JPH04285721A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】磁気ディスク装置における磁気記
録円板に情報を記録／再生するための磁気ヘッドは、磁
気記録円板が高速回転する際の風力によって浮上した状
態で記録／再生が行なわれる。本発明は、このような浮
上式磁気ヘッドのコアスライダの製造方法、特に浮上面
レールの周縁のＲ面取り方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、磁気ヘッドによって情報を記録
／再生している状態を示す側面図である。Ｈは磁気ヘッ
ドであり、コアスライダ１の後端に、コイル２が巻かれ
たコア３が接着されている。そして、コア３とコアスラ
イダ１との間のギャップＧで、磁気記録円板４に情報が
記録／再生される。

【０００３】コアスライダ１は、ジンバルと呼ばれる薄
板バネ５を介してスプリングアーム６に取り付け支持さ
れており、該スプリングアーム６が、駆動アーム７を介
して、駆動軸８に取り付けられている。

【０００４】磁気記録円板４は高速回転するため、その
際発生する矢印ａ１方向の風力でコアスライダ１が浮上
する。したがって、後端のギャップＧでは、磁気記録円
板４との間に微小な浮上隙間をおいて、記録／再生が行
なわれる。

【０００５】このように、コアスライダ１を風力で浮上
させるために、コアスライダ１の先端の磁気記録円板４
と対向する位置に、空気の流入斜面９を形成することで
、コアスライダ１が浮上し易くしている。

【０００６】図５（ａ）は薄膜ヘッドのコアスライダの
斜視図である。コアスライダ１の、前記磁気記録円板４
と対向する面（スライダ面）には、２本の浮上面レール
１０、１１を有している。そして浮上面レール１０、１
１の先端に、前記の流入斜面９が形成されている。（ｂ
）図に示すように、この流入斜面９の寸法は、浮上方向
の深さが２〜７μｍ、浮上面レール方向の長さが３００
　〜６００　μｍであり、その結果、傾斜角度θは２０
′〜４０′となる。

【０００７】図４のように浮上面レール１０、１１が磁
気記録円板４と対向した状態で磁気記録円板４が高速回
転している際に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気
記録円板４の突起が浮上面レール１０、１１の周縁の角
部ｅ１　〜ｅ４　に衝突することがある。このような場
合に、ヘッドクラッシュを来さないように、浮上面レー
ル１０、１１の周縁ｅ１　〜ｅ４　を研磨して面取りし
、深さ１０〜２０μｍのＲ面取りをすることが行なわれ
る。

【０００８】図６は流入斜面９を形成する前のコアスラ
イダブロック１２の斜視図であり、鎖線で示す領域９ａ
を研磨して流入斜面を形成してから、破線１３で示す位
置から分断し、数個〜１０個程度のコアスライダにする
。そして、数個〜１０個程度のコアスライダを一斉にＲ
面取りする。

【０００９】図７はコアスライダブロック１２の背面図
（記録／再生素子ｈ側から見た図）であり、鎖線の位置
から個々のコアスライダに分離される。そして図８に示
すように、個々のコアスライダ１…を、面取り用の治具
１４に一定間隔で貼りつける。

【００１０】このとき、コアスライダ１内の浮上面レー
ル１０、１１の間隔Ｄが、隣接するコアスライダの浮上
面レール１１、１０の間隔ｄと一致するように配置され
る。これによって、すべての浮上面レール１０、１１…
の間隔が一定になる。

【００１１】図９は従来の面取り方法を示す斜視図であ
り、図８のように複数個のコアスライダ１…が貼り付け
られた治具１４を、シリコンゴム製定盤１５に貼りつけ
たダイヤモンドラッピングテープ１６の上に載せる。

【００１２】このように浮上面レール１０、１１をダイ
ヤモンドラッピングテープ１６に当てた状態で、治具１
４を手で押しつけると、図８に示すように、浮上面レー
ル１０、１１がダイヤモンドラッピングテープ１６に食
い込む。この状態で、矢印ａ２、ａ３で示すように、治
具１４をジグザグ状に摺動させると、浮上面レール１０
、１１の周縁の角部（　図５に示すｅ１　〜ｅ４　）　
が最も強くダイヤモンドラッピングテープ１６に当たる
ため、磨耗によって面取りされ、Ｒがつく。なお、薄膜
磁気ヘッドの場合は、Ｒ面取り深さは　０．２〜　０．
３μｍ程度である。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来のＲ面取り方法では、図５に示す浮上面レール１０
、１１の両側の角部ｅ１、ｅ３を均等にＲ面取りするに
は、図８に示すように、コアスライダブロック１２を各
コアスライダ１…ごとに分離し、コアスライダ内の浮上
面レール１０〜１１の間隔Ｄと、隣接するコアスライダ
間の浮上面レール１１〜１０の間隔ｄが一致するように
、一定間隔に治具１４に貼りつける必要があり、作業が
面倒である。

【００１４】また、薄膜型の磁気ヘッドの場合、薄膜素
子部ｈの硬度はコアスライダ部より格段と柔らかい。例
えばコアスライダ１の材料であるＡｌ２Ｏ３　・ＴｉＣ
は非常に硬いが、薄膜素子部ｈを構成しているＡｌ２　
Ｏ３　は柔らかく、両者の硬度差が大きい。そのため、
図８のように浮上面レール間隔を一定にそろえるだけで
は、薄膜素子部ｈが研磨過剰となる。

【００１５】これを防止するために、図１０に示すよう
に、隣接するコアスライダの薄膜素子部ｈ同士が密接す
るように向い合せて配置し、隣接する薄膜素子部ｈ−ｈ
間にダイヤモンドラッピングテープ１６が入り込めない
ようにして、薄膜素子部ｈの研磨過剰を防止している。 しかしながら、この場合も、コアスライダブロックを切
り離して、コアスライダ１ごとに並べ変える必要があり
、作業工数が多く、生産効率が悪い。

【００１６】とくに、図８、図１０いずれの方法も、各
コアスライダ間において摩耗量が異なり、Ｒ面取り量が
不均一になるという問題がある。図１１はこの様子を示
す側面図である。ゴム定盤１５上のダイヤモンドラッピ
ングテープ１６の上で、コアスライダブロック１２が貼
り付けられた治具１４を　（ａ）のように右向きに移動
する際は、先端（　右側）寄りのコアスライダ１におい
て、各浮上面レール間にダイヤモンドラッピングテープ
１６が比較的深く入り込んで、Ｒ面取りされるが、後端
（左側　）寄りのコアスライダ１においては、ダイヤモ
ンドラッピングテープ１６とその下側のゴム定盤１５が
矢印ａ２方向に引っ張られるために、この張力がゴム定
盤１５の凹凸変形を妨げ、各浮上面レール間にダイヤモ
ンドラッピングテープ１６が入り込めない。

【００１７】（ｂ）に示すように、逆に治具１４を左向
きに移動する際は、先端（　左側　）寄りのコアスライ
ダ１において、各浮上面レール間にダイヤモンドラッピ
ングテープ１６が比較的深く入り込んで、Ｒ面取りされ
るが、後端（右側　）寄りのコアスライダ１においては
、ダイヤモンドラッピングテープ１６とその下側のゴム
定盤１５が矢印ａ３方向に引っ張られるために、この張
力がゴム定盤１５の凹凸変形を妨げ、各浮上面レール間
にダイヤモンドラッピングテープ１６が入り込めない。

【００１８】したがって、右端寄りと左端寄りのコアス
ライダはＲ面取りされるが、中央のコアスライダはＲ面
取り不足となる。しかも、右端寄りのコアスライダは、
　（ａ）のように右向きに摺動するときは効率的に研磨
されるが、（ｂ）のように左向きに摺動するときは殆ど
研磨されない。したがって、両端のコアスライダにおい
ても、研磨効率は半減することになる。

【００１９】また、図１１のように、各コアスライダを
切り離さないで、コアスライダブロック１２の状態でＲ
面取りすると、浮上面レールの間隔の狭い隣接コアスラ
イダ間の隙間ｄが狭く、切断砥石幅程度（０．３〜０．
５ｍｍ）なために、図５における外側のエッジｅ１、ｅ
１のＲ面取り量が不足する。これを防止するには、図８
のように浮上面レールの間隔Ｄ（２ｍｍ程度）　とｄが
同等となるように、コアスライダブロックを切り離して
並べ変えることが不可欠となる。

【００２０】本発明の技術的課題は、このような問題に
着目し、ゴム定盤などのような弾性定盤上の研磨シート
に複数のコアスライダを摺動させて、コアスライダの浮
上面レールの角をＲ面取りする際に、総てのコアスライ
ダが均一に、かつ効率的に研磨され、Ｒ面取り可能とす
ることにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】図１は本発明による磁気
ヘッドの製造方法の基本原理を説明する平面図と側面図
である。１５は例えばシリコンゴム等からなる弾性定盤
であり、その表面にダイヤモンドラッピングテープなど
の研磨シート１６が貼り付けられている。

【００２２】弾性定盤１５には、研磨シート１６側の面
に、切り込み１７が間隔をおいて設けられている。矢印
Ａは、コアスライダブロック１２の摺動方向であるが、
切り込み１７は、この摺動方向Ａと交差する方向に設け
られている。図においては、直交するようになっている
が、交差角度は、必ずしも直角である必要はない。

【００２３】このように、弾性定盤１５に間隔をおいて
設けた切り込み１７上に貼り付けられた研磨シート１６
の上に、コアスライダブロック１２を載置し、荷重をか
けて、コアスライダブロック１２を摺動させる。

【００２４】請求項２は、被研磨部品が一体のコアスラ
イダブロックではなく、コアスライダブロック１２を分
離してなる複数個のコアスライダを所定の位置関係で治
具に貼り付けてなるコアスライダ列を、前記のように切
り込み１７を有する弾性定盤１５上の研磨シート１６に
対し摺動させてＲ面取りする方法である。

【００２５】請求項３は、請求項１のように一体になっ
たコアスライダブロックまたは請求項２のように複数の
コアスライダを治具に貼り付けてなるコアスライダ列を
摺動させる際に、コアスライダの流入斜面９が前向きで
薄膜素子部ｈが後端に位置するように、摺動方向を規定
したものである。

【００２６】

【作用】図２は、本発明方法の作用を説明するための拡
大側面図である。図示のように、弾性定盤１５の研磨シ
ート１６側の面に所定の間隔で切り込み１７が入ってい
ると、切り込み１７によって、弾性定盤１５が分離し独
立した恰好になる。

【００２７】そのため、コアスライダブロック１２が例
えば左向きに摺動するものとすると、弾性定盤１５が矢
印ａ３方向に引張られるが、この張力は切り込み１７の
手前までしか作用しない。すなわち、切り込み１７によ
って弾性定盤１５の表面が分離独立しているため、切り
込み１７を越えて張力が伝わるようなことはない。

【００２８】このように、切り込み１７によって、張力
が分断されることになり、弾性定盤１５の表面は、コア
スライダブロック１２の凹凸に追随して容易に弾性変形
でき、コアスライダブロック１２中のすべてのコアスラ
イダが均一に研磨され、Ｒ面取りできる。

【００２９】また、このように弾性定盤１５の表面がコ
アスライダブロック１２の総ての位置において容易に弾
性変形するため、隣接する浮上面レールの間隔ｄが小さ
くても、弾性定盤１５および研磨シート１６が容易に入
り込むことができる。特に、弾性定盤１５は切り込み１
７の位置が弾性変形しやすいため、被研磨部が切り込み
１７の上を通過する際に、研磨シート１６が隣接コアス
ライダ間の狭い隙間ｄにも容易に入り込んで、隙間ｄ側
の角部も確実にＲ面取りされる。したがって、浮上面レ
ールの間隔Ｄとｄを同等とするために、図８のように各
コアスライダを分離して貼りなおしたりしなくても、浮
上面レールの内側のエッジｅ３と外側のエッジｅ１をほ
ぼ同等の深さにＲ面取りできる。

【００３０】しかしながら、図８や図１０などのように
コアスライダを分離して貼りなおした状態でＲ面取りす
る際に、請求項２のように本発明の方法を適用しても、
従来のゴム定盤１５よりは有効であることは言うまでも
ない。

【００３１】コアスライダブロック１２の状態で、ある
いは図８などのようなコアスライダ列の状態でＲ面取り
する際に、請求項３のように、コアスライダの流入斜面
９が前向きで薄膜素子部ｈが後端に位置するように摺動
させると、薄膜素子部ｈ側と研磨シート１６との接触圧
が軽減されるため、材質の軟らかい薄膜素子部ｈが研磨
過剰となるのを抑制できる。

【００３２】なお、本発明の場合、コアスライダの摺動
方向は、直線方向あるいはジグザグ方向などの何れでも
よく、摺動方向が制限されるものではない。

【００３３】

【実施例】次に本発明による磁気ヘッドの製造方法が実
際上どのように具体化されるかを実施例で説明する。図
３は本発明方法の実施例であり、　（ａ）は平面図、　
（ｂ）は側面図である。

【００３４】シリコンゴムは、ダイヤモンドラッピング
テープ１６などの研磨シートを粘着する性質があるため
、弾性定盤１５は、従来の場合と同様に、シリコンゴム
製が有効である。

【００３５】切り込み１７のピッチや深さは、弾性定盤
１５の硬度や研磨シート１６の厚さによって異なるが、
弾性定盤１５の硬度が４０〜７０、テープベース厚１０
〜１ミルの場合、ピッチ１０〜２０ｍｍ、溝幅　１．０
〜２．０ｍｍ　、深さ１．０　〜３．０ｍｍ　が好まし
い。

【００３６】具体的には、コアスライダブロックは、コ
アスライダ１０個分が一体となったものの場合、長さ３
０ｍｍ程度なため、シリコンゴム定盤１５としては、幅
１インチ、長さ１０センチメートル、厚さ５ｍｍの寸法
とし、ゴム硬度６０〜７０のものを用いた。そして、切
り込み１７は深さ０．５　〜３ｍｍ、溝幅１〜２ｍｍと
し、５〜１５ｍｍ程度のピッチで設けた。切り込み１７
の深さは、ゴム定盤１５のゴム硬度に応じて変えるのが
有効である。なお、切り込み１７は、１〜２ｍｍ程度の
幅を有するものでもよく、切り込み１７のピッチは小さ
いほど研磨効果が大きい。

【００３７】このようなシリコンゴム定盤１５の切り込
み１７の上に、ベース厚さ１ｍｉｌのダイヤモンドラッ
ピングテープ１６を粘着させ、この上で　５００〜２０
００ｇの荷重をかけてコアスライダブロックを摺動させ
た。このとき、コアスライダブロックを、図示のように
進行方向に対し角度βだけ傾けた状態で摺動すると、各
エッジが効果的にＲ面取りされる。

【００３８】摺動方向は、常にコアスライダの流入斜面
９が前向きで薄膜素子部ｈが後端に位置するように摺動
させる。すなわち、図３において、コアスライダブロッ
ク１２ａのように左向きに摺動させる際は、左側に流入
斜面９が位置し、薄膜素子部ｈが右側に位置するような
向きにする。また、コアスライダブロック１２ｂのよう
に右向きに摺動させる際は、右側に流入斜面９が位置し
、薄膜素子部ｈが左側に位置するような向きにする。

【００３９】このように往復摺動させる際に、終端にお
いて、コアスライダブロックの向きを反転させ、常に流
入斜面９を前向きにしてＲ面取りする。また、反転する
際に、１８０　度反転させるのではなく、傾き角βの２
倍の角度反転する。その結果、左向きに摺動する際は、
コアスライダブロック１２ａは右下がりに傾くのに対し
、右向きに摺動する際は、コアスライダブロック１２ｂ
は左下がりに傾くため、１往復することで、角エッジの
研磨条件が同等となり、総てのエッジが均等にＲ面取り
される。

【００４０】この実施例のシリコンゴム定盤１５を用い
て、分離する前のコアスライダブロックを、反転角度を
２βとするこでＲ面取りしたところ、浮上面レールの外
側のエッジｅ１のＲ面取り深さが　０．３μｍであった
のに対し、内側のエッジｅ３のＲ面取り深さが　０．２
μｍとなった。浮上面レールの外側と内側とでは、Ｒ面
取り深さを同等にするのは困難であるが、０．１　μｍ
程度の差は許容される。

【００４１】なお、本発明の方法は、薄膜磁気ヘッドを
製造する際に特に有効であるが、モノリシックの磁気ヘ
ッドのコアスライダをＲ面取りする際にも有効である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、弾性定盤
１５の研磨シート１６側の面に、コアスライダブロック
１２やコアスライダ列などの被研磨品の摺動方向と交差
する方向の切り込み１７を設け、この切り込み１７上の
研磨シート１６に対してコアスライダブロック１２やコ
アスライダ列を摺動させることによって、小さく独立し
た弾性定盤が多数存在する状態となり、張力が切り込み
１７を越えて伝わることがないため、コアスライダブロ
ック１２のすべての位置において弾性定盤１５がコアス
ライダの凹凸に円滑に追随して均一に弾性変形する。

【００４３】その結果、コアスライダブロック１２やコ
アスライダ列中の総てのコアスライダを均一にＲ面取り
でき、特に長いコアスライダブロックのＲ面取りに有効
であり、量産に適している。

【００４４】また、隣接するコアスライダ間のエッジの
ように浮上面レールの間隔ｄの小さな位置においても、
弾性定盤１５および研磨シート１６が容易に弾性変形し
て進入できるため、コアスライダを分離する前のコアス
ライダブロックのままＲ面取りでき、作業工数が削減さ
れ、生産効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の基本原理
を説明する平面図と側面図である。

【図２】本発明方法の作用を説明する拡大側面図である
。

【図３】本発明方法の実施状態を例示する平面図と側面
図である。

【図４】磁気ヘッドによって情報を記録／再生している
状態を示す側面図、

【図５】コアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、

【図６】流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、

【図７】流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、

【図８】従来の浮上面レールのＲ面取り方法を示す側面
図である。

【図９】従来の摺動方法を示す斜視図である。

【図１０】従来のコアスライダの並べ変え状態を示す底
面図と右側面図である。

【図１１】従来のＲ面取り方法における研磨量のばらつ
き原因を説明する側面図である。

【符号の説明】

１　　コアスライダ ４　　磁気記録円板 ９　　流入斜面 １０，１１　浮上面レール Ｄ　　コアスライダ内における浮上面レールの間隔ｄ　
　隣接コアスライダ間の浮上面レールの間隔ｈ　　薄膜
素子部 １２，１２ａ，１２ｂ　　コアスライダブロック１３　
　分離位置 １４　　治具 １５　　弾性（　ゴム　）定盤 １６　　研磨シート（　ダイヤモンドラッピングテープ
　）１７　　切り込み

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数個のコアスライダに分離する前の
   コアスライダブロック（１２）を、弾性定盤（１５）上
   の研磨シート（１６）に載置し、コアスライダブロック
   （１２）を研磨シート（１６）上で摺動させることによ
   って、磁気ディスク装置用の磁気ヘッドのコアスライダ
   における浮上面レールの周縁の角を面取りし、Ｒを付け
   る方法において、弾性定盤（１５）の研磨シート（１６
   ）側の面に、コアスライダブロック（１２）の摺動方向
   と交差する方向の切り込み（１７）を設け、この切り込
   み（１７）上の研磨シート（１６）に対してコアスライ
   ダブロック（１２）を摺動させることを特徴とする磁気
   ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】　　コアスライダブロック（１２）を分離
   してなる複数個のコアスライダを所定の位置関係で治具
   に貼り付けてなるコアスライダ列を、弾性定盤（１５）
   上の研磨シート（１６）に載置し、コアスライダ列を研
   磨シート（１６）上で摺動させることによって、磁気デ
   ィスク装置用の磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上
   面レールの周縁の角を面取りし、Ｒを付ける方法におい
   て、弾性定盤（１５）の研磨シート（１６）側の面に、
   コアスライダ列の摺動方向と交差する方向の切り込み（
   １７）を設け、この切り込み（１７）上の研磨シート（
   １６）に対してコアスライダ列を摺動させることを特徴
   とする磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】　　コアスライダブロック（１２）または
   コアスライダ列を研磨シート（１６）上で摺動させる際
   に、コアスライダの流入斜面（９）　が前向きで薄膜素
   子部（ｈ）　が後端に位置するような向きとすることを
   特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの製造方
   法。