JPH0428853A - ステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着金属薄膜を形成する方法 - Google Patents
ステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着金属薄膜を形成する方法Info
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- JPH0428853A JPH0428853A JP13415690A JP13415690A JPH0428853A JP H0428853 A JPH0428853 A JP H0428853A JP 13415690 A JP13415690 A JP 13415690A JP 13415690 A JP13415690 A JP 13415690A JP H0428853 A JPH0428853 A JP H0428853A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ステンレス鋼表面に密着強度の高い金属薄膜
を真空蒸着する方法て、特にステンレス鋼表面に金属蒸
着薄膜を形成した電子材料等の製造に好適な方法である
。
を真空蒸着する方法て、特にステンレス鋼表面に金属蒸
着薄膜を形成した電子材料等の製造に好適な方法である
。
（従来技術とその問題点）
真空蒸着による金属薄膜の形成は材料に新たな機能を付
与する簡単なメツキ方法として、プラスチック、カラス
、金属なと幅広い分野で用いられている。しかし、ステ
ンレス鋼にこの方法を用いても、ステンレス鋼表面に不
動態皮膜と呼ばれる極めて薄い金属酸化物が存在するた
め、蒸着金属薄膜とステンレス鋼との密着性か乏しく、
簡単に剥かれてしまい、密着性を要求する用途、例えば
電気部品などに使用することか困難てあった。
与する簡単なメツキ方法として、プラスチック、カラス
、金属なと幅広い分野で用いられている。しかし、ステ
ンレス鋼にこの方法を用いても、ステンレス鋼表面に不
動態皮膜と呼ばれる極めて薄い金属酸化物が存在するた
め、蒸着金属薄膜とステンレス鋼との密着性か乏しく、
簡単に剥かれてしまい、密着性を要求する用途、例えば
電気部品などに使用することか困難てあった。
本発明者らは、この不動態皮膜を除去あるいは密着性へ
の悪影響を小さくするための手段として、真空蒸着中あ
るいは真空蒸着に先立って電子シャワーをステンレス鋼
表面に浴びせることが有効であることを見い出し、本発
明を完成したものである。
の悪影響を小さくするための手段として、真空蒸着中あ
るいは真空蒸着に先立って電子シャワーをステンレス鋼
表面に浴びせることが有効であることを見い出し、本発
明を完成したものである。
（発明の目的）
本発明の目的は、簡易なメツキ法としての真空蒸着によ
る金属薄膜のステンレス鋼への密着強度を向上させ、電
気接点その他の幅広い用途に利用できる方法を提供する
にある。
る金属薄膜のステンレス鋼への密着強度を向上させ、電
気接点その他の幅広い用途に利用できる方法を提供する
にある。
（発明の構成）
本発明の要旨は次のとおりである。
ステンレス鋼表面に金属を真空蒸着するに際し、蒸着金
属源とステンレス鋼との間に熱電子源用のカソードを置
き、真空蒸着中または真空蒸着に先立って、該カソード
から電子シャワーをステンレス鋼表面に浴びせることを
特徴とするステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着
薄膜を形成する方法。
属源とステンレス鋼との間に熱電子源用のカソードを置
き、真空蒸着中または真空蒸着に先立って、該カソード
から電子シャワーをステンレス鋼表面に浴びせることを
特徴とするステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着
薄膜を形成する方法。
蒸着金属としては以下の実施例ては銅を用いているが、
原理的にはどのような金属を蒸着する場合にも有効であ
る。電子シャワーをステンレス鋼表面に浴びせる方法と
しては実施例ては電子を発生させるカソードとして赤熱
させたタングステンフィラメントを蒸着金属源とステン
レス鋼との間に置いている。しかし、カソード材として
はタングステンに限らずその他の材料も有効である。熱
電子をステンレス鋼に浴びせるにはカソードとステンレ
ス鋼との間に電圧をかけわば良く、実施例ては５００ｖ
程度をかけている。このときの電子シャワーの電流をコ
ントロールするため、実施例の装置ではアノードをカソ
ードとステンレス鋼との間に置いた。以下実施例により
本発明の詳細な説明する。
原理的にはどのような金属を蒸着する場合にも有効であ
る。電子シャワーをステンレス鋼表面に浴びせる方法と
しては実施例ては電子を発生させるカソードとして赤熱
させたタングステンフィラメントを蒸着金属源とステン
レス鋼との間に置いている。しかし、カソード材として
はタングステンに限らずその他の材料も有効である。熱
電子をステンレス鋼に浴びせるにはカソードとステンレ
ス鋼との間に電圧をかけわば良く、実施例ては５００ｖ
程度をかけている。このときの電子シャワーの電流をコ
ントロールするため、実施例の装置ではアノードをカソ
ードとステンレス鋼との間に置いた。以下実施例により
本発明の詳細な説明する。
（実施例）
下地材（２）として１０ｍｍＸ １０ｍｍｘ厚さ３ｍｍ
の５Ｏ５３１６ステンレス鋼を用意した。
の５Ｏ５３１６ステンレス鋼を用意した。
これを９４０００研磨紙により研磨した後、中性洗剤に
よる洗浄とアセトンによる超音波洗浄を行った。
よる洗浄とアセトンによる超音波洗浄を行った。
第１図は真空蒸着装置て、タングステンボート（１）上
には蒸着用金属としてＣｕをおき、下地材（２）との間
にタングステンフィラメント（３）、アノード（４）を
介在させた。下地材（２）とタングステンフィラメント
（３）との距離は５ｃｍとした。まず、はしめに、タン
グステンフィラメント（３）を加熱して熱電子を作って
、それを５００ｖて加速することによりできた電子シャ
ワー（５）（電流密度的８．ＯＡ／ｍ２）をステンレス
！（２）に５〜６分間浴びせた後、銅を蒸発させ、この
電子シャワー中を通すことてイオン化した銅を該ステン
レス！ （２）に蒸着させた。また比較として、電子シ
ャワーを全く浴びせない真空蒸着も実施した。両方法の
真空蒸着条件を第１表に示す。ここに示されるように５
〜６分間の電子シャワーにより、下地材の温度が約３０
０℃まで上昇していた。
には蒸着用金属としてＣｕをおき、下地材（２）との間
にタングステンフィラメント（３）、アノード（４）を
介在させた。下地材（２）とタングステンフィラメント
（３）との距離は５ｃｍとした。まず、はしめに、タン
グステンフィラメント（３）を加熱して熱電子を作って
、それを５００ｖて加速することによりできた電子シャ
ワー（５）（電流密度的８．ＯＡ／ｍ２）をステンレス
！（２）に５〜６分間浴びせた後、銅を蒸発させ、この
電子シャワー中を通すことてイオン化した銅を該ステン
レス！ （２）に蒸着させた。また比較として、電子シ
ャワーを全く浴びせない真空蒸着も実施した。両方法の
真空蒸着条件を第１表に示す。ここに示されるように５
〜６分間の電子シャワーにより、下地材の温度が約３０
０℃まで上昇していた。
電子シャワーを浴びせた場合と浴びせない場合両方とも
蒸着金属膜厚は４００〜５００オンクストロームであっ
た。しかし、密着強度には大きなへだたりがあり、本発
明では強固な蒸着薄膜かえられたか、後者は容易に剥か
れた。密着強度を正確に測るため、第２図に示すように
、ステンレス鋼（２）の表面にＣｕの薄膜（６）を蒸着
した試料の両面をエポキシ樹脂（７）（７）に接着した
後引張試験を行い、剥離するときの引張強度を求めた。
蒸着金属膜厚は４００〜５００オンクストロームであっ
た。しかし、密着強度には大きなへだたりがあり、本発
明では強固な蒸着薄膜かえられたか、後者は容易に剥か
れた。密着強度を正確に測るため、第２図に示すように
、ステンレス鋼（２）の表面にＣｕの薄膜（６）を蒸着
した試料の両面をエポキシ樹脂（７）（７）に接着した
後引張試験を行い、剥離するときの引張強度を求めた。
各１０個の剥Ｍ試験の結果は第２表の通って、通常の真
空蒸着膜に比較し、本発明法による蒸着薄膜は接合強度
か２桁高くなることを確認した。なお、電子シャワーを
蒸着と同時に浴びせた場合も従来法よりも密着強度は１
桁程度上昇していた。
空蒸着膜に比較し、本発明法による蒸着薄膜は接合強度
か２桁高くなることを確認した。なお、電子シャワーを
蒸着と同時に浴びせた場合も従来法よりも密着強度は１
桁程度上昇していた。
第１表
第２表
剥離強度
（注二単位はＫＰａ）
（発明の効果）
本発明によれば、ステンレス鋼に真空蒸着させた金属薄
膜の密着強度を大巾に向上させることかでき、電子部品
、その他の機能材料としてのステンレス鋼の新しい用途
を開くことか可能である。
膜の密着強度を大巾に向上させることかでき、電子部品
、その他の機能材料としてのステンレス鋼の新しい用途
を開くことか可能である。
第１図は、実施例て使用した真空蒸着装置の説明図。第
２図は、蒸着金属膜の剥離試験法の説明図。 １ タングステンポート ２、ステンレス鋼 ３、タンクステンフィラメント ４、アノード ５、電子シャワー ６ 金属薄膜 ７ エポキシ樹脂
２図は、蒸着金属膜の剥離試験法の説明図。 １ タングステンポート ２、ステンレス鋼 ３、タンクステンフィラメント ４、アノード ５、電子シャワー ６ 金属薄膜 ７ エポキシ樹脂
Claims (1)
- ステンレス鋼表面に金属を真空蒸着するに際し、蒸着金
属源とステンレス鋼との間に熱電子源用のカソードを置
き、真空蒸着中または真空蒸着に先立って、該カソード
から電子シャワーをステンレス鋼表面に浴びせることを
特徴とするステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着
薄膜を形成する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13415690A JP2913319B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | ステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着金属薄膜を形成する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13415690A JP2913319B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | ステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着金属薄膜を形成する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0428853A true JPH0428853A (ja) | 1992-01-31 |
| JP2913319B2 JP2913319B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=15121780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13415690A Expired - Fee Related JP2913319B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | ステンレス鋼表面に密着強度の高い真空蒸着金属薄膜を形成する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913319B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015145538A (ja) * | 2015-04-28 | 2015-08-13 | 日本発條株式会社 | 積層体の製造方法 |
| CN113025948A (zh) * | 2021-03-08 | 2021-06-25 | 安徽寒锐新材料有限公司 | 还原钴粉用防粘舟皿的制备方法及清舟料的回用方法 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13415690A patent/JP2913319B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015145538A (ja) * | 2015-04-28 | 2015-08-13 | 日本発條株式会社 | 積層体の製造方法 |
| CN113025948A (zh) * | 2021-03-08 | 2021-06-25 | 安徽寒锐新材料有限公司 | 还原钴粉用防粘舟皿的制备方法及清舟料的回用方法 |
| CN113025948B (zh) * | 2021-03-08 | 2022-12-27 | 安徽寒锐新材料有限公司 | 还原钴粉用防粘舟皿的制备方法及清舟料的回用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2913319B2 (ja) | 1999-06-28 |
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