JPH11334874A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送物を水流を利用して収納部に安定して搬
送、収納する。 【解決手段】 搬送物１０の供給部と収納部との間に基
板２を水平に設置する。基板２の上面には搬送路１とな
る溝３が穿設される。搬送路１の底面側には、垂直方向
から搬送路１内に開口する水の吹出口６が複数箇所に設
けられ、水の吹出口６から水を吹き出させることによっ
て、搬送路１内に垂直方向上方へ向かう水の流れが形成
される。搬送路１の上面側には、搬送物１０の上面側の
角部１０ａのみが当接する傾斜面５、５を有する上部ガ
イド４が設けられ、この上部ガイド４によって搬送物１
０は搬送路１内の所定の高さに保持される。そして、こ
の状態を維持しつつ、搬送物１０は搬送路１内を搬送さ
れて収納部の所定の位置に搬送、収納される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は搬送物を搬送する
搬送装置に関し、特に、水流を利用して搬送物、例えば
シリコンウエハー等のウエハー（以下、「ウエハー」と
いう。）を搬送するのに有効な搬送装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】一般に、ウエハーは、互
いに接触しない状態で複数枚ずつ収納部の収納箱に収納
されて保管されている。そして、複数枚のウエハーが収
納されている収納箱を１ユニットとして研磨機等の加工
機にセットし、研磨機等の加工機を運転することで、１
ユニットの各ウエハーの表面を各々所定の表面あらさに
研磨等することができるものである。

【０００３】このような研磨機等の加工機にセットされ
る収納箱に複数枚のウエハーを収納するには、従来は、
作業者が一枚ずつウエハーを手で掴んで収納していた。
このため、ウエハーの表面に汚れや傷等が付いてしま
い、研磨作業等に影響を与えていた。

【０００４】このような汚れ、傷等が付着する問題に対
処するため、近年では、水流を用いてウエハーを収納部
の収納箱に搬送、収納する方法が提案されている。その
一例が特開平４−１２０７５４号公報に記載されてい
る。

【０００５】この収納方法（ウエハーのカセットへの収
納方法および収納装置）は、ベルトコンベヤによってウ
エハーをシュータに供給し、シュータの表面を滑らして
貯溜槽内に落下させ、貯溜槽内の液体を潜らせて貯溜槽
内のカセット内に収納するように構成したものである。

【０００６】しかしながら、このような収納方法では、
シュータの傾斜角度の設定に手間がかかるとともに、シ
ュータの傾斜角度に合わせてカセットの傾斜角度も設定
しなければならないためにその設定にも手間がかかる。
したがって、これらの角度の調整が可能な装置としなけ
ればならないため、装置の構造が複雑になってしまう。

【０００７】一方、このような装置の複雑化の問題に対
処するため、簡単な構造の搬送路内に水平方向への水流
を形成し、この水流を利用してウエハーを収納部の収納
箱に搬送、収納するように構成した方法が提案されてい
る。

【０００８】しかし、このような方法にあっては、搬送
路の水流に発生する波の影響によって、搬送中のウエハ
ーの搬送路内における高さが不安定となってしまうた
め、ウエハーを収納箱の所定の位置に搬送、収納するこ
とができない。この場合、ウエハーの搬送路内における
高さを安定させるため、ガイドを使用することも考えら
れるが、ガイドに接触することによってウエハーの研磨
面等に傷が発生してしまう。

【０００９】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、水流を利用してウエハ
ー等の搬送物を収納部の収納箱に搬送、収納する場合
に、水流に波が発生しても、搬送中の搬送物の搬送路内
における高さを一定に保つことができて、収納部の収納
箱の所定の位置に確実に搬送、収納することができる搬
送装置を提供することを目的とするものである。また、
搬送中にガイド等に接触して、搬送物の表面等に傷が発
生するようなことがない搬送装置を提供することを目的
とするものである。さらに、構造を簡単にすることによ
り、メンテナンスが簡単で、安価な搬送装置を提供する
ことを目的とするものである。

【００１０】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、搬送路内に水平方向への水流を形
成し、該水流の上流側に供給した搬送物を該水流によっ
て該水流の下流側に位置している収納部に搬送、収納す
る搬送装置であって、前記搬送路内に、前記搬送物を垂
直方向上方へ水平に押し上げる水の流れを形成するとと
もに、前記搬送路の上面側に、前記搬送物の上面側の角
部のみが当接する上部ガイドを設けた手段を採用したも
のである。また、前記搬送路の底面側に、搬送路内に垂
直方向から開口する水の吹出口を設け、該水の吹出口か
ら水を吹き出させることにより、前記搬送路内に垂直方
向下方から上方に向かう水の流れを形成した手段を採用
したものである。さらに、前記搬送路の上面側に、搬送
方向に向かって順次低くなり、かつ、搬送路の幅方向の
両側から搬送路の中心に向かって順次高くなる傾斜面を
有する上部ガイドを設け、該上部ガイドの傾斜面に、前
記搬送物の上面側の角部のみを当接させるように構成し
た手段を採用したものである。

【００１１】

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、搬送物は、搬送路内を水平方向への水流によって
水平方向に搬送されるとともに、搬送中に、垂直方向上
方への水の流れによって垂直方向上方へ水平に押し上げ
られる。この場合、搬送物の上面側の角部のみが上部ガ
イドに当接することにより、搬送物の上方への移動が制
限され、搬送物は搬送路内の所定の高さに保持される。
そして、この状態を維持しつつ、搬送物は搬送路内を搬
送されて収納部の所定の位置に搬送、収納される。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
による搬送装置の一実施の形態が示されていて、この搬
送装置は、ウエハー等の搬送物１０を水流を利用して搬
送する場合等に用いられるものであって、搬送物１０を
搬送する水流を形成する搬送路１を具えている。

【００１３】搬送路１は、例えば、搬送物１０の供給部
（図示せず）と収納部（図示せず）との間等に水平に設
置されるものであって、平板状の基板２の上面側に機械
加工によって搬送方向を向く半長円形状等の溝３を穿設
するとともに、溝３の長手方向の一端に溝３内に水平方
向に開口する水の吹出口（図示せず）を設け、水の吹出
口から溝３内に水を吹き出させることで、溝３内に水平
方向への水流を形成するように構成したものである。

【００１４】搬送路１の上面側には、溝３の全幅よりも
やや広い幅の板状の上部ガイド４が設けられ、この上部
ガイド４によって溝３の上面開口部の一部が閉塞される
ようになっている。

【００１５】上部ガイド４の溝３との対向面は、幅方向
の両端から中心に向かって順次高くなるとともに、長手
方向の一端から他端に向かって（搬送方向の後端から先
端方向に向かって）順次低くなる傾斜面５、５に形成さ
れている。そして、この傾斜面５、５に搬送物１０の上
面側の角部１０ａが当接することによって、搬送物１０
の上方への移動が制限されるようになっている。

【００１６】搬送路１の底面側には、垂直方向から搬送
路１内に開口する水の吹出口６が複数箇所に設けられて
いる。そして、この水の吹出口６から搬送路１内に水を
吹き出させることによって、搬送路１内に垂直方向下方
から上方に向かう水の流れが形成され、この水の流れに
よって搬送物１０を垂直方向上方に水平に押し上げるこ
とができるものである。

【００１７】水の吹出口６を設ける位置は、搬送物１０
を垂直方向上方に水平に押し上げることができる位置で
あればよい。例えば、溝３の幅方向の両端等を基準とし
て、両側から同じ長さだけ離れた位置に２箇所、４箇所
等に設ければよい。

【００１８】溝３の幅方向の両側面は、搬送物１０の側
面が当接する側部ガイド７に形成され、この側部ガイド
７によって搬送物１０の搬送路１内における幅方向への
移動が制限されるものである。

【００１９】そして、上記のように構成した搬送装置
を、例えば、搬送物１０の供給部（図示せず）と収納部
（図示せず）との間に水平に設置し、搬送路１の一端に
位置している水の吹出口（図示せず）から搬送路１内に
水を吹き出させ、搬送路１内に水平方向への水流を形成
するとともに、搬送路１の底面側の水の吹出口６、６…
…から搬送路１内に水を吹き出させ、搬送路１内に垂直
方向下方から上方への水の流れを形成する。

【００２０】そして、この状態で搬送物１０の供給部か
ら搬送路１内に円板状等に形成した搬送物１０を供給す
ると、搬送物１０は水平方向への水流によって搬送路１
内を水平方向に搬送されるとともに、搬送中に、垂直方
向下方から上方への水の流れによって垂直方向上方へ水
平に押し上げられる。この場合、搬送物１０は、上面側
の角部１０ａが上部ガイド４の傾斜面５、５に当接する
ことにより上方へ移動が制限され、搬送路１内の所定の
高さに保持される。そして、搬送物１０は、この状態で
搬送路１内を搬送されて、搬送路１に連設されている収
納部の収納箱（図示せず）の所定の位置に搬送、収納さ
れることになる。

【００２１】したがって、搬送中に、搬送路１内の水流
に波が発生しても、その波の影響を受けて搬送物１０の
搬送路１内における高さが変化するようなことはなく、
搬送物１０は搬送路１内の所定の高さを維持したまま安
定して搬送され、収納部の収納箱の所定の位置に確実に
搬送、収納されることになる。また、搬送物１０は、上
面側の角部１０ａのみが搬送路１の上面側の上部ガイド
４の傾斜面５、５に接触するので、研磨面等として使用
される上面等が搬送路１の内面等に接触することはな
く、上面等に接触による傷が発生することはない。さら
に、搬送路１の上面側に、傾斜面５、５を有する上部ガ
イド４を設けただけの簡単な構造のものであるので、装
置全体の構造を簡素化することができることになり、メ
ンテナンスが簡単となるとともに、安価なものを提供す
ることができることになる。

【００２２】

【発明の効果】この発明は前記のように構成して、搬送
路内に、搬送物を垂直方向上方へ水平に押し上げる水の
流れを形成するとともに、搬送路の上面側に、搬送物の
上面側の角部のみが当接する上部ガイドを設けたことに
より、搬送中における搬送物の搬送路内における高さを
所定の高さに保持することができ、この状態を維持しつ
つ搬送物を収納部の所定の位置に搬送、収納することが
できることになる。したがって、搬送効率が大幅に向上
することになる。また、搬送物は、上面側の角部のみが
上部ガイドに当接するようになっているので、その他の
部分が搬送路の内面等に接触して傷等が発生するような
心配は全くない。さらに、搬送路の上面側に上部ガイド
を設けただけの簡単な構造であるので、装置全体の構造
を簡単にすることができることになり、メンテナンスが
簡単になるとともに、安価なものを提供することができ
ることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による搬送装置の一実施の形態の全体
を示したものであって、正面から見た部分断面図であ
る。

【図２】図１に示すものの側面から見た部分断面図であ
る。

【符号の説明】

１……搬送路 ２……基板 ３……溝 ４……上部ガイド ５……傾斜面 ６……水の吹出口 ７……側部ガイド １０……搬送物 １０ａ……角部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送路内に水平方向への水流を形成し、
   該水流の上流側に供給した搬送物を該水流によって該水
   流の下流側に位置している収納部に搬送、収納する搬送
   装置であって、前記搬送路内に、前記搬送物を垂直方向
   上方へ水平に押し上げる水の流れを形成するとともに、
   前記搬送路の上面側に、前記搬送物の上面側の角部のみ
   が当接する上部ガイドを設けたことを特徴とする搬送装
   置。
2. 【請求項２】 前記搬送路の底面側に、搬送路内に垂直
   方向から開口する水の吹出口を設け、該水の吹出口から
   水を吹き出させることにより、前記搬送路内に垂直方向
   下方から上方に向かう水の流れを形成した請求項１記載
   の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記搬送路の上面側に、搬送方向に向か
   って順次低くなり、かつ、搬送路の幅方向の両側から搬
   送路の中心に向かって順次高くなる傾斜面を有する上部
   ガイドを設け、該上部ガイドの傾斜面に、前記搬送物の
   上面側の角部のみを当接させるように構成した請求項１
   又は２記載の搬送装置。