JPH0429380U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0429380U JPH0429380U JP7195990U JP7195990U JPH0429380U JP H0429380 U JPH0429380 U JP H0429380U JP 7195990 U JP7195990 U JP 7195990U JP 7195990 U JP7195990 U JP 7195990U JP H0429380 U JPH0429380 U JP H0429380U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- shaped bodies
- loading device
- axial direction
- interlocking mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
第1図乃至第4図はこの考案の一実施例を示し
、第1図はワークローデイング装置の縦断面図、
第2図は第1図のA−A線断面図、第3図は動作
状態を示す第1図相当図、第4図a〜iは動作順
序を示す略示縦断面図、第5図はこの考案の他の
実施態様を示す第1図相当図、第6図はこの考案
のさらに他の実施態様を示すワークローデイング
装置の一部切欠正面図、第7図は従来のワークロ
ーデイング装置の一例を示す正面図である。 1……支持体、5……シリンダ、6……スライ
ドピストン(棒状体)、7……軸線、8……メカ
ニカルフインガ、11……ストツパ、21……ピ
ニオン、25……ラツク、26……連動機構、3
0……ワークローデイング装置、40……ワーク
ローデイング装置、41……電動機、42……駆
動軸、43……歯車、44……棒状体、45……
ガイドブツシユ、50……ワークローデイング装
置、51……支点ピン、52……リンク、53…
…ピン、54……連動機構。
、第1図はワークローデイング装置の縦断面図、
第2図は第1図のA−A線断面図、第3図は動作
状態を示す第1図相当図、第4図a〜iは動作順
序を示す略示縦断面図、第5図はこの考案の他の
実施態様を示す第1図相当図、第6図はこの考案
のさらに他の実施態様を示すワークローデイング
装置の一部切欠正面図、第7図は従来のワークロ
ーデイング装置の一例を示す正面図である。 1……支持体、5……シリンダ、6……スライ
ドピストン(棒状体)、7……軸線、8……メカ
ニカルフインガ、11……ストツパ、21……ピ
ニオン、25……ラツク、26……連動機構、3
0……ワークローデイング装置、40……ワーク
ローデイング装置、41……電動機、42……駆
動軸、43……歯車、44……棒状体、45……
ガイドブツシユ、50……ワークローデイング装
置、51……支点ピン、52……リンク、53…
…ピン、54……連動機構。
Claims (1)
- 先端部にワーク把持用のメカニカルフインガを
備えた2本の棒状体を、該棒状体の軸線を交差さ
せた配置状態で、前記軸線方向に移動自在に支持
体に支持し、前記2本の棒状体を各軸線上で反対
方向に移動するように連動させる連動機構と、前
記棒状体を軸線方向に駆動する駆動装置とを具備
したことを特徴とするワークローデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071959U JP2506149Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ワ―クロ―デイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071959U JP2506149Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ワ―クロ―デイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429380U true JPH0429380U (ja) | 1992-03-09 |
| JP2506149Y2 JP2506149Y2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=31609462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990071959U Expired - Lifetime JP2506149Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ワ―クロ―デイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506149Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058707A1 (en) * | 2002-01-08 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor processing system and semiconductor carrying mechanism |
| WO2019026203A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | 株式会社Fuji | エンドエフェクタ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53144680U (ja) * | 1977-04-21 | 1978-11-15 | ||
| JPS5723943U (ja) * | 1980-07-14 | 1982-02-06 | ||
| JPS5773048U (ja) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | ||
| JPS5877474A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-05-10 | 富士通フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトのハンド |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP1990071959U patent/JP2506149Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53144680U (ja) * | 1977-04-21 | 1978-11-15 | ||
| JPS5723943U (ja) * | 1980-07-14 | 1982-02-06 | ||
| JPS5773048U (ja) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | ||
| JPS5877474A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-05-10 | 富士通フアナツク株式会社 | 工業用ロボツトのハンド |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058707A1 (en) * | 2002-01-08 | 2003-07-17 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor processing system and semiconductor carrying mechanism |
| WO2019026203A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | 株式会社Fuji | エンドエフェクタ |
| JPWO2019026203A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-12-26 | 株式会社Fuji | エンドエフェクタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2506149Y2 (ja) | 1996-08-07 |