JPH0428786B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はプラズマCVD（Chemical Vapour
Deposition）装置の放電電極の構造に関する。

〔発明の背景〕

ホットウオール方式のプラズマCVD装置の特
徴は複数の放電電極を持つために、一度に多数枚
の基板を処理できることである（最新アモルファ
スSiハンドブック、(株)サイエンスフオーラム社
刊、p75〜76、1983年参照）。

従来のこの方式の装置においては、放電電極が
全体として固定されており、全体を解体すること
なくしては一枚の放電電極を取りはずすことが出
来なかつた。したがつて任意の組数の電極を簡単
に構成できなかつたため生産性に欠けることがあ
つた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、放電電極の着脱が容易にで
き、かつ放電電極を接続する接続棒の径を小さく
することにある。

〔発明の概要〕

本発明において、第１図に１例を示すように電
極板１には３本の接続棒２が固定されており、ま
た電極板１には３つの切欠き５が形成されてい
る。このような電極板１を第３図に示すように積
重ねると交互に極性の異なる複数組の電極対を構
成することが容易にできる。本発明によれば電極
の着脱が容易なため清掃が容易に行えることの
他、接続棒が垂直に配置されるため電極板１の重
量が接続棒２の長さ方向にかかるので、水平に配
置される場合に較べて接続棒の径を小さくするこ
とができ、電極板以外の放電部の面積を小さくで
きる。また、本発明により、任意の組数の電極を
容易に構成することができる。更に接続棒や切欠
きの数は必要に応じて定めて良いことはいうまで
もない。

〔発明の実施例〕

以下本発明の実施例を第１〜３図を用いて説明
する。

第１図は３本の接続棒を持つ１枚の高周波電極
であり、第２図は接続棒の拡大図である。第３図
は、第１図に示す電極を４枚積み重ねた場合の全
体構成図であり、電極はこの様に上に積み重ねる
ことによつて自由にその個数を変えることができ
る。直径100mm、厚さ２mmのステンレス製円板１
に約10mmの切欠きを120゜毎に３ヶ所設け、次に直
径３mm、長さ50mmのステンレス棒を第２図に示す
ように一端を突状に、他端を皿状に加工してから
第１図に示すようにステンレス製円板１に溶接、
固定した。このような電極を４ヶ製作し、第３図
に示すように積み重ねてプラズマ装置内に設置し
た。接続棒２に高周波電源３により15Wの高周波
電力を供給してアモルファスSi膜を形成したとこ
ろ、時間とともに成膜速度はほとんど低下せず、
短時間で成膜することができた。

ここで第２図の説明を補足する。

第２図は接続棒２の拡大概観図である。接続棒
の一端が他の接続棒の他の一端と嵌合し得るよう
に、一端は円錐凸形に、他端は円錐状凹形になつ
ている。

〔発明の効果〕

本発明によれば、放電電極の着脱が容易となる
ので、装置の清掃が容易となる。また生産量に応
じた電極構造を容易に構成でき、また接続棒の直
径が小さく、その表面積が小さいので、成膜時の
安定性が向上し、よつて生産性を向上し得る効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は３本の接続棒を持つ一枚の高周波電極
の概観図、第２図は接続棒の拡大概観図、第３図
は高周波電極を４枚積み重ねた時の概観図であ
る。 １……電極板、２……接続棒、３……高周波電
源、４……電極（高周波電極）、５……切欠き。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ３個以上の切欠きを有する電極板に、この切
   欠きと同数の接続棒を固着し、この同数の接続棒
   は各々同じ長さを有し、上記電極板は上記接続棒
   のみによつて水平に支持されるようにして形成し
   た電極を複数個有し、この各電極は上記各電極板
   に固着された上記各接続棒が隣り合う上記各電極
   の電極板の切欠きを通す如くにして交互に積み重
   ねて配置し、各上記電極の接続棒の一端と、１つ
   離れて隣り合う上記電極の接続棒の一端とが嵌合
   し得るように形成され、上記接続棒に通電するこ
   とにより、上記積み重ねた各電極に１つおきに同
   電位が印加されるようにし、かつ積み重ねた上記
   各電極の最下部を形成する電極の有する接続棒
   は、積み重ねたその他の電極の有する接続棒のほ
   ぼ半分の長さを有することにより、積み重ねられ
   た上記各電極の電極板が等間隔に配設されたこと
   を特徴とするプラズマCVD装置の放電電極。