JPS637730Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、Ｘ線回折等に用いられるサーキユラ
ーテーブル装置に関するものであつて、テーブル
の粗動回転から微動回転への移行変動を円滑且つ
連続的に達成することを目的とする。

例えば、I.C等に用いられるシリコン、ゲルマ
ニウム等の半導体材料結晶には極めて完全度の高
い単結晶が必要とされており、この結晶のウエハ
ーの完全度を検査する手段として、単色平行なＸ
線ビームで結晶を照射し、格子常数を精密に測定
したり、回折顕微写真を撮影することなどが行わ
れる。

このためには、被検査物たる結晶を180度に及
ぶ大きな角度範囲にわたつて0.1秒程度の精度で
回転させたり、ある角度の周辺でステツプ状に
0.1秒程度の微小角度だけ回転させる必要がある。

それ故精密回転が可能なサーキユラーテーブル
を用意し、このテーブル上に結晶を設置してテー
ブルを回転させることによつて結晶を回転させる
が、このサーキユラーテーブルには、結晶を前述
の大きな角度だけ回転させる粗動回転装置と、前
述の微小角だけ精密に回転させる微動回転装置と
が要求される。

従来のこの種サーキユラーテーブルに於ては、
タンジエントバー機構を用いて角度0.1秒単位で
微動させる手段が考えられているが、タンジエン
トバーの可動範囲は５〜６度に限られているの
で、結晶を前述の如き大きな角度範囲にわたつて
精度よく回転させることができなかつた。

本考案は上述した要請に応え、前記従来の欠
点、不都合を解消するべく案出されたサーキユラ
ーテーブルに関するものであつて、テーブルを電
磁クラツチを介して駆動源と連結して回転可能と
すると共に、テーブルの主軸にタンジエントバー
の一端を電磁クランプを介して離着自在に組み付
け、タンジエントバーの他端に押す圧力により当
該タンジエントバーを微動回転させるマイクロメ
ータヘツドを配した構成である。

以下本考案の一実施例を図面に従つて説明す
る。

先ず図中符号１は容箱形状のフレームであつ
て、頂板２を貫通する形態で該頂板２に上下方向
に沿つて軸受３が固定され、更に頂板２上面周端
部には短筒形状で上端にフランジ５を有する保持
筒４が立設固定される。

また符号６は円形テーブルであつて、中心に主
軸７が垂下固定されており、この主軸７を前記軸
受３内に可回転的に嵌挿することにより、テーブ
ル６はフレーム１上方に於て水平姿勢を維持して
軸支されることになるが、前記テーブル６の周面
には所定間隔ピツチをもつてギア８が刻設されて
おり、一部が外方に突出した前記保持筒４のフラ
ンジ５に枢着された歯車９と噛合する。

そしてこの歯車９軸はフレーム１側面に取り付
けられた駆動源たるモータM₁の回転軸と電磁ク
ラツチ１０を介して連結しており、従つて電磁ク
ラツチ１０の作動時に於てモータM₁の回転力は
テーブル６に伝達され、テーブル６は所定方向に
所定速度で回転する。

次にフレーム１内にあつて、前記主軸７下端部
には、タンジエントバー１１の一方端部が離着自
在に嵌挿固定されている。

このタンジエントバー１１の一方端部では、外
方に半円状に夫々湾曲した一対の挾持片１４が二
股状に分岐しており、この一対の挾持片１４の各
内面によつて前記主軸７の外径よりもやや大きい
内径の孔１２が形成され、更に前記対向する一対
の挾持片１２の先端部は所定幅をもつて離反して
いて、割り溝１３が形成されている。

上記タンジエントバー１１は、主軸７を前記孔
１２内に遊嵌し、挾持片１４が相互に近付く方向
に弾性変形することにより両挾持片１４が主軸７
を締め付け、主軸７に固定される。

図示例で挾持片１４の変形操作は、電磁クラン
プ１５を利用することにより行なう。

即ち一方の挾持片１４先端部の外面には電磁ク
ランプ１５が固定され、該電磁クランプ１５内を
摺動し且つ先端部が外部に突出した操作杆１５′
は、両挾持片１４先端部を貫通して他方の挾持片
１４先端部にナツト等の固着具を介して固定され
ており、電磁クランプ１５の作動により操作杆１
５′が電磁クランプ１５内に引つ込む結果、両挾
持片１２は相互に近接し、主軸７を全周にわたつ
て締め付け、タンジエントバー１１を主軸７下端
部に確固と嵌め込み固定することになる。

このように主軸７に組み付けられるタンジエン
トバー１１の他方端部には、このタンジエントバ
ー１１の他方端部を所定方向に押圧して主軸７、
ひいてはテーブル６を所定方向に押圧回動させる
微動装置が配されている。

図示例にあつて、フレーム１内に於けるタンジ
エントバー１１他端の一側面に対向してマイクロ
メータヘツド１６が固定されており、該マイクロ
メータヘツド１６の主軸に沿つて嵌装されたスピ
ンドル１７の先端は、前記タンジエントバー１１
他端一側面に当接し、またマイクロメータヘツド
１６の基端にはウオームホイル１８が取り付けら
れ、このウオームホイル１８の回転に伴ない前記
スピンドル１７は前進後退動する。

そしてフレーム１の一部にはパルスモータ等の
駆動源M₂が固定され、その回転軸に装着された
ウオームギア１９が前記ウオームホイル１８と噛
合し、ウオームホイル１８に回転力を付与する。

またタンジエントバー１１他端の他側面に対向
して、押し戻し機構２０が配置されており、この
押し戻し機構２０を構成するケース２１内に摺動
自在に嵌め込まれた押圧ピン２２は、その基端に
受けるスプリング２３の弾撥力により、突出した
先端が常にタンジエントバー１１他端他側面に当
接し、前記マイクロメータヘツド１６のスピンド
ル１７の後退動に伴なつてタンジエントバー１１
を逆方向に押し戻し回転させるようになつてい
る。

尚、第１図にあつて、保持筒４外周にベアリン
グを介して可回転的に組み付けられた２４，２５
は補助テーブルであつて、他の動力源によつて回
転され、またフレーム下端に装着された２６は支
持脚であつて（図示例では三脚）、内部にエアベ
アリングが組み込まれ、ベース台上に於ける装置
の移動が達成され易いようになつている。

さて上述した構成にあつて、テーブル６上に被
検査物たる結晶をホルダー等を介して載置し、電
磁クラツチ１０を作動させて駆動源M₁によりテ
ーブル６を粗動回転させる。

この粗動によつて結晶を所定の角度位置の近傍
まで大きな速度で回転させその後微動回転にうつ
る。即ち電磁クラツチ１０の作動を停止させて駆
動源M₁の回転をテーブル６より切り離し、同時
に電磁クランプ１５を作動させてタンジエントバ
ー１１をテーブル６の主軸７に締付け固定し、駆
動源M₂を回転させてその回転力をマイクロメー
タヘツド１６に伝える。

駆動源M₂からの回転力を得たマイクロメータ
ヘツド１６は、スピンドル１７をテーブル６の回
転方向と同一方向に押し出し、その当接する先端
が押し戻し機構２０のスプリング２３の弾撥力に
抗して、タンジエントバー１１をテーブル６と同
一回転方向に回転させるのであるが、ここでのス
ピンドル１７の前進は極めて微細であり、１ミク
ロンの前進によりテーブル６を回転させる角度は
１秒程度である。

またテーブル６を微動逆転させるには、マイク
ロメータヘツド１６を逆転させることによりスピ
ンドル１７を後退させれば、押し戻し機構２０の
押圧ピン２２がタンジエントバー１１を逆方向に
押し出し回転させるので、簡単に達成し得る。

本考案のサーキユラーテーブル装置は以上説明
したような構成をとり作用を営む。

よつて駆動源M₁とM₂、及び電磁クラツチ１０
と電磁クランプ１５を相互に上記所定タイミング
で作動するように設定すれば、ターンテーブル６
の粗動回転から微動回転への継続的な移行が円滑
に行なわれ、切り替え時の無用な衝撃は全く生じ
ない。

特にタンジエントバー１１は、テーブル６の粗
動時には電磁クランプ１５が非作動状態であるの
で挾持片１４による主軸７への締め付けがなく、
主軸７下端部は孔１２内に遊嵌しているだけであ
り、粗動回転に何等影響を及ぼさない。

また各動作は遠隔操作で達成されるので、放射
線による人体への影響もない。

以上の説明から明らかなように本考案のサーキ
ユラーテーブル装置は、Ｘ線回折を行なうに際し
て、被検査物たる結晶の格子常数の絶対値の精密
測定、回折顕微写真の撮影などの目的に適し、ま
た作動が確実であつて構成も簡単である等、多く
の優れた作用効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る装置の縦断面図、第２図
はタンジエントバーの平面図である。 符号の説明、１……フレーム、３……軸受、６
……テーブル、７……主軸、１０……電磁クラツ
チ、１１……タンジエントバー、１２……孔、１
４……挾持片、１５……電磁クランプ、１６……
マイクロメータヘツド、１７……スピンドル、２
０……押し戻し機構、２２……押圧ピン、M₁，
M₂……駆動源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 容箱形状のフレームに上下方向に沿つて装着さ
   れた軸受に、前記フレームの上方位置で水平姿勢
   を維持して軸支され、電磁クラツチを介しての所
   定の駆動源により粗動回転するテーブルと、一端
   が前記テーブルの軸下端部に電磁クランプを介し
   ての離着自在に嵌挿固定され、駆動源を介して作
   動するマイクロメータヘツドのスピンドルが他端
   に加える押圧力により、微動回転するタンジエン
   トバーとより成るサーキユラーテーブル装置。