JPH0430404A - 磁性積層体 - Google Patents
磁性積層体Info
- Publication number
- JPH0430404A JPH0430404A JP2136754A JP13675490A JPH0430404A JP H0430404 A JPH0430404 A JP H0430404A JP 2136754 A JP2136754 A JP 2136754A JP 13675490 A JP13675490 A JP 13675490A JP H0430404 A JPH0430404 A JP H0430404A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- alloy
- compound
- magnetic
- laminate
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁性積層体に係り、特にカー効果を利用した光
磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］
磁性膜を取着したため照射した光の反射角が変化する性
質を備えた積層体は、光磁気記録媒体、光磁気アイソレ
ータ、特定波長磁気フィルター光磁気スイッチ素子等に
用いられている。このうち光磁気記録媒体は、レーザ光
等のエネルギービームを記録層に照射することにより情
報の記録を行ったり再生したり、また記録の書換えがで
きるものであって、コンパクトディスク（ＣＤ）やＣＤ
−ＲＯＭ等がある。これらの光磁気記録媒体の記録層は
膜面に対して垂直な方向に一軸磁気異方性を有する光磁
気記録媒体や非結晶−結晶の相変化を生じる相変化記録
媒体等から成るものが開発されている。
質を備えた積層体は、光磁気記録媒体、光磁気アイソレ
ータ、特定波長磁気フィルター光磁気スイッチ素子等に
用いられている。このうち光磁気記録媒体は、レーザ光
等のエネルギービームを記録層に照射することにより情
報の記録を行ったり再生したり、また記録の書換えがで
きるものであって、コンパクトディスク（ＣＤ）やＣＤ
−ＲＯＭ等がある。これらの光磁気記録媒体の記録層は
膜面に対して垂直な方向に一軸磁気異方性を有する光磁
気記録媒体や非結晶−結晶の相変化を生じる相変化記録
媒体等から成るものが開発されている。
光磁気記録媒体は膜面に垂直な方向に磁化容易性のある
磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、光ビームによって
任意の位置に反転磁区を作ることによりそれらの磁化の
向きに対応して“１”“０”の２情報が記録される。一
方、このように記録された情報の読み出しは反転磁区に
対応した情報にレーザ光を照射するとファラデー効果や
カー効果により透過光もしくは反射光の偏光面か回転す
ることを利用しているが、情報再生装置のコンパクト化
を図るためカー効果を利用した反射光の偏光面の回転角
（カー回転角）を検出して再生を行っている。カー効果
を利用した再生においては再生読み出しエラーを少なく
するためカー回転角（θＫ）を増大させるための種々の
試みがなされている。
磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、光ビームによって
任意の位置に反転磁区を作ることによりそれらの磁化の
向きに対応して“１”“０”の２情報が記録される。一
方、このように記録された情報の読み出しは反転磁区に
対応した情報にレーザ光を照射するとファラデー効果や
カー効果により透過光もしくは反射光の偏光面か回転す
ることを利用しているが、情報再生装置のコンパクト化
を図るためカー効果を利用した反射光の偏光面の回転角
（カー回転角）を検出して再生を行っている。カー効果
を利用した再生においては再生読み出しエラーを少なく
するためカー回転角（θＫ）を増大させるための種々の
試みがなされている。
カー回転角（θＫ）の大きな光磁気記録媒体としては、
結晶粒界がないため媒体ノイズが小さく、大面積膜作製
が容易なことから、現在では希土類−遷移金属系非晶質
薄膜が主流となっている。これらの希土類−遷移金属系
非晶質薄膜としてＧｄ−Ｃｏ系、Ｔｂ−Ｆｅ系、Ｇｄ−
Ｆｅ系、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ系等種々のものが報告されて
いる。
結晶粒界がないため媒体ノイズが小さく、大面積膜作製
が容易なことから、現在では希土類−遷移金属系非晶質
薄膜が主流となっている。これらの希土類−遷移金属系
非晶質薄膜としてＧｄ−Ｃｏ系、Ｔｂ−Ｆｅ系、Ｇｄ−
Ｆｅ系、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ系等種々のものが報告されて
いる。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、これらの非晶質薄膜は経時変化が大きく熱安定
性や、耐食性等に問題があり寿命も短かかった。また、
これらの希土類−遷移金属系非晶薄膜では記録のために
照射されるビームが６３３ｎｍや７９９ｎｍ等の長波長
のもので行なうため、記録層の記録密度は粗くなってし
まった。
性や、耐食性等に問題があり寿命も短かかった。また、
これらの希土類−遷移金属系非晶薄膜では記録のために
照射されるビームが６３３ｎｍや７９９ｎｍ等の長波長
のもので行なうため、記録層の記録密度は粗くなってし
まった。
トコ口で、ＣｕｌＡｇ１Ａｕのうちの１つの元素の単体
膜と、ＦｅあるいはＣＯから成る薄膜との積層体は積層
体を構成するＣｕ、ＡｇあるいはＡｕそれぞれの単体の
光吸収端において（Ｃｕは５６０ｎｍ、Ａｇは３１０ｎ
ｍ、Ａｕは５００ ｎｍ）、θＫが最大値をとることが
見出されたことが報告されている（■に、 ５ａｔｏ、
Ｈ，Ｋｉｄａ、 Ｔ、 ＫａｔａｙａｍａＪｐｎ、 Ｊ
、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、、 ２７ （１９８８）
Ｌ２３７；■Ｔ。
膜と、ＦｅあるいはＣＯから成る薄膜との積層体は積層
体を構成するＣｕ、ＡｇあるいはＡｕそれぞれの単体の
光吸収端において（Ｃｕは５６０ｎｍ、Ａｇは３１０ｎ
ｍ、Ａｕは５００ ｎｍ）、θＫが最大値をとることが
見出されたことが報告されている（■に、 ５ａｔｏ、
Ｈ，Ｋｉｄａ、 Ｔ、 ＫａｔａｙａｍａＪｐｎ、 Ｊ
、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、、 ２７ （１９８８）
Ｌ２３７；■Ｔ。
Ｋａｔａｙａｒｎａ、 Ｈ，Ａｗａｎｏ、ｅｔ、ａｌｏ
Ｐｈｙｓ、 Ｒｅｖ、 Ｌｅｔ６６、（１９８８） １
４２６）。つまりこれらの報告によれば、第５図に示す
ようにＡｇ単体の膜厚８３人、３４人、９人の各単体膜
と、Ｃｏの膜厚２５人、１４人、４人の各薄膜との積層
体（表面がＣｏ）のθには、Ａｇの光吸収端３１０ｎｍ
でＣｏ単体膜よりもエンハンスされたθにの最大値をと
る。また第６図に示すようにＣｕの単体の膜厚１１３人
、１７１人、２４５人の各単体膜とＦｅの膜厚７０人、
１０８人、１５０人各薄膜との積層体（表面がＣＵ及び
Ｆｅのそれぞれの場合における）のθには、Ｃｕの光吸
収端５６０ｎｍでＦｅ単体膜よりもエンハンスされたθ
にの最大値をとる。
Ｐｈｙｓ、 Ｒｅｖ、 Ｌｅｔ６６、（１９８８） １
４２６）。つまりこれらの報告によれば、第５図に示す
ようにＡｇ単体の膜厚８３人、３４人、９人の各単体膜
と、Ｃｏの膜厚２５人、１４人、４人の各薄膜との積層
体（表面がＣｏ）のθには、Ａｇの光吸収端３１０ｎｍ
でＣｏ単体膜よりもエンハンスされたθにの最大値をと
る。また第６図に示すようにＣｕの単体の膜厚１１３人
、１７１人、２４５人の各単体膜とＦｅの膜厚７０人、
１０８人、１５０人各薄膜との積層体（表面がＣＵ及び
Ｆｅのそれぞれの場合における）のθには、Ｃｕの光吸
収端５６０ｎｍでＦｅ単体膜よりもエンハンスされたθ
にの最大値をとる。
しかし、この報告の限りにおいては、Ｃｕ。
ＡｇあるいはＡｕの単体膜とＦｅ、Ｃｏ薄膜の積層体の
θには、従来の希土類−遷移金属系非晶質薄膜のものよ
り短波長でエンハンスされたピーク値をとるが、このよ
うな単体膜では構成体Ｃｕ。
θには、従来の希土類−遷移金属系非晶質薄膜のものよ
り短波長でエンハンスされたピーク値をとるが、このよ
うな単体膜では構成体Ｃｕ。
ＡｇあるいはＡｕの光吸収端の波長付近のみでエンハン
スされたピークである最大値をとり、最大値をとるのは
構成体Ｃｕ、ＡｇあるいはＡｕの光吸収端の波長付近１
カ所に限定されてしまう。
スされたピークである最大値をとり、最大値をとるのは
構成体Ｃｕ、ＡｇあるいはＡｕの光吸収端の波長付近１
カ所に限定されてしまう。
本発明は、上記欠点を解消するためになされたものであ
って、θＫが可視光領域において、エンハンスされ、し
かも５００〜５６０ｎｍの任意の波長で最大値をとるこ
とができる磁性積層体を提供することを目的とする。
って、θＫが可視光領域において、エンハンスされ、し
かも５００〜５６０ｎｍの任意の波長で最大値をとるこ
とができる磁性積層体を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するため本発明の磁性積層体は、Ｃｕ
及びＡｕを含む薄膜と、磁性膜とを積層して成るもので
ある。
及びＡｕを含む薄膜と、磁性膜とを積層して成るもので
ある。
そして前記薄膜はＣｕ ｔ−ｘＡ ｕ Ｗで表わした時
０＜ｘ〈１で示される組成であってもよい。
０＜ｘ〈１で示される組成であってもよい。
また、前記磁性膜は希土類及び／または遷移金属を含む
薄膜から成るものであってよい。
薄膜から成るものであってよい。
さらに、前記磁性積層体は例えば光磁気記録媒体として
好ましく用いることができる。
好ましく用いることができる。
光磁気記録媒体として用いられる場合に好ましい本発明
の磁性積層体はＣｕと、Ａｕとの合金膜或いは、Ｃｕ化
合物または合金及びＡｕ化合物または合金を含む薄膜と
、Ｆｅ５Ｃｏ等から成る遷移金属や希土類等から成る磁
性膜との積層体から成り、この積層体をさらに多重させ
た積層体であっても良い。Ｃｕ、Ａ’ｕの合金膜の組成
はＣｕ １−、Ａｕ、で表した場合０＜ｘ＜１で示され
る。
の磁性積層体はＣｕと、Ａｕとの合金膜或いは、Ｃｕ化
合物または合金及びＡｕ化合物または合金を含む薄膜と
、Ｆｅ５Ｃｏ等から成る遷移金属や希土類等から成る磁
性膜との積層体から成り、この積層体をさらに多重させ
た積層体であっても良い。Ｃｕ、Ａ’ｕの合金膜の組成
はＣｕ １−、Ａｕ、で表した場合０＜ｘ＜１で示され
る。
またＣｕ化合物及びＡｕ化合物を含む薄膜としては、Ｃ
ｕ合金またはＣｕ化合物としてＰｄ５Ｐｔ、Ｒｈ、Ｒｕ
、Ｔｉ、Ｚｒ５ＨｆＳＣｒ、Ｍｎ。
ｕ合金またはＣｕ化合物としてＰｄ５Ｐｔ、Ｒｈ、Ｒｕ
、Ｔｉ、Ｚｒ５ＨｆＳＣｒ、Ｍｎ。
Ａ Ｉ、Ｇａ、Ｉｎ、５ｂＳＳｎＳＢ ｉ、Ｎｂ、Ｏ。
ＰＳＳ等とＣｕとの化合物または合金と、Ａｕ合金また
は化合物としてＰｄ、Ｐｔ５Ｒｈ、Ｒｕ。
は化合物としてＰｄ、Ｐｔ５Ｒｈ、Ｒｕ。
ＴｉＸ Ｚｒ、ＨｆＳ ＣｒＳ ＭｎＳ Ａｌ、ＧａＳ
Ｉｎ、Ｓｂ、Ｓｎ、Ｂ １ＳＮｂ、０、ＰＳＳ等とＡ
Ｕとの化合物または合金とがＣｕ、Ａｕの原子数の組成
比でＣｕ １− ｘ Ａ ｕ ＊ （但しＯ＜ｘ＜１）
で含まれるものである。 本発明のＣｕ、Ａｕの合金
膜は通常のスパッタ法、あるいは蒸着法で容易に製造す
ることができる。即ち、所望のＣｕ、Ａｕの組成比が得
られるよう組成比に相応する面積比でＣｕ及びＡｕを配
置した複合ターゲットを用いてマグネトロンスパッタ法
や一２０Ｖ〜−１５０Ｖの負バイヤス電圧をかけたバイ
アススパッタ法あるいはＲＦスパッタ法でスパッタした
り、電子ビーム蒸着等で合金膜を製造することができる
。
Ｉｎ、Ｓｂ、Ｓｎ、Ｂ １ＳＮｂ、０、ＰＳＳ等とＡ
Ｕとの化合物または合金とがＣｕ、Ａｕの原子数の組成
比でＣｕ １− ｘ Ａ ｕ ＊ （但しＯ＜ｘ＜１）
で含まれるものである。 本発明のＣｕ、Ａｕの合金
膜は通常のスパッタ法、あるいは蒸着法で容易に製造す
ることができる。即ち、所望のＣｕ、Ａｕの組成比が得
られるよう組成比に相応する面積比でＣｕ及びＡｕを配
置した複合ターゲットを用いてマグネトロンスパッタ法
や一２０Ｖ〜−１５０Ｖの負バイヤス電圧をかけたバイ
アススパッタ法あるいはＲＦスパッタ法でスパッタした
り、電子ビーム蒸着等で合金膜を製造することができる
。
得られた合金膜の格子定数は第１図に示すようにＣｕ（
あるいはＡｕ）の原子数パーセントをパラメータとして
Ｃｕ単体の３．６２人からＡｕ単体の４．０８人まで連
続的に変化する。第２図に示すように、ＣｕＡｕ合金膜
のθにのピークはこの格子定数に非常によく対応してＣ
ｕ （あるいはＡｕ）の原子数パーセントをパラメータ
としてＡＵ単体の光吸収端の５００ｎｍからＣｕ単体の
光吸収端５６０ｎｍまで連続的に変化させることができ
る。
あるいはＡｕ）の原子数パーセントをパラメータとして
Ｃｕ単体の３．６２人からＡｕ単体の４．０８人まで連
続的に変化する。第２図に示すように、ＣｕＡｕ合金膜
のθにのピークはこの格子定数に非常によく対応してＣ
ｕ （あるいはＡｕ）の原子数パーセントをパラメータ
としてＡＵ単体の光吸収端の５００ｎｍからＣｕ単体の
光吸収端５６０ｎｍまで連続的に変化させることができ
る。
コノようなＣｕ−Ａｕ合金膜をＦｅ、Ｃｏ。
Ｎｉの単体膜や、あるいはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくと
も一種類と５ｃＳＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ等の遷移金属や
ＹやＬａ、ＣｅＸＰｒ、Ｎｄ、Ｐｍ。
も一種類と５ｃＳＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ等の遷移金属や
ＹやＬａ、ＣｅＸＰｒ、Ｎｄ、Ｐｍ。
Ｓｍ、ＥｕＸＧｄ５ＴｂＸＤｙ、Ｈｏ、Ｅ ｒ、Ｔｍ５
Ｙｂ、Ｌｕ等のランタン系列元素や、Ａｃ。
Ｙｂ、Ｌｕ等のランタン系列元素や、Ａｃ。
Ｔｈ、Ｐａ、Ｕ、Ｎｐ、Ｐｕ、Ａｍ、Ｃｍ、Ｂｋ。
ＣｆＳＥ ｓＳＦｍ、Ｍｄ、Ｎｏ等のアクチニウム系列
元素等の希土類等の金属の種々の組成比の合金膜から成
る薄膜との積層体とすることでθにの大きい垂直磁気異
方性エネルギーの大きい積層体を得ることができる。
元素等の希土類等の金属の種々の組成比の合金膜から成
る薄膜との積層体とすることでθにの大きい垂直磁気異
方性エネルギーの大きい積層体を得ることができる。
第３図に示すように、Ｃｕ 、−Ｍ Ａ ｕ ｚの合金
膜とＦｅの薄膜から成る薄膜の垂直磁気異方性エネルギ
ーＫｕは膜厚の薄い部分では正となるが、１０Å以上で
負となる。このような積層体は光磁気素子として好適に
用いることができる。そしてこの積層体を１単位とし、
この積層体を多重層積層することにより所望の波長のビ
ームにより大きなθにのエンハンスピークを有する光磁
気記録媒体を得ることができ、短波長領域で密度を高く
記録することができる。
膜とＦｅの薄膜から成る薄膜の垂直磁気異方性エネルギ
ーＫｕは膜厚の薄い部分では正となるが、１０Å以上で
負となる。このような積層体は光磁気素子として好適に
用いることができる。そしてこの積層体を１単位とし、
この積層体を多重層積層することにより所望の波長のビ
ームにより大きなθにのエンハンスピークを有する光磁
気記録媒体を得ることができ、短波長領域で密度を高く
記録することができる。
また、本発明のＣｕ化合物とＡｕ化合物とから成る薄膜
は上記合金膜の項で示した遷移金属や希土類から成る薄
膜に反応性スパッタ、反応性蒸着等の方法により積層さ
れ、ＣｕＳＡｕの原子数比がｃｔｚ−ｘＡｕｘ（但しＯ
＜ｘ＜１）で示される所望の組成比になるよう積層体と
して形成される。
は上記合金膜の項で示した遷移金属や希土類から成る薄
膜に反応性スパッタ、反応性蒸着等の方法により積層さ
れ、ＣｕＳＡｕの原子数比がｃｔｚ−ｘＡｕｘ（但しＯ
＜ｘ＜１）で示される所望の組成比になるよう積層体と
して形成される。
本発明の磁性積層体は、上記の光磁気記録媒体に限定さ
れず、光磁気アイソレータ、特定波長磁気フィルター、
光磁気スイッチ素子等に適用できる。
れず、光磁気アイソレータ、特定波長磁気フィルター、
光磁気スイッチ素子等に適用できる。
［実施例］
ＣｕとＡｕの面積比１／２複合ターゲットを用いて基板
上に蒸着によりＣｕＡｕの１＝１の原子数比（Ｃｕ ｏ
、 ｓＡ ｕ ｏ、 ｓ）の膜厚２５０人の合金膜を形
成した。この合金膜に膜厚１５０人のＦｅ膜を積層した
。この積層体は第４図に示すように５３０ｎｍ付近の波
長のビームでθに最大値を取った。
上に蒸着によりＣｕＡｕの１＝１の原子数比（Ｃｕ ｏ
、 ｓＡ ｕ ｏ、 ｓ）の膜厚２５０人の合金膜を形
成した。この合金膜に膜厚１５０人のＦｅ膜を積層した
。この積層体は第４図に示すように５３０ｎｍ付近の波
長のビームでθに最大値を取った。
また、上記実施例では合金膜とＦｅ膜との積層体につい
て述べたが、Ｃｏ膜との積層体であってもまたＴｂＣｏ
、ＴｂＦｅＸＦｅＣｏ。
て述べたが、Ｃｏ膜との積層体であってもまたＴｂＣｏ
、ＴｂＦｅＸＦｅＣｏ。
ＴｂＦｅＣｏ等から成る薄膜との積層体であっても好適
な光磁気記録媒体を得ることができる。
な光磁気記録媒体を得ることができる。
［発明の効果コ
以上の説明からも明らかなように、本発明の磁性積層体
は、Ｃｕ 、−、Ａｕ ｇで表わされる組成式のうちＯ
＜ｘ＜１で示されるようにＣｕとＡｕの組成を変化させ
ることによりカー回転角のピークをＡｕの光吸収端５０
０ｎｍからＣｕの光吸収端５６０ｎｍに連続的に変化さ
せることができる。そのため、所望の波長の光ビームに
応じたカー回転角のピークを有する磁性体が得られる。
は、Ｃｕ 、−、Ａｕ ｇで表わされる組成式のうちＯ
＜ｘ＜１で示されるようにＣｕとＡｕの組成を変化させ
ることによりカー回転角のピークをＡｕの光吸収端５０
０ｎｍからＣｕの光吸収端５６０ｎｍに連続的に変化さ
せることができる。そのため、所望の波長の光ビームに
応じたカー回転角のピークを有する磁性体が得られる。
しかもカー回転角のピークは組成を選択することで短波
長側に移行させることができので密度の高い光磁気記録
媒体を製造することができ、これらを用いた機器のコン
パクト化を図ることができる。
長側に移行させることができので密度の高い光磁気記録
媒体を製造することができ、これらを用いた機器のコン
パクト化を図ることができる。
第１図、第２図、第３図及び第４図は本発明の磁性積層
体の一実施例に係るＣ ｕ 、−ｘＡｕ ｘ合金膜の性
質を示す図、第５図及び第６図は従来例を示す図である
。
体の一実施例に係るＣ ｕ 、−ｘＡｕ ｘ合金膜の性
質を示す図、第５図及び第６図は従来例を示す図である
。
Claims (4)
- １．Ｃｕ及びＡｕを含む薄膜と、磁性膜とを積層して成
ることを特徴とする磁性積層体。 - ２．前記薄膜はＣｕ＿１＿−＿ｘＡｕ＿ｘで表わした時
０＜ｘ＜１で示される組成であることを特徴とする第１
項記載の磁性積層体。 - ３．前記磁性膜は希土類及び／または遷移金属を含む薄
膜から成ることを特徴とする磁性積層体。 - ４．前記磁性積層体が光磁気記録媒体であることを特徴
とする第１項、第２項または第３項記載の磁性積層体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136754A JPH0430404A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 磁性積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136754A JPH0430404A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 磁性積層体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430404A true JPH0430404A (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15182721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2136754A Pending JPH0430404A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 磁性積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430404A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7460894B2 (en) | 2001-07-19 | 2008-12-02 | Hitachi Medical Corporation | Biological optical measuring instrument |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP2136754A patent/JPH0430404A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7460894B2 (en) | 2001-07-19 | 2008-12-02 | Hitachi Medical Corporation | Biological optical measuring instrument |
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