JPH04271355A - フィーチャアライナ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は光ディスク等の製造で用
いるフィーチャアライナに関する。 【０００２】 【従来の技術】光ディスクは基板面に微細なピットパタ
ーンを形成して製造するが、ピットパターンはきわめて
微細であるため高度の製造精度が要求される。従来、光
ディスクの基板にピットパターンを形成するには、基板
表面に露光用のレジストを塗布し、ピットパターンを形
成したマスクを介して露光し、基板をエッチングしてピ
ットを形成している。これら光ディスク製造で従来用い
られている露光装置は、半導体ウエハの露光装置を利用
したもので、所定パターンを形成したマスクに光照射し
マスクのパターンを等倍でワークに露光するようにした
ものである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来の光ディスク製造
に用いられているフィーチャアライナは上記のようにマ
スクを介してワークに露光するため、マスクの製造が厄
介であったり、装置が専用機として設計されていないた
め、ディスク基板とマスクとの位置合わせ、たとえば芯
出しなどを精度よく行うことができず、製造精度面で問
題点があった。光ディスクは前述したようにきわめて高
精度が要求され、近時のように大容量化するとともにさ
らに信頼性の向上が求められ、より精度の高い製品が求
められている。なお、光ディスクに限らず、所定パター
ンを基板に形成して製造する製品には液晶基板等の各種
製品がある。これら製品についても微細化とともに高度
の製造精度が求められている。また、液晶基板などでは
製品の大型化とともに、製造が容易にでき、製造コスト
を低減することのできる製造装置が求められている。本
発明は上記問題点を解消すべくなされたものであり、そ
の目的とするところは、光ディスクあるいは液晶基板等
の製造精度を向上させることができ、かつ製造が効率的
に行えて製造コストを引き下げることのできる製造装置
を提供しようとするものである。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、ロッドレンズア
レイを用いて所定の露光パターンをワークに結像させて
露光するフィーチャアライナであって、前記露光パター
ンを形成したパターン板と、該パターン板にたいするワ
ークのセット位置を検出する位置検出用のセンサを設け
、前記ワークを支持するとともに、ワークと前記パター
ン板との位置検出結果に基づいてワークとパターン板と
を正規位置に位置合わせするＸＹテーブルを設けたこと
を特徴とする。また、ワークのセット位置において、前
記パターン板とワークとの平行度を検出するセンサを設
け、該センサの検出結果に基づいてワークを前記パター
ン板に対して平行にあおり補正する補正機構を設けたこ
とを特徴とする。前記ロッドレンズアレイとしては前記
ワークの全領域を包含するエリアロッドレンズアレイが
効果的であり、また、一定幅のロッド状に形成されたロ
ッドレンズアレイを用い、ワークの全領域を露光すべく
前記ロッドレンズアレイを前記パターン板に対して移動
する移動機構を設けた装置が効果的である。 【０００５】 【作用】露光パターンを形成したパターン板とワークと
の位置ずれを位置検出用のセンサで検出し、ＸＹテーブ
ルによってワークとパターン板とを位置合わせし、ロッ
ドレンズアレイを用いて露光パターンをワークに結像さ
せて露光する。ワークの位置調整にワークをあおり補正
する補正機構を使用することもできる。エリアロッドレ
ンズアレイを用いた場合はワークに対して一括露光でき
る。ロッド状のロッドレンズアレイを用いる場合は移動
機構によってロッドレンズアレイを移動させることによ
りワークの全領域を露光する。 【０００６】 【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は本発明に係るフィーチャ
アライナの一実施例の露光部を示す説明図である。本発
明に係るフィーチャアライナは等倍結像素子であるロッ
ドレンズアレイを用いて露光パターンをワークに露光す
ることを特徴とする。ロッドレンズアレイは等倍結像素
子であって、露光パターンとワークとを一定距離離して
セッティングすることができ、これによって装置の構成
を容易にすることができ、大型のワークに対する露光も
容易になる。本実施例ではワークを真空中にセットして
清浄環境下で露光する。図１はワークカセッタからワー
ク１０を露光部まで移送してセットした状態である。 【０００７】露光部においてワーク１０はワーク支持テ
ーブル１２上に載置する。ワーク支持テーブル１２には
ワーク１０をエア吸着するチャックを設ける。このチャ
ックはワーク１０を吸着した際に、ワーク１０にできる
だけ歪みを与えないようにするため、ワーク１０の外周
縁部分を吸着する。ワーク支持テーブル１２はＸＹテー
ブル１４に支持され、ＸＹテーブル１４は昇降部１６に
よって昇降される。昇降部１６はＸＹテーブル１４に螺
合するボールねじ１８を有し、ボールねじ１８を回動駆
動することによってＸＹテーブル１４を昇降させる。Ｘ
Ｙテーブル１４の上面にはベローズ２０の一方のフラン
ジを固定する。ベローズ２０はワーク支持テーブル１２
の外側に設ける。ベローズ２０の上方にはロッドレンズ
アレイ３０の外周囲を支持するレンズ支持枠３２を設置
する。ベローズ２０の上端のフランジ２２はこのレンズ
支持枠３２の下面に当接しＯリングによって真空シール
される。実施例で用いるロッドレンズアレイ３０はワー
ク１０の露光面積をいちどにカバーするエリアロッドレ
ンズアレイである。エリアロッドレンズアレイは所定の
面積にわたってロッドレンズをしきつめたものである。 ロッドレンズは半径方向の距離の２乗に比例する屈折率
分布を有するもので、等倍で結像させる光学素子である
。４０はワーク１０に露光する露光パターンを形成した
パターン板で、ロッドレンズアレイ３０の上方に設置す
る。４２はパターン板４０とロッドレンズアレイ３０の
中間に設置するシャッター板である。シャッター板４２
はワーク１０に対する露光時間を調節するものである。 パターン板４０の上方には光学窓４４を設置する。 光学窓４４は光源からの平行光を透過するもので、実施
例では石英ガラスを用いる。 【０００８】図２はフィーチャアライナの全体構成を示
す正面図、図３は平面図である。上記露光部はフィーチ
ャアライナの中央部に位置する。５０は上記パターン板
４０、シャッター板４２、光学窓４４をセットするセッ
ト部である。５２はセット部５０の上方に設置した光源
部である。光源部５２は平行光をパターン板４０に照射
するためのものである。ワーク１０は機枠６０に支持す
るワークカセッタ６２から供給される。ワークカセッタ
６２は複数段にワーク１０を収納するもので、エレベー
タ機構によって昇降させることにより所要段のワーク１
０が引き出されて露光部に供給される。６４はワーク１
０をワーク支持テーブル１２上まで移送する搬送チャッ
クである。ワークカセッタ６２は実施例では機枠６０の
両側に配置し、一方のワークカセッタ６２に収納したワ
ーク１０について露光操作を行った後、続けて他方のワ
ークカセッタ６２に収納したワーク１０について露光操
作できるようにしてる。 【０００９】光ディスクの製造などの場合はワーク１０
とこれに露光するパターン板４０との位置決めはきわめ
て正確に行う必要がある。そのため、パターン板４０と
ワーク１０の位置を検出する位置決めセンサを設ける。 ７０はパターン板４０の位置検出のためのセンサである
。このセンサ７０は平面内で回動自在に支持されるオー
トハンド７２の先端にセットする。センサ７０としては
ＣＣＤ　カメラあるいは位置検出用の光ファイバーセン
サを用いる。ワーク１０の位置検出センサ７４は図１に
示すようにワーク支持テーブル１２側にセットする。な
お、ワーク１０およびパターン板３０、ロッドレンズア
レイ３０は相互に平行に設置する必要がある。そのため
、相互間のギャップを検出するギャップセンサを設ける
。ギャップセンサとして位置検出センサと別個に設置し
てもよいが、たとえば位置検出センサ７４として光ファ
イバーセンサを用いることによってギャップ間隔も検出
することが可能である。７６はワーク１０のあおり補正
する補正機構である。補正機構としてはたとえばピエゾ
素子を利用することができる。なお、光ディスクの製造
の際には、光ファイバーセンサをワーク１０の中心をは
さむ対角位置の４か所に設置し、ワーク１０の内周部に
おける信号記録部分と信号非記録部分の境界部での光反
射の相違から境界位置を検出して正確に位置出しするこ
とができる。 【００１０】続いて、上記実施例のフィーチャアライナ
を用いてワーク１０に露光操作を行う方法について説明
する。まず、レジスト等を塗布する露光用の処理が施さ
れたワーク１０が収納されたワークカセッタ６２を機枠
６０にセットする。機枠６０には防振機構８０およびク
リーンブースユニット８２、操作部８４が設置されてい
る。セット部５０には当該製品用の露光パターンを形成
したパターン板４０およびロッドレンズアレイ３０等を
セットする。セット部５０では製品によって異なる露光
パターンを有するパターン板４０が複数枚セットできる
ようにし、自動的に所要のパターン板４０をセットでき
るようにすることもできる。パターン板４０をセットし
たところでオートハンド７２を回動させてセンサ７０に
よってパターン板４０の位置を検出する。一方、ワーク
カセッタ６２から搬送チャック６４によってワーク１０
を引き出し、露光部のワーク支持テーブル１２にセット
する。ワーク支持テーブル１２ではチャックでワーク１
２をエア吸引して支持する。次いで、昇降部１６によっ
てＸＹテーブル１４を上昇させ、ベローズ２０のフラン
ジ２０をレンズ支持枠３２に当接して真空シールしベロ
ーズ２０内を真空排気する。位置検出センサ７４によっ
てワーク１０の位置を検出し、前記パターン板４０とワ
ーク１０との相互の位置ずれ量を検出した後、ＸＹテー
ブル１４を駆動してワーク１０とパターン板４０とを正
確に位置合わせする。また、ギャップセンサによってワ
ーク１０とパターン板４０との平行度のずれを検出し、
補正機構によってワーク１０をあおり補正することによ
って平行に補正する。次いで、シャッター板４２を開く
ことにより、光学窓４４をとおしてＵＶ光をパターン板
４０に入射させ、ロッドレンズアレイ３０を介してパタ
ーン板４０の露光パターンをワーク１０に露光する。一
定時間露光した後、シャッター板４２を閉じ、ベローズ
２０内を常圧に戻し、ワーク１０をもとのワークカセッ
タ６２内に戻す。こうして、１回の露光操作が完了する
。 【００１１】本実施例のフィーチャアライナを用いた露
光操作においては、上述したように、ワーク１０とパタ
ーン板４０とを正確に位置決めして露光することにより
、きわめて精度のよい露光を行うことができる。また、
露光パターンとしてパターン板４０を用いるからフィル
ムに露光パターンを形成してパターン板とすることがで
き、従来のように金属製のマスクに露光パターンを形成
する方法とくらべてパターンの形成が容易にできるとい
う利点がある。また、真空雰囲気中で露光することによ
って精度のよい露光をすることができる。なお、上記実
施例ではおもに光ディスクの製造について説明したが、
ワークは光ディスクに限らず、液晶基板等の露光操作に
よって製造する各種製品に対しても同様に適用すること
ができる。とくに、本実施例の場合はエリアロッドレン
ズアレイを用いることによって大面積のワークに対して
一括露光することができ、製造効率を高めることができ
るという利点がある。エリアロッドレンズアレイを用い
る場合にはたとえば５００ｍｍ　×５００ｍｍ　といっ
た大面積のワークに対する露光も容易に可能である。こ
れによって露光時間を大幅に短縮することができ、製造
コストの低減を図ることができる。なお、上記のエリア
ロッドレンズアレイを用いるかわりに、ファクシミリ通
信等で用いられているロッド状のロッドレンズアレイを
用いることもできる。この場合はパターン板に対してロ
ッドレンズアレイを移動する移動機構を設けることによ
ってワークの全領域を露光することができる。以上、本
発明について好適な実施例を挙げて種々説明したが、本
発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精
神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもち
ろんである。 【００１２】　　 【発明の効果】本発明に係るフィーチャアライナによれ
ば、上述したように、露光パターンとワークとを正確に
位置決めして露光でき精度のよい露光を行うことができ
る。また、ロッドレンズアレイを用いることにより光学
系を複雑にせずに装置が構成でき、フィルムで露光パタ
ーンが形成できパターンの製造も容易にできる。さらに
、大面積を露光することも容易に可能となり製造効率を
向上させることができて製造コストを引き下げることが
できる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】フィーチャアライナの露光部を示す説明図であ
る。

【図２】フィーチャアライナの全体構成を示す正面図で
ある。

【図３】フィーチャアライナの全体構成を示す平面図で
ある。

【符号の説明】

１０　　ワーク １２　　ワーク支持テーブル １４　　ＸＹテーブル １６　　昇降部 ２０　　ベローズ ３０　　ロッドレンズアレイ ４０　　パターン板 ４２　　シャッター板 ４４　　光学窓 ５０　　セット部 ５２　　光源部 ６２　　ワークカセッタ ７０　　センサ ７２　　オートハンド ７４　　位置検出センサ ７６　　補正機構

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ロッドレンズアレイを用いて所定の露
   光パターンをワークに結像させて露光するフィーチャア
   ライナであって、前記露光パターンを形成したパターン
   板と、該パターン板にたいするワークのセット位置を検
   出する位置検出用のセンサを設け、前記ワークを支持す
   るとともに、ワークと前記パターン板との位置検出結果
   に基づいてワークとパターン板とを正規位置に位置合わ
   せするＸＹテーブルを設けたことを特徴とするフィーチ
   ャアライナ。
2. 【請求項２】　　ワークのセット位置において、前記パ
   ターン板とワークとの平行度を検出するセンサを設け、
   該センサの検出結果に基づいてワークを前記パターン板
   に対して平行にあおり補正する補正機構を設けたことを
   特徴とする請求項１記載のフィーチャアライナ。
3. 【請求項３】　　ロッドレンズアレイとして前記ワーク
   の全領域を包含するエリアロッドレンズアレイを用いた
   ことを特徴とする請求項１または２記載のフィーチャア
   ライナ。
4. 【請求項４】　　ロッドレンズアレイとして一定幅のロ
   ッド状に形成されたロッドレンズアレイを用い、ワーク
   の全領域を露光すべく前記ロッドレンズアレイを前記パ
   ターン板に対して移動する移動機構を設けたことを特徴
   とする請求項１または２記載のフィーチャアライナ。