JPH04274343A - 半導体ウエーハの位置決め装置と位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体チップの製造装置
若しくは検査装置に供給する半導体ウエーハを同一方向
に位置決めする装置に関する。

【０００２】半導体ウエーハには結晶の方向を示す目印
としてオリエンテーションフラット（以下オリフラと略
称する）が設けられており、半導体チップを製造する装
置若しくは検査する装置に半導体ウエーハを供給する際
は、自動位置決め装置を用いてオリフラを基準として半
導体ウエーハの向きを同一方向に揃えている。

【０００３】しかし、近年の半導体製造プロセスではパ
ターン幅の微細化や加工の高速化が促進されており、そ
れに関連して半導体ウエーハの位置決め精度の向上を図
ると共に付帯作業を高速化しなければならない。そこで
半導体ウエーハを短時間で正確に位置決めできる位置決
め装置と位置決め方法の開発が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】図４は従来の半導体ウエーハ位置決め装
置を示す斜視図である。図において従来の半導体ウエー
ハ位置決め装置は例えば半導体ウエーハ１を載置する回
転テーブル２と、左右から回転テーブル２の中心方向に
移動し半導体ウエーハ１に当接する円弧状の案内板３と
、半導体ウエーハ１に設けられたオリフラ１１の位置を
光と光検知器で検出する位置検出機構４と、回転テーブ
ル２の中心方向に移動しオリフラ１１に当接する位置決
め機構５とで構成されている。

【０００５】半導体ウエーハ１が回転テーブル２に載置
されると開いていた左右の案内板３が閉じて、半導体ウ
エーハ１の中心を回転テーブル２の中心に合致する方向
に半導体ウエーハ１を移動させる。回転テーブル２は載
置面に半導体ウエーハ１を固定する吸着機構２１を具え
ており、半導体ウエーハ１の中心が回転テーブル２の中
心に合致するすると吸着機構２１が半導体ウエーハ１を
固定する。

【０００６】回転テーブル２を回動させるとオリフラ１
１の無い領域では位置検出機構４から信号が出力されな
いが、オリフラ１１が回ってくると位置検出機構４から
信号が出力され回転テーブル２は停止する。しかし位置
検出機構４がオリフラ１１を検出しても半導体ウエーハ
１が正確に位置決めされたとはいえない。

【０００７】そこで吸着機構２１による半導体ウエーハ
１の回転テーブル２への固定を一旦解除して、円弧状案
内板３の開閉を繰り返すと共に位置決め機構５を回転テ
ーブル２の中心方向に移動せしめる。そして位置決め機
構４の直線部が完全にオリフラ１１に当接したときに半
導体ウエーハ１の位置決めが完了する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の半導体
ウエーハ位置決め装置は位置検出機構によってオリフラ
を検出した後、更に円弧状の案内板と位置決め機構によ
って半導体ウエーハを正確に位置決めしており、半導体
ウエーハを正確に位置決めするために多くの時間を要す
るという問題があった。

【０００９】本発明の目的は短時間で正確に位置決めで
きる半導体ウエーハの位置決め装置と位置決め方法を提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】図１は本発明になる半導
体ウエーハ位置決め装置の原理を示す斜視図である。な
お全図を通し同じ対象物は同一記号で表している。

【００１１】上記課題はオリフラを基準として半導体ウ
エーハを同一方向に位置決めする装置において、半導体
ウエーハ１を固定する吸着機構２１を有し水平方向に回
動可能な回転テーブル２と、半導体ウエーハ１の側面に
当接可能な少なくとも１個の補助ローラ６１を内蔵し、
補助ローラ６１の両側にオリフラ１１に当接する直線部
６２を具えたストッパ６、およびストッパ６を回転テー
ブル２の中心方向または反対方向に移動せしめる駆動機
構７と、ストッパ６の反対側に配置され半導体ウエーハ
１の側面に当接可能な２個の移動ローラ８、および移動
ローラ８を回転テーブル２の中心方向または反対方向に
移動せしめる駆動機構９を有し、ストッパ６に設けられ
た直線部６２がオリフラ１１に当接すると、回転テーブ
ル２の回動が停止するよう構成されてなる本発明の半導
体ウエーハの位置決め装置。

【００１２】およびオリフラ１１を基準として半導体ウ
エーハ１を同一方向に位置決めする方法であって、回転
テーブル２の中心方向に移動可能な補助ローラ６１と２
個の移動ローラ８を、回転テーブル２に載置された半導
体ウエーハ１の側面に当接させて回転テーブル２を回動
せしめ、補助ローラ６１を内蔵してなるストッパ６の直
線部６２がオリフラ１１に当接したときに、回転テーブ
ル２の回動を停止させる本発明になる位置決め方法によ
って達成される。

【００１３】

【作用】図１において半導体ウエーハを固定する吸着機
構を有し水平方向に回動可能な回転テーブルと、半導体
ウエーハの側面に当接可能な少なくとも１個の補助ロー
ラを内蔵し、補助ローラの両側にオリフラに当接する直
線部を具えたストッパ、およびストッパを回転テーブル
の中心方向または反対方向に移動せしめる駆動機構と、
ストッパと反対側に配置され半導体ウエーハの側面に当
接可能な２個の移動ローラ、および移動ローラを回転テ
ーブルの中心方向または反対方向に移動せしめる駆動機
構とで装置を構成し、補助ローラと２個の移動ローラを
半導体ウエーハの側面に当接させて回転テーブルを回動
せしめ、ストッパの直線部がオリフラに当接したときに
回転テーブルの回動を停止させることによって、オリフ
ラ検出後、更に半導体ウエーハを正確に位置決めする従
来の２段階作業が１段階作業になり、短時間で正確に位
置決めできる半導体ウエーハの位置決め装置と位置決め
方法を実現することができる。

【００１４】

【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。図２は本発明になる位置決め装置の一実施例を
示す平面図および側面図、図３は本発明になる位置決め
装置の動作を説明する平面図である。

【００１５】本発明になる位置決め装置の一実施例は図
２（ａ）　に示す如く半導体ウエーハ１を載置する回転
テーブル２と、半導体ウエーハ１の側面に当接可能な２
個の補助ローラ６１が内蔵され、補助ローラ６１の両側
にオリフラ１１に当接する直線部６２が配置されてなる
ストッパ６と、ストッパ６の反対側に配置され半導体ウ
エーハ１の側面に当接可能な２個の移動ローラ８を具え
ている。

【００１６】またストッパ６の駆動機構７は図２（ｂ）
　に示す如く引張コイルバネ７１とエアーシリンダ７２
とで構成され、位置決め時には引張コイルバネ７１がス
トッパ６を回転テーブル２の中心方向に移動せしめ、半
導体ウエーハ１から離脱させる際にはエアーシリンダ７
２がストッパ６を反対方向に押し出すように作用する。

【００１７】同様に移動ローラ８の駆動機構９は図２（
ｃ）　に示す如く引張コイルバネ９１とエアーシリンダ
９２とで構成され、位置決め時には引張コイルバネ９１
が移動ローラ８を回転テーブル２の中心方向に移動せし
め、半導体ウエーハ１から離脱させる際にはエアーシリ
ンダ９２が移動ローラ８を反対方向に押し出すように作
用する。

【００１８】半導体ウエーハ１を供給する前は図３（ａ
）　に示す如くエアーシリンダ７２とエアーシリンダ９
２が作動し、ストッパ６と２個の移動ローラ８は回転テ
ーブル２から離れた位置に押し出されている。

【００１９】半導体ウエーハ１を供給しエアーシリンダ
７２と９２を開放状態にすると図３（ｂ）に示す如く、
ストッパ６と２個の移動ローラ８は引張コイルバネの作
用によって回転テーブル２の中心方向に移動する。ほぼ
同等のバネ特性を有する引張コイルバネ７１と９１によ
って駆動されるストッパ６と、移動ローラ８が３方向か
ら半導体ウエーハ１の側面に当接することによって、供
給された半導体ウエーハ１は中心が回転テーブル２の中
心とほぼ合致する点に位置決めされる。

【００２０】回転テーブル２は図２に示す如く載置面に
半導体ウエーハ１を固定する吸着機構２１を有し、位置
決めされた半導体ウエーハ１を固定したあと回転テーブ
ル２を回動させると、半導体ウエーハ１は周囲を補助ロ
ーラ６１と移動ローラ８によってガイドされながら回動
する。

【００２１】回動に伴いオリフラ１１が移動ローラ８の
位置に来ても回転テーブル２の回動は停止しないが、オ
リフラ１１が補助ローラ６１の位置に来るとストッパ６
が更に回転テーブル２の中心方向に移動し、図３（ｃ）
　に示す如く補助ローラ６１の両側に配置されてなる直
線部６２がオリフラ１１に当接すると、直線部６２に組
み込まれているスイッチ６３が作動して回転テーブル２
の回動が停止する。

【００２２】このように補助ローラと２個の移動ローラ
を半導体ウエーハの側面に当接させて回転テーブルを回
動せしめ、ストッパの直線部がオリフラに当接したとき
に回転テーブルの回動を停止させる本発明の位置決め装
置と位置決め方法は、オリフラ検出後、更に半導体ウエ
ーハを正確に位置決めする従来の２段階作業が１段階作
業になり、短時間で正確に位置決めできる半導体ウエー
ハの位置決め装置と位置決め方法を実現することができ
る。

【００２３】しかも従来の位置決め装置は半導体ウエー
ハの直径が変わる都度案内板を交換する必要があるが、
本発明になる位置決め装置はストッパと移動ローラが常
に移動するため半導体ウエーハの直径を考慮する必要が
ない。

【００２４】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば短時間で正確
に位置決めできる半導体ウエーハの位置決め装置と位置
決め方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明になる半導体ウエーハ位置決め装置
の原理を示す斜視図である。

【図２】　　本発明になる位置決め装置の一実施例を示
す平面図と側面図である。

【図３】　　本発明になる位置決め装置の動作を説明す
る平面図である。

【図４】　　従来の半導体ウエーハ位置決め装置を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１　　半導体ウエーハ　　　　　　　　　　２　　回転
テーブル６　　ストッパ　　　　　　　　　　　　　　
　　７　　駆動機構８　　移動ローラ　　　　　　　　
　　　　　　９　　駆動機構１１　　オリフラ　　　　
　　　　　　　　　　　　２１　　吸着機構６１　　補
助ローラ　　　　　　　　　　　　　　６２　　直線部
６３　　スイッチ　　　　　　　　　　　　　　　　７
１　　引張コイルバネ７２　　エアーシリンダ　　　　
　　　　　　９１　　引張コイルバネ９２　　エアーシ
リンダ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　オリエンテーションフラットを基準と
   して半導体ウエーハを同一方向に位置決めする装置にお
   いて、半導体ウエーハ（１）　を固定する吸着機構（２
   １）を有し水平方向に回動可能な回転テーブル（２）　
   と、該半導体ウエーハ（１）　の側面に当接可能な少な
   くとも１個の補助ローラ（６１）を内蔵し、該補助ロー
   ラ（６１）の両側にオリエンテーションフラット（１１
   ）に当接する直線部（６２）を具えたストッパ（６）　
   、および該ストッパ（６）　を該回転テーブル（２）の
   中心方向または反対方向に移動せしめる駆動機構（７）
   　と、該ストッパ（６）　の反対側に配置され該半導体
   ウエーハ（１）　の側面に当接可能な２個の移動ローラ
   （８）　、および該移動ローラ（８）　を該回転テーブ
   ル（２）　の中心方向または反対方向に移動せしめる駆
   動機構（９）　を有し、該ストッパ（６）　に設けられ
   た直線部（６２）が該オリエンテーションフラット（１
   １）に当接すると、該回転テーブル（２）　の回動が停
   止するよう構成されてなることを特徴とする半導体ウエ
   ーハの位置決め装置。
2. 【請求項２】　　オリエンテーションフラット（１１）
   を基準として半導体ウエーハ（１）　を同一方向に位置
   決めする方法であって、回転テーブル（２）　の中心方
   向に移動可能な補助ローラ（６１）と２個の移動ローラ
   （８）　を、該回転テーブル（２）　に載置された該半
   導体ウエーハ（１）　の側面に当接させて該回転テーブ
   ル（２）　を回動せしめ、該補助ローラ（６１）を内蔵
   してなるストッパ（６）　の直線部（６２）が該オリエ
   ンテーションフラット（１１）に当接したときに、該回
   転テーブル（２）　の回動を停止させることを特徴とす
   る半導体ウエーハの位置決め方法。