JPH04300672A - 回転塗布方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、樹脂塗布対象となる光
学式ディスク（コンパクトディスク）、ビデオディスク
、光カード、およびその原盤、半導体ウェハー、フォト
マスク等の基板を回転台上に載置し、基板を回転させな
がら当該基板上にＵＶ樹脂等の樹脂を所定の厚さに塗布
するための回転塗布方法およびその装置に係り、特に安
定した樹脂吐出量を確保して、樹脂の液だれやコートむ
らの発生を防止し得るようにした回転塗布方法およびそ
の装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光学式記録は、磁気式記録と比較して記
録媒体とヘッドとが非接触であり、かつ高密度の記録が
可能である等の利点がある。この光学式記録媒体として
は、読出し専用のもの、追加書込み可能なもの、消去再
書込み可能なものが知られており、このうち読出し専用
の光学式記録媒体としては、既に光学式ディスク（コン
パクトディスク）や光学方式のビデオディスク、光カ―
ド等の形で実用に供されてきている。

【０００３】一方、この種の光学式記録媒体を製造する
方法としては、例えば次のような方法が採用されている
。すなわち、例えばプラスチック（一般には、ポリカー
ボネート）等からなる樹脂基板上に、例えば射出成形法
により、１枚ずつ情報信号の凹凸パタ―ンを転写して形
成し、次にこの樹脂基板の凹凸パタ―ン面上に、アルミ
ニウム、金、銀、銅、錫、ニッケル等の金属を蒸着また
はスパッタリング法により成膜して金属反射膜を形成し
、次にこの金属反射膜上に、例えばスピンコート法によ
りアクリル樹脂を主成分とした樹脂（一般には、紫外線
硬化型樹脂）を塗布し、さらに乾燥（一般には、紫外線
照射）させることによって保護膜層を形成することによ
り、光学式記録媒体を製造する方法が採用されている。

【０００４】ところで、このような光学式記録媒体の製
造に際して、樹脂を塗布処理して保護層を形成するため
の方法としては、従来から、回転塗布装置（スピナー）
を使用したスピンコート方式が採用されている。すなわ
ち、このスピンコート方式は、金属膜面が形成された樹
脂基板を回転台（スピナーヘッド）上に載置・吸着し、
先端にニードルが取り付けられたノズルを、原点位置か
ら樹脂基板の金属膜面内径上部の樹脂吐出開始位置まで
移動させて、樹脂基板を低速度（７０ｒ．ｐ．ｍ．程度
）で回転させると同時にニードルからＵＶ樹脂を吐出し
、内径部を１周してから「の」の字形にある一定の速度
で樹脂基板の外周方向にノズルを移動させて、最外周付
近でＵＶ樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、その
後樹脂基板を高速度（３０００ｒ．ｐ．ｍ．程度）で回
転させて、当該樹脂基板上に所定の厚さに樹脂を塗布し
て保護層を形成する方法である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、次のような種々の問題があった。 すなわち、上述したようなスピンコート方式によって保
護層をコーティングする際には、先端にニードルが取り
付けられたノズルに取り付けられたＵＶ樹脂吐出電磁式
開閉弁の開閉を繰り返すことによって、ＵＶ樹脂の吐出
を行なうわけであるが、ＵＶ樹脂吐出電磁式開閉弁を閉
じた後でも、ニードルの樹脂吐出側先端部にＵＶ樹脂の
液だれが溜まる。そして、次のサイクルでノズルが原点
位置から樹脂基板の金属膜面内径上部の樹脂吐出開始位
置まで移動する途中で、上記のＵＶ樹脂が基板面にたれ
たり、あるいは金属膜面内径の最初に吐出する部分に通
常よりも液だまり分だけ多めにＵＶ樹脂が吐出してコー
トむらが発生する原因になるという問題があった。

【０００６】本発明は上述のような問題を解決するため
に成されたもので、常に安定した樹脂吐出量を確保して
、樹脂の液だれやコートむらの発生を防止することが可
能な小形で安価な極めて信頼性の高い回転塗布方法およ
びその装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、まず、請求項１に記載の発明では、樹脂塗布対象
となる基板を回転台上に載置し、先端にニードルが取り
付けられたノズルを原点位置から基板の内径上部の樹脂
吐出開始位置まで移動させて、基板を所定速度で回転さ
せると同時にニードルから樹脂を吐出し、ノズルをある
一定の速度で基板の外周方向に移動させて、最外周付近
で樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、基板を所定
速度で回転させて当該基板上に所定の厚さに樹脂を塗布
するようにした回転塗布方法において、樹脂の吐出完了
後にノズルが原点位置まで戻る毎に、ニードルの樹脂吐
出側先端部に圧縮ガスを吐出して当該ニードル先端部に
溜まった樹脂を吹き飛ばすようにしている。

【０００８】また、請求項２に記載の発明では、樹脂塗
布対象となる基板を回転台上に載置し、先端にニードル
が取り付けられたノズルを原点位置から基板の内径上部
の樹脂吐出開始位置まで移動させて、基板を所定速度で
回転させると同時にニードルから樹脂を吐出し、ノズル
をある一定の速度で基板の外周方向に移動させて、最外
周付近で樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、基板
を所定速度で回転させて当該基板上に所定の厚さに樹脂
を塗布するようにした回転塗布装置において、ノズルの
移動に応動してニードルの樹脂吐出側先端部に圧縮ガス
を吐出する圧縮ガス吐出装置を備えて構成している。

【０００９】

【作用】従って、本発明の回転塗布方法およびその装置
においては、ニードルの樹脂吐出側先端部に溜まった樹
脂を取り除くことにより、常に安定した樹脂吐出量を確
保して、樹脂の液だれやコートむらの発生を防止するこ
とができる。また、圧縮ガス吐出装置は小形にできるこ
とにより、装置は場所もとらずしかも安価にすることが
できる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明による回転塗布装置
（ここでは、スピナー）の構成例を示す平面図、図２は
同回転塗布装置の構成例を示す断面図である。

【００１１】図１および図２において、回転台（スピナ
ーヘッド）１の上には、樹脂塗布対象となるディスク基
板２を載置している。一方、先端にニードル３が取り付
けられたノズル４の他端側には、ＵＶ樹脂吐出電磁式開
閉弁５を取り付け、その開閉を繰り返すことによってＵ
Ｖ樹脂を吐出するようになっている。また、ノズル４に
は、当該ノズル４の移動に応動する加圧ボタン６Ａを備
え、ニードル３の樹脂吐出側先端部に圧縮空気を吐出す
る圧縮空気吐出装置６を、図示のように取り付けバンド
７を介して設けている。さらに、ノズル４は、原点位置
からディスク基板２の金属膜面内径上部の樹脂吐出開始
位置まで移動させて、ディスク基板２を所定速度で回転
できるようになっている。なお、８はノズル４が原点位
置にある時に加圧ボタン６Ａが当接する固定板である。

【００１２】図３は、上記圧縮空気吐出装置６の構成例
を示す断面図である。図３において、両端面が図示のよ
うに開口された空気吐出管６Ｂの一方の開口面側をノズ
ル４に取り付け、また空気吐出管６Ｂの他方の開口面側
から、上記加圧ボタン６Ａの一部が露出している。そし
て、空気吐出管６Ｂの内部には、図示のようにノズル４
と加圧ボタン６Ａとの間にバネ６Ｃを設けている。さら
に、空気吐出管６Ｂの一部には、図示のようにその先端
がニードル３の樹脂吐出側先端部に向けられた空気流通
管６Ｄを取り付けている。次に、以上のように構成した
本実施例による回転塗布装置の作用について説明する。

【００１３】まず、図２に示すように、ノズル４が原点
位置にある時には、ノズル４に取り付けられた圧縮空気
吐出装置６の加圧ボタン６Ａが、固定板８によって常に
押された状態にある。

【００１４】次に、ノズル４が原点位置からディスク基
板２の金属膜面内径上部の樹脂吐出開始位置に移動する
途中で、圧縮空気吐出装置６の加圧ボタン６Ａがバネ６
Ｃによって押され戻されることにより、空気流通管６Ｄ
を通して空気吐出管６Ｂ内に空気が吸い込まれる。

【００１５】次に、ＵＶ樹脂９の吐出完了後に、ノズル
４が原点位置まで戻るにつれて、圧縮空気吐出装置６の
加圧ボタン６Ａが、固定板８によって徐々に押されるこ
とにより、空気吐出管６Ｂ内の圧縮空気が空気流通管６
Ｄを通して、ニードル３の樹脂吐出側先端部に吐出され
、当該ニードル先端部に溜まったＵＶ樹脂の液だれ９が
吹き飛ばされる。なお、本回転塗布装置を長時間に渡っ
て使用しない時には、固定板８を継ぎ目１０から外して
、バネ６Ｃに負荷を与えないようにすることもできる。

【００１６】上述したように、本実施例では、樹脂塗布
対象となるディスク基板２を回転台１上に載置し、先端
にニードル３が取り付けられたノズル４を原点位置から
ディスク基板２の金属膜面内径上部の樹脂吐出開始位置
まで移動させて、ディスク基板２を所定速度で回転させ
ると同時にニードル３からＵＶ樹脂を吐出し、ノズル４
をある一定の速度でディスク基板２の外周方向に移動さ
せて、最外周付近でＵＶ樹脂９の吐出を停止して原点位
置まで戻し、ディスク基板２を所定速度で回転させて当
該ディスク基板２上に所定の厚さにＵＶ樹脂を塗布する
場合に、ノズル４の移動に応動する加圧ボタン６Ａを有
し、ニードル３の樹脂吐出側先端部に圧縮空気を吐出す
る圧縮空気吐出装置６を備えて、ＵＶ樹脂の吐出完了後
にノズル４が原点位置まで戻る毎に、ニードル３の樹脂
吐出側先端部に圧縮空気を吐出して当該ニードル先端部
に溜まったＵＶ樹脂の液だれ９を吹き飛ばすようにした
ものである。

【００１７】従って、ニードル３の樹脂吐出側先端部に
溜まったＵＶ樹脂の液だれ９を、ＵＶ樹脂吐出を完了す
る都度取り除くことができるため、常に安定したＵＶ樹
脂吐出量を確保して、ＵＶ樹脂の液だれやコートむらの
発生を防止することが可能となる。また、圧縮空気吐出
装置６は小形にできるため、装置は場所もとらずしかも
安価に製作することが可能となる。

【００１８】尚、上記実施例では、本発明を光学式ディ
スクに適用した場合について説明したが、これに限らず
光学方式のビデオディスク、光カ―ド、その他シ―ト状
の光学式記録媒体、あるいはフォトマスク用の基板につ
いても、本発明を全く同様に適用して同様の効果を得る
ことができるものである。

【００１９】また、上記実施例では、ニードル３の樹脂
吐出側先端部に圧縮空気を吐出する圧縮空気吐出装置６
を備えた場合について述べたが、これに限らずその他の
圧縮ガスを吐出する圧縮ガス吐出装置を備えるようにし
てもよいことは言うまでもない。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、樹
脂塗布対象となる基板を回転台上に載置し、先端にニー
ドルが取り付けられたノズルを原点位置から基板の内径
上部の樹脂吐出開始位置まで移動させて、基板を所定速
度で回転させると同時にニードルから樹脂を吐出し、ノ
ズルをある一定の速度で基板の外周方向に移動させて、
最外周付近で樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、
基板を所定速度で回転させて当該基板上に所定の厚さに
樹脂を塗布するに際して、樹脂の吐出完了後にノズルが
原点位置まで戻る毎に、ニードルの樹脂吐出側先端部に
圧縮ガスを吐出して当該ニードル先端部に溜まった樹脂
を吹き飛ばすようにしたので、常に安定した樹脂吐出量
を確保して、樹脂の液だれやコートむらの発生を防止す
ることが可能な小形で安価な極めて信頼性の高い回転塗
布方法およびその装置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による回転塗布装置の一実施例を示す平
面図。

【図２】同実施例における回転塗布装置の構成例を示す
断面図。

【図３】同実施例における圧縮空気吐出装置の詳細な構
成例を示す断面図。

【符号の説明】

１…回転台（スピナーヘッド）、２…ディスク基板、３
…ニードル、４…ノズル、５…ＵＶ樹脂吐出電磁式開閉
弁、６…圧縮空気吐出装置、６Ａ…加圧ボタン、６Ｂ…
空気吐出管、６Ｃ…バネ、６Ｄ…空気流通管、７…取り
付けバンド、８…固定板、９…ＵＶ樹脂の液だれ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　樹脂塗布対象となる基板を回転台上に
   載置し、先端にニードルが取り付けられたノズルを原点
   位置から前記基板の内径上部の樹脂吐出開始位置まで移
   動させて、前記基板を所定速度で回転させると同時に前
   記ニードルから樹脂を吐出し、前記ノズルをある一定の
   速度で前記基板の外周方向に移動させて、最外周付近で
   前記樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、前記基板
   を所定速度で回転させて当該基板上に所定の厚さに樹脂
   を塗布するようにした回転塗布方法において、前記樹脂
   の吐出完了後に前記ノズルが原点位置まで戻る毎に、前
   記ニードルの樹脂吐出側先端部に圧縮ガスを吐出して当
   該ニードル先端部に溜まった樹脂を吹き飛ばすようにし
   たことを特徴とする回転塗布方法。
2. 【請求項２】　　樹脂塗布対象となる基板を回転台上に
   載置し、先端にニードルが取り付けられたノズルを原点
   位置から前記基板の内径上部の樹脂吐出開始位置まで移
   動させて、前記基板を所定速度で回転させると同時に前
   記ニードルから樹脂を吐出し、前記ノズルをある一定の
   速度で前記基板の外周方向に移動させて、最外周付近で
   前記樹脂の吐出を停止して原点位置まで戻し、前記基板
   を所定速度で回転させて当該基板上に所定の厚さに樹脂
   を塗布するようにした回転塗布装置において、前記ノズ
   ルの移動に応動して前記ニードルの樹脂吐出側先端部に
   圧縮ガスを吐出する圧縮ガス吐出装置を備えて成ること
   を特徴とする回転塗布装置。