンインチャンバー８下部に設けられた基準面２と位置決
めガイド３とによって自動的に上下方向の位置決めを行
われた後、各々対応するコネクタ５と接続される。
ンボードキャリア６内の各スロット部分７に、地面と垂
直になるようにバーンインボード４を予め所望の枚数分
収納しておき、バーンインボードキャリア６ごとバーン
インチャンバー８内にセットする。収納されている複数
のバーンインボード４はバーンインテスト実施時、バー
ンインチャンバー８下部に設けられた基準面２と位置決
めガイド３とによって自動的に上下方向の位置決めを行
われた後、各々対応するコネクタ５と接続される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のバーンインチャ
ンバーは以上のように構成されているので、バーンイン
ボード４の挿入挿抜を繰り返すことによって基準面２が
バーンインボード４の自重ですり減るため、位置決め精
度が劣化してバーンインボード４とコネクタ５との接続
の精度も悪くなり、バーンインテスト時にコネクタ５か
らバーンインボード４へ精度よく信号波形を送り込み難
くなるという問題点があった。
ンバーは以上のように構成されているので、バーンイン
ボード４の挿入挿抜を繰り返すことによって基準面２が
バーンインボード４の自重ですり減るため、位置決め精
度が劣化してバーンインボード４とコネクタ５との接続
の精度も悪くなり、バーンインテスト時にコネクタ５か
らバーンインボード４へ精度よく信号波形を送り込み難
くなるという問題点があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、バーンインボードの挿入挿抜を
繰り返した場合においても、基準面がすり減ることなく
、バーンインボードとコネクタ間の精度の高い位置決め
が可能なバーンインチャンバーを得ることを目的とする
。
ためになされたもので、バーンインボードの挿入挿抜を
繰り返した場合においても、基準面がすり減ることなく
、バーンインボードとコネクタ間の精度の高い位置決め
が可能なバーンインチャンバーを得ることを目的とする
。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るバーンイ
ンチャンバーは、バーンインボードとドライバとの接続
時にバーンインボードの上下方向を決定する位置決めガ
イドをベアリングで構成したものである。
ンチャンバーは、バーンインボードとドライバとの接続
時にバーンインボードの上下方向を決定する位置決めガ
イドをベアリングで構成したものである。
【０００９】
【作用】この発明におけるバーンインチャンバーは、位
置決めガイドがベアリングで構成されているので、バー
ンインボードの挿入挿抜を繰り返しても基準面がすり減
ることはなく、バーンインボードとコネクタ間の精度の
高い位置決めが可能になる。
置決めガイドがベアリングで構成されているので、バー
ンインボードの挿入挿抜を繰り返しても基準面がすり減
ることはなく、バーンインボードとコネクタ間の精度の
高い位置決めが可能になる。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の一実施例による図３に示し
たバーンインボードキャリアの一部拡大図、図２は本発
明の一実施例によるバーンインチャンバー内でのバーン
インボード挿入部を示しており、図において図３乃至図
４と同一符号は同一部分を示し、１はバーンインボード
の上下方向の位置決めを行うベアリング型位置決めガイ
ドである。
たバーンインボードキャリアの一部拡大図、図２は本発
明の一実施例によるバーンインチャンバー内でのバーン
インボード挿入部を示しており、図において図３乃至図
４と同一符号は同一部分を示し、１はバーンインボード
の上下方向の位置決めを行うベアリング型位置決めガイ
ドである。
【００１１】次に動作について図１乃至図３を用いて説
明する。バーンインボードキャリア６内の各スロット６
に、地面と垂直になるように所望の枚数分予め収納され
たバーンインボード４は、バーンインボードキャリア６
をバーンインチャンバー８内にセット後、バーンインチ
ャンバー８下部に設けられた基準面２とベアリング型位
置決めガイド１とによって、自動的に上下方向の位置決
めを行われ、各々対応するコネクタ５と精度よく接続さ
れる。
明する。バーンインボードキャリア６内の各スロット６
に、地面と垂直になるように所望の枚数分予め収納され
たバーンインボード４は、バーンインボードキャリア６
をバーンインチャンバー８内にセット後、バーンインチ
ャンバー８下部に設けられた基準面２とベアリング型位
置決めガイド１とによって、自動的に上下方向の位置決
めを行われ、各々対応するコネクタ５と精度よく接続さ
れる。
【００１２】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、バーン
インボード接続時の上下方向の位置決めをベアリング型
ガイドで行うようにしたので、挿入挿抜を繰り返しても
バーンインボードの自重によって基準面がすり減ること
なく、半永久的に精度の高い位置決めが得られてコネク
タとの精度良い接続が可能になる効果がある。
インボード接続時の上下方向の位置決めをベアリング型
ガイドで行うようにしたので、挿入挿抜を繰り返しても
バーンインボードの自重によって基準面がすり減ること
なく、半永久的に精度の高い位置決めが得られてコネク
タとの精度良い接続が可能になる効果がある。
【図１】この発明の一実施例による、図３に示したバー
ンインボードキャリアの一部拡大図である。
ンインボードキャリアの一部拡大図である。
【図２】この発明の一実施例によるバーンインチャンバ
ー内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で
ある。
ー内でのバーンインボード挿入部を示した断面側面図で
ある。
【図３】（ａ） はバーンインテストを実施するバーン
インチャンバーとバーンインテスターとの位置関係を示
す斜視図、（ｂ） はバーンインチャンバー内のバーン
インボードキャリアを示す一部断面斜視図である。
インチャンバーとバーンインテスターとの位置関係を示
す斜視図、（ｂ） はバーンインチャンバー内のバーン
インボードキャリアを示す一部断面斜視図である。
【図４】従来のバーンインチャンバー内でのバーンイン
ボード挿入部を示した断面側面図である。
ボード挿入部を示した断面側面図である。
１ ベアリング型位置決めガイド２ バー
ンインボード基準面 ３ 位置決めガイド ４ バーンインボード ５ コネクタ ６ バーンインボードキャリア ７ スロット ８ バーンインチャンバー ９ バーンインテスター
ンインボード基準面 ３ 位置決めガイド ４ バーンインボード ５ コネクタ ６ バーンインボードキャリア ７ スロット ８ バーンインチャンバー ９ バーンインテスター
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のバーンインボードを地面と垂直
になるよう収納するタイプのバーンインチャンバーにお
いて、前記複数のバーンインボードを前記複数のバーン
インボードに対応するバーンインテスター側のコネクタ
に接続するためのバーンインボードの位置決めガイドを
、ベアリングにて構成したことを特徴とするバーンイン
チャンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4912891A JPH04265871A (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | バーンインチャンバー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4912891A JPH04265871A (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | バーンインチャンバー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265871A true JPH04265871A (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=12822429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4912891A Pending JPH04265871A (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | バーンインチャンバー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04265871A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076241A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Eng Kk | 半導体テスト装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59181633A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-16 | Toshiba Corp | Ｉｃプリント基板のエ−ジング用ケ−ジへの插抜装置 |
-
1991
- 1991-02-20 JP JP4912891A patent/JPH04265871A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59181633A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-16 | Toshiba Corp | Ｉｃプリント基板のエ−ジング用ケ−ジへの插抜装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076241A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Eng Kk | 半導体テスト装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5247246A (en) | Testing of integrated circuit devices on loaded printed circuit boards | |
| US4700132A (en) | Integrated circuit test site | |
| EP0135384B1 (en) | Probe head assembly | |
| US5570033A (en) | Spring probe BGA (ball grid array) contactor with device stop and method therefor | |
| JP2001215256A (ja) | プリント回路基板によるチップテスト装置 | |
| US4099325A (en) | Machines for inserting electric circuit components on printed circuit boards | |
| JP3446643B2 (ja) | バーンインボード及びバーンインテスト装置 | |
| JP2908470B2 (ja) | Ｉｃの検査方法 | |
| JPH0448539Y2 (ja) | ||
| JPS6138575A (ja) | プリント配線板検査機用アダプタユニツト | |
| JPS587658Y2 (ja) | 印刷回路基板 | |
| JPH04289467A (ja) | Ｉｃデバイスの電気的特性測定装置 | |
| JPH083516B2 (ja) | 半導体装置用テストヘッドおよびテスト方法 | |
| JPH0777559A (ja) | Ｉｃメモリモジュールの電気的特性測定における測定用ツールの構造。 | |
| JPS5914773Y2 (ja) | グランドプレ−ト | |
| US7631420B2 (en) | Apparatus for a wire wrapping process | |
| JPH04221884A (ja) | プリント基板 | |
| JPH04250368A (ja) | バーンイン装置 | |
| JPS58106854A (ja) | 集積回路 | |
| JPH01263572A (ja) | 半導体塔載基板試験装置 | |
| JPH02248876A (ja) | プリント基盤テスト用のスーパーアダプタ | |
| JPS61161460A (ja) | プリント配線板検査用治具 | |
| JPH01218091A (ja) | 大規模集積回路パッケージの装着方法 | |
| JPS5941764U (ja) | Ｉｃテスタ用パ−フオマンスボ−ド | |
| JPH05175287A (ja) | 半導体プローバ用変換コネクタ |