JPH04277268A - 空気取入口付パーテーション - Google Patents
空気取入口付パーテーションInfo
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- JPH04277268A JPH04277268A JP6120791A JP6120791A JPH04277268A JP H04277268 A JPH04277268 A JP H04277268A JP 6120791 A JP6120791 A JP 6120791A JP 6120791 A JP6120791 A JP 6120791A JP H04277268 A JPH04277268 A JP H04277268A
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- JP
- Japan
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- air
- air intake
- main body
- intake port
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- Granted
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
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- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに用い
る好適な空気取入口付パーテーションに関するものであ
る。
る好適な空気取入口付パーテーションに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム内の壁は、パーテ
ーションと呼ばれる組立式のパネルで構成されている。 このパーテーションは、鉄板を素材とし、一定の強度と
厚みを持たせた構造体であり、表面には静電防止等が施
されたペンキが塗布され、クリーンルーム同士の仕切り
、廊下との仕切り、或いは半導体製造装置の設置エリア
を区切るための仕切りとして用いられている。
ーションと呼ばれる組立式のパネルで構成されている。 このパーテーションは、鉄板を素材とし、一定の強度と
厚みを持たせた構造体であり、表面には静電防止等が施
されたペンキが塗布され、クリーンルーム同士の仕切り
、廊下との仕切り、或いは半導体製造装置の設置エリア
を区切るための仕切りとして用いられている。
【０００３】ところで、クリーンルームでは室内のクリ
ーン度を確保するため、ダウンフロー（天井からの送気
）での送排気が原則となっている。図８は、従来のパー
テーションが用いられたクリーンルームＲにおける送排
気状況を表した側面図を示す。クリーンルーム天井には
ＨＥＰＡフィルター１が設けられ、ＨＥＰＡフィルター
１からクリーンなエアーが床方向に送気される。ＨＥＰ
Ａフィルター１から送気されたエアーは、一部がパーテ
ーション３に沿って床に設けられたグレーチング５へ流
れる。グレーチング５は、ＨＥＰＡフィルター１から送
気されたエアーを、床下部に設けられたリターン風路６
を介して室外へ排気する。つまり、クリーンルームＲ内
は、天井から送気されるクリーンなエアーが床方向へ吸
い込まれるダウンフローとなっている。
ーン度を確保するため、ダウンフロー（天井からの送気
）での送排気が原則となっている。図８は、従来のパー
テーションが用いられたクリーンルームＲにおける送排
気状況を表した側面図を示す。クリーンルーム天井には
ＨＥＰＡフィルター１が設けられ、ＨＥＰＡフィルター
１からクリーンなエアーが床方向に送気される。ＨＥＰ
Ａフィルター１から送気されたエアーは、一部がパーテ
ーション３に沿って床に設けられたグレーチング５へ流
れる。グレーチング５は、ＨＥＰＡフィルター１から送
気されたエアーを、床下部に設けられたリターン風路６
を介して室外へ排気する。つまり、クリーンルームＲ内
は、天井から送気されるクリーンなエアーが床方向へ吸
い込まれるダウンフローとなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パーテーション３を用いたクリーンルームＲにおいては
、ダウンフローによる送排気を原則としているものの、
エアーとパーテーション３表面との摩擦によってエアー
の流れが乱流になり、一部が停留状態となるため、クリ
ーン度が低下するなどの問題があった。また、クリーン
ルーム内に装置等を設置する場合は、パーテーション３
と装置等との間に、グレーチング５からのエアーのリタ
ーンを確保するためのスペースが必要であり、そこがデ
ッドスペースになっていた。そのため、クリーンルーム
の設置スペースを有効に利用できなかった。
パーテーション３を用いたクリーンルームＲにおいては
、ダウンフローによる送排気を原則としているものの、
エアーとパーテーション３表面との摩擦によってエアー
の流れが乱流になり、一部が停留状態となるため、クリ
ーン度が低下するなどの問題があった。また、クリーン
ルーム内に装置等を設置する場合は、パーテーション３
と装置等との間に、グレーチング５からのエアーのリタ
ーンを確保するためのスペースが必要であり、そこがデ
ッドスペースになっていた。そのため、クリーンルーム
の設置スペースを有効に利用できなかった。
【０００５】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、パーテーション本体のクリーンルーム側に発生する
エアーの乱流および停留を低減するとともに、装置等を
近設してもエアーのリターンを確保可能な空気取入口付
パーテーションを提供し、もって、クリーンルームのク
リーン度の向上ならびに設置スペースの有効利用を図る
ことを目的とする。
で、パーテーション本体のクリーンルーム側に発生する
エアーの乱流および停留を低減するとともに、装置等を
近設してもエアーのリターンを確保可能な空気取入口付
パーテーションを提供し、もって、クリーンルームのク
リーン度の向上ならびに設置スペースの有効利用を図る
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る空気取入口付パーテーションは、パーテ
ーション本体の室内側に空気取入口を設け、前記空気取
入口を介して室内に連通するとともに前記パーテーショ
ン本体の下部を介して床下部に設けられたリターン風路
に連通するエアー通路を前記パーテーション本体の内部
に形成した。また、前記空気取入口から吸い込まれる空
気を整流するための整流体を前記パーテーション本体に
設けた。
の本発明に係る空気取入口付パーテーションは、パーテ
ーション本体の室内側に空気取入口を設け、前記空気取
入口を介して室内に連通するとともに前記パーテーショ
ン本体の下部を介して床下部に設けられたリターン風路
に連通するエアー通路を前記パーテーション本体の内部
に形成した。また、前記空気取入口から吸い込まれる空
気を整流するための整流体を前記パーテーション本体に
設けた。
【０００７】
【作用】パーテーション本体の表面に沿って流れるエア
ーは、空気取入口から吸い込まれ、パーテーション本体
内部に形成されたエアー通路を介してリターン風路へ排
気される。また、空気取入口から吸い込まれるエアーは
、整流体によって整流される。
ーは、空気取入口から吸い込まれ、パーテーション本体
内部に形成されたエアー通路を介してリターン風路へ排
気される。また、空気取入口から吸い込まれるエアーは
、整流体によって整流される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る空気取入口付パーテーシ
ョンの実施例を、図面を用いて説明する。図１は本発明
に係る空気取入口付パーテーションが用いられたクリー
ンルームＲの送排気状況を表した側面図で、図２は図１
の正面図を示し、図３は整流体の一例を表した要部拡大
図を示す。尚、従来例に示した部材と同一の部材には同
じ符号を付し、重複する説明は省略する。
ョンの実施例を、図面を用いて説明する。図１は本発明
に係る空気取入口付パーテーションが用いられたクリー
ンルームＲの送排気状況を表した側面図で、図２は図１
の正面図を示し、図３は整流体の一例を表した要部拡大
図を示す。尚、従来例に示した部材と同一の部材には同
じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００９】図１に示すように、クリーンルームＲの天
井にはＨＥＰＡフィルター１が設けられ、床にはリター
ン風路６を覆うグレーチング５が設けられている。一方
、空気取入口付パーテーション２０は、図２でも示すよ
うに、パーテーション本体１１、空気取入口１３、エア
ー通路１７により構成される。そしてパーテーション本
体１１の表面には、複数の空気取入口１３が開口してい
る。よって、クリーンルームＲとエアー通路１７は空気
取入口１３を介して連通し、エアー通路１７はパーテー
ション本体１１の下部でリターン風路６に連通している
（図１参照）。更に、図３で示すように空気取入口１３
には、整流体としての整流片１５ａが、パーテーション
本体１１の内部側に折り曲げられた状態で形成される。 従って、ＨＥＰＡフィルター１から送気されてパーテー
ション本体１１の表面に沿って流れるエアーは、空気取
入口１３からエアー通路１７へ吸い込まれ、リターン風
路６を介して室外に排気される。この時、空気取入口１
３から吸い込まれるエアーは、整流片１５ａがパーテー
ション本体１１の内部側に折り曲げられていることで整
流される。これによりエアー通路１７からは、エアーの
巻き込みが生じないので、クリーンルームＲへの塵の戻
りもない。
井にはＨＥＰＡフィルター１が設けられ、床にはリター
ン風路６を覆うグレーチング５が設けられている。一方
、空気取入口付パーテーション２０は、図２でも示すよ
うに、パーテーション本体１１、空気取入口１３、エア
ー通路１７により構成される。そしてパーテーション本
体１１の表面には、複数の空気取入口１３が開口してい
る。よって、クリーンルームＲとエアー通路１７は空気
取入口１３を介して連通し、エアー通路１７はパーテー
ション本体１１の下部でリターン風路６に連通している
（図１参照）。更に、図３で示すように空気取入口１３
には、整流体としての整流片１５ａが、パーテーション
本体１１の内部側に折り曲げられた状態で形成される。 従って、ＨＥＰＡフィルター１から送気されてパーテー
ション本体１１の表面に沿って流れるエアーは、空気取
入口１３からエアー通路１７へ吸い込まれ、リターン風
路６を介して室外に排気される。この時、空気取入口１
３から吸い込まれるエアーは、整流片１５ａがパーテー
ション本体１１の内部側に折り曲げられていることで整
流される。これによりエアー通路１７からは、エアーの
巻き込みが生じないので、クリーンルームＲへの塵の戻
りもない。
【００１０】ここで、整流体としては、上述のような整
流片１５ａの他、図４に示すように、パーテーション本
体１１内部のエアー通路１７に整流板１５ｂ、１５ｂ・
・・を別個に設けてもよい。更に他の例としては、図５
に示すように、パーテーション本体１１の室内側にガラ
リ状の整流部材１５ｃを設けてもよい。整流部材１５ｃ
の場合は、整流部材１５ｃとパーテーション本体１１と
の間隙を、リターン風路６に連通することでエアーの排
気が行えるため、既存のパーテーションにも容易に設置
できる。
流片１５ａの他、図４に示すように、パーテーション本
体１１内部のエアー通路１７に整流板１５ｂ、１５ｂ・
・・を別個に設けてもよい。更に他の例としては、図５
に示すように、パーテーション本体１１の室内側にガラ
リ状の整流部材１５ｃを設けてもよい。整流部材１５ｃ
の場合は、整流部材１５ｃとパーテーション本体１１と
の間隙を、リターン風路６に連通することでエアーの排
気が行えるため、既存のパーテーションにも容易に設置
できる。
【００１１】更にパーテーション本体１１表面でのクリ
ーン度を確保するためには、パーテーション本体１１の
下部とグレーチング５との隅部にも空気取入口を設ける
ことが好ましい。すなわち、図６に示すように、上記隅
部におけるパーテーション本体１１の下部に隅部空気取
入口１４を設けるか、或いは、図７に示すように、上記
隅部におけるグレーチング５の端部に隅部空気取入口１
６を設けることが好ましい。これらの構成をとることに
より、塵がもっとも溜まりやすい隅部のクリーン度も確
実に保持される。
ーン度を確保するためには、パーテーション本体１１の
下部とグレーチング５との隅部にも空気取入口を設ける
ことが好ましい。すなわち、図６に示すように、上記隅
部におけるパーテーション本体１１の下部に隅部空気取
入口１４を設けるか、或いは、図７に示すように、上記
隅部におけるグレーチング５の端部に隅部空気取入口１
６を設けることが好ましい。これらの構成をとることに
より、塵がもっとも溜まりやすい隅部のクリーン度も確
実に保持される。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る空気
取入口付パーテーションによれば、パーテーション本体
のクリーンルーム側に発生するエアーの乱流や停留を大
幅に低減でき、よって、クリーンルーム内のクリーン度
は向上する。また、パーテーション本体の表面に沿って
流れるエアーがエアー通路を介して排気されるため、従
来より装置等をパーテーション本体に近設してもエアー
のリターンが確保され、より有効にクリーンルームの設
置スペースを利用できる。
取入口付パーテーションによれば、パーテーション本体
のクリーンルーム側に発生するエアーの乱流や停留を大
幅に低減でき、よって、クリーンルーム内のクリーン度
は向上する。また、パーテーション本体の表面に沿って
流れるエアーがエアー通路を介して排気されるため、従
来より装置等をパーテーション本体に近設してもエアー
のリターンが確保され、より有効にクリーンルームの設
置スペースを利用できる。
【図１】本発明に係る空気取入口付パーテーションが用
いられたクリーンルームＲの送排気状況を表した側面図
である。
いられたクリーンルームＲの送排気状況を表した側面図
である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】整流体の一例を表した要部拡大図である。
【図４】整流体の他の例を表した要部拡大図である。
【図５】整流体の更に他の例を表した側面図である。
【図６】パーテーション本体の下部に隅部空気取入口を
形成した構造を表した側面図である。
形成した構造を表した側面図である。
【図７】グレーチングの端部に隅部空気取入口を形成し
た構造を表した側面図である。
た構造を表した側面図である。
【図８】従来のパーテーションが用いられたクリーンル
ームＲの送排気状況を表した側面図である。
ームＲの送排気状況を表した側面図である。
６ リターン風路
１１ パーテーション本体
１３ 空気取入口
１５ａ 整流片
１５ｂ 整流板
１５ｃ 整流部材
１７ エアー通路
２０ 空気取入口付パーテーション
Claims (2)
- 【請求項１】 パーテーション本体の室内側に空気取
入口を設け、前記空気取入口を介して室内に連通すると
ともに前記パーテーション本体の下部を介して床下部に
設けられたリターン風路に連通するエアー通路を前記パ
ーテーション本体の内部に形成したことを特徴とする空
気取入口付パーテーション。 - 【請求項２】 前記空気取入口から前記エアー通路に
吸い込まれる空気を整流するための整流体を前記パーテ
ーション本体に設けたことを特徴とする請求項１記載の
空気取入口付パーテーション。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03061207A JP3108740B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 空気取入口付パーテーション |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03061207A JP3108740B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 空気取入口付パーテーション |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04277268A true JPH04277268A (ja) | 1992-10-02 |
| JP3108740B2 JP3108740B2 (ja) | 2000-11-13 |
Family
ID=13164516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03061207A Expired - Fee Related JP3108740B2 (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 空気取入口付パーテーション |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3108740B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP03061207A patent/JP3108740B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3108740B2 (ja) | 2000-11-13 |
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Legal Events
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