JPS6290945A - ウエハの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ウェハの搬送方法に関し、特に搬送ベルト
によるウェハの搬送方法に関するものである。

（従来の技術） 半導体ウェハに施こされる各種の処理、例えばフォトリ
ソ工程に於けるレジスト塗布及び露光は処理装置が異る
ため、レジスト塗布の終了したウェハは搬送ベルトに乗
せられて露光装置に移送される。この搬送ベルト方式に
よるウェハの移送は、ウェハの移動を自動化出来ること
から極めて有益である。しかしながら搬送ベルトの前段
に設置される処理装置の処理能力が後段に設置される処
理装置の処理能力（いずれも単位時間当りの処理能力）
Ｋ比べ大きな差、例えば２：１の関係にあるとすると、
後段に投入されるウェハは過乗投入される不都合が生じ
る。

かかる不都合を回避する従来技術は、例えば実開昭５１
−７６３７２号公報や特開昭５５−２２８３２号公報な
どがある。これらはいずれも分岐或は振分は装置によっ
て一列で搬送されてくる被搬送体を二列に振分けること
によって上記問題点を解決したものである。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながらこれらの先行技術は搬送路の他に特別な振
分は機構を必要とし、更にこれら振分は機構をドライブ
する駆動装置も必要となる。半導体素子の製造工程、特
にフォトリソ工程の露光、現像装置へのウェハ搬送は、
塵埃を極端に嫌うこと又レノストの経時変化を極力小さ
くするためスムースな搬送を維持する関係で、搬送トラ
ブルの少ない、換言すればよシシンプルな搬送方法が要
求されるが、未だ満足なものではない。

（問題を解決するための手段） この発明はウェハを移送する３つの搬送ベルトでほぼＹ
字状の分岐搬送路を構成し、前記搬送ベルトの駆動装置
の回転方向を制御することのみで、前記分岐搬送路で、
ウェハの移送方向を変更する方法であり、具体的には第
１の搬送ベルトの回転てより分岐搬送路だ搬送されるウ
ェハを、第２又は第３の搬送ベルト上に移載するに際し
、第２及び第３の搬送ベルトのいずれか一方を前記第１
の搬送ベルトの回転方向と同一方向で回転させ、他方を
この方向と逆方向で回転させる搬送方法である。

（作用） はぼＹ字状の分岐搬送路で移送方向と同方向で回転する
移載側の搬送ベルトに対し非移載側の搬送ベルトが逆転
するので非移載側が移載側にウェハを押し出すように作
用し、もって分岐搬送路でのウェハの淀みを防ぐよう作
用する。

（実施例） 第１図はこの発明方法を採用した実施例装置の平面概略
図であシ、ｌはウェハを、２〜６は搬送ベルト（以下単
にベルトと称すこともある）を、２は内側ガイドを、８
〜１２はウェハ到来検出用のセンサを、１３．１４は外
側ガイドをそれぞれ表わす。また、矢印は、分岐搬送路
部イヘウェハが移送される方向を示している。ベルト２
〜６はそ、れぞれ単独に或はある部分のベルトと連動し
て、正又は逆の回転をすることによシ、ウェハｌを、さ
に設置する。更に内側ガイド７と外側ガイド１３．１４
はウエノ・１の移送路用案内であるから前記搬送ベルト
２〜６の高さにウニ／％ｌの厚みを加えた高さより高く
なる壁を形成している。また本発明で説明する正回転は
明細書全体を通して右回転とする。

さて、この発明のウェハ搬送方法を第１図て従って詳説
すると、矢印で示される様に、ウェノ・ｌが処理装置Ａ
から搬送ベルト２の正回転により搬送されて来ると、セ
ンサ８がウェハｌの到来を検出し、分岐部で後段の装置
Ｂ又はＣのいずれかに供給するかを図示しないベルト回
転制御装置でベルトの回転方向を決定する。例えば後段
の処理装ＭＢにウェハｌを投入する場合には、センサ８
の検出信号により作動するベルト回転制御装置は、ベル
ト３及び５を正回転にし、ベルト４を逆回転させる。す
るとウェハｌはベルト２からベルト３及びベルト５上を
移動し装置Ｂに投入（搬入）される。ウェハ１がベルト
２上をある間隔をもって連続して搬送されると、順次到
来するウェハ１をセンサ８で検出すると共にセンサ９で
のウェハ１の到来信号をベルト回転制御装置に送出し、
次のウェハ１を装置Ｃに投入するべく、ベルト４及び６
を正回転にベルト３を逆回転に回転させる。もしベルト
２上に搬送されるウェハｌの間隔が、センサ８を通過し
て後段の処理装置Ｂ又はＣに投入されるて充分な時間を
もっていればセンサ９や１０は必ずしも必要ではない。

つまりセンサ８の通過信号によりベルト３と４とを交互
に正から逆へ、逆から正へと回転させれば良い。但し搬
送ベルト３及び４は常に逆の関係で回転させる必要があ
ることに注意しなければならない。つまりベルト２カラ
ベルト３またはベルト４にウェハｌを転送する際、ウェ
ハｌが分岐部で澱みしばしばベルト３又は４に転送され
ないことが起るからである。ベルト３又は４のいずれか
一方が搬送方向と反対の回転をするのは、後段の装置Ｂ
又はＣのいずれか一方、例えば装置Ｂへ搬入する時は装
置Ｃへの侵入を逆回転により阻止し且つ装置Ｂ方向ヘウ
ェハ１を搬送するべく搬送ベルト３へ送り込むためであ
る。

また、この実施例装置に於て搬送ペル）２．３゜４．５
及び６を逆回転することにより装置Ｂ及びＣから搬出さ
れるウエノ・ｌを装置ｉＢ及びＣの二基の装置の合計処
理能力と等しい処理能力を有する装置ＡＫ対する安定な
供給を確保できるから、このような場合にも本発明は利
用することができる。

この場合でもベルト３及び４は言うまでもなく逆方向の
回転を与えねばならない。そして、装置Ｂ及びＣから搬
出されるウニ）’１０が合流部（前述の例では分岐部）
でぶつかり合わないようにセンサ１１及び１２で検出さ
れる信号によりウエノ・ｌの搬送をベルト５及び６の回
転によシ制御すれば良い。

この搬送ベルト３及び４の回転は常に逆の関係でしかも
同期して回転するため、二つの駆動源例えばモータを２
基設置してこれを同期させて回転させても良くまた、第
２図に示すように１基のモータ１３と、プーリ１４及び
チェーン１５の組合せで構成しても良い。なお第２図に
於ける矢印は回転方向を表わす。

（発明の効果） 以上のように本発明は、半導体ウニ・・に各種の処理を
施す処理装置間を連絡する搬送ベルト方式によるウェハ
移送に於て、ウェハの搬送路を２つに分岐するに際しウ
ェハが分岐部で澱むことなくスムーズに搬送できるとい
う第１の大きな効果の他に、この搬送路の前段に設置さ
れる処理装置と後段に設置される処理装置の単位時間当
りの処理能力のアンバランスあるいは、パッチ処理（一
括処理）と個別処理に伴う搬送量のむらを補正すること
ができる等、この種方式に採用して際立った効果を発揮
するものである。加えて、この発明方法は、搬送ベルト
の回転方向の制御のみでウニ’・を分岐搬送できるので
、特に振分は機構を必要としないシンプルな装置で実現
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を採用した実施例装置の平面概略
図であシ、第２図は本発明の搬送ベルトドライブ方法の
説明図である。 １・・・ウェハ、２〜６・・・搬送ベルト、２・・・内
側ガイド、８〜１２・・・センサ、１３．１４・・・外
側ガイド、Ａ、Ｂ、Ｃ・・・処理装置、イ・・・分岐搬
送踏部特許出願人　　　沖電気工業株式会社 第１図 、＄４を明ｌＶ纒ｍ々Ｌト豹イプカ呈の一ン明Ｇる第２
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１、第２及び第３の搬送ベルトでほぼＹ字状の
   分岐搬送路を形成し、前記第１の搬送ベルト上に載置さ
   れ、この搬送ベルトの移動によって移送される半導体ウ
   ェハを、前記分岐搬送路で、前記第２、第３のいずれか
   一方の搬送ベルトに移送するウェハの搬送方法に於て、
   前記第２及び第３の搬送ベルトのいずれか一方を前記第
   １の搬送ベルトの回転方向と同一方向で回転させ他方を
   この方向と逆方向で回転させることにより前記第１の搬
   送ベルト上の前記ウェハを、同一方向で回転する第２、
   第３の搬送ベルトのいずれか一方に移送することを特徴
   とするウェハの搬送方法。