JPH0429808U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0429808U JPH0429808U JP7047690U JP7047690U JPH0429808U JP H0429808 U JPH0429808 U JP H0429808U JP 7047690 U JP7047690 U JP 7047690U JP 7047690 U JP7047690 U JP 7047690U JP H0429808 U JPH0429808 U JP H0429808U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- compound layer
- inspection device
- shaft
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案が適用されるラインの工程図、
第２図はその制御系を示すブロツク図、第３図は
Ｘ線回折検査装置を備えた検査ステーシヨンを示
す図、第４図はＸ線回折検査装置の説明図、第５
図はＸ線回折検査装置による計測結果を示すグラ
フ、第６図は顕微鏡による膜厚の計測結果とＸ線
回折検査装置による計測結果を比較したグラフ、
第７図はＸ線回折検査のフローチヤート、第８図
はワークにおける化合物層の状態を示す模式図で
ある。 ５，９……Ｘ線回折検査装置、２７……センタ
リングピン（ワーク支持手段）、３０……センタ
リングチヤツク（ワーク支持手段）、３４……パ
ルスモータ（ワーク駆動手段）、３６……Ｘ線照
射部、３７……Ｘ線受光部、Ｗ……クランクシヤ
フト（ワーク）、Ｗｂ……化合物層。
第２図はその制御系を示すブロツク図、第３図は
Ｘ線回折検査装置を備えた検査ステーシヨンを示
す図、第４図はＸ線回折検査装置の説明図、第５
図はＸ線回折検査装置による計測結果を示すグラ
フ、第６図は顕微鏡による膜厚の計測結果とＸ線
回折検査装置による計測結果を比較したグラフ、
第７図はＸ線回折検査のフローチヤート、第８図
はワークにおける化合物層の状態を示す模式図で
ある。 ５，９……Ｘ線回折検査装置、２７……センタ
リングピン（ワーク支持手段）、３０……センタ
リングチヤツク（ワーク支持手段）、３４……パ
ルスモータ（ワーク駆動手段）、３６……Ｘ線照
射部、３７……Ｘ線受光部、Ｗ……クランクシヤ
フト（ワーク）、Ｗｂ……化合物層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 軸物ワークＷの表面に形成された化合物層Ｗｂ
にＸ線を照射することにより前記化合物層Ｗｂの
膜厚を計測する軸物ワークの化合物層検査装置に
おいて、 前記ワークＷをその中心軸回りに回転自在に位
置決めするワーク支持手段２７，３０と、前記ワ
ークＷを所定ピツチで回転駆動するワーク駆動手
段３４と、Ｘ線照射部３６とＸ線受光部３７とを
備え、前記位置決めされたワークＷの被計測部に
対向すべく配設されるＸ線回折検査装置５，９と
を備えて成る、軸物ワークの化合物層検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7047690U JPH0429808U (ja) | 1990-07-02 | 1990-07-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7047690U JPH0429808U (ja) | 1990-07-02 | 1990-07-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429808U true JPH0429808U (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=31606666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7047690U Pending JPH0429808U (ja) | 1990-07-02 | 1990-07-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429808U (ja) |
-
1990
- 1990-07-02 JP JP7047690U patent/JPH0429808U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN219162061U (zh) | 用于管棒的水浸c扫描超声波探伤机 | |
| JP2681765B2 (ja) | ワークのセンタ支持チャック装置 | |
| JP3249717B2 (ja) | 汎用位置決めクランプ装置 | |
| JPH0429808U (ja) | ||
| JP2613513B2 (ja) | 蛍光ｘ線の分析方法 | |
| JPH09280854A (ja) | ネジ穴検査装置 | |
| JP2507481Y2 (ja) | 歯面チャッキング爪 | |
| JP2001343204A (ja) | 雄ネジ部の自動検査方法及び自動検査装置 | |
| CN115781431B (zh) | 一种随动磨削摩托车发动机曲轴连杆颈的装置及其安装方法 | |
| JP2969295B2 (ja) | ディスクのチャック反転機構 | |
| JPH0377443B2 (ja) | ||
| JPH05154715A (ja) | 歯車用ワーク芯出・チャッキング装置 | |
| JPH0237924A (ja) | ディスク体の加工方法およびその装置 | |
| JPH0546838Y2 (ja) | ||
| JPH0359366U (ja) | ||
| CN224216633U (zh) | 一种混凝土楼板浇筑密实度检测设备 | |
| JPS62203455U (ja) | ||
| JP4100760B2 (ja) | 単結晶インゴットの位置決め装置、位置決め加工システム、位置決め用治具、および位置決め加工方法 | |
| JPH05185358A (ja) | 管の被膜除去工法及び被膜除去装置 | |
| JPH041150Y2 (ja) | ||
| JPH0223806B2 (ja) | ||
| JP2546640B2 (ja) | 研磨装置におけるキヤリア位置決め方法 | |
| JPH01168812U (ja) | ||
| JPS637730Y2 (ja) | ||
| JPH0420537Y2 (ja) |