JPH0426983B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426983B2 JPH0426983B2 JP59217242A JP21724284A JPH0426983B2 JP H0426983 B2 JPH0426983 B2 JP H0426983B2 JP 59217242 A JP59217242 A JP 59217242A JP 21724284 A JP21724284 A JP 21724284A JP H0426983 B2 JPH0426983 B2 JP H0426983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- workpiece
- take
- surface plates
- sun gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、上下定盤間に、太陽歯車とインター
ナル歯車によつて自転しながら公転するキヤリア
を介在させ、このキヤリアによつて保持された被
加工物を研磨する研磨機に係り、特に加工後に被
加工物を自動的に取出すためのキヤリアの位置決
め方法に関するものである。
ナル歯車によつて自転しながら公転するキヤリア
を介在させ、このキヤリアによつて保持された被
加工物を研磨する研磨機に係り、特に加工後に被
加工物を自動的に取出すためのキヤリアの位置決
め方法に関するものである。
この種の研磨機における被加工物の取出しは、
この取出しのために上定盤を上昇させると、被加
工物のいくつかはキヤリアから外れて上定盤側に
付着してしまうため、自動化が困難であると共
に、人手による取出しもめんどうであつた。そこ
で、本願の一発明者は、上定盤をわずかに上昇さ
せ、上定盤の被加工物に対する圧力を零にしなが
ら実質的には被加工物を上下定盤で挟持した状態
にしたまま、キヤリアを上下定盤間から外方へ引
出して同キヤリアの穴内に置かれた被加工物を受
け台にて受取るようにした取出し方法を提案した
（特開昭58−215031号）。
この取出しのために上定盤を上昇させると、被加
工物のいくつかはキヤリアから外れて上定盤側に
付着してしまうため、自動化が困難であると共
に、人手による取出しもめんどうであつた。そこ
で、本願の一発明者は、上定盤をわずかに上昇さ
せ、上定盤の被加工物に対する圧力を零にしなが
ら実質的には被加工物を上下定盤で挟持した状態
にしたまま、キヤリアを上下定盤間から外方へ引
出して同キヤリアの穴内に置かれた被加工物を受
け台にて受取るようにした取出し方法を提案した
（特開昭58−215031号）。
ところで、前記のような研磨機における被加工
物の取出しを全自動で行なうためには、上下定盤
間にあるキヤリアを取出し位置に位置決めする必
要があり、このとき前記の説明からも明らかなよ
うに上定盤を上昇させてしまうと被加工物がキヤ
リアから外れてしまうため、好ましくない。本発
明の目的は、被加工物をキヤリア内に納めたまま
キヤリアを所定の取出位置に位置決めできると共
に、複数のキヤリアの位置決めおよびそれに続く
取出しを短時間に正確に行うことのできる研磨機
におけるキヤリア位置決め方法を提供するにあ
る。
物の取出しを全自動で行なうためには、上下定盤
間にあるキヤリアを取出し位置に位置決めする必
要があり、このとき前記の説明からも明らかなよ
うに上定盤を上昇させてしまうと被加工物がキヤ
リアから外れてしまうため、好ましくない。本発
明の目的は、被加工物をキヤリア内に納めたまま
キヤリアを所定の取出位置に位置決めできると共
に、複数のキヤリアの位置決めおよびそれに続く
取出しを短時間に正確に行うことのできる研磨機
におけるキヤリア位置決め方法を提供するにあ
る。
上記目的を達成するため本発明は、キヤリアと
インターナル歯車とのかみ合いを解除し、上下定
盤でキヤリアおよび被加工物を実質的に挟持した
状態で上下定盤および太陽歯車を同一方向へ同一
回転数で回転させることによりキヤリアを自転さ
せることなく公転させ、上下定盤間から突出して
いるキヤリアの外周部を取出台の位置に対応して
設けたセンサで検知し、この検知結果に基づいて
上下定盤および太陽歯車の回転を停止させ、取出
台に対するキヤリアの位置決めを行なうことを特
徴とするものである。
インターナル歯車とのかみ合いを解除し、上下定
盤でキヤリアおよび被加工物を実質的に挟持した
状態で上下定盤および太陽歯車を同一方向へ同一
回転数で回転させることによりキヤリアを自転さ
せることなく公転させ、上下定盤間から突出して
いるキヤリアの外周部を取出台の位置に対応して
設けたセンサで検知し、この検知結果に基づいて
上下定盤および太陽歯車の回転を停止させ、取出
台に対するキヤリアの位置決めを行なうことを特
徴とするものである。
上記の手段によれば、被加工物はキヤリアから
外れず、キヤリアは上下定盤および太陽歯車の回
転によつて太陽歯車の中心の回りを自転すること
なく上下定盤および太陽歯車と一体となつて正確
に公転する。このキヤリアの公転による移動は、
キヤリアの外周部が上下定盤から突出しているた
め、センサによつて検知可能である。前記センサ
をキヤリアの引出し位置に対応して設けて置け
ば、キヤリアは所定の位置に自動的に位置決めさ
れる。この位置決めと前述した特開昭58−215031
号公報に記載されている取出し方法を組み合せる
ことにより被加工物の取出しが全自動で行なわれ
るようになる。このとき、インターナル歯車はキ
ヤリアから外れているため、キヤリアを取出すた
めにインターナル歯車をキヤリアから解除する必
要がなく、また次のキヤリアの位置決めのために
インターナル歯車をキヤリアに再びかみ合わせる
必要もない。そこで、キヤリアの位置決めとそれ
に続くキヤリアの取出しが短時間で行われる。
外れず、キヤリアは上下定盤および太陽歯車の回
転によつて太陽歯車の中心の回りを自転すること
なく上下定盤および太陽歯車と一体となつて正確
に公転する。このキヤリアの公転による移動は、
キヤリアの外周部が上下定盤から突出しているた
め、センサによつて検知可能である。前記センサ
をキヤリアの引出し位置に対応して設けて置け
ば、キヤリアは所定の位置に自動的に位置決めさ
れる。この位置決めと前述した特開昭58−215031
号公報に記載されている取出し方法を組み合せる
ことにより被加工物の取出しが全自動で行なわれ
るようになる。このとき、インターナル歯車はキ
ヤリアから外れているため、キヤリアを取出すた
めにインターナル歯車をキヤリアから解除する必
要がなく、また次のキヤリアの位置決めのために
インターナル歯車をキヤリアに再びかみ合わせる
必要もない。そこで、キヤリアの位置決めとそれ
に続くキヤリアの取出しが短時間で行われる。
以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第３
図について説明する。第１図において、１は上定
盤、２は下定盤で、これらは円板状をなし、それ
らの主軸１ａ，２ａは図示しない回転駆動源に連
結されている。両定盤１，２の互いに対向する面
には研磨布などによる研磨面１ｂ，２ｂが設けら
れ、これらの間で後述するウエハなどの被加工物
７の両表面を研磨するようになつている。
図について説明する。第１図において、１は上定
盤、２は下定盤で、これらは円板状をなし、それ
らの主軸１ａ，２ａは図示しない回転駆動源に連
結されている。両定盤１，２の互いに対向する面
には研磨布などによる研磨面１ｂ，２ｂが設けら
れ、これらの間で後述するウエハなどの被加工物
７の両表面を研磨するようになつている。
下定盤２の中心部には、研磨面２ｂより突出す
る太陽歯車３が設けられると共に、下定盤２の外
側にはインターナル歯車４が昇降可能に設けられ
ている。太陽歯車３とインターナル歯車４との間
には、上下定盤１，２間に介在される複数個のキ
ヤリア５（第２図参照）が置かれている。これら
のキヤリア５は円板状をなし、その外周部には上
記太陽歯車３およびインターナル歯車４にかみ合
う歯部６が設けられると共に内部には複数枚の被
加工物７を保持する穴８が設けられている。
る太陽歯車３が設けられると共に、下定盤２の外
側にはインターナル歯車４が昇降可能に設けられ
ている。太陽歯車３とインターナル歯車４との間
には、上下定盤１，２間に介在される複数個のキ
ヤリア５（第２図参照）が置かれている。これら
のキヤリア５は円板状をなし、その外周部には上
記太陽歯車３およびインターナル歯車４にかみ合
う歯部６が設けられると共に内部には複数枚の被
加工物７を保持する穴８が設けられている。
前記下定盤２の外方には、被加工物７の取出台
９が設置されている。この取出台９は、第１図お
よび第２図において左右方向へ移動可能に設けら
れ、インターナル歯車４が第１図に鎖線で示す駆
動位置から実線で示すように下降させた状態にあ
るとき、その上方に突出して先端が下定盤２の外
周に接近し、上面が下定盤２の研磨面２ｂと等し
いか若干低くなるようになつている。
９が設置されている。この取出台９は、第１図お
よび第２図において左右方向へ移動可能に設けら
れ、インターナル歯車４が第１図に鎖線で示す駆
動位置から実線で示すように下降させた状態にあ
るとき、その上方に突出して先端が下定盤２の外
周に接近し、上面が下定盤２の研磨面２ｂと等し
いか若干低くなるようになつている。
下定盤２の外側上方には、第１図に示す繰り出
し位置にて上下定盤１，２の間から外方へ突出し
ているキヤリア５の外周を検知するセンサ１０が
設けられている。このセンサ１０は、キヤリア５
が太陽歯車３の中心を中心として例えば第２図に
おいて時計方向などのように所定方向へ移動して
くるキヤリア５の外周部を検知したとき、同キヤ
リア５が第２図に示すように取出台９に対応する
位置にあるように関連付けて設置されており、キ
ヤリア５を検知したとき、キヤリア５の前記移動
を停止させ、キヤリア５を取出台９に対応する位
置に位置決めするようになつている。
し位置にて上下定盤１，２の間から外方へ突出し
ているキヤリア５の外周を検知するセンサ１０が
設けられている。このセンサ１０は、キヤリア５
が太陽歯車３の中心を中心として例えば第２図に
おいて時計方向などのように所定方向へ移動して
くるキヤリア５の外周部を検知したとき、同キヤ
リア５が第２図に示すように取出台９に対応する
位置にあるように関連付けて設置されており、キ
ヤリア５を検知したとき、キヤリア５の前記移動
を停止させ、キヤリア５を取出台９に対応する位
置に位置決めするようになつている。
また取出台９の上方には、第１，２図において
左右方向に進退するキヤリア引出棒１１が設けら
れ、その先端にキヤリア把持治具１２が取付けら
れている。さらにまた、取出台９の上方には、第
３図に示すように、同図において上下方向と左右
方向へ移動可能な被加工物押出体１３が設けられ
ている。
左右方向に進退するキヤリア引出棒１１が設けら
れ、その先端にキヤリア把持治具１２が取付けら
れている。さらにまた、取出台９の上方には、第
３図に示すように、同図において上下方向と左右
方向へ移動可能な被加工物押出体１３が設けられ
ている。
次いで本装置の作用と共に本発明のキヤリア位
置決め方法について説明する。研磨時には、取出
台９、キヤリア引出棒１１、キヤリア把持治具１
２ならびに被加工物押出体１３は、第１ないし３
図において右方へ後退しており、インターナル歯
車４が、第１図において鎖線で示す駆動位置にあ
り、上下定盤１，２間に置かれたキヤリア５の歯
部６にかみ合い、図示しない駆動源から回転を与
えられ、太陽歯車３の回転とによつてキヤリア５
を上下定盤１，２間で自転および公転させる。上
下定盤１，２は主軸１ａ，１ｂを介して図示しな
い回転駆動源から回転を与えられ、キヤリア５の
穴８内に保持されて上下定盤１，２間を移動する
被加工物７の上下両表面を研磨する。
置決め方法について説明する。研磨時には、取出
台９、キヤリア引出棒１１、キヤリア把持治具１
２ならびに被加工物押出体１３は、第１ないし３
図において右方へ後退しており、インターナル歯
車４が、第１図において鎖線で示す駆動位置にあ
り、上下定盤１，２間に置かれたキヤリア５の歯
部６にかみ合い、図示しない駆動源から回転を与
えられ、太陽歯車３の回転とによつてキヤリア５
を上下定盤１，２間で自転および公転させる。上
下定盤１，２は主軸１ａ，１ｂを介して図示しな
い回転駆動源から回転を与えられ、キヤリア５の
穴８内に保持されて上下定盤１，２間を移動する
被加工物７の上下両表面を研磨する。
このようにして被加工物７の研磨が終了したな
らば、研磨のために被加工物７に対して付与して
いた上定盤１の下向きの押圧力を解除し、被加工
物７に対する上定盤１の接圧力が零となるよう上
定盤１を図示しない昇降装置によりわずかに上昇
させる。この上昇量は、被加工物７がキヤリア５
の穴８から抜け出ない程度のわずかな量である。
らば、研磨のために被加工物７に対して付与して
いた上定盤１の下向きの押圧力を解除し、被加工
物７に対する上定盤１の接圧力が零となるよう上
定盤１を図示しない昇降装置によりわずかに上昇
させる。この上昇量は、被加工物７がキヤリア５
の穴８から抜け出ない程度のわずかな量である。
次いで、インターナル歯車４を第１図に実線で
示す位置に下降させ、上下定盤１，２および太陽
歯車３を同一方向へ同一回転数で低速回転させ
る。これによりキヤリア５は太陽歯車３の中心を
中心として上下定盤１，２と共にを比較的低速で
移動する。キヤリア５の歯部６を含む外周部は、
上下定盤１，２の外周より突出しているため、キ
ヤリア５の移動により該キヤリア５の外周部がセ
ンサ１０による検知位置に達すると、センサ１０
がこれを検知し、太陽歯車３および上下定盤１，
２の回転を停止させ、前記センサ１０によつて検
知されたキヤリア５を取出台９に対応する位置に
位置決めして停止させる。
示す位置に下降させ、上下定盤１，２および太陽
歯車３を同一方向へ同一回転数で低速回転させ
る。これによりキヤリア５は太陽歯車３の中心を
中心として上下定盤１，２と共にを比較的低速で
移動する。キヤリア５の歯部６を含む外周部は、
上下定盤１，２の外周より突出しているため、キ
ヤリア５の移動により該キヤリア５の外周部がセ
ンサ１０による検知位置に達すると、センサ１０
がこれを検知し、太陽歯車３および上下定盤１，
２の回転を停止させ、前記センサ１０によつて検
知されたキヤリア５を取出台９に対応する位置に
位置決めして停止させる。
次いで、取出台９を第１図に示すように前進さ
せ、キヤリア引出棒１１を繰り出し、キヤリア把
持治具１２によつてキヤリア５の外周部を把持
し、キヤリア５を上下定盤１，２間から取出台９
上へ引出す。被加工物７はキヤリア５と共に取出
台９上に引出される。そこで、キヤリア５を若干
上昇させれば、被加工物７はキヤリア５の穴８か
ら抜け出して取出台９上に残されるので、キヤリ
ア５のみを搬出する。次いで、第３図に示すよう
に、被加工物押出体１３により取出台９上に残さ
れている被加工物７の同図において左端側を右方
へ押し、被加工物７を図示しない格納箱内へ納め
る。
せ、キヤリア引出棒１１を繰り出し、キヤリア把
持治具１２によつてキヤリア５の外周部を把持
し、キヤリア５を上下定盤１，２間から取出台９
上へ引出す。被加工物７はキヤリア５と共に取出
台９上に引出される。そこで、キヤリア５を若干
上昇させれば、被加工物７はキヤリア５の穴８か
ら抜け出して取出台９上に残されるので、キヤリ
ア５のみを搬出する。次いで、第３図に示すよう
に、被加工物押出体１３により取出台９上に残さ
れている被加工物７の同図において左端側を右方
へ押し、被加工物７を図示しない格納箱内へ納め
る。
こうして１つのキヤリア５およびそれに保持さ
れている被加工物７の取出しが終了したならば、
被加工物引出棒１１、被加工物把持治具１２なら
びに被加工物押出体１３を元位置へ復帰させ、前
記と同様にして残りのキヤリア５を太陽歯車３を
中心として移動させ、該キヤリア５をセンサ１０
で検出し、位置決めし、以下前記と同様にして該
キヤリア５および被加工物７を取出す。
れている被加工物７の取出しが終了したならば、
被加工物引出棒１１、被加工物把持治具１２なら
びに被加工物押出体１３を元位置へ復帰させ、前
記と同様にして残りのキヤリア５を太陽歯車３を
中心として移動させ、該キヤリア５をセンサ１０
で検出し、位置決めし、以下前記と同様にして該
キヤリア５および被加工物７を取出す。
以上述べたように本発明によれば、被加工物を
キヤリアの穴内に確実に保持したままキヤリアを
所定の位置に位置決めすることができ、これによ
りキヤリアおよび被加工物の自動取出しが可能に
なり、さらに複数のキヤリアの位置決めおよび取
出動作の途中で、インターナル歯車を昇降させる
必要がないため、簡単かつ短時間でキヤリアの位
置決めさらにはそれに続くキヤリアの取出しを行
なうことができる効果が得られる。
キヤリアの穴内に確実に保持したままキヤリアを
所定の位置に位置決めすることができ、これによ
りキヤリアおよび被加工物の自動取出しが可能に
なり、さらに複数のキヤリアの位置決めおよび取
出動作の途中で、インターナル歯車を昇降させる
必要がないため、簡単かつ短時間でキヤリアの位
置決めさらにはそれに続くキヤリアの取出しを行
なうことができる効果が得られる。
第１図は本発明の一実施態様を示すもので第２
図の−線による概要展開断面図、第２図は第
１図の−線による断面図、第３図は被加工物
の押出状態を示す部分概要展開断面図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……太陽歯
車、４……インターナル歯車、５……キヤリア、
７……被加工物、９……取出台、１０……セン
サ、１１……キヤリア引出棒、１２……キヤリア
把持治具、１３……被加工物押出体。
図の−線による概要展開断面図、第２図は第
１図の−線による断面図、第３図は被加工物
の押出状態を示す部分概要展開断面図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……太陽歯
車、４……インターナル歯車、５……キヤリア、
７……被加工物、９……取出台、１０……セン
サ、１１……キヤリア引出棒、１２……キヤリア
把持治具、１３……被加工物押出体。
Claims (1)
- １ 上下定盤間に、太陽歯車とインターナル歯車
によつて自転しながら公転するキヤリアを介在さ
せ、このキヤリアに保持された被加工物を研磨
し、研磨後に前記下定盤の外方に設けた取出台上
に前記被加工物と共に前記キヤリアを引出すよう
にした研磨機において、前記キヤリアと前記イン
ターナル歯車とのかみ合いを解除し、前記上下定
盤で前記キヤリアおよび前記被加工物を実質的に
挟持した状態で前記上下定盤および前記太陽歯車
を同一方向へ同一回転数で回転させることにより
前記キヤリアを自転させることなく公転させ、前
記上下定盤間から突出している前記キヤリアの外
周部を前記取出台の位置に対応して設けたセンサ
で検知し、この検知結果に基づいて前記上下定盤
および前記太陽歯車の前記公転を停止させ、前記
取出台に対する前記キヤリアの位置決めを行なう
ことを特徴とする研磨機におけるキヤリア位置決
め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217242A JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217242A JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195876A JPS6195876A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0426983B2 true JPH0426983B2 (ja) | 1992-05-08 |
Family
ID=16701077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59217242A Granted JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195876A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219568A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 一定位置停止研磨方法及び装置 |
| JPS6328562A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-06 | Otani Reiji | ラツピングキヤリヤの噛合い装填方法 |
| JPH0413566A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Showa Alum Corp | 研磨装置 |
| JPH05285828A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Hitachi Zosen Corp | 研磨装置 |
| JP5379461B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-12-25 | Ｈｏｙａ株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58215031A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-14 | Toshiba Corp | ウエ−ハ取り出し方法 |
| JPS59109447U (ja) * | 1983-01-06 | 1984-07-24 | ホ−ヤ株式会社 | 両面加工装置 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP59217242A patent/JPS6195876A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6195876A (ja) | 1986-05-14 |
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