JPH04290574A - 希土類磁石の洗浄装置 - Google Patents

希土類磁石の洗浄装置

Info

Publication number
JPH04290574A
JPH04290574A JP1151191A JP1151191A JPH04290574A JP H04290574 A JPH04290574 A JP H04290574A JP 1151191 A JP1151191 A JP 1151191A JP 1151191 A JP1151191 A JP 1151191A JP H04290574 A JPH04290574 A JP H04290574A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
workpiece
wire mesh
rare earth
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1151191A
Other languages
English (en)
Inventor
Masamichi Ozaki
尾崎 正道
Kazuo Oda
和男 小田
Hiroshi Tomiyama
富山 博司
Tsukasa Mikamoto
司 三家本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP1151191A priority Critical patent/JPH04290574A/ja
Publication of JPH04290574A publication Critical patent/JPH04290574A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、希土類磁石を塗装前処
理として洗浄する装置に関するものである
【0002】
【従来の技術】希土類磁石の塗装前処理として、塗装皮
膜を強固に塗着させるために、加工後、被塗物表面の洗
浄、脱脂処理を行っている。
【0003】例えば、一般的に行われている超音波洗浄
では、均一な清浄度を得るために、洗浄金網上にワーク
を一段に並べる。しかし、ワークを洗浄金網に供給する
装置では、ワークが一段になりにくく、効率が悪いため
、人手にて並べていた。ショットブラスト、高圧水洗浄
、エアブラストも行われているが、ワークが小さい場合
、押さえが必要であり、押さえの部分の洗浄が不十分で
あり、清浄度も不均一になる。粘着ローラー、ブラシに
よる洗浄も行われているが、処理能力が小さい。
【0004】また、特開平1−262966号公報では
、塗装の前処理工程として70゜Cから100°Cの水
で脱脂洗浄を行うという開示がある。しかし、希土類磁
石のようなワークの場合、非常に錆やすい材質であるた
めに、高温の熱水では活性化し、酸化層が形成されやす
く、ワークの塗装皮膜が酸化層と共に剥離するという問
題がある。また、脱脂洗浄に1,1,1,−トリクロロ
エタンを用いる方法もあるが、国際的な環境問題で使用
が制限されつつある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来例の問題点を解決し、洗浄性能を向上させ、ワークに
錆を発生させることなく、強固な塗装皮膜を形成させ、
環境問題を発生させず、大量処理可能な希土類磁石の洗
浄装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、希土類磁石の
ような錆易く、脆いワークの加工後の残さ、油脂分を洗
浄し塗装皮膜を強固に塗着させる為の洗浄装置において
、洗浄金網に、ワークを供給する整列機と、洗浄金網を
洗浄層と防錆液槽に搬送する搬送機と、ワーク表面の余
分な防錆液を除去する水切り装置と、水切り後急速乾燥
する乾燥装置と、乾燥後のワークを洗浄金網から排出す
る排出装置と、排出されたワークをストックするワーク
受け皿と、ワークを排出後の空の洗浄金網を整列機にも
どし、循環するためのストックコンベアで構成すること
を特徴とする。
【0007】ワークを洗浄するための洗浄金網は、錆発
生を防止するために材質をステンレスとし、ワーク排出
装置でワークがワーク受け皿にスムースに排出されるよ
うに金網は、平織りとし、ワーク排出方向に対して斜め
に取り付ける。
【0008】整列機は、ワークが重ならないように洗浄
金網に供給するために、電磁振動フィーダの振動板を傾
斜して設け、ワークが振動板に付着しないように低部に
山波状の、シリコンゴム製のシートを設け、その山の稜
線がワークの供給方向に平行となるようにし、振動板の
先端部に、ナイロン製の回転ロールブラシを設け、ワー
クの供給方向と逆の方向に回転し、ブラシの先端とシー
トの山の稜線との間隔をワーク厚さの1.0から1.5
倍に調整可能にする。
【0009】さらに、洗浄槽に入れるまでの待ち時間中
に、加工後のワークが空気に接触して錆が発生しないよ
うに整列機の振動板に防錆液を満たし、防錆液中でワー
クを洗浄金網に供給整列する。
【0010】洗浄槽と防錆液槽では、洗浄金網に整列し
たワークに付着している加工残さを上水中で超音波洗浄
、除去した後、防錆液に浸漬して表面に防錆液を付着さ
せる。
【0011】洗浄槽の上部と下部に超音波振動子を配し
、洗浄金網上を揺動機構により、上下に揺動させながら
、ワークを上下から超音波洗浄する。
【0012】防錆液は、ワーク表面に防錆液が付着した
まま塗装を可能とするために、低起泡性ノニオン界面活
性剤、有機防錆剤、ほう酸塩類、脂肪酸系可溶化剤、防
錆剤等、多分極性有機化合物を含有し、極性基は金属側
すなわちワーク側に向かい、有機基は外側に向かう、い
わゆる下塗り的性質を持つ防錆剤で、pHが6.5から
9.0で、液濃度が0.5%から3.0%である。
【0013】水切り装置は、防錆液に浸漬したワークの
乾燥を促進するために、洗浄金網の上部と下部にエアノ
ズルを設け、洗浄金網上のワークが静止状態を保つよう
に、上部のエアノズルの開口面積とエア流量を、下部エ
アノズルより大きくし、エアの吹き出し方向を斜めにす
る。
【0014】ワーク排出装置は、洗浄金網を傾け乾燥済
みワークをワーク受け皿に滑り落とす。その際に、ワー
クとワーク受け皿との衝突により、ワークに欠けが発生
しないように、ワーク受け皿の中央部を円錐形状とし、
材質を樹脂とする。
【0015】
【実施例】本発明の実施例について、図1〜図10に基
づいて、詳細に説明する。図1は、洗浄装置全体を示す
。洗浄金網1にワークを供給する整列機2を設け、整列
機2の出口に隣接して第一洗浄槽41、第二洗浄槽42
、防錆液槽43を設ける。第一洗浄槽41、第二洗浄槽
42、防錆液槽43の上部に洗浄金網1を搬送する搬送
機3を設ける。防錆液槽43の出口に隣接して水切り装
置5と、乾燥装置6を設ける。さらに、乾燥装置6の出
口から、整列機2に洗浄金網1を移送する途中に、ワー
ク排出装置7と、ワーク受け皿10と、ストックコンベ
ア8を設ける。
【0016】図2は、図1の洗浄金網1のG矢視図を示
す。ワーク9が、編み目から、落ちないように選定した
ステンレス製平織り金網12を、金網12を構成するワ
イヤが、ワーク排出方向F1に対して交角45度をなす
ように、枠11に取り付ける。
【0017】図3は、図2の矢視A−Aを示す。枠11
のワーク排出側には、テーパー部材11Aを付ける。
【0018】図4は、図1の整列機2のH矢視図を示す
。傾斜角度Yを約6度に設定した電磁振動フィーダ21
に、トラフ状の振動板22を設け、バルブ28を介して
、常に、振動板22の先端からオーバーフローするよう
に、防錆液27を満たす。振動板22の低部には、弾性
を有する山波状のシリコンゴム製のシート23を、ワー
ク9の進行方向F2に、山の稜線が平行するように設け
る。振動板22の進行方向F2の先端部には、山波状シ
ート23の山頂から、間隔Tをおいて、ワーク9の進行
方向F2と逆方向になるように、図4のB−B矢視図で
ある図5の駆動装置26を介して、R方向に回転する回
転ロールブラシ24及び、振動板22の振幅の変化にお
いても、山波状シート23と  回転ロールブラシ24
の円周面との間隔Tが、ワーク厚みの1.0倍から1.
5倍に、常に一定になるように調整するボルト25を設
ける。
【0019】図6は、第一洗浄槽41、第二洗浄槽42
、防錆液槽43の側面図を示す。第一洗浄槽41に、上
水44を満たし、第一洗浄槽41の低部に、周波数が2
8kHzから45kHzである超音波振動子46を設け
る。さらに、超音波振動子46の上部には、洗浄金網1
を保持するフック48と、超音波の波長の1/2以上の
ストロークを持つ、エアシリンダ47を設ける。第二洗
浄槽42に、上水44を満たし、第二洗浄槽42の上部
に、周波数が28kHzから45kHzである、超音波
振動子46を設ける。さらに、超音波振動子46の下部
の洗浄金網1を保持するフック48と、超音波の波長の
1/2以上のストロークを持つ、エアシリンダ47を設
ける。防錆液槽43に、pHが、6.5〜9.0であり
、低起泡性ノニオン界面活性剤、有機防錆剤、ほう酸塩
類、脂肪酸系可溶化剤、防腐剤を含有し、液濃度が、0
.5%から3.0%である防錆液を満たし、洗浄金網1
を保持する受け台49を設ける。図7は、図6のC−C
断面図を示す。フック48は、洗浄金網1の端部を保持
する。
【0020】図8は、図1の水切り装置5のJ矢視図を
示す。ワークの上部に、洗浄金網1の幅と同程度の長さ
で、スリット幅が、3.5mmであり、エア流速が、5
5m/分であるエアノズル51と、スリット幅が、1m
mであり、エア流速が、40m/分であるエアノズル5
2を、エア吹き出し方向が、ワーク9の進行方向F4と
なす角度Xが、約60度をなし、ワーク上面とエアノズ
ル51との間隔L1が、40mmであり、ワーク下面と
エアノズル52との間隔L2が、10mmとなるように
設ける。図9は、図8のD−D矢視図を示す。
【0021】図10は、図1のワーク排出装置7と、ワ
ーク受け皿10のK矢視図を示す。洗浄金網1を保持す
る傾斜台71の背面にエアシリンダ72を設ける。洗浄
金網1を傾斜させた時に、ワーク排出方向F5のテーパ
部材11Aと接するように、シュート73を設け、シュ
ート73の先端部を、樹脂製で、中央部が円錐形状であ
るワーク受け皿10の円錐部101の近傍に設ける。さ
らにワーク受け皿10の下部に回転装置110を設ける
【0022】次に、作用について説明する。図1におい
て、整列機2により、洗浄金網1にワーク9を供給し、
搬送機3で、洗浄金網1を第一洗浄槽41、第二洗浄槽
42、防錆液槽43の各槽に順次搬送し、超音波洗浄と
防錆処理を行い、水切り装置5に搬入する。水切り装置
5では、ワーク表面の余分な防錆液を除去し、乾燥装置
6で急速乾燥を行う。そして、ワーク排出装置7で、乾
燥済みワークを洗浄金網1から排出し、ワーク受け皿1
0に移す。ワーク排出後の空の洗浄金網1は、ストック
コンベア8で整列機2に戻す。
【0023】図2において、金網12の材質がステンレ
スであるため、錆が発生せず、洗浄品質が長期にわたり
安定する。さらに、金網12をワーク排出方向F1に対
し、斜めに取り付けたことにより、ワーク排出装置7で
、洗浄金網1を傾け、ワーク9を金網12上で滑落させ
て排出する際に、ワーク9の角部が編み目に引っかかる
ことなく移動し、図3の枠11のワーク9排出方向F1
側のテーパ部材11Aにより、スムースに排出できる。
【0024】図4において、防錆液27中に、没したワ
ーク9は、振動板22の低部の山波状シート23の上面
を介して、振動板22の先端部に移動する。この時、ワ
ーク9は、振動板22の低部に設けた山波状シート23
を介して移動するため、山波状シート23とワーク9の
接触抵抗が小さく、且つ、接触面の空間が大きいため、
ワーク9は、山波状シート23状面に密着する事なく、
振動板22の先端へと容易に移動できる。
【0025】次に、移動したワーク9は、山波状シート
23上面から、ワーク9の厚みの約1.2倍の間隔Tに
、調整ボルト25にて、調整された間隔Tをおいて、ワ
ーク9の進行方向F2と逆方向であるR方向に駆動装置
26を介して、回転数、約100〜200r.p.m.
にて回転する線径0.3mm、外径100mmのナイロ
ン製の回転ロールブラシ24により、ワーク9どうしの
密着、あるいは、ワーク9のなだれ込みによる重なった
ワーク9を、ワーク9の進行方向F2と逆方向に弾き、
払い落とし、一段に均され、間隔Tを経て、振動板22
の先端部へと移動し、オーバーフローの防錆液27と共
に、シュートを滑り、洗浄金網1に供給される。これら
一連の供給は、常に、防錆液中にて処理されるので、加
工後のワーク9の乾燥による錆、あるいは、防錆液27
が緩衝物となるため、ワーク9どうしの直接接触による
、欠け、割れ、ひびが、発生しない。
【0026】図6において、ワーク9の供給された洗浄
金網1を、第一洗浄槽41に設けたフック48で保持し
、第一洗浄槽41に満たした上水44中において、、フ
ック48の上部に設けたエアシリンダ47で、超音波の
波長の1/2以上の距離を、超音波が発信される方向F
3に、揺動しながら、超音波振動子46により、ワーク
9の下面、及び、側面を洗浄する。次に、図1の搬送装
置3で、洗浄金網1を第一洗浄槽41から第二洗浄槽4
2に移す。洗浄金網1を第二洗浄槽42に設けたフック
48で保持し、第二洗浄槽42に満たした上水44中に
おいて、フック48の上部に設けたエアシリンダ47で
、超音波の波長の1/2以上の距離を、超音波が発信さ
れる方向F3に、揺動しながら、超音波振動子46によ
り、ワーク9の上面、及び、側面を洗浄する。これによ
り、ワークの全面を、超音波の発信される方向F3にお
ける、キャビテーションの強度むらの影響を受けずに、
均一に、短時間で洗浄することができる。
【0027】次に、図1の搬送装置3で、洗浄金網1を
第二洗浄槽42から、防錆液槽43に移す。洗浄金網1
を、防錆液槽43に設けた受け台49で保持し、防錆液
槽43に満たした防錆液45で、ワーク9表面の上水を
、防錆液45に置換する。これにより、乾燥後のワーク
9の錆を防止し、1,1,1,−トリクロロエタンによ
る脱脂洗浄を省略しても、防錆液が付着したまま、塗装
することができる。
【0028】次に、図1の搬送装置3で、洗浄金網1を
防錆液槽43から、水切り装置5に移す。図8において
、洗浄金網1をF4方向に約6mm/秒の速度で移動す
る。洗浄金網1上のワーク9の上部のエアノズル51と
、下部のエアノズル52のエア吹き出しにより、ワーク
9表面上の余分な防錆液を除去し、ワーク9の乾燥を促
進する。この時、エアノズル51とエアノズル52のス
リット幅とエア流量の相互関係により、ワーク9の静止
状態を保ちながら、短時間で、水切りを行うことができ
る。
【0029】続いて、水切り後の洗浄金網1を、図1の
熱風循環方式等の乾燥装置6に通し、ワーク9表面を、
急速乾燥する。
【0030】図10において、ワーク排出装置7の傾斜
台71に、洗浄金網1を置き、エアシリンダ72により
、傾斜台72を傾け、ワーク9をF5方向に、滑落させ
て、排出し、さらに、ワーク9をシュート73の上面を
滑落させて、ワーク受け皿10の円錐部101に当て、
低部102に分散させる。この時、ワーク受け皿10を
F6方向に回転させると、ワーク9は、ワーク受け皿1
0の低部102に均等に分散する。これにより、乾燥後
のワーク9を欠け、割れ、ひびが発生しないように、洗
浄金網1から、ワーク受け皿10に、排出する事ができ
る。
【0031】本実施例においては、ワーク9の形状が、
四角形について記載したが、平丸、平多角形、穴開き品
においても、図4の整列機2の傾斜角度Yと間隔T,図
8の水切り装置5のエアノズルの角度Xとワーク9とエ
アノズル51、52との間隔L1,L2を調整する事に
より、本発明が支障なく適用できる。
【0032】ワーク整列機2の山波状シートの材質が、
シリコンゴムについて、記載したが、ワーク9に欠け、
割れ、ひびが発生しなければ、山波状シートの材質は、
鋼板、アクリル、プラスチック等、硬度が比較的高い材
質でも、本発明が、支障なく適用できる。
【0033】第一洗浄槽41、第二洗浄槽42、防錆液
槽43において、第一洗浄槽41と第二洗浄槽42に1
台ずつ、超音波振動子46を設けたが、1槽に、上下に
超音波振動子46を設けても、本発明が、支障なく適用
できる。さらに、防錆液槽43に、超音波振動子を設け
れば、ワーク9表面の上水を、短時間で、防錆液に置換
できる。
【0034】ワーク受け皿において、材質が、樹脂につ
いて、記載したが、ワーク9に欠け、割れ、ひびが発生
しなければ、プラスチック、鋼板等、硬度が比較的高い
材質でも、本発明が、支障なく適用できる。
【発明の効果】本発明によれば、希土類磁石のような錆
が発生しやすく、脆いワークの塗装前の洗浄処理におい
て、ワーク表面に錆を発生させることなく、洗浄性を向
上できる為に、強固な塗膜が形成でき品質が向上する。 また、多分極性有機化合物を含有した防錆剤を使用する
ため、脱脂洗浄を行うことなく塗装ができるため、脱脂
洗浄装置と1,1,1,−トリクロロエタンを省略でき
、環境上の問題をなくした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の希土類磁石の洗浄装置の全体図
【図2
】図1の洗浄金網1のG矢視図
【図3】図2のA−A断面図
【図4】図1のワーク整列機2のH矢視図
【図5】図4
のB−B矢視図
【図6】図1の第一洗浄槽41、第二洗浄槽42、防錆
液槽43のI矢視図
【図7】図6のC−C断面図
【図8】図1の水切り装置5のJ矢視図
【図9】図8の
D−D矢視図
【図10】図1のワーク排出装置7とワーク受け皿10
のK矢視図
【符号の説明】
1    洗浄金網 2    整列機 3    搬送機 5    水切り装置 6    乾燥装置 7    排出装置 8    ストックコンベア 9    ワーク 10    ワーク受け皿 41    第一洗浄槽 42    第二洗浄槽 43    防錆液槽

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  研削、バレル研磨等による加工後の希
    土類磁石を洗浄する装置において、ワークを搬送するた
    めの洗浄金網に、ワークを供給整列する整列機と、洗浄
    金網を洗浄槽と、防錆液を満たした防錆液槽に搬送する
    搬送機と、ワーク表面上の余分な防錆液を除去する水切
    り装置と、ワークを乾燥させる乾燥装置と、ワークを洗
    浄金網から排出する排出装置と、排出されたワークをス
    トックするワーク受け皿と、洗浄金網を循環するための
    ストックコンベアを設けたことを特徴とする希土類磁石
    の洗浄装置。
  2. 【請求項2】  洗浄金網の材質は、ステンレスであり
    、金網を構成するワイヤの方向が、ワーク排出方向に対
    し斜めであることを特徴とする請求項1記載の希土類磁
    石の洗浄装置。
  3. 【請求項3】  整列機は、トラフ状をなす電磁振動フ
    ィーダと振動板の先端部に回転ロールブラシを設けたこ
    とを特徴とする請求項1記載の希土類磁石の洗浄装置。
  4. 【請求項4】  整列機は、振動板を傾斜して設け、そ
    の底部に設ける山波状シートの材質はシリコンゴムとし
    、その山の稜線がワークの供給方向に平行になるように
    設け、回転ロールブラシは、ナイロン製とし、ワークの
    供給方向と逆の方向に回転し、ブラシの先端とシートの
    山の稜線との間隔をワークの厚さの1.0から1.5倍
    に調整可能なことを特徴とする請求項3記載の希土類磁
    石の洗浄装置。
  5. 【請求項5】  整列機は、振動板に防錆液を溜め、防
    錆液中でワークを洗浄金網に供給整列することを特徴と
    する請求項3記載の希土類磁石の洗浄装置。
  6. 【請求項6】  ワークを上水にて超音波洗浄後、防錆
    液中に浸漬することを特徴とする請求項1記載の希土類
    磁石の洗浄装置。
  7. 【請求項7】  洗浄槽は、上部と下部に超音波振動子
    を配し、ワークが整列した洗浄金網を揺動する機構を設
    けたことを特徴とする請求項1記載の希土類磁石の洗浄
    装置。
  8. 【請求項8】  防錆液は、pHが6.5から9.0で
    あり、低起泡性ノニオン界面活性材、有機防錆剤、ほう
    酸塩類、脂肪酸系可溶化剤、防腐剤を含有し、液濃度が
    0.5%から3%であることを特徴とする請求項1記載
    の希土類磁石の洗浄装置。
  9. 【請求項9】  水切り装置は、上部と下部にエアノズ
    ルを有し上部のエアノズルの開口面積とエア流速を下部
    ノズルより大きくし、エア吹き出し方向を斜めにしたこ
    とを特徴とする請求項1記載の希土類磁石の洗浄装置。
  10. 【請求項10】  ワーク受け皿は、中央部が円錐形状
    を成し、材質が樹脂であることを特徴とする請求項1記
    載の希土類磁石の洗浄装置。
JP1151191A 1991-01-08 1991-01-08 希土類磁石の洗浄装置 Pending JPH04290574A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1151191A JPH04290574A (ja) 1991-01-08 1991-01-08 希土類磁石の洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1151191A JPH04290574A (ja) 1991-01-08 1991-01-08 希土類磁石の洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04290574A true JPH04290574A (ja) 1992-10-15

Family

ID=11780041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1151191A Pending JPH04290574A (ja) 1991-01-08 1991-01-08 希土類磁石の洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04290574A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012143674A (ja) * 2011-01-07 2012-08-02 Mitsubishi Materials Techno Corp 振動処理装置
JP2013188423A (ja) * 2012-03-15 2013-09-26 Ishino Seisakusho Co Ltd 皿選別装置及び皿洗浄システム
CN108655070A (zh) * 2018-05-18 2018-10-16 郑州默尔电子信息技术有限公司 一种电子产品配件用清洗烘干装置
CN109958061A (zh) * 2019-04-12 2019-07-02 北京市政建设集团有限责任公司 一种施工用的钢筋安装方法
JP2021049488A (ja) * 2019-09-24 2021-04-01 日立金属株式会社 超音波洗浄装置、超音波洗浄方法、r−t−b系焼結磁石の製造方法、搬送用治具、搬送装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012143674A (ja) * 2011-01-07 2012-08-02 Mitsubishi Materials Techno Corp 振動処理装置
JP2013188423A (ja) * 2012-03-15 2013-09-26 Ishino Seisakusho Co Ltd 皿選別装置及び皿洗浄システム
CN108655070A (zh) * 2018-05-18 2018-10-16 郑州默尔电子信息技术有限公司 一种电子产品配件用清洗烘干装置
CN108655070B (zh) * 2018-05-18 2020-11-03 格利尔数码科技股份有限公司 一种电子产品配件用清洗烘干装置
CN109958061A (zh) * 2019-04-12 2019-07-02 北京市政建设集团有限责任公司 一种施工用的钢筋安装方法
JP2021049488A (ja) * 2019-09-24 2021-04-01 日立金属株式会社 超音波洗浄装置、超音波洗浄方法、r−t−b系焼結磁石の製造方法、搬送用治具、搬送装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI224031B (en) Cleaning apparatus
TW392199B (en) Megasonic plating system
TWI744410B (zh) 用於清潔玻璃板的方法、設備及組合件
JPH04290574A (ja) 希土類磁石の洗浄装置
JP3323385B2 (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄方法
CN103028573B (zh) 一种全自动通过式超声波清洗装置
CN103008280B (zh) 全自动通过式超声波清洗机
JPH11116221A (ja) 活性炭粒子洗浄装置
JPH07328573A (ja) 洗浄方法及び洗浄装置
CN103028572B (zh) 全自动通过式超声波清洗装置
JPS5947457B2 (ja) 半導体ウェファ−の洗浄方法
JP3124241B2 (ja) 金属材料の表面清浄化方法とその装置
JPH11277009A (ja) 超音波洗浄機および超音波洗浄システム
RU2489338C2 (ru) Установка и способ обработки поверхности деталей, в частности, кузовов автомобилей
JP2007038309A (ja) 被鍛造部材の表面処理方法及び被鍛造部材の潤滑処理方法並びに被鍛造部材処理装置
US2834455A (en) Apparatus for feeding tubes
US20050011535A1 (en) Cleaning semiconductor wafers
JPH03101866A (ja) 被膜形成装置
JPH08246162A (ja) 鋼管のねじ部表面処理方法及び装置
JPS6260225A (ja) シリコンウエハの洗浄方法
US2816303A (en) Mirror making apparatus
RU2113915C1 (ru) Устройство для нанесения порошковых материалов на внутреннюю поверхность цилиндрических изделий
JPH0881033A (ja) ネット支持ガイドおよび缶体のウオッシャー
JP2733139B2 (ja) 自動塗装装置
JP2003154293A (ja) ノズル及びそれを用いた洗浄装置、並びに洗浄方法