JPH10241131A - 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH10241131A JPH10241131A JP4339397A JP4339397A JPH10241131A JP H10241131 A JPH10241131 A JP H10241131A JP 4339397 A JP4339397 A JP 4339397A JP 4339397 A JP4339397 A JP 4339397A JP H10241131 A JPH10241131 A JP H10241131A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面の面粗度を小と
し、記録再生信号のスペーシングロスを小とする薄膜磁
気ヘッドおよびその製造方法の提供。 【解決手段】 薄膜磁気ヘッド２ａを薄膜磁気ヘッド固
定治具７に固定して磁気記録媒体記録面の対向面である
ＡＢＳ面を研磨する工程が、ＡＢＳ面に形成される研磨
痕方向を空気流入溝６形成方向と直交する方向の一方向
のみに形成する仕上げ工程を有することを特徴とするも
のであり、薄膜磁気ヘッド２ａの空気流入溝６の形成方
向を薄膜磁気ヘッド固定治具７の回転中心を通る中心線
方向に固定する工程と、ＡＢＳ面を研磨装置の定盤８に
圧接させるとともに薄膜磁気ヘッド固定治具７と定盤８
を何れも回転させてＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨す
る工程と、定盤８の回転を停止し、薄膜磁気ヘッド固定
治具７のみの回転によりＡＢＳ面の仕上げ代を研磨する
工程とを有することを特徴とする。
し、記録再生信号のスペーシングロスを小とする薄膜磁
気ヘッドおよびその製造方法の提供。 【解決手段】 薄膜磁気ヘッド２ａを薄膜磁気ヘッド固
定治具７に固定して磁気記録媒体記録面の対向面である
ＡＢＳ面を研磨する工程が、ＡＢＳ面に形成される研磨
痕方向を空気流入溝６形成方向と直交する方向の一方向
のみに形成する仕上げ工程を有することを特徴とするも
のであり、薄膜磁気ヘッド２ａの空気流入溝６の形成方
向を薄膜磁気ヘッド固定治具７の回転中心を通る中心線
方向に固定する工程と、ＡＢＳ面を研磨装置の定盤８に
圧接させるとともに薄膜磁気ヘッド固定治具７と定盤８
を何れも回転させてＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨す
る工程と、定盤８の回転を停止し、薄膜磁気ヘッド固定
治具７のみの回転によりＡＢＳ面の仕上げ代を研磨する
工程とを有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜磁気ヘッドおよ
びその製造方法に関し、さらに詳しくは、磁気記録媒体
との対向面に形成される研磨痕形成方向に特徴を有する
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
びその製造方法に関し、さらに詳しくは、磁気記録媒体
との対向面に形成される研磨痕形成方向に特徴を有する
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録においては高密度記録を
実現するために短波長記録が行われている。ところで、
この短波長記録を阻害する要因の一つに、磁気ヘッドと
磁気記録媒体との間に薄い空気層が生じて記録再生信号
を劣化させるスペーシングロスがある。このスペーシン
グロスを小とする有効な手段の一つは、磁気ヘッドの磁
気記録媒体記録面との対向面粗度を極力小に仕上げるこ
とである。以下、ハードディスク駆動装置などに搭載さ
れる薄膜磁気ヘッドの製造方法について図面を参照して
説明する。
実現するために短波長記録が行われている。ところで、
この短波長記録を阻害する要因の一つに、磁気ヘッドと
磁気記録媒体との間に薄い空気層が生じて記録再生信号
を劣化させるスペーシングロスがある。このスペーシン
グロスを小とする有効な手段の一つは、磁気ヘッドの磁
気記録媒体記録面との対向面粗度を極力小に仕上げるこ
とである。以下、ハードディスク駆動装置などに搭載さ
れる薄膜磁気ヘッドの製造方法について図面を参照して
説明する。
【０００３】先ず、図１の概略平面図に示したように、
ウェハ１上に蒸着、スパッタリングあるいはエッチング
などの真空薄膜形成技術により複数の薄膜磁気ヘッド素
子２をマトリックス状に形成する。
ウェハ１上に蒸着、スパッタリングあるいはエッチング
などの真空薄膜形成技術により複数の薄膜磁気ヘッド素
子２をマトリックス状に形成する。
【０００４】次に、図２の概略平面図に示したように、
薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面（以
下、単にＡｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅを略
したＡＢＳ面と記す）となるＡＢＳ面４が一方向に揃う
方向からウェハ１を切断し、複数の薄膜磁気ヘッド素子
２を一列に連設した短冊状のブロック３を形成する。
薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面（以
下、単にＡｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅを略
したＡＢＳ面と記す）となるＡＢＳ面４が一方向に揃う
方向からウェハ１を切断し、複数の薄膜磁気ヘッド素子
２を一列に連設した短冊状のブロック３を形成する。
【０００５】次に、図３の概略側面図に示したように、
薄膜磁気ヘッド素子２のＡＢＳ面４を上面にしてブロッ
ク３をブロック固定治具５に接着などで固定する。そし
て、薄膜磁気ヘッド素子２のギャップデプスが所定の値
となるようにＡＢＳ面４を研磨する。
薄膜磁気ヘッド素子２のＡＢＳ面４を上面にしてブロッ
ク３をブロック固定治具５に接着などで固定する。そし
て、薄膜磁気ヘッド素子２のギャップデプスが所定の値
となるようにＡＢＳ面４を研磨する。
【０００６】次に、図４の概略平面図に示したように、
ＡＢＳ面４をエッチングして空気流入溝６を形成する。
ＡＢＳ面４をエッチングして空気流入溝６を形成する。
【０００７】次に、図５の概略平面図に示したように、
薄膜磁気ヘッド素子２を一個毎に切断する。これが一個
の薄膜磁気ヘッド２ａとなる。
薄膜磁気ヘッド素子２を一個毎に切断する。これが一個
の薄膜磁気ヘッド２ａとなる。
【０００８】次に、図６の概略平面図に示したように、
薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４を上面にして円盤状の
薄膜磁気ヘッド固定治具７の外周縁部に接着などで固定
する。そして、図７の概略平面図に示したように、研磨
機の定盤８に薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４が圧接す
るように薄膜磁気ヘッド固定治具７をセットし、研磨装
置の定盤８と薄膜磁気ヘッド固定治具７を何れも回転さ
せてＡＢＳ面４の研磨を行う。以上の工程を経て、薄膜
磁気ヘッド２ａが完成する。
薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４を上面にして円盤状の
薄膜磁気ヘッド固定治具７の外周縁部に接着などで固定
する。そして、図７の概略平面図に示したように、研磨
機の定盤８に薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４が圧接す
るように薄膜磁気ヘッド固定治具７をセットし、研磨装
置の定盤８と薄膜磁気ヘッド固定治具７を何れも回転さ
せてＡＢＳ面４の研磨を行う。以上の工程を経て、薄膜
磁気ヘッド２ａが完成する。
【０００９】しかしながら、研磨装置の定盤８と薄膜磁
気ヘッド固定治具７とを何れも回転させてＡＢＳ面４の
研磨を行った場合、図８におけるＡ部の概略拡大図であ
る図１１に示したように研磨痕１０がランダムに形成さ
れ、ＡＢＳ面４の表面粗度を小とすることが困難となっ
ていた。このようなランダムの研磨痕１０がＡＢＳ面４
にあると、現状では図１１における概略Ｃ−Ｃ断面図で
ある図１２に示したように、空気流入溝６を挟んで両側
に形成されているレール１４のうちの一方のレール１４
に記録ギャップ１２および再生ギャップ１３が形成され
ているコア部９において、レール上面１５と金属膜１１
上面との段差Ｃを１０ｎｍ、レール上面１５と金属膜構
成面１６との段差Ｄを１３ｎｍとするのが限界であり、
記録再生信号のスペーシングロスを小にしてより短波長
記録の実現を図る上で、これを阻害する一要因となって
いた。
気ヘッド固定治具７とを何れも回転させてＡＢＳ面４の
研磨を行った場合、図８におけるＡ部の概略拡大図であ
る図１１に示したように研磨痕１０がランダムに形成さ
れ、ＡＢＳ面４の表面粗度を小とすることが困難となっ
ていた。このようなランダムの研磨痕１０がＡＢＳ面４
にあると、現状では図１１における概略Ｃ−Ｃ断面図で
ある図１２に示したように、空気流入溝６を挟んで両側
に形成されているレール１４のうちの一方のレール１４
に記録ギャップ１２および再生ギャップ１３が形成され
ているコア部９において、レール上面１５と金属膜１１
上面との段差Ｃを１０ｎｍ、レール上面１５と金属膜構
成面１６との段差Ｄを１３ｎｍとするのが限界であり、
記録再生信号のスペーシングロスを小にしてより短波長
記録の実現を図る上で、これを阻害する一要因となって
いた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、薄膜
磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面であるＡＢ
Ｓ面の面粗度を小とし、記録再生信号のスペーシングロ
スを小とする薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法を提供
することである。
磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面であるＡＢ
Ｓ面の面粗度を小とし、記録再生信号のスペーシングロ
スを小とする薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法を提供
することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、
ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間隔でマトリック
ス状に形成する工程と、薄膜磁気ヘッド素子のＡＢＳ面
を一方向に揃えて複数個の薄膜磁気ヘッド素子が一列に
連設する短冊状のブロックに切り出す工程と、ブロック
固定治具に固定されたブロックのＡＢＳ面の研磨により
ギャップデプスと空気流入溝とを形成する工程と、ブロ
ックを切断して一個の薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜
磁気ヘッドを形成する工程と、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ
面を上面にして円盤状の固定治具に固定する工程と、薄
膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧接させる
とともに、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具と研磨装
置の定盤を何れも回転させてＡＢＳ面を研磨する工程と
を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、薄膜磁気
ヘッドを固定治具に固定する工程が、薄膜磁気ヘッドの
空気流入溝の形成方向を固定治具の回転中心を通る中心
線方向に固定する工程であり、薄膜磁気ヘッドを固定治
具に固定して薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨する工程
が、ＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧接させるとともに、
薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具と研磨装置の定盤を
何れも回転させてＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨する
工程と、研磨装置の定盤の回転を停止し、薄膜磁気ヘッ
ドを固定した固定治具のみの回転によりＡＢＳ面の仕上
げ代を研磨する工程とを有することを特徴とする。
に、請求項１の発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、
ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間隔でマトリック
ス状に形成する工程と、薄膜磁気ヘッド素子のＡＢＳ面
を一方向に揃えて複数個の薄膜磁気ヘッド素子が一列に
連設する短冊状のブロックに切り出す工程と、ブロック
固定治具に固定されたブロックのＡＢＳ面の研磨により
ギャップデプスと空気流入溝とを形成する工程と、ブロ
ックを切断して一個の薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜
磁気ヘッドを形成する工程と、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ
面を上面にして円盤状の固定治具に固定する工程と、薄
膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧接させる
とともに、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具と研磨装
置の定盤を何れも回転させてＡＢＳ面を研磨する工程と
を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、薄膜磁気
ヘッドを固定治具に固定する工程が、薄膜磁気ヘッドの
空気流入溝の形成方向を固定治具の回転中心を通る中心
線方向に固定する工程であり、薄膜磁気ヘッドを固定治
具に固定して薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨する工程
が、ＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧接させるとともに、
薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具と研磨装置の定盤を
何れも回転させてＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨する
工程と、研磨装置の定盤の回転を停止し、薄膜磁気ヘッ
ドを固定した固定治具のみの回転によりＡＢＳ面の仕上
げ代を研磨する工程とを有することを特徴とする。
【００１２】請求項２の発明の薄膜磁気ヘッドの製造方
法では、ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間隔でマ
トリックス状に形成する工程と、薄膜磁気ヘッド素子の
ＡＢＳ面を一方向に揃えて複数個の薄膜磁気ヘッド素子
が一列に連設する短冊状のブロックに切り出す工程と、
ブロック固定治具に固定されたブロックのＡＢＳ面の研
磨によりギャップデプスと空気流入溝とを形成する工程
と、ブロックを切断して一個の薄膜磁気ヘッド素子を有
する薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、薄膜磁気ヘッド
のＡＢＳ面を上面にして円盤状の固定治具に固定する工
程と、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧
接させるとともに、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具
と研磨装置の定盤を何れも回転させて研磨する工程とを
有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、薄膜磁気ヘ
ッドを固定治具に固定する工程が、薄膜磁気ヘッドに形
成された空気流入溝の形成方向を一方向に揃えて固定す
る工程であり、薄膜磁気ヘッドを固定治具に固定してＡ
ＢＳ面を研磨する工程が、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を
研磨装置の定盤に圧接させるとともに、薄膜磁気ヘッド
を固定した固定治具と研磨装置の定盤を何れも回転させ
て、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨
する工程と、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具を空気
流入溝の形成方向が研磨装置定盤の回転方向と直交方向
となる位置で停止させ、研磨装置の定盤のみの回転によ
り薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面の仕上げ代を研磨する工程
とを有することを特徴とする。
法では、ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間隔でマ
トリックス状に形成する工程と、薄膜磁気ヘッド素子の
ＡＢＳ面を一方向に揃えて複数個の薄膜磁気ヘッド素子
が一列に連設する短冊状のブロックに切り出す工程と、
ブロック固定治具に固定されたブロックのＡＢＳ面の研
磨によりギャップデプスと空気流入溝とを形成する工程
と、ブロックを切断して一個の薄膜磁気ヘッド素子を有
する薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、薄膜磁気ヘッド
のＡＢＳ面を上面にして円盤状の固定治具に固定する工
程と、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を研磨装置の定盤に圧
接させるとともに、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具
と研磨装置の定盤を何れも回転させて研磨する工程とを
有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、薄膜磁気ヘ
ッドを固定治具に固定する工程が、薄膜磁気ヘッドに形
成された空気流入溝の形成方向を一方向に揃えて固定す
る工程であり、薄膜磁気ヘッドを固定治具に固定してＡ
ＢＳ面を研磨する工程が、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面を
研磨装置の定盤に圧接させるとともに、薄膜磁気ヘッド
を固定した固定治具と研磨装置の定盤を何れも回転させ
て、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面に仕上げ代を残して研磨
する工程と、薄膜磁気ヘッドを固定した固定治具を空気
流入溝の形成方向が研磨装置定盤の回転方向と直交方向
となる位置で停止させ、研磨装置の定盤のみの回転によ
り薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面の仕上げ代を研磨する工程
とを有することを特徴とする。
【００１３】請求項３の発明の薄膜磁気ヘッドは、上記
した請求項１または請求項２の薄膜磁気ヘッドの製造方
法により得られるものであり、磁気記録媒体記録面との
対向面であるＡＢＳ面が、ＡＢＳ面に形成されている空
気流入溝形成方向の直交方向の一方向のみに研磨痕を有
するものであることを特徴とする。
した請求項１または請求項２の薄膜磁気ヘッドの製造方
法により得られるものであり、磁気記録媒体記録面との
対向面であるＡＢＳ面が、ＡＢＳ面に形成されている空
気流入溝形成方向の直交方向の一方向のみに研磨痕を有
するものであることを特徴とする。
【００１４】上述した手段による作用としては、薄膜磁
気ヘッドのＡＢＳ面に形成される研磨痕を空気流入溝形
成方向の直交方向の一方向のみで仕上げることができ、
薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面の面粗度を小とすることがで
きることである。また、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面に形
成されている空気流入溝を挟んで両側に形成されたレー
ルのうちの一方のレールに記録ギャップおよび再生ギャ
ップが形成されているコア部において、レール上面と記
録ギャップおよび再生ギャップを構成する三本の平行な
金属膜上面との段差、レール上面と三本の平行な金属膜
が構成されている面との段差を従来よりも小とすること
ができるので、記録再生信号のスペーシングロスを小と
することができることである。
気ヘッドのＡＢＳ面に形成される研磨痕を空気流入溝形
成方向の直交方向の一方向のみで仕上げることができ、
薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面の面粗度を小とすることがで
きることである。また、薄膜磁気ヘッドのＡＢＳ面に形
成されている空気流入溝を挟んで両側に形成されたレー
ルのうちの一方のレールに記録ギャップおよび再生ギャ
ップが形成されているコア部において、レール上面と記
録ギャップおよび再生ギャップを構成する三本の平行な
金属膜上面との段差、レール上面と三本の平行な金属膜
が構成されている面との段差を従来よりも小とすること
ができるので、記録再生信号のスペーシングロスを小と
することができることである。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方
法では、薄膜磁気ヘッドを固定治具に固定して磁気記録
媒体記録面の対向面であるＡＢＳ面を研磨する工程が、
ＡＢＳ面に形成される研磨痕方向を空気流入溝形成方向
と直交する方向の一方向のみに形成する仕上げ工程を有
し、ＡＢＳ面の面粗度を小に仕上げることを特徴とす
る。以下、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造工程について
図面を参照して説明するが、従来例において図１〜図５
を参照して説明した事例の、ブロック３を切断して一個
の薄膜磁気ヘッド素子２を有する薄膜磁気ヘッド２ａを
形成するまでの工程は同様であるので、重複する説明は
省略する。なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の
構造を成しているものについては、同一の参照符号を付
すものとする。
法では、薄膜磁気ヘッドを固定治具に固定して磁気記録
媒体記録面の対向面であるＡＢＳ面を研磨する工程が、
ＡＢＳ面に形成される研磨痕方向を空気流入溝形成方向
と直交する方向の一方向のみに形成する仕上げ工程を有
し、ＡＢＳ面の面粗度を小に仕上げることを特徴とす
る。以下、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造工程について
図面を参照して説明するが、従来例において図１〜図５
を参照して説明した事例の、ブロック３を切断して一個
の薄膜磁気ヘッド素子２を有する薄膜磁気ヘッド２ａを
形成するまでの工程は同様であるので、重複する説明は
省略する。なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の
構造を成しているものについては、同一の参照符号を付
すものとする。
【００１６】図６の概略平面図に示したように、薄膜磁
気ヘッド２ａのＡＢＳ面４を上面にして、薄膜磁気ヘッ
ド固定治具７の外周縁部に接着固定する。このとき、固
着する全ての薄膜磁気ヘッド２ａの固定する方向は、空
気流入溝６の形成されている方向が薄膜磁気ヘッド固定
治具７の回転中心方向となるように揃える。
気ヘッド２ａのＡＢＳ面４を上面にして、薄膜磁気ヘッ
ド固定治具７の外周縁部に接着固定する。このとき、固
着する全ての薄膜磁気ヘッド２ａの固定する方向は、空
気流入溝６の形成されている方向が薄膜磁気ヘッド固定
治具７の回転中心方向となるように揃える。
【００１７】次に、図７の概略平面図に示したように、
研磨機の定盤８に薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４が圧
接するように薄膜磁気ヘッド固定治具７をセットし、定
盤８と薄膜磁気ヘッド固定治具７を何れも回転させてＡ
ＢＳ面４を研磨し、ＡＢＳ面４に仕上げ代を残して定盤
８の回転を停止し、薄膜磁気ヘッド固定治具７のみの回
転によりＡＢＳ面４の仕上げ代を研磨する。このよう
に、定盤８を停止し薄膜磁気ヘッド固定治具７のみの回
転によるＡＢＳ面４の仕上げ代の研磨を行えば、図８に
おけるＡ部の拡大図である図９の図中に示した矢印方
向、すなわち空気流入溝６の形成方向と直交する方向の
一方向のみに研磨痕１０が形成されることとなり、ＡＢ
Ｓ面４の面粗度を小に仕上げることができる。また、図
９における概略Ｂ−Ｂ断面図であり、従来の技術におい
て参照した図１１における概略Ｃ−Ｃ断面図と共通の図
１２に示したレール上面１５と金属膜１１上面との段差
Ｃが従来の１０ｎｍよりも３ｎｍ小である７ｎｍ、レー
ル上面１５と金属膜構成面１６との段差Ｄが従来の１３
ｎｍよりも３ｎｍ小である１０ｎｍと何れも小に形成す
ることができた。
研磨機の定盤８に薄膜磁気ヘッド２ａのＡＢＳ面４が圧
接するように薄膜磁気ヘッド固定治具７をセットし、定
盤８と薄膜磁気ヘッド固定治具７を何れも回転させてＡ
ＢＳ面４を研磨し、ＡＢＳ面４に仕上げ代を残して定盤
８の回転を停止し、薄膜磁気ヘッド固定治具７のみの回
転によりＡＢＳ面４の仕上げ代を研磨する。このよう
に、定盤８を停止し薄膜磁気ヘッド固定治具７のみの回
転によるＡＢＳ面４の仕上げ代の研磨を行えば、図８に
おけるＡ部の拡大図である図９の図中に示した矢印方
向、すなわち空気流入溝６の形成方向と直交する方向の
一方向のみに研磨痕１０が形成されることとなり、ＡＢ
Ｓ面４の面粗度を小に仕上げることができる。また、図
９における概略Ｂ−Ｂ断面図であり、従来の技術におい
て参照した図１１における概略Ｃ−Ｃ断面図と共通の図
１２に示したレール上面１５と金属膜１１上面との段差
Ｃが従来の１０ｎｍよりも３ｎｍ小である７ｎｍ、レー
ル上面１５と金属膜構成面１６との段差Ｄが従来の１３
ｎｍよりも３ｎｍ小である１０ｎｍと何れも小に形成す
ることができた。
【００１８】上記に示した事例のように、空気流入溝６
の形成方向と直交する方向の一方向のみに研磨痕１０を
ＡＢＳ面４に形成する他の手段による工程としては、図
１０の概略平面図に示したように、薄膜磁気ヘッド固定
治具７に固定する薄膜磁気ヘッド２ａの固定方向を、空
気流入溝６が一方向となるように揃えて固定する。そし
て、空気流入溝６の方向が定盤８の回転方向と直交する
状態で薄膜磁気ヘッド固定治具７の回転を停止させ、研
磨装置の定盤８のみの回転によりＡＢＳ面４の仕上げ代
を研磨する工程としても良い。この工程により、空気流
入溝６の形成方向と直交する方向の一方向のみに研磨痕
１０が形成されることとなり、ＡＢＳ面４の面粗度を小
に仕上げることができる。また、レール上面１５と金属
膜１１上面との段差Ｃが従来の１０ｎｍよりも３ｎｍ小
である７ｎｍ、レール上面１５と金属膜構成面１６との
段差Ｄが従来の１３ｎｍよりも３ｎｍ小である１０ｎｍ
と何れも小に形成することができた。
の形成方向と直交する方向の一方向のみに研磨痕１０を
ＡＢＳ面４に形成する他の手段による工程としては、図
１０の概略平面図に示したように、薄膜磁気ヘッド固定
治具７に固定する薄膜磁気ヘッド２ａの固定方向を、空
気流入溝６が一方向となるように揃えて固定する。そし
て、空気流入溝６の方向が定盤８の回転方向と直交する
状態で薄膜磁気ヘッド固定治具７の回転を停止させ、研
磨装置の定盤８のみの回転によりＡＢＳ面４の仕上げ代
を研磨する工程としても良い。この工程により、空気流
入溝６の形成方向と直交する方向の一方向のみに研磨痕
１０が形成されることとなり、ＡＢＳ面４の面粗度を小
に仕上げることができる。また、レール上面１５と金属
膜１１上面との段差Ｃが従来の１０ｎｍよりも３ｎｍ小
である７ｎｍ、レール上面１５と金属膜構成面１６との
段差Ｄが従来の１３ｎｍよりも３ｎｍ小である１０ｎｍ
と何れも小に形成することができた。
【００１９】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法によ
れば、薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面
であるＡＢＳ面の面粗度を小にすることができ、記録再
生信号のスペーシングロスを小とする薄膜磁気ヘッドお
よびその製造方法を提供することができる。
れば、薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体記録面との対向面
であるＡＢＳ面の面粗度を小にすることができ、記録再
生信号のスペーシングロスを小とする薄膜磁気ヘッドお
よびその製造方法を提供することができる。
【図１】 ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を形成した状
態の、概略平面図である。
態の、概略平面図である。
【図２】 ウェハを切断し、複数の薄膜磁気ヘッドが一
列に連設したブロックの、概略平面図である。
列に連設したブロックの、概略平面図である。
【図３】 ブロックをブロック固定治具に固定した状態
の、概略側面図である。
の、概略側面図である。
【図４】 ブロックのＡＢＳ面に空気流入溝を形成した
状態の、概略平面図である。
状態の、概略平面図である。
【図５】 ブロックを切断し、一個の薄膜磁気ヘッド素
子を有する薄膜磁気ヘッドを形成した状態の概略平面図
である。
子を有する薄膜磁気ヘッドを形成した状態の概略平面図
である。
【図６】 薄膜磁気ヘッドを薄膜磁気ヘッド固定治具に
固定した状態の、概略平面図である。
固定した状態の、概略平面図である。
【図７】 研磨装置の定盤に薄膜磁気ヘッド固定治具を
セットした状態の、概略平面図である。
セットした状態の、概略平面図である。
【図８】 薄膜磁気ヘッドの概略平面図である。
【図９】 図８における概略Ａ部拡大図である。
【図１０】 薄膜磁気ヘッドを薄膜磁気ヘッド固定治具
に固定した状態の、概略平面図である。
に固定した状態の、概略平面図である。
【図１１】 図８における概略Ａ部拡大図であり、従来
の工程により形成される研磨痕の状態を示すものであ
る。
の工程により形成される研磨痕の状態を示すものであ
る。
【図１２】 図９における概略Ｂ−Ｂ断面図および図１
１における概略Ｃ−Ｃ断面図である。
１における概略Ｃ−Ｃ断面図である。
１…ウェハ、２…薄膜磁気ヘッド素子、２ａ…薄膜磁気
ヘッド、３…ブロック、４…ＡＢＳ面、５…ブロック固
定治具、６…空気流入溝、７…薄膜磁気ヘッド固定治
具、８…定盤、９…コア部、１０…研磨痕、１１…金属
膜、１２…記録ギャップ、１３…再生ギャップ、１４…
レール、１５…レール上面、１６…金属膜構成面
ヘッド、３…ブロック、４…ＡＢＳ面、５…ブロック固
定治具、６…空気流入溝、７…薄膜磁気ヘッド固定治
具、８…定盤、９…コア部、１０…研磨痕、１１…金属
膜、１２…記録ギャップ、１３…再生ギャップ、１４…
レール、１５…レール上面、１６…金属膜構成面
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間
隔でマトリックス状に形成する工程と、 前記薄膜磁気ヘッド素子の磁気記録媒体記録面との対向
面となる側を一方向に揃えて、複数個の前記薄膜磁気ヘ
ッド素子が一列に連設する短冊状のブロックに切り出す
工程と、 前記対向面に空気流入溝を形成する工程と、 前記ブロックを切断し、一個の前記薄膜磁気ヘッド素子
を有する薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、 前記対向面を上面にして前記薄膜磁気ヘッドを固定治具
に固定する工程と、 前記対向面を研磨装置の定盤に圧接させるとともに、前
記固定治具と前記定盤を何れも回転させて研磨する工程
とを有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 前記薄膜磁気ヘッドを前記固定治具に固定する工程が、
前記空気流入溝の形成方向を前記固定治具の回転中心を
通る中心線方向に固定する工程であり、 前記対向面を研磨する工程が、 前記対向面を前記定盤に圧接させるとともに、前記固定
治具と前記定盤を何れも回転させて前記対向面に仕上げ
代を残して研磨する工程と、 前記定盤の回転を停止し、前記固定治具のみの回転によ
り前記仕上げ代を研磨する工程とを有することを特徴と
する薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 ウェハ上に薄膜磁気ヘッド素子を所定間
隔でマトリックス状に形成する工程と、 前記薄膜磁気ヘッド素子の磁気記録媒体記録面との対向
面となる側を一方向に揃えて、複数個の前記薄膜磁気ヘ
ッド素子が一列に連設する短冊状のブロックに切り出す
工程と、 前記対向面に空気流入溝を形成する工程と、 前記ブロックを切断し、一個の前記薄膜磁気ヘッド素子
を有する薄膜磁気ヘッドを形成する工程と、 前記対向面を上面にして前記薄膜磁気ヘッドを固定治具
に固定する工程と、 前記対向面を研磨装置の定盤に圧接させるとともに、前
記固定治具と前記定盤を何れも回転させて研磨する工程
とを有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 前記薄膜磁気ヘッドを前記固定治具に固定する工程が、
前記空気流入溝の形成方向を一方向に揃えて固定する工
程であり、 前記対向面を研磨する工程が、 前記対向面を前記定盤に圧接させるとともに、前記固定
治具と前記定盤を何れも回転させて前記対向面に仕上げ
代を残して研磨する工程と、 前記固定治具を前記空気流入溝の形成方向が前記定盤の
回転方向と直交方向となる位置で停止させ、前記定盤の
みの回転により前記仕上げ代を研磨する工程とを有する
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 磁気記録媒体記録面との対向面に空気流
入溝が形成されている薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記対向面が、前記空気流入溝形成方向の直交方向の一
方向のみに研磨痕を有するものであることを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4339397A JPH10241131A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4339397A JPH10241131A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10241131A true JPH10241131A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12662555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4339397A Pending JPH10241131A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10241131A (ja) |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP4339397A patent/JPH10241131A/ja active Pending
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