JPH04291177A - テストヘッド位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体試験装置などに用
いられるテストヘッド位置決め装置に係り、特に位置決
めを簡便な操作で容易に行なう構造の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置は、例えば本出願人の提
案に係る特開昭６０−１１９４７２号公報等で公知であ
る。この様な装置は製造された半導体を一個毎に検査す
るので、検査ラインに組み込んで最適な位置に保持する
ことが、検査時間を最小化することが必要である。そこ
でテストヘッド位置決め装置が使用されている。

【０００３】図５は従来装置の構成斜視図である。図に
おいて、ベ―ス１０はメインポ―ル２０を支持する桁部
１１と、ベ―ス１０の床面内に於ける左右・前後方向の
移動を行なうキャスタ１２と、キャスタ１２を床面より
浮上させて底面内の位置決めを行なうレベラ１３を有し
ている。メインポ―ル２０は、底面に設けられたベ―ス
１０に対する固定を担当するポストベ―ス２１と、頂面
に設けられたリフトホルダ３０を上下させる上下用ハン
ドル２２を有している。リフトホルダ３０はメインポ―
ル２０に取付けられるもので、テストヘッド５０を支持
する凹状のヘッド受け部３１が設けられている。

【０００４】図６はテストヘッドの構成斜視図である。 テストヘッド５０は重量１００ｋｇ程度のもので、一般
には被検査対象となる半導体に合わせて設計してある。 ヘッド用筐体４０はテストヘッド５０と半導体試験装置
の本体とを接続するもので、いわば分電盤のようにテス
トヘッド５０側の各端子の信号を信号線を介して本体に
送っている。接続用プレ―ト４１はヘッド用筐体４０の
側面に取付けられるもので、取付用のネジ４２と、リフ
トホルダ３０のヘッド受け部３１と係合する軸部４３を
有している。

【０００５】このように構成された装置の使用状態を次
に説明する。図７はテストヘッドとテストヘッド位置決
め装置を組み合わせた状態の構成斜視図である。リフト
ホルダ３０にはテストヘッド５０の検査面の姿勢を定め
る姿勢用ノブ３２が設けられており、通常検査面を水平
若しくは垂直に維持する。そして、底面内の位置決めは
キャスタ１２とレベラ１３を用いて行ない、テストヘッ
ド５０の上下方向の位置決めは上下用ハンドル２２で行
ない、検査面の姿勢は姿勢用ノブ３２を用いて調整して
いた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体製造
は一日に多数の種類の半導体を製造するのが一般的であ
り、このためテストヘッド５０も一日に何回も取替えて
位置決めする必要がある。この場合、ヘッド用筐体４０
の幅が長いので、軸部４３とヘッド受け部３１を係合さ
せる際、いわゆる芯出し作業が正確に行なえなかった。 そのため、ヘッド用筐体４０を軸部４３を中心として回
転させる際に、荷重の偏心が生じているため、回転作業
の際に作業者は大きな力を出して姿勢用ノブ３２を操作
しなければならず作業が大変になっていた。また軸部４
３がヘッド用筐体４０の設計上の回転中心とずれていれ
ば、テストヘッド５０の検査面も水平面や垂直面も完全
な基準姿勢とは乖離が生じているので、半導体の検査の
際にうまく半導体とテストヘッド５０が接触しない虞が
あった。

【０００７】本発明はこのような課題を解決したもので
、ヘッド用筐体をリフトホルダに装着する際に正確に芯
出し作業が行なえ、ヘッド用筐体回転の際に力が少なく
てすみ、検査面が基準姿勢と一致しているテストヘッド
位置決め装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明は、テストヘッドを搭載する検査面を有するヘ
ッド用筐体（４０）と、このヘッド用筐体を支持するリ
フトホルダ（３０）を有するテストヘッド位置決め装置
において、次の構成としたものである。

【０００９】即ち、前記ヘッド用筐体は、このヘッド用
筐体の一方の側面主軸と大略一致する位置に設けられる
第１の回転軸部（４３）、この第１の回転軸部の取付け
られる側面の反対側側面の主軸と大略一致する位置に設
けられる第２の回転軸部（４８）、この第１又は第２の
回転軸部の少なくとも一方に対して所定距離離れた位置
の当該側面に取付けられる固定用ノブ（４５）、この第
１の回転軸部を挟んで反対側方向の当該側面に取付けら
れる案内用ノブ（４６）を有している。

【００１０】前記リフトホルダは、第１の回転軸部の取
付けられる側面に設けられた第１の回転軸部の係合する
第１の取付用Ｕ型溝（３３）、この第１の取付用Ｕ型溝
の設けられる側面と反対側の側面に設けられた第２の回
転軸部の係合する第２の取付用Ｕ型溝（３６）、当該固
定用ノブの取付けられる側の側面にある取付用Ｕ型溝を
中心として前記検査面を水平に保持する角度と垂直に保
持する角度との間を連続的に連結すると共に当該固定用
ノブが当該側面より突出するノブ案内部（３４）、第１
の取付用Ｕ型溝を中心としてこのノブ案内部の成す円弧
角とほぼ等しい円弧角を有すると共に当該案内用ノブが
当該側面より突出する円弧状案内部（３５）を有してい
る。

【００１１】そして、第２の回転軸部と第２の取付用Ｕ
型溝より定まる第２の回転軸と、第１の回転軸部と第１
の取付用Ｕ型溝より定まる第１の回転軸との偏差を補償
する位置に第１の回転軸部をリフトホルダ側面に取付け
る軸受（６０，６１）を具備することを特徴としている
。

【００１２】

【作用】本発明の各構成要素はつぎの作用をする。第２
の回転軸部と第２の取付用Ｕ型溝及び第１の回転軸部と
第１の取付用Ｕ型溝は、ヘッド用筐体をリフトホルダに
対して回転する際の回転軸となる。固定用ノブと案内用
ノブは少なくとも一方の側面に設けられるもので、ヘッ
ド用筐体を回転する際のハンドルとして働くと共に、ヘ
ッド用筐体の姿勢を一定状態で固定するのに用いる。ノ
ブ案内部と円弧状案内部は固定用ノブと案内用ノブの移
動する軌跡を定めるもので、ヘッド用筐体の回転範囲に
合わせた円弧角を有してる。軸受は、製作上発生する第
１と第２の回転軸の不一致を吸収して、バランスの良い
位置でヘッド用筐体を支持する。

【００１３】

【実施例】以下図面を用いて、本発明を説明する。図１
は本発明の一実施例を示す装置全体の側面図、図２は正
面図で、いずれもヘッド用筐体の検査面を水平に保持す
る状態を示している。尚図１及び図２において、前記図
５〜図７と同一作用をするものには同一符号をつけ説明
を省略する。図において、メインポ―ル２０にはリフト
ホルダ３０の端部に設けられたポ―ルガイド３８が取付
けられており、リフトホルダ３０の上下移動はこのメイ
ンポ―ル２０に沿って行われる。ホイ―ル２５には、一
端がリフトホルダ３０に固定され他端がバランスウェイ
ト２６に固定されたチェ―ン２７が巻かれている。ウェ
イト収容部２８はバランスウェイト２６を収容する箱体
である。この様なバランスウェイト２６はリフトホルダ
３０の重量バランスをとって、リフトホルダ３０の上下
運動を容易にしている。

【００１４】ヘッド用筐体４０には、一方の側面に第１
の回転軸部４３、固定用ノブ４５及び案内用ノブ４６が
調整側ピン取付ブラケット５１を介して取付けられ、他
方の側面には第２の回転軸部４８が固定側ピン取付ブラ
ケット５２を介して取付けられている。第１の回転軸部
４３はヘッド用筐体４０の側面主軸と大略一致する位置
に設けられる。ここで主軸とはヘッド用筐体４０の重量
中心を通る軸をいい、この重量中心に一致させると、偏
心がなくなるので慣性モ―メントが最小化されてヘッド
用筐体４０を回転させるのが容易になる。第２の回転軸
部４８はヘッド用筐体４０の側面の主軸と大略一致する
位置に設けられる。固定用ノブ４５は第１の回転軸部４
３の中心に対して所定距離（ｒ１）離れた位置に取付け
られるものであり、ヘッド用筐体４０を回転させる状態
と固定している状態とを選択できる機構を有している。 案内用ノブ４６は、第１の回転軸部４３を挟んで固定用
ノブ４５の反対側方向に所定距離（ｒ２）離れた位置に
取付けられるもので、ここではｒ２＞ｒ１になっている
。

【００１５】第１の取付用Ｕ型溝３３は第１の回転軸部
４３と係合するもので、リフトホルダ３０の一方の側面
に設けられている。第２の取付用Ｕ型溝３６は、この第
１の取付用Ｕ型溝３３の設けられるリフトホルダ３０の
反対側側面に設けられるもので、第２の回転軸部４８と
係合する。ノブ案内部３４は、第１の取付用Ｕ型溝３３
を有する側面に設けられたもので、中心は第１の取付用
Ｕ型溝３３の底部近傍にあり、理想的には第１の回転軸
部４３の軸中心と一致する。円弧状案内部３５もこのノ
ブ案内部３４を有する側面に、ノブ案内部３４と共通の
中心を有するものである。両者はいずれも円弧状をして
おり、ヘッド用筐体４０の検査面を水平に保持する角度
と垂直に保持する角度との間を連続的に連結する事が可
能になっており、例えば１３５度の円弧角になっている
。ノブ案内部３４は固定用ノブ４５と係合し、円弧状案
内部３５は案内用ノブ４６と係合する。ケ―ブル箱４７
はテストヘッド５０と半導体試験装置本体を接続するケ
―ブルを収容するもので、開口部から図示しない信号線
が外部に現れる。

【００１６】下部軸受６０と上部軸受６１は、リフトホ
ルダ３０の第１の取付用Ｕ型溝３３側側面に固定された
もので、第１の回転軸部４３をベアリング部４４を介し
て支持している。下部軸受６４と上部軸受６５は、リフ
トホルダ３０の第２の取付用Ｕ型溝３６側側面に固定さ
れたもので、第２の回転軸部４８をベアリング部を介し
て支持している。ここでは、第２の回転軸部４８と案内
用ノブ４６より定まる第１の回転軸と、第１の回転軸部
４３と第１の取付用Ｕ型溝３３より定まる第１の回転軸
との偏差を補償する目的で、下部軸受６０と上部軸受６
１の取付け位置が側面に対して微調整できるようになっ
ている。

【００１７】図３は検査面を垂直にした状態の装置全体
の側面図である。固定用ノブ４５と案内用ノブ４６を、
ノブ案内部３４と円弧状案内部３５にそって移動させる
ことにより、検査面を水平状態（図１参照）から垂直状
態にすることができる。固定は固定用ノブ４５を用いて
行なう。

【００１８】図４はリフトホルダ３０とヘッド用筐体４
０の詳細を説明する図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側
面図になっている。案内用ノブ４６はシャフト４６１を
介して調整側ピン取付ブラケット５１と取付けられ、固
定用ノブ４５はシャフト４５１を介して調整側ピン取付
ブラケット５１と取付けられている。リリ―ス部４５２
は固定用ノブ４５とノブ案内部３４との係止状態を維持
したり、解除したりするもので、これによりヘッド用筐
体４０の姿勢固定と姿勢変更の切替をしている。ブラケ
ット取付け部４５３はシャフト４５１の先端に装着され
るサ―クリップ形状をするもので、調整側ピン取付ブラ
ケット５１に対する取付けを担当する。軸受固定板６２
は、下部軸受６０と上部軸受６１をリフトホルダ３０に
対して実質的に固定する。例えば、軸受の微調整は軸受
固定板６２の取付け位置を調整して行なう。軸受固定板
６５は、下部軸受６３と上部軸受６４をリフトホルダ３
０に対して実質的に固定するもので、第２の取付用Ｕ型
溝３６だけでは第２の回転軸部４８を支持するのが強度
的に困難な場合があるので用いている。

【００１９】このように構成された装置の動作を次に説
明する。調整側ピン取付ブラケット５１を用いて第１の
回転軸部４３をヘッド用筐体４０の側面主軸に位置合わ
せする際に取付け誤差が発生する。固定側ピン取付ブラ
ケット５２を用いて第２の回転軸部４８を位置合わせす
ることも同様である。また第１の取付用Ｕ型溝３３と第
２の取付用Ｕ型溝３６を完全に対称的に製作することは
、リフトホルダ３０の幅が大きいことからも困難である
。そこでこれを補償して、ヘッド用筐体４０の回転軸が
芯出しできるように、下部軸受６０と上部軸受６１の第
１の取付用Ｕ型溝３３に対する取付け位置を微調整する
。この微調整は、熟練した作業者が行なっても良く、ま
たバランシングマシンを偏心量と偏心方向を求めて行な
っても良い。

【００２０】尚、上記実施例においてはノブ案内部３４
、円弧状案内部３５、固定用ノブ４５及び案内用ノブ４
６を第１の回転軸部４３側にのみ設ける場合を示したが
、本発明はこれに限定されるものではなく、第２の回転
軸部４８側のみに設けても良くまた両方の回転軸部に設
けても良い。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
のような効果がある。■ヘッド用筐体４０の回転軸部と
リフトホルダ３０に対する取付け軸との間に偏心があっ
ても、回転軸部の取付け位置を調整してこの偏心を補償
しているのでヘッド用筐体４０の回転が容易に行われる
。■　　第１の取付用Ｕ型溝３３と第２の取付用Ｕ型溝
３６を第１の回転軸部４３と第２の回転軸部４８を係合
させて、ヘッド用筐体４０をリフトホルダ３０に取付け
ているので、装着方向が溝の上方のみに限定されて、装
着作業が容易になる。■　　実施例のように第１の回転
軸部４３と第２の回転軸部４８の両側を割りタイプの軸
受を用いて支持すると、左右が独立して芯出しすること
が可能になり、リフトホルダ３０側のみで偏心の補償が
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す装置全体の側面図であ
る。

【図２】本発明の一実施例を示す装置全体の正面図であ
る。

【図３】検査面を垂直にした状態の装置全体の側面図で
ある。

【図４】リフトホルダ３０とヘッド用筐体４０の詳細を
説明する図である。

【図５】従来装置の構成斜視図である。

【図６】テストヘッドの構成斜視図である。

【図７】テストヘッドとテストヘッド位置決め装置を組
み合わせた状態の構成斜視図である。

【符号の説明】

１０…ベ―ス ２０…メインポ―ル ３０…リフトホルダ ３３…第１の取付用Ｕ型溝 ３４…ノブ案内部 ３５…円弧状案内部 ３６…第２の取付用Ｕ型溝 ４０…ヘッド用筐体 ４３…第１の回転軸部 ４５…固定用ノブ ４６…案内用ノブ ４８…第２の回転軸部 ５０…テストヘッド ６０，６１…軸受

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テストヘッドを搭載する検査面を有するヘ
   ッド用筐体（４０）と、このヘッド用筐体を支持するリ
   フトホルダ（３０）を有するテストヘッド位置決め装置
   において、このヘッド用筐体の一方の側面主軸と大略一
   致する位置に設けられる第１の回転軸部（４３）、この
   第１の回転軸部の取付けられる側面の反対側側面の主軸
   と大略一致する位置に設けられる第２の回転軸部（４８
   ）、この第１又は第２の回転軸部の少なくとも一方に対
   して所定距離離れた位置の当該側面に取付けられる固定
   用ノブ（４５）、この第１の回転軸部を挟んで反対側方
   向の当該側面に取付けられる案内用ノブ（４６）を有す
   る前記ヘッド用筐体と、第１の回転軸部の取付けられる
   側面に設けられた第１の回転軸部の係合する第１の取付
   用Ｕ型溝（３３）、この第１の取付用Ｕ型溝の設けられ
   る側面と反対側の側面に設けられた第２の回転軸部の係
   合する第２の取付用Ｕ型溝（３６）、当該固定用ノブの
   取付けられる側の側面にある取付用Ｕ型溝を中心として
   前記検査面を水平に保持する角度と垂直に保持する角度
   との間を連続的に連結すると共に当該固定用ノブが当該
   側面より突出するノブ案内部（３４）、第１の取付用Ｕ
   型溝を中心としてこのノブ案内部の成す円弧角とほぼ等
   しい円弧角を有すると共に当該案内用ノブが当該側面よ
   り突出する円弧状案内部（３５）を有する前記リフトホ
   ルダと、第２の回転軸部と第２の取付用Ｕ型溝より定ま
   る第２の回転軸と、第１の回転軸部と第１の取付用Ｕ型
   溝より定まる第１の回転軸との偏差を補償する位置に第
   １の回転軸部をリフトホルダ側面に取付ける軸受（６０
   ，６１）と、を具備することを特徴とするテストヘッド
   位置決め装置。