JPH04305955A - 半導体ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体ウエハ搬送装置
の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４、図５は従来から広範に用いられて
いる半導体ウエハ搬送装置を示すもので、図４は装置全
体を示す斜視図、図５はウェハキャリア部の詳細を示す
部分拡大図である。これらの図において、１０は円板状
の半導体ウエハ、１１は架台、１２は架台１１の上面中
央部に固定された搬送手段であるコンベヤである。コン
ベヤ１２は次のように構成されている。１３は架台１１
に支持されたステー、１４はシャフト１５を介してステ
ー１３に回動自在に支持されたプーリであり、プーリ１
４はステー１３の左右に１個ずつ対にされステー１３の
長さ方向に複数個設けられている。１６はステー１３の
左右の複数個のプーリ１４に各々架設された搬送担体で
ある左右２本のシリコンゴム製の丸ベルトである。コン
ベヤ１２は以上のように構成され、半導体ウエハ１０を
丸ベルト１６に乗せて図４の矢印Ａ方向へ搬送する。

【０００３】２１は図示しない駆動手段によって図４の
矢印Ｂ、すなわち上下方向に駆動されるエレベータ台で
あり、その中央部が切り欠かれ、コンベヤ１２の右方の
端部が入り込めるようにされている。２２はエレベータ
台２１上に載置されたコ状の収容体あるいは収容器とし
てのウェハキャリアであり、所定の間隔をおいて対向す
る一対の対向部材であるアルミニウム製の側板２３を有
し、図４において、上方、左方、下方に各々開口部２４
を備えている。エレベータ台２１が上下に動くことによ
りコンベヤ１２は下方及び左方の開口部２４からウェハ
キャリア２２内へ挿脱される。なお、２５は側板２３の
互に対向する平面状の対向面である。

【０００４】２６は各側板２３の対向面２５側に夫々同
じ高さで水平方向に設けられた水平溝であり、その断面
の形状は図５に示されるように横に倒した台形状をして
いる。各側板２３に水平溝２６が２５本ずつ設けられ、
結果として形成される支持部２７が図５に示されるよう
に櫛状に並び、同じ高さで向かい合う支持部２７同士に
て半導体ウエハ１０の端部を支持するようにされ、ウェ
ハキャリア２２は計２５枚の半導体ウエハ１０を水平状
態にて収容可能とされている。なお、２８（図４）は左
右の側板２３を連結して補強する連結棒であり、ウェハ
キャリア２２へ出し入力される半導体ウエハ１０及びコ
ンベヤ１２と干渉しない位置に２本設けられている。

【０００５】従来の半導体ウエハ搬送装置は上記のよう
に構成され、例えば半導体ウエハ１０を枚葉的に処理す
るフォトレジスト塗布及びその現像、マスク合せ露光、
イオン注入、アルミスパッタリング、アルミドライエッ
チング等のプロセスに使用され、ウェハキャリア２２は
半導体ウエハ１０を貯留する役割を果たしている。

【０００６】次に動作について説明する。例えば、ウェ
ハキャリア２２へ半導体ウエハ１０を搬入する場合につ
いて説明する。まず、エレベータ台２１を下方へ駆動し
てウェハキャリア２２を矢印Ｂ方向に下降させて最上段
の支持部２７の上面と丸ベルト１６とがほぼ同じ高さに
なるようにしておく。半導体ウエハ１０を丸ベルト１６
に乗せて丸ベルト１６をウェハキャリア２２の方向へ駆
動して半導体ウエハ１０をウェハキャリア２２内へ搬入
し、所定の位置で停止させる。次にエレベータ台２１に
よりウェハキャリア２２を上昇させると半導体ウエハ１
０の両端部が図５に示されるように対向する支持部２７
により支持されて丸ベルト１６から離れる。ウェハキャ
リア２２を支持部２７の１段分の高さ分上昇させて同様
にして次の段へ丸ベルト１６により半導体ウエハ１０を
搬入して収容する。このように順次上方の段から下方の
段へ半導体ウエハ１０を収容していく。ウェハキャリア
２２から半導体ウエハ１０を取り出す場合は上記とは逆
の手順で下方に収容された半導体ウエハ１０から上方に
収容された半導体ウエハ１０の順に搬出する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送装置は以上のように構成されているので、コンベヤ１
２によりウェハキャリア２２へ半導体ウエハ１０を搬出
入するときに半導体ウエハ１０が支持部２７と若干摺動
し、またこのときに半導体ウエハ１０を乗せた丸ベルト
１６との間でも摺動することは避けられず、半導体ウエ
ハ１０を搬送する丸ベルト１６の高さと支持部２７の高
さがずれるとこの摺動時の摩擦力が大きくなり、半導体
ウエハ１０を傷つけたり、丸ベルト１６が磨耗して塵埃
の原因となることがあった。また、半導体ウエハ１０に
フォトレジストが塗布されている場合、半導体ウエハ１
０が支持部２７に直接接するので支持部２７に固着して
しまうという問題点もあった。これらの問題点は近年の
半導体ウエハ１０の大径化、重量の増加にともないより
重要となり、その製造歩留にも大きな影響を与えていた
。

【０００８】また、丸ベルト１６をウェハキャリア２２
内へ挿脱させるためにウェハキャリア２２に少なくとも
左方及び下方の開口部２４が必要であり（上方の開口部
２４は閉鎮可能）、半導体ウエハ１０がウェハキャリア
２２に収容されている間に半導体ウエハ１０に外気中の
塵埃が付着するという問題もあった。

【０００９】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、収容体へ半導体ウエハを搬出
入するときに半導体ウエハを傷つけることなくまた塵埃
の発生を防止できる半導体ウエハ搬送装置を得ることを
目的とする。さらに、収容器に収容された半導体ウエハ
に外気中の塵埃が付着するのを防止できる半導体ウエハ
搬送装置を得ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体ウ
エハ搬送装置は、半導体ウエハを搬送手段により水平方
向に搬送して収容体の支持部により支持収容するものに
おいて、気体の供給を受けて半導体ウエハと支持部との
間に気体流を生成する気体吹出口を支持部に設けたもの
である。また、搬送手段により搬出入される半導体ウエ
ハを収容する収容器の開口部に気体の供給を受けてこの
気体の流れにて開口部を覆う遮断装置を設けたものであ
る。

【００１１】

【作用】この発明においては、気体吹出口によって生成
される気体流によって半導体ウエハは支持部から浮上し
ているので、半導体ウエハを支持部に乗降させるときに
支持部と擦れ合うことがないため、半導体ウエハが損傷
する恐れがなく、また半導体ウエハと支持部との摩擦力
が大きくて、半導体ウエハが引っかかって搬送担体との
間で摺動することもないので、搬送担体の磨耗による塵
埃の発生を防止できる。また、遮断装置は、搬送手段に
より半導体ウエハを搬出入するため等の収容器の開口部
を気体の流れにて覆うようにして外気中の塵埃が収容器
中に侵入するのを防止する。

【００１２】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示すウェハキャ
リア部の断面を示す断面図、図２は図１の部分拡大図で
ある。これらの図において、３１はウェハキャリア、３
２は側板２３、支持部２７中に設けられた導通路、３３
は支持部２７の半導体ウエハ１０の端部近傍に上向き及
び下向きに導通路３２に連通して設けられた気体吹出口
である。なお、気体吹出口３３は支持部２７の奥行き方
向に半導体ウエハ１０を支えられるように（後述）所要
個数設けられており、その個数や径は半導体ウエハ１０
を浮上させるのに適するように実験的に決定されている
。また、気体吹出口３３を下向きにも設けているのは、
半導体ウエハ１０が浮上したときに支持部２７の下部と
衝突するのを防止するためである。導通路３２はドリリ
ングにより、気体吹出口３３はエッチングにより加工さ
れ、ドリリングを施した際の不要の孔は塞栓３４（図４
）により塞いでいる。３５はエレベータ台２１と側板２
３との間を封止するＯリングであり、エレベータ台２１
に設けられた気体通路３６、ニップル３７を介してホー
ス３８により外部から窒素ガスを気体吹出口３３へ供給
する。その他の構成については、図４、図５に示された
従来の半導体ウエハ搬送装置と同様であるので、相当す
るものに同一符号を付して説明を省略する。

【００１３】次に動作について説明する。ホース３８か
ら窒素ガスを所定の流速で供給して図の矢印の如く導通
路３２を経て上方及び下方に開口する気体吹出口３３か
ら吹き出させておく。この状態で、丸ベルト１６により
半導体ウエハ１０がウェハキャリア３１へ搬入されると
半導体ウエハ１０は気体吹出口３３から吹き出す窒素ガ
スの流れを受けて浮上し丸ベルト１６から離れて気体吹
出口３３からの窒素ガスの流れに支えられて浮上した状
態で水平溝２６内に停止する。以下、同様にしてウェハ
キャリア３１へ半導体ウエハ１０の搬入あるいは搬出を
行う。

【００１４】このように常時気体吹出口３３から窒素ガ
スを吹き出させておくことにより、ウェハキャリア３１
へ半導体ウエハ１０を搬入、搬出するときに半導体ウエ
ハ１０が支持部２７と擦り合うのを防止し、また半導体
ウエハ１０は水平溝２６内で宙に浮いているので、半導
体ウエハ１０にフォトレジスト等が塗布してある場合で
も支持部２７に固着してしまうおそれがない。また、外
部から清浄な窒素ガスを導入して半導体ウエハ１０の表
面近傍で吹き出させているので、半導体ウエハ１０に塵
埃が付着するのを防止できる。なお、半導体ウエハ１０
のウェハキャリア３１内への搬入、搬出時の支持部２７
との摩擦の軽減だけを目的とする場合は、半導体ウエハ
１０の搬出入の際にだけ気体吹出口３３から窒素ガスを
吹き出させれば良い。

【００１５】図３はこの発明の他の実施例を示すウェハ
キャリア部の断面図であり、ウェハキャリア４１の開口
部２４に開口部２４を覆う気体流を生成するように側板
２３に気体吹出溝４２を設けたものである。なお、図３
において、上方及び下方の開口部２４に設けられた気体
吹出溝４２の形状は対向する側板２３の上部及び下部に
夫々対向させてかつ図の奥行方向の寸法が開口部２４の
奥行とほぼ同じにされた水平なスリット状のものであり
、この発明における遮断装置を構成し、図の奥行方向に
多数設けられた導通路３２がこれに接続されている。 また、図示していないが、図４における左方の開口部２
４に相当する部分にも同様の遮断装置を設け全ての開口
部２４を気体流により覆っている。このような気体吹出
溝４２から導通路３２を経て窒素ガスを吹き出させるこ
とにより、開口部２４を覆う（図では水平方向に覆う）
気体流によりウェハキャリア４１内は外部と遮断される
ので、塵埃の侵入を防止できる。なお、この場合上方の
開口部２４は板等で閉鎖した構成とすれば、開口部２４
の個数を減らすことができる。

【００１６】図１、図３の各実施例において、側板２３
に水平溝２６を切削することにより支持部２７を設ける
ものを示したが、例えば支持部２７を別部材にして導通
路３２、塞栓３４等を加工後に側板２３に溶接あるいは
接着しても良い。なおこの場合、側板２３は導通路３２
を設けられる程度の厚さとする。また、材料は金属に限
られず、合成樹脂等であって良い。さらに、気体吹出口
３３、気体吹出溝４２へ供給する気体は空気等他の気体
であっても良い。

【００１７】また、図１、図３の各実施例においてはウ
ェハキャリア３１、４１がコ状のものである場合を示し
たが、側板２３を対向して設け、この間をコンベヤ１２
の丸ベルト１６が通り抜ける構成のものに、例えば、図
４において、丸ベルト１６により半導体ウエハ１０は左
方から搬入され、右方へ搬出されていく構成のものに適
用しても同様の効果を奏する。

【００１８】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば半導体
ウエハを収容する収容体の支持部に気体吹出口を設けて
半導体ウエハを支持部から浮上させるようにしたので、
半導体ウエハと支持部との摩擦を軽減し、半導体ウエハ
の損傷を防止できる。さらに、塵埃の発生をなくすこと
ができる。また、半導体ウエハを収容する収容器の開口
部に遮断装置を設け気体の供給を受けてこの気体の流れ
にて開口部を覆うようにしたので、収容された半導体ウ
エハに外気中の塵埃が付着するのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の要部を構成する半導体ウ
エハ搬送装置のウェハキャリア部の断面図である。

【図２】図１におけるウェハキャリア部の部分拡大図で
ある。

【図３】この発明の他の実施例の要部を構成するウェハ
キャリア部の断面図である。

【図４】従来の半導体ウエハ搬送装置を示す斜視図であ
る。

【図５】従来の半導体ウエハ搬送装置のウェハキャリア
部を示す断面図である。

【符号の説明】

１０　　半導体ウエハ １２　　コンベヤ １６　　丸ベルト ２３　　側板 ２４　　開口部 ２７　　支持部 ３１　　ウェハキャリア ４１　　ウェハキャリア ３３　　気体吹出口 ４２　　気体吹出溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　間隔をおいて対向して設けられた一対
   の対向部材とこの一対の対向部材の対向する側の各々に
   対向させて設けられ半導体ウエハを支持する少なくとも
   １対の支持部とを有する収容体、上記支持部に設けられ
   気体の供給を受けて上記支持部と上記半導体ウエハとの
   間に気体流を生成する気体吹出口、及び水平方向に移動
   して上記半導体ウエハを搬送する搬送担体を有し上記収
   容体に対して相対的に上下方向に駆動されて上記搬送担
   体が上記間隔内に挿脱される搬送手段を備えた半導体ウ
   エハ搬送装置。
2. 【請求項２】　　間隔をおいて設けられた一対の対向部
   材とこの一対の対向部材の対向する側の各々に対向させ
   て設けられ半導体ウエハを支持する少なくとも一対の支
   持部と開口部とを有する収容器、上記開口部に設けられ
   気体の供給を受けてこの気体の流れにより上記開口部を
   覆う遮断装置、及び水平方向に移動して上記半導体ウエ
   ハを搬送する搬送担体を有し上記収容器に対して相対的
   に上下方向に駆動されて上記搬送担体が上記間隔内に挿
   脱される搬送手段を備えた半導体ウエハ搬送装置。