JPH04303794A - プラズマ加熱用高周波発射装置 - Google Patents
プラズマ加熱用高周波発射装置Info
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- JPH04303794A JPH04303794A JP3067515A JP6751591A JPH04303794A JP H04303794 A JPH04303794 A JP H04303794A JP 3067515 A JP3067515 A JP 3067515A JP 6751591 A JP6751591 A JP 6751591A JP H04303794 A JPH04303794 A JP H04303794A
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- JP
- Japan
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- jacket
- plasma
- cooling
- high frequency
- faraday shield
- Prior art date
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- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の目的〕
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、核融合炉等で発生する
プラズマを高周波を用いて加熱するプラズマ加熱用高周
波発射装置に係り、特にファラデーシールドの交換を容
易に行うことができるプラズマ加熱用高周波発射装置に
関する。
プラズマを高周波を用いて加熱するプラズマ加熱用高周
波発射装置に係り、特にファラデーシールドの交換を容
易に行うことができるプラズマ加熱用高周波発射装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】核融合炉、あるいは核融合実験装置など
で発生させたプラズマを加熱する手段の一つに、磁場プ
ラズマ中におけるイオンが高周波を吸収したときに起こ
るサイクロトロン運動を利用する方法(イオンサイクロ
トロン共鳴加熱)がある。図8は、このためのイオンサ
イクロトロン共鳴加熱装置1の構成図である。
で発生させたプラズマを加熱する手段の一つに、磁場プ
ラズマ中におけるイオンが高周波を吸収したときに起こ
るサイクロトロン運動を利用する方法(イオンサイクロ
トロン共鳴加熱)がある。図8は、このためのイオンサ
イクロトロン共鳴加熱装置1の構成図である。
【0003】真空容器2はプラズマ3を閉じ込めるトー
ラス型容器であり、この真空容器2のポート部2aには
、プラズマ加熱用高周波発射装置6が、ベローズ7を介
して挿入される。
ラス型容器であり、この真空容器2のポート部2aには
、プラズマ加熱用高周波発射装置6が、ベローズ7を介
して挿入される。
【0004】プラズマ加熱用高周波発射装置6は、ジャ
ケット9の開口部8を通してプラズマ加熱用の高周波を
発射するアンテナ10を備えている。アンテナ10は高
周波を伝送する伝送路11に接続され、増幅器12を介
して源発振器13と接続する。
ケット9の開口部8を通してプラズマ加熱用の高周波を
発射するアンテナ10を備えている。アンテナ10は高
周波を伝送する伝送路11に接続され、増幅器12を介
して源発振器13と接続する。
【0005】このような構成のイオンサイクロトロン共
鳴加熱装置1では、源発振器13から発せられた高周波
は、増幅器12で増幅された後、伝送路11を案内され
、アンテナ10に達し、アンテナ10からは、プラズマ
3に向けて高周波が発射される。
鳴加熱装置1では、源発振器13から発せられた高周波
は、増幅器12で増幅された後、伝送路11を案内され
、アンテナ10に達し、アンテナ10からは、プラズマ
3に向けて高周波が発射される。
【0006】図9はプラズマ加熱用高周波発射装置6の
開口部8の斜視図、また図10は図8のX−X線に沿う
矢視図である。図8と対応する箇所には同一の符号を付
して説明する。
開口部8の斜視図、また図10は図8のX−X線に沿う
矢視図である。図8と対応する箇所には同一の符号を付
して説明する。
【0007】プラズマ加熱用高周波発射装置6のジャケ
ット9に形成された開口部(端部)8には、アンテナ1
0をすだれ状に覆って、複数本の棒状ファラデーシール
ド17が取り付けられる。ファラデーシールド17は、
アンテナ10の表面をプラズマ3からの熱負荷や粒子に
よる損耗から保護するとともに、プラズマ3の加熱に不
要な電界成分を短絡させる。図11は図8のXI−XI
線断面図である。図8ないし図10と対応する箇所には
同一の符号を付して説明する。
ット9に形成された開口部(端部)8には、アンテナ1
0をすだれ状に覆って、複数本の棒状ファラデーシール
ド17が取り付けられる。ファラデーシールド17は、
アンテナ10の表面をプラズマ3からの熱負荷や粒子に
よる損耗から保護するとともに、プラズマ3の加熱に不
要な電界成分を短絡させる。図11は図8のXI−XI
線断面図である。図8ないし図10と対応する箇所には
同一の符号を付して説明する。
【0008】プラズマ加熱用高周波発射装置6の稼働時
には、ファラデーシールド17は、真空容器2のプラズ
マ3を取り囲む壁面2bと同一の球面をなす位置まで移
動させられる。したがって、プラズマ3の発生中は、フ
ァラデーシールド17は真空容器2の壁面2bと同じ条
件下に晒され、プラズマ3から壁面2bと同じだけの熱
負荷を受け、γ線あるいは中性子線による核発熱も生じ
る。
には、ファラデーシールド17は、真空容器2のプラズ
マ3を取り囲む壁面2bと同一の球面をなす位置まで移
動させられる。したがって、プラズマ3の発生中は、フ
ァラデーシールド17は真空容器2の壁面2bと同じ条
件下に晒され、プラズマ3から壁面2bと同じだけの熱
負荷を受け、γ線あるいは中性子線による核発熱も生じ
る。
【0009】そこで、図12に示すように、各ファラデ
ーシールド17の内部に冷却流路18を形成して、ジャ
ケット9内部の配管(図示せず)と接続している。そし
て、この冷却流路18に外部から冷却媒体(例えば水)
19を流通させて、ファラデーシールド17の熱負荷ま
たは発熱を軽減する。また、アンテナ10に取り付けら
れた冷却水給排管20は、その内部に冷却水を流通させ
てアンテナ10表面の発熱を軽減する。
ーシールド17の内部に冷却流路18を形成して、ジャ
ケット9内部の配管(図示せず)と接続している。そし
て、この冷却流路18に外部から冷却媒体(例えば水)
19を流通させて、ファラデーシールド17の熱負荷ま
たは発熱を軽減する。また、アンテナ10に取り付けら
れた冷却水給排管20は、その内部に冷却水を流通させ
てアンテナ10表面の発熱を軽減する。
【0010】そして、同じく図12に示すように、最近
では、各ファラデーシールド17のプラズマ3側に、各
ファラデーシールド17の外周面に合致するように形成
したファラデーシールド保護板21をろう付けなどによ
り接合している。このファラデーシールド保護板21は
、高周波を通過させるグラファイトや炭素系複合材料等
の高融点材料により成型される。また、このファラデー
シールド保護板21は、ファラデーシールド17をプラ
ズマ3の熱負荷やプラズマ3からの粒子による損耗から
積極的に保護するとともに、アンテナ5からプラズマ3
に向けて発射される高周波を通過させる。図13は、フ
ァラデーシールド保護板21がファラデーシールド17
に接合されている状態を示す斜視図である。
では、各ファラデーシールド17のプラズマ3側に、各
ファラデーシールド17の外周面に合致するように形成
したファラデーシールド保護板21をろう付けなどによ
り接合している。このファラデーシールド保護板21は
、高周波を通過させるグラファイトや炭素系複合材料等
の高融点材料により成型される。また、このファラデー
シールド保護板21は、ファラデーシールド17をプラ
ズマ3の熱負荷やプラズマ3からの粒子による損耗から
積極的に保護するとともに、アンテナ5からプラズマ3
に向けて発射される高周波を通過させる。図13は、フ
ァラデーシールド保護板21がファラデーシールド17
に接合されている状態を示す斜視図である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構成に
係る従来のプラズマ加熱用高周波発射装置では、ファラ
デーシールド保護板21も、長期間運転すればプラズマ
3からの粒子によって損耗する。特に核融合炉の場合は
、中性子に晒されるため、ファラデーシールド保護板2
1の材料自体の強度は、通常時よりも早く低下してしま
う。このため、ファラデーシールド保護板21は、一定
期間ごとに交換する必要がある。
係る従来のプラズマ加熱用高周波発射装置では、ファラ
デーシールド保護板21も、長期間運転すればプラズマ
3からの粒子によって損耗する。特に核融合炉の場合は
、中性子に晒されるため、ファラデーシールド保護板2
1の材料自体の強度は、通常時よりも早く低下してしま
う。このため、ファラデーシールド保護板21は、一定
期間ごとに交換する必要がある。
【0012】ファラデーシールド保護板21を交換する
場合、核融合炉などでは、遠隔操作により交換作業を行
うことが想定されている。しかしながら、ファラデーシ
ールド保護板21をファラデーシールド17とともに交
換しようとしても、ファラデーシールド17はジャケッ
ト9に固着して取り付けられているため、特にプラズマ
加熱用高周波発射装置6が真空容器2のポート部2aに
収納された状態で、遠隔操作により交換作業を行うのは
困難である。
場合、核融合炉などでは、遠隔操作により交換作業を行
うことが想定されている。しかしながら、ファラデーシ
ールド保護板21をファラデーシールド17とともに交
換しようとしても、ファラデーシールド17はジャケッ
ト9に固着して取り付けられているため、特にプラズマ
加熱用高周波発射装置6が真空容器2のポート部2aに
収納された状態で、遠隔操作により交換作業を行うのは
困難である。
【0013】しかも、ファラデーシールド17内部には
、冷却媒体19が流通する冷却流路18が形成されてお
り、この冷却流路18に連通するジャケット9側の図示
しない冷却配管と冷却流路18とを切断するための切り
離し作業も遠隔操作により行わなければならず、交換作
業には極めて困難が伴う。
、冷却媒体19が流通する冷却流路18が形成されてお
り、この冷却流路18に連通するジャケット9側の図示
しない冷却配管と冷却流路18とを切断するための切り
離し作業も遠隔操作により行わなければならず、交換作
業には極めて困難が伴う。
【0014】そこで、現在ではファラデーシールド17
をジャケット9に取り付けたまま、ファラデーシールド
保護板21だけを交換する方法が考えられている。しか
しながら、その場合でもファラデーシールド保護板21
の数が多く、しかもその大きさも高々数10mm程度の
小さいものであるため、ファラデーシールド保護板21
とファラデーシールド17との接合を外したり、新しい
ファラデーシールド保護板21を真空容器2内でろう付
け又はボルト締めしたりする際、遠隔操作によるメンテ
ナンス作業の困難さは免れない。特にろう付け作業には
、信頼性が乏しくなるおそれがある。このため、交換作
業に長い時間がかかり、プラズマ加熱用高周波発射装置
の稼働率の低下が心配されていた。
をジャケット9に取り付けたまま、ファラデーシールド
保護板21だけを交換する方法が考えられている。しか
しながら、その場合でもファラデーシールド保護板21
の数が多く、しかもその大きさも高々数10mm程度の
小さいものであるため、ファラデーシールド保護板21
とファラデーシールド17との接合を外したり、新しい
ファラデーシールド保護板21を真空容器2内でろう付
け又はボルト締めしたりする際、遠隔操作によるメンテ
ナンス作業の困難さは免れない。特にろう付け作業には
、信頼性が乏しくなるおそれがある。このため、交換作
業に長い時間がかかり、プラズマ加熱用高周波発射装置
の稼働率の低下が心配されていた。
【0015】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、ファラデーシールドとこのファラデーシールド
の保護部材の交換が容易で、稼働率を向上させることの
できるプラズマ加熱用高周波発射装置を提供することを
目的とする。 〔発明の構成〕
もので、ファラデーシールドとこのファラデーシールド
の保護部材の交換が容易で、稼働率を向上させることの
できるプラズマ加熱用高周波発射装置を提供することを
目的とする。 〔発明の構成〕
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマ加
熱用高周波発射装置は、上述した課題を解決するために
、プラズマを内部に閉じ込める真空容器に開口し、冷却
系を備えたジャケットと、このジャケットに収容され、
前記開口側からプラズマを加熱する高周波を発射するア
ンテナと、この高周波の電界成分を短絡するファラデー
シールドとこのファラデーシールドをプラズマから保護
する保護部材とが一体に構成され、内部に冷却循環系が
形成された電界成分短絡装置とを有し、この電界成分短
絡装置を前記ジャケットに着脱可能に取り付け、前記冷
却系と前記冷却循環系とを熱伝達可能に接続したもので
ある。
熱用高周波発射装置は、上述した課題を解決するために
、プラズマを内部に閉じ込める真空容器に開口し、冷却
系を備えたジャケットと、このジャケットに収容され、
前記開口側からプラズマを加熱する高周波を発射するア
ンテナと、この高周波の電界成分を短絡するファラデー
シールドとこのファラデーシールドをプラズマから保護
する保護部材とが一体に構成され、内部に冷却循環系が
形成された電界成分短絡装置とを有し、この電界成分短
絡装置を前記ジャケットに着脱可能に取り付け、前記冷
却系と前記冷却循環系とを熱伝達可能に接続したもので
ある。
【0017】
【作用】このプラズマ加熱用高周波発射装置は、電界成
分短絡装置をファラデーシールドとファラデーシールド
保護部材とにより一体に構成し、この電界成分短絡装置
をジャケットに挿入して取り付けると、ジャケットの冷
却系の冷熱が電界成分短絡装置の冷却循環系に伝達され
てファラデーシールドを冷却する。この電界成分短絡装
置を交換する際には、ジャケットへの取付具を取り付け
又は取り外すことにより交換することができるので、た
とえ遠隔操作で交換する場合でも極めて容易に交換作業
を行うことができる。
分短絡装置をファラデーシールドとファラデーシールド
保護部材とにより一体に構成し、この電界成分短絡装置
をジャケットに挿入して取り付けると、ジャケットの冷
却系の冷熱が電界成分短絡装置の冷却循環系に伝達され
てファラデーシールドを冷却する。この電界成分短絡装
置を交換する際には、ジャケットへの取付具を取り付け
又は取り外すことにより交換することができるので、た
とえ遠隔操作で交換する場合でも極めて容易に交換作業
を行うことができる。
【0018】
【実施例】以下図1ないし図7を参照して本発明に係る
プラズマ加熱用高周波発射装置の実施例を説明する。
プラズマ加熱用高周波発射装置の実施例を説明する。
【0019】図1は本発明に係るプラズマ加熱用高周波
発射装置30を備えたイオンサイクロトロン共鳴加熱装
置1の構成図、図2は本発明の一実施例に係るプラズマ
加熱用高周波発射装置30の一部を構成する電界成分短
絡装置50の切欠斜視図、図3はこのプラズマ加熱用高
周波発射装置30の要部を拡大して示す縦断面図、図4
は上記プラズマ加熱用高周波発射装置30の電界成分短
絡装置50内部に形成された冷却循環系60とジャケッ
ト39内部に形成された冷却系との系統図、図5は上記
プラズマ加熱用高周波発射装置30のジャケット39に
上記電界成分短絡装置50を取り付けた状態を示す斜視
図、図6は図5の電界成分短絡装置50を取り外した状
態を示す斜視図である。これらの図において、図8ない
し図13と対応する箇所には同一の符号を付して説明す
る。
発射装置30を備えたイオンサイクロトロン共鳴加熱装
置1の構成図、図2は本発明の一実施例に係るプラズマ
加熱用高周波発射装置30の一部を構成する電界成分短
絡装置50の切欠斜視図、図3はこのプラズマ加熱用高
周波発射装置30の要部を拡大して示す縦断面図、図4
は上記プラズマ加熱用高周波発射装置30の電界成分短
絡装置50内部に形成された冷却循環系60とジャケッ
ト39内部に形成された冷却系との系統図、図5は上記
プラズマ加熱用高周波発射装置30のジャケット39に
上記電界成分短絡装置50を取り付けた状態を示す斜視
図、図6は図5の電界成分短絡装置50を取り外した状
態を示す斜視図である。これらの図において、図8ない
し図13と対応する箇所には同一の符号を付して説明す
る。
【0020】図1に示すように、真空容器2はプラズマ
3を閉じ込めるため、トーラス状に形成されており、こ
の真空容器2のポート部2aには、プラズマ加熱用高周
波発射装置30が、ベローズ7を介して挿入される。こ
のプラズマ加熱用高周波発射装置30は、移動機構4を
具備した架台5に支持される。
3を閉じ込めるため、トーラス状に形成されており、こ
の真空容器2のポート部2aには、プラズマ加熱用高周
波発射装置30が、ベローズ7を介して挿入される。こ
のプラズマ加熱用高周波発射装置30は、移動機構4を
具備した架台5に支持される。
【0021】プラズマ加熱用高周波発射装置30は、ジ
ャケット39に収容され、このジャケット39のプラズ
マ3側には開口部38が形成される。このプラズマ加熱
用高周波発射装置30は、この開口部38にアンテナ4
0を備え、このアンテナ40から開口部38を通してプ
ラズマ加熱用の高周波を発射する。
ャケット39に収容され、このジャケット39のプラズ
マ3側には開口部38が形成される。このプラズマ加熱
用高周波発射装置30は、この開口部38にアンテナ4
0を備え、このアンテナ40から開口部38を通してプ
ラズマ加熱用の高周波を発射する。
【0022】このアンテナ40は、同軸管41を介して
高周波を伝送する伝送路11に接続される。この伝送路
11は、プラズマ加熱用高周波発射装置30から架台5
を貫通して引き出され、増幅器12を介して源発振器1
3と接続する。また、この伝送路11には、増幅器12
とプラズマ加熱用高周波発射装置30との間に、増幅器
12側から、ダミーロード14と切替接続可能な切替器
15およびインピーダンス整合器16が接続される。そ
して、伝送路11の架台5に近接する部分には、伸縮部
11aが設けられる。
高周波を伝送する伝送路11に接続される。この伝送路
11は、プラズマ加熱用高周波発射装置30から架台5
を貫通して引き出され、増幅器12を介して源発振器1
3と接続する。また、この伝送路11には、増幅器12
とプラズマ加熱用高周波発射装置30との間に、増幅器
12側から、ダミーロード14と切替接続可能な切替器
15およびインピーダンス整合器16が接続される。そ
して、伝送路11の架台5に近接する部分には、伸縮部
11aが設けられる。
【0023】このように構成されたイオンサイクロトロ
ン共鳴加熱装置1では、源発振器13から発せられた高
周波は、増幅器12で増幅された後、伝送路11を案内
され、切替器15、インピーダンス整合器16を経由し
、プラズマ加熱用高周波発射装置30内のアンテナ40
に達する。そして、アンテナ40からは、プラズマ3に
向けて高周波が発射される。
ン共鳴加熱装置1では、源発振器13から発せられた高
周波は、増幅器12で増幅された後、伝送路11を案内
され、切替器15、インピーダンス整合器16を経由し
、プラズマ加熱用高周波発射装置30内のアンテナ40
に達する。そして、アンテナ40からは、プラズマ3に
向けて高周波が発射される。
【0024】プラズマ加熱用高周波発射装置30に高周
波を送る必要がないときは、切替器15からダミーロー
ド14に高周波を送る。なお、インピーダンス整合器1
6は、アンテナ40から輻射される高周波電力の効率を
改善する。
波を送る必要がないときは、切替器15からダミーロー
ド14に高周波を送る。なお、インピーダンス整合器1
6は、アンテナ40から輻射される高周波電力の効率を
改善する。
【0025】アンテナ40の内部には、アンテナ40を
冷却する図示しないアンテナ冷却流路が形成される。こ
のアンテナ冷却流路には、アンテナ冷却用配管42を介
して外部からアンテナ冷却用冷却水が導入される。
冷却する図示しないアンテナ冷却流路が形成される。こ
のアンテナ冷却流路には、アンテナ冷却用配管42を介
して外部からアンテナ冷却用冷却水が導入される。
【0026】ところで、図3に示すように、アンテナ4
0が収容されたジャケット39の開口部38には、冷却
部43が形成される。この冷却部43は、ジャケット3
9の長手方向に形成された凹陥部44と、この凹陥部4
4を囲むようにジャケット39内部に形成された空隙部
45とから構成される。この冷却部43は、この空隙部
45に外部から冷却水が導入されて、凹陥部44で熱交
換を行い、冷却系46の一部を構成している(図4の右
方参照)。
0が収容されたジャケット39の開口部38には、冷却
部43が形成される。この冷却部43は、ジャケット3
9の長手方向に形成された凹陥部44と、この凹陥部4
4を囲むようにジャケット39内部に形成された空隙部
45とから構成される。この冷却部43は、この空隙部
45に外部から冷却水が導入されて、凹陥部44で熱交
換を行い、冷却系46の一部を構成している(図4の右
方参照)。
【0027】ジャケット39の開口部38には、電界成
分短絡装置50がこの開口部38を覆うように、ボルト
等(図示せず)を介して着脱可能に取り付けられる。こ
の電界成分短絡装置50は、図2に示すように、ファラ
デーシールド部51を有し、放熱部55が突出して形成
された本体52に、板状のファラデーシールド保護部材
53を接合して構成される。
分短絡装置50がこの開口部38を覆うように、ボルト
等(図示せず)を介して着脱可能に取り付けられる。こ
の電界成分短絡装置50は、図2に示すように、ファラ
デーシールド部51を有し、放熱部55が突出して形成
された本体52に、板状のファラデーシールド保護部材
53を接合して構成される。
【0028】本体52に形成されたファラデーシールド
部51は、複数本の棒状ファラデーシールド51aが、
それぞれ所定の間隔を置いて平行に配置されている。こ
のファラデーシールド部51は、アンテナ40のプラズ
マ3側前面に配置され、アンテナ40の表面をプラズマ
3からの熱負荷やプラズマ3から放出される粒子による
損耗から保護するとともに、プラズマ3の加熱に寄与し
ない不要な電界成分を短絡させる。
部51は、複数本の棒状ファラデーシールド51aが、
それぞれ所定の間隔を置いて平行に配置されている。こ
のファラデーシールド部51は、アンテナ40のプラズ
マ3側前面に配置され、アンテナ40の表面をプラズマ
3からの熱負荷やプラズマ3から放出される粒子による
損耗から保護するとともに、プラズマ3の加熱に寄与し
ない不要な電界成分を短絡させる。
【0029】この本体52は、内部に冷却水ジャケット
56が形成される。また、ファラデーシールド51aの
内部には、冷却流路51bが形成される。この冷却流路
51bには、冷却媒体19(例えば水等)を流通させて
、プラズマ3からの熱負荷やγ線、あるいは中性子によ
る核発熱を冷却し、熱負荷を軽減するようになっている
。
56が形成される。また、ファラデーシールド51aの
内部には、冷却流路51bが形成される。この冷却流路
51bには、冷却媒体19(例えば水等)を流通させて
、プラズマ3からの熱負荷やγ線、あるいは中性子によ
る核発熱を冷却し、熱負荷を軽減するようになっている
。
【0030】ファラデーシールド保護部材53は、本体
52にプラズマ3側前面を覆うように接合されているが
、ファラデーシールド部51に対応する部分には、プラ
ズマ3側の面のみを覆うようにスリット54が形成され
る。
52にプラズマ3側前面を覆うように接合されているが
、ファラデーシールド部51に対応する部分には、プラ
ズマ3側の面のみを覆うようにスリット54が形成され
る。
【0031】このファラデーシールド保護部材53は、
グラファイトや炭素系複合材料等の一体物で成型され、
ファラデーシールド部51の表面をプラズマ3からの熱
輻射や、プラズマ3から放出される粒子による損耗から
守るとともに、アンテナ40から発射される高周波を通
過させる。
グラファイトや炭素系複合材料等の一体物で成型され、
ファラデーシールド部51の表面をプラズマ3からの熱
輻射や、プラズマ3から放出される粒子による損耗から
守るとともに、アンテナ40から発射される高周波を通
過させる。
【0032】電界成分短絡装置50の放熱部55は、本
体52からジャケット39側に突出して形成され、凹陥
部44に着脱自在に嵌合される。この放熱部55の内部
には、冷却媒体19が流通する内部通路57が形成され
、冷却部43と熱交換できるようになっている。
体52からジャケット39側に突出して形成され、凹陥
部44に着脱自在に嵌合される。この放熱部55の内部
には、冷却媒体19が流通する内部通路57が形成され
、冷却部43と熱交換できるようになっている。
【0033】ファラデーシールド部51の冷却流路51
bと放熱部55の内部流路57とは、冷却水ジャケット
56を介して連通され、独立した閉路を構成している。 そして、冷却水ジャケット56の内部には、循環ポンプ
58が配設され、この循環ポンプ58の駆動によりこの
閉路内に充填された冷却媒体19を循環させる。図4に
示すように、これら冷却流路51b、冷却水ジャケット
56、内部流路57および循環ポンプ58により、電界
成分短絡装置50の独立した冷却循環系60を構成して
いる。次に、上記実施例に係るプラズマ加熱用高周波発
射装置30の作用について説明する。電界成分短絡装置
50をジャケット39の開口部38に挿入して取り付け
ると、冷却部43と放熱部55とが熱交換可能に嵌合す
る。
bと放熱部55の内部流路57とは、冷却水ジャケット
56を介して連通され、独立した閉路を構成している。 そして、冷却水ジャケット56の内部には、循環ポンプ
58が配設され、この循環ポンプ58の駆動によりこの
閉路内に充填された冷却媒体19を循環させる。図4に
示すように、これら冷却流路51b、冷却水ジャケット
56、内部流路57および循環ポンプ58により、電界
成分短絡装置50の独立した冷却循環系60を構成して
いる。次に、上記実施例に係るプラズマ加熱用高周波発
射装置30の作用について説明する。電界成分短絡装置
50をジャケット39の開口部38に挿入して取り付け
ると、冷却部43と放熱部55とが熱交換可能に嵌合す
る。
【0034】プラズマ加熱用高周波発射装置30が作動
すると、アンテナ40からプラズマ3に向けて高周波が
発射される。冷却循環系60は、循環ポンプ58の駆動
により閉路内に充填された冷却媒体19を循環させ、放
熱部55を介して外部の冷却媒体が流通する冷却部43
と熱交換を行い、ファラデーシールド部51を冷却する
。
すると、アンテナ40からプラズマ3に向けて高周波が
発射される。冷却循環系60は、循環ポンプ58の駆動
により閉路内に充填された冷却媒体19を循環させ、放
熱部55を介して外部の冷却媒体が流通する冷却部43
と熱交換を行い、ファラデーシールド部51を冷却する
。
【0035】真空容器2内でファラデーシールド部51
とともにファラデーシールド保護部材53を交換する際
には、これらが一体になった電界成分短絡装置50を、
ジャケット39から接続具を外して引き抜けば、遠隔操
作によっても短時間で容易に取り外すことができる。ま
た、別の新しい電界成分短絡装置50を、ジャケット3
9に取り付ける際にも、同じ遠隔操作で容易に取り付け
ることができる。
とともにファラデーシールド保護部材53を交換する際
には、これらが一体になった電界成分短絡装置50を、
ジャケット39から接続具を外して引き抜けば、遠隔操
作によっても短時間で容易に取り外すことができる。ま
た、別の新しい電界成分短絡装置50を、ジャケット3
9に取り付ける際にも、同じ遠隔操作で容易に取り付け
ることができる。
【0036】図5は、電界成分短絡装置50がジャケッ
ト39に取り付けられている状態を示し、図6は電界成
分短絡装置50が着脱時にジャケット39から分離して
いる状態を示している。図7は、本発明に係るプラズマ
加熱用高周波発射装置の他の実施例を示す斜視図で、図
1ないし図6と同一部分には、同一の符号を用いて説明
する。
ト39に取り付けられている状態を示し、図6は電界成
分短絡装置50が着脱時にジャケット39から分離して
いる状態を示している。図7は、本発明に係るプラズマ
加熱用高周波発射装置の他の実施例を示す斜視図で、図
1ないし図6と同一部分には、同一の符号を用いて説明
する。
【0037】電界成分短絡装置70の本体72は、ジャ
ケット89側に突出する放熱部75が放熱面積を広くと
るよう筒状に形成される。この放熱部75の内部には、
冷却媒体が流通する内部流路(図示せず)が形成され、
電界成分短絡装置70内部に設けられた独立した冷却循
環系(図示せず)の一部を構成している。
ケット89側に突出する放熱部75が放熱面積を広くと
るよう筒状に形成される。この放熱部75の内部には、
冷却媒体が流通する内部流路(図示せず)が形成され、
電界成分短絡装置70内部に設けられた独立した冷却循
環系(図示せず)の一部を構成している。
【0038】さらに、ジャケット89の開口部88には
、この筒状の放熱部75を嵌合可能に受け入れる冷却部
83が冷却面積を広くとって形成される。この冷却部8
3は、ジャケット89の長手方向に形成された凹陥部8
4と、この凹陥部84を囲むようにジャケット89内部
に形成された空隙部(図示せず)とから構成される。 この冷却部83は、空隙部に外部から冷却水が導入され
て、凹陥部84で放熱部75と熱交換を行い、ジャケッ
ト89側の冷却系の一部を構成している。
、この筒状の放熱部75を嵌合可能に受け入れる冷却部
83が冷却面積を広くとって形成される。この冷却部8
3は、ジャケット89の長手方向に形成された凹陥部8
4と、この凹陥部84を囲むようにジャケット89内部
に形成された空隙部(図示せず)とから構成される。 この冷却部83は、空隙部に外部から冷却水が導入され
て、凹陥部84で放熱部75と熱交換を行い、ジャケッ
ト89側の冷却系の一部を構成している。
【0039】また、本体72のファラデーシールド部7
1には、複数の棒状ファラデーシールド71aがそれぞ
れ所定の間隔を置いて平行に配置される。このファラデ
ーシールド部71の内部には、図示しない冷却流路が形
成される。
1には、複数の棒状ファラデーシールド71aがそれぞ
れ所定の間隔を置いて平行に配置される。このファラデ
ーシールド部71の内部には、図示しない冷却流路が形
成される。
【0040】そして、板状のファラデーシールド保護部
材73が、本体72のプラズマ3側の前面に接合されて
いる。このファラデーシールド保護部材73は、上記実
施例と同様に、ファラデーシールド部71のプラズマ3
側を覆い、ファラデーシールド部71の間隙に対応して
スリットが形成されている。
材73が、本体72のプラズマ3側の前面に接合されて
いる。このファラデーシールド保護部材73は、上記実
施例と同様に、ファラデーシールド部71のプラズマ3
側を覆い、ファラデーシールド部71の間隙に対応して
スリットが形成されている。
【0041】このため、電界成分短絡装置70がジャケ
ット89の開口部88に取り付けられると、放熱部75
が冷却部83に嵌合し、ジャケット89側の冷却系(図
示せず)と電界成分短絡装置70の冷却循環系(図示せ
ず)とが、熱交換面積を広くとって効率的に熱交換でき
るようになっている。次に、本実施例に係るプラズマ加
熱用高周波発射装置90の作用について説明する。
ット89の開口部88に取り付けられると、放熱部75
が冷却部83に嵌合し、ジャケット89側の冷却系(図
示せず)と電界成分短絡装置70の冷却循環系(図示せ
ず)とが、熱交換面積を広くとって効率的に熱交換でき
るようになっている。次に、本実施例に係るプラズマ加
熱用高周波発射装置90の作用について説明する。
【0042】電界成分短絡装置70をジャケット89の
開口部88に挿入して取り付けると、冷却部83と放熱
部75とが熱交換可能に嵌合する。これら冷却部83と
放熱部75とは、それぞれ伝熱面が大きいため、熱交換
の効率が上がり、より高い熱負荷に耐えることができる
。
開口部88に挿入して取り付けると、冷却部83と放熱
部75とが熱交換可能に嵌合する。これら冷却部83と
放熱部75とは、それぞれ伝熱面が大きいため、熱交換
の効率が上がり、より高い熱負荷に耐えることができる
。
【0043】また、熱負荷が一定であれば、冷却部83
と放熱部75とをジャケット89の長手方向長さを短縮
し、コンパクト化を図ることができる。このように、長
手方向長さが短くなると、電界成分短絡装置70をジャ
ケット89に取り付ける際の位置決めを容易に行うこと
ができる。
と放熱部75とをジャケット89の長手方向長さを短縮
し、コンパクト化を図ることができる。このように、長
手方向長さが短くなると、電界成分短絡装置70をジャ
ケット89に取り付ける際の位置決めを容易に行うこと
ができる。
【0044】そして、電界成分短絡装置70を真空容器
2内で交換する際にも、取付具の取り付けまたは取り外
しだけでジャケット89への着脱が可能となるので、遠
隔操作により短時間で容易に交換することができる。
2内で交換する際にも、取付具の取り付けまたは取り外
しだけでジャケット89への着脱が可能となるので、遠
隔操作により短時間で容易に交換することができる。
【0045】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明に係るプラ
ズマ加熱用高周波発射装置は、プラズマ側に開口し、冷
却系を備えたジャケットと、このジャケットに収容され
、前記開口側からプラズマを加熱する高周波を発射する
アンテナと、この高周波の電界成分を短絡するファラデ
ーシールドとこのファラデーシールドをプラズマから保
護する保護部材とが一体に構成され、内部に冷却循環系
が形成された電界成分短絡装置とを有し、この電界成分
短絡装置を前記ジャケットに着脱可能に取り付け、前記
冷却系と前記冷却循環系とを熱伝達可能に接続したので
、冷却系を切断するための繁雑な作業は必要なく、ファ
ラデーシールドやファラデーシールド保護部材を交換す
る際に、真空容器内部で遠隔操作により短時間でしかも
容易に行うことができ、稼働率を向上させて経済性を高
めることができる。
ズマ加熱用高周波発射装置は、プラズマ側に開口し、冷
却系を備えたジャケットと、このジャケットに収容され
、前記開口側からプラズマを加熱する高周波を発射する
アンテナと、この高周波の電界成分を短絡するファラデ
ーシールドとこのファラデーシールドをプラズマから保
護する保護部材とが一体に構成され、内部に冷却循環系
が形成された電界成分短絡装置とを有し、この電界成分
短絡装置を前記ジャケットに着脱可能に取り付け、前記
冷却系と前記冷却循環系とを熱伝達可能に接続したので
、冷却系を切断するための繁雑な作業は必要なく、ファ
ラデーシールドやファラデーシールド保護部材を交換す
る際に、真空容器内部で遠隔操作により短時間でしかも
容易に行うことができ、稼働率を向上させて経済性を高
めることができる。
【図1】本発明に係るプラズマ加熱用高周波発射装置を
備えたイオンサイクロトロン共鳴加熱装置の構成図。
備えたイオンサイクロトロン共鳴加熱装置の構成図。
【図2】本発明の一実施例に係るプラズマ加熱用高周波
発射装置の一部を構成する電界成分短絡装置の切欠斜視
図。
発射装置の一部を構成する電界成分短絡装置の切欠斜視
図。
【図3】図2のプラズマ加熱用高周波発射装置の要部を
拡大して示す縦断面図。
拡大して示す縦断面図。
【図4】図2のプラズマ加熱用高周波発射装置の電界成
分短絡装置内部に形成された冷却循環系とジャケット内
部に形成された冷却系とを示す系統図。
分短絡装置内部に形成された冷却循環系とジャケット内
部に形成された冷却系とを示す系統図。
【図5】図2のプラズマ加熱用高周波発射装置のジャケ
ットに電界成分短絡装置を取り付けた状態を示す斜視図
。
ットに電界成分短絡装置を取り付けた状態を示す斜視図
。
【図6】図5の電界成分短絡装置をジャケットから取り
外した状態を示す斜視図。
外した状態を示す斜視図。
【図7】本発明の他の実施例に係るプラズマ加熱用高周
波発射装置を示す斜視図。
波発射装置を示す斜視図。
【図8】従来のイオンサイクロトロン共鳴加熱装置の構
成図。
成図。
【図9】従来のプラズマ加熱用高周波発射装置の斜視図
。
。
【図10】図8のX−X線に沿う矢視図。
【図11】図8のXI−XI線に沿う矢視図。
【図12】図11のXII −XII 線に沿う断面図
。
。
【図13】従来のファラデーシールド保護板を示す斜視
図。
図。
3 プラズマ
6,30,90 プラズマ加熱用高周波発射装置9,
39,89 ジャケット 10,40 アンテナ 17,51a,71a ファラデーシールド43,8
3 冷却部 46 冷却系 50,70 電界成分短絡装置 51,71 ファラデーシールド部 53,73 ファラデーシールド保護部材55,75
放熱部 60 冷却循環系
39,89 ジャケット 10,40 アンテナ 17,51a,71a ファラデーシールド43,8
3 冷却部 46 冷却系 50,70 電界成分短絡装置 51,71 ファラデーシールド部 53,73 ファラデーシールド保護部材55,75
放熱部 60 冷却循環系
Claims (1)
- 【請求項1】プラズマを内部に閉じ込める真空容器に開
口し、冷却系を備えたジャケットと、このジャケットに
収容され、前記開口側からプラズマを加熱する高周波を
発射するアンテナと、この高周波の電界成分を短絡する
ファラデーシールドとこのファラデーシールドをプラズ
マから保護する保護部材とが一体に構成され、内部に冷
却循環系が形成された電界成分短絡装置とを有し、この
電界成分短絡装置を前記ジャケットに着脱可能に取り付
け、前記冷却系と前記冷却循環系とを熱伝達可能に接続
したことを特徴とするプラズマ加熱用高周波発射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3067515A JPH04303794A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | プラズマ加熱用高周波発射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3067515A JPH04303794A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | プラズマ加熱用高周波発射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04303794A true JPH04303794A (ja) | 1992-10-27 |
Family
ID=13347200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3067515A Pending JPH04303794A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | プラズマ加熱用高周波発射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04303794A (ja) |
-
1991
- 1991-04-01 JP JP3067515A patent/JPH04303794A/ja active Pending
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