JPH04307140A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPH04307140A JPH04307140A JP16735391A JP16735391A JPH04307140A JP H04307140 A JPH04307140 A JP H04307140A JP 16735391 A JP16735391 A JP 16735391A JP 16735391 A JP16735391 A JP 16735391A JP H04307140 A JPH04307140 A JP H04307140A
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- Japan
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- vibration
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- vibration isolator
- stand
- signal
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- Pending
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は除振装置に係り、特に地
震時の揺れや交通振動等の振動が精密機器等の嫌振機器
に伝搬するのを防止する際に使用される除振装置に関す
る。
震時の揺れや交通振動等の振動が精密機器等の嫌振機器
に伝搬するのを防止する際に使用される除振装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密機器等の嫌振機器を工場の床
面等に据え付けるに際し、地震時の揺れや交通振動等の
振動がこの嫌振機器に伝搬するのを防止する為に除振装
置が使用されている。この種の除振装置は図４に示すよ
うに工場の床面１０上に底台１２が図示しないボルトに
よって固定され、この底台１２には振動吸収ユニット１
４、１４を介して架台１６が取付けられる。前記振動吸
収ユニット１４は、複数の積層ゴム（又はスプリング）
１８、１８…と安定板２０、２０…が交互に且つ１列に
積層して構成され、底台１２と架台１６とのコーナ部に
４本配設されており、低固有振動数（約１ＨＺ 程度）
を実現するように構成されている。
面等に据え付けるに際し、地震時の揺れや交通振動等の
振動がこの嫌振機器に伝搬するのを防止する為に除振装
置が使用されている。この種の除振装置は図４に示すよ
うに工場の床面１０上に底台１２が図示しないボルトに
よって固定され、この底台１２には振動吸収ユニット１
４、１４を介して架台１６が取付けられる。前記振動吸
収ユニット１４は、複数の積層ゴム（又はスプリング）
１８、１８…と安定板２０、２０…が交互に且つ１列に
積層して構成され、底台１２と架台１６とのコーナ部に
４本配設されており、低固有振動数（約１ＨＺ 程度）
を実現するように構成されている。
【０００３】前記架台１６上には図中二点鎖線で示す精
密機器２２が載置される。これによって、前記床面１０
に伝搬された振動は、底台１２から前述した振動吸収ユ
ニット１４、１４…を介すことにより除振され、前記精
密機器２２に振動が伝搬するのを防止することができる
。
密機器２２が載置される。これによって、前記床面１０
に伝搬された振動は、底台１２から前述した振動吸収ユ
ニット１４、１４…を介すことにより除振され、前記精
密機器２２に振動が伝搬するのを防止することができる
。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
除振装置では、床面１０からの振動は架台１６に伝搬さ
れ難く充分な除振効果が保たれているが、精密機器とし
て縮小露光器を載置すると、縮小露光器に内蔵されたＸ
−Ｙステージ２４（図４中）が移動する際に発生する過
度の自己振動が架台１６に図５の如く伝搬し、この振動
が減衰し難いことから縮小露光器の性能を低下させると
いう欠点がある。
除振装置では、床面１０からの振動は架台１６に伝搬さ
れ難く充分な除振効果が保たれているが、精密機器とし
て縮小露光器を載置すると、縮小露光器に内蔵されたＸ
−Ｙステージ２４（図４中）が移動する際に発生する過
度の自己振動が架台１６に図５の如く伝搬し、この振動
が減衰し難いことから縮小露光器の性能を低下させると
いう欠点がある。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、嫌振機器から過度の自己振動が発生すると、こ
の振動を吸収し除振することができる除振装置を提供す
ることを目的とする。
もので、嫌振機器から過度の自己振動が発生すると、こ
の振動を吸収し除振することができる除振装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、複数本の振動吸収ユニットを底台と嫌振機器
を搭載する架台との間に介在させて構成される除振装置
に於いて、前記架台に取付けられ、振動による架台の変
位量若しくは加速度を検知する振動センサと、前記架台
を振動吸収ユニットから拘束自在なロック手段と、前記
振動センサが架台の変位量若しくは加速度が所定値を超
えたのを検知した際、前記ロック手段に架台を所定時間
拘束する信号を送信し、所定時間経過後に拘束を解除す
る信号を送信する制御装置と、とを備えたことを特徴と
する。
する為に、複数本の振動吸収ユニットを底台と嫌振機器
を搭載する架台との間に介在させて構成される除振装置
に於いて、前記架台に取付けられ、振動による架台の変
位量若しくは加速度を検知する振動センサと、前記架台
を振動吸収ユニットから拘束自在なロック手段と、前記
振動センサが架台の変位量若しくは加速度が所定値を超
えたのを検知した際、前記ロック手段に架台を所定時間
拘束する信号を送信し、所定時間経過後に拘束を解除す
る信号を送信する制御装置と、とを備えたことを特徴と
する。
【０００７】
【作用】本発明によれば、嫌振機器の過度の自己振動で
、架台の変位量若しくは加速度が嫌振機器の性能に悪影
響を及ぼす値を超える信号が振動センサから制御装置に
入力されると、制御装置がロック手段に架台を所定時間
、即ち嫌振機器の自己振動を発生させる装置が停止する
迄の時間よりも長い時間拘束する信号を送信する。これ
により、ロック手段が架台を振動吸収ユニットから所定
時間拘束するので、前記過度振動はロック手段に吸収さ
れて除振装置に伝搬するのを防止することができる。 また、制御装置は、前述した所定時間を経過するとロッ
ク手段の拘束を解除して、除振装置を通常の除振台とし
ての機能に戻し、残りの振動を振動吸収ユニットで除振
する。
、架台の変位量若しくは加速度が嫌振機器の性能に悪影
響を及ぼす値を超える信号が振動センサから制御装置に
入力されると、制御装置がロック手段に架台を所定時間
、即ち嫌振機器の自己振動を発生させる装置が停止する
迄の時間よりも長い時間拘束する信号を送信する。これ
により、ロック手段が架台を振動吸収ユニットから所定
時間拘束するので、前記過度振動はロック手段に吸収さ
れて除振装置に伝搬するのを防止することができる。 また、制御装置は、前述した所定時間を経過するとロッ
ク手段の拘束を解除して、除振装置を通常の除振台とし
ての機能に戻し、残りの振動を振動吸収ユニットで除振
する。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る除振装置
について好ましい実施例を詳説する。図１、図２には本
発明に係る除振装置が適用された実施例が示され、図４
に示した従来例中と同一若しくは類似の部材については
、同一の符号を付して説明する。
について好ましい実施例を詳説する。図１、図２には本
発明に係る除振装置が適用された実施例が示され、図４
に示した従来例中と同一若しくは類似の部材については
、同一の符号を付して説明する。
【０００９】図１、図２に示すように、工場の床面１０
上に矩形状の底台１２が図示しないボルトによって固着
される。この底台１２には４本の振動吸収ユニット１４
、１４…を介して架台１６が取付けられる。前記振動吸
収ユニット１４、１４…は底台１２と架台１６とのコー
ナ部に配設される。また、前記底台１２の周縁には４枚
の側板２６、２６…が床面１０に立設するように固着さ
れ、この側板２６、２６…の内側面には空圧シリンダ２
８、２８…が取付けられる。前記空圧シリンダ２８、２
８…のロッド部３０、３０…は、伸長した際に架台１６
の側面を押圧可能に収縮自在に取付けられる。前記ロッ
ド部３０、３０…の伸縮は、空圧シリンダ２８、２８…
にケーブルを介して接続されたコントローラ３２によっ
て制御されている。
上に矩形状の底台１２が図示しないボルトによって固着
される。この底台１２には４本の振動吸収ユニット１４
、１４…を介して架台１６が取付けられる。前記振動吸
収ユニット１４、１４…は底台１２と架台１６とのコー
ナ部に配設される。また、前記底台１２の周縁には４枚
の側板２６、２６…が床面１０に立設するように固着さ
れ、この側板２６、２６…の内側面には空圧シリンダ２
８、２８…が取付けられる。前記空圧シリンダ２８、２
８…のロッド部３０、３０…は、伸長した際に架台１６
の側面を押圧可能に収縮自在に取付けられる。前記ロッ
ド部３０、３０…の伸縮は、空圧シリンダ２８、２８…
にケーブルを介して接続されたコントローラ３２によっ
て制御されている。
【００１０】前記架台１６上には、Ｘ−Ｙステージ２４
を内蔵した図中二点鎖線で示す縮小露光器２２が載置さ
れる。また、振動センサ３４が架台１６上に固着される
と共に、ケーブルを介して前記コントローラ３２に接続
される。前記振動センサ３４は、振動による架台１６の
変位量を検知して、この検知信号をコントローラ３２に
出力している。
を内蔵した図中二点鎖線で示す縮小露光器２２が載置さ
れる。また、振動センサ３４が架台１６上に固着される
と共に、ケーブルを介して前記コントローラ３２に接続
される。前記振動センサ３４は、振動による架台１６の
変位量を検知して、この検知信号をコントローラ３２に
出力している。
【００１１】次に、前記の如く構成された除振装置のコ
ントローラ３２の制御について図３を参照しながら説明
する。図３の縦軸には架台振動の変位量が示され、また
横軸には経過時間が示されている。先ず、空圧シリンダ
２８のロッド部３０を収縮した状態で、前記架台１６に
載置した縮小露光器２２のＸ−Ｙステージ２４を移動す
ると、架台１６は図３中（Ａ）で示すように振動を開始
する。そして、前記振動は振動センサ３４によってその
振動の変位量が常時コントローラ３２に入力される。
ントローラ３２の制御について図３を参照しながら説明
する。図３の縦軸には架台振動の変位量が示され、また
横軸には経過時間が示されている。先ず、空圧シリンダ
２８のロッド部３０を収縮した状態で、前記架台１６に
載置した縮小露光器２２のＸ−Ｙステージ２４を移動す
ると、架台１６は図３中（Ａ）で示すように振動を開始
する。そして、前記振動は振動センサ３４によってその
振動の変位量が常時コントローラ３２に入力される。
【００１２】次に、振動センサ３４からコントローラ３
２に前記振動の変位量が過度振動と判定される上限値、
即ち縮小露光器２２の性能に悪影響を及ぼす値を超えた
信号が入力されると、（Ｂ）に示すようにコントローラ
３２から空圧シリンダ２８、２８…にロッド部３０、３
０…を伸長する信号（ロックオン信号）を出力する。こ
れにより、前記架台１６はロッド部３０、３０…によっ
て押圧されて振動吸収ユニット１４、１４…から拘束さ
れるので、架台１６の過度振動が振動吸収ユニット１４
、１４…に伝搬されずにロッド部３０、３０…に吸収さ
れる。尚、（Ｂ）の状態では床面１０及びロッド部３０
、３０…からの振動に対して除振効果が無い為、架台１
６にはこれらの振動が伝搬されている。
２に前記振動の変位量が過度振動と判定される上限値、
即ち縮小露光器２２の性能に悪影響を及ぼす値を超えた
信号が入力されると、（Ｂ）に示すようにコントローラ
３２から空圧シリンダ２８、２８…にロッド部３０、３
０…を伸長する信号（ロックオン信号）を出力する。こ
れにより、前記架台１６はロッド部３０、３０…によっ
て押圧されて振動吸収ユニット１４、１４…から拘束さ
れるので、架台１６の過度振動が振動吸収ユニット１４
、１４…に伝搬されずにロッド部３０、３０…に吸収さ
れる。尚、（Ｂ）の状態では床面１０及びロッド部３０
、３０…からの振動に対して除振効果が無い為、架台１
６にはこれらの振動が伝搬されている。
【００１３】次いで、前記Ｘ−Ｙステージ２４が移動し
て露光準備が完了すると、（Ｃ）で示すようにコントロ
ーラ３２が空圧シリンダ２８、２８…にロッド部３０、
３０…を収縮する信号（ロックオフ信号）を出力する。 これにより、ロッド部３０、３０…の架台１６に対する
押圧が解除されるので、除振装置は通常の除振台として
の機能に戻る。従って、（Ｂ）で架台１６に伝搬してい
た振動は、振動吸収ユニット１４、１４…によって除振
されて減衰される。尚、前記コントローラ３２には、Ｘ
−Ｙステージ２４が移動して露光準備が完了する迄の時
間が予めメモリされているので、前述した一連の作動を
自動で行うことができる。
て露光準備が完了すると、（Ｃ）で示すようにコントロ
ーラ３２が空圧シリンダ２８、２８…にロッド部３０、
３０…を収縮する信号（ロックオフ信号）を出力する。 これにより、ロッド部３０、３０…の架台１６に対する
押圧が解除されるので、除振装置は通常の除振台として
の機能に戻る。従って、（Ｂ）で架台１６に伝搬してい
た振動は、振動吸収ユニット１４、１４…によって除振
されて減衰される。尚、前記コントローラ３２には、Ｘ
−Ｙステージ２４が移動して露光準備が完了する迄の時
間が予めメモリされているので、前述した一連の作動を
自動で行うことができる。
【００１４】このように、本実施例では、架台１６に載
置した縮小露光器２２から過度の自己振動が発生すると
、直ちにその過度振動を吸収して除振するようにしたの
で、縮小露光器２２の機能の低下を防止することができ
る。尚、本実施例では架台のロック機構として空圧シリ
ンダ２８を使用するとしたが、これに限られるものでは
なく、電磁シリンダを使用しても良い。
置した縮小露光器２２から過度の自己振動が発生すると
、直ちにその過度振動を吸収して除振するようにしたの
で、縮小露光器２２の機能の低下を防止することができ
る。尚、本実施例では架台のロック機構として空圧シリ
ンダ２８を使用するとしたが、これに限られるものでは
なく、電磁シリンダを使用しても良い。
【００１５】また、振動センサ３４は、架台１６の振動
による加速度を検知するようにしても良い。
による加速度を検知するようにしても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る除振
装置によれば、嫌振機器の過度の自己振動で、架台の変
位量若しくは加速度が嫌振機器の性能に悪影響を及ぼす
値を超えた信号が振動センサから制御装置に入力される
と、制御装置がロック手段を作動して架台を所定時間拘
束するようにしたので、嫌振機器の過度振動をロック手
段で吸収することができる。また、制御装置は、前述し
た所定時間を経過するとロック手段の拘束を解除し、除
振装置を通常の除振台としての機能に戻すので、残りの
振動を振動吸収ユニットで除振することができる。
装置によれば、嫌振機器の過度の自己振動で、架台の変
位量若しくは加速度が嫌振機器の性能に悪影響を及ぼす
値を超えた信号が振動センサから制御装置に入力される
と、制御装置がロック手段を作動して架台を所定時間拘
束するようにしたので、嫌振機器の過度振動をロック手
段で吸収することができる。また、制御装置は、前述し
た所定時間を経過するとロック手段の拘束を解除し、除
振装置を通常の除振台としての機能に戻すので、残りの
振動を振動吸収ユニットで除振することができる。
【図１】本発明に係る除振装置の実施例を示す側面図
【
図２】図１に於ける上面図
図２】図１に於ける上面図
【図３】本発明に係る除振装置で嫌振機器が自己振動を
発生した場合に於ける過度応答振動波形を示す説明図
発生した場合に於ける過度応答振動波形を示す説明図
【
図４】従来の除振装置の実施例を示す説明図
図４】従来の除振装置の実施例を示す説明図
【図５】従
来の除振装置で嫌振機器が自己振動を発生した場合に於
ける過度応答振動波形を示す説明図
来の除振装置で嫌振機器が自己振動を発生した場合に於
ける過度応答振動波形を示す説明図
１２…底台
１６…架台
２４…Ｘ−Ｙステージ
２８…空圧シリンダ
３０…ロッド部
３２…コントローラ
３４…振動センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数本の振動吸収ユニットを底台と嫌
振機器を載置する架台との間に介在させて構成される除
振装置に於いて、前記架台に取付けられ、振動による架
台の変位量若しくは加速度を検知する振動センサと、前
記架台を振動吸収ユニットから拘束自在なロック手段と
、前記振動センサが架台の変位量若しくは加速度が所定
値を超えたのを検知した際、前記ロック手段に架台を所
定時間拘束する信号を送信し、所定時間経過後に拘束を
解除する信号を送信する制御装置と、とを備えたことを
特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735391A JPH04307140A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735391A JPH04307140A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307140A true JPH04307140A (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=15848153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16735391A Pending JPH04307140A (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04307140A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108488308A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-09-04 | 宁波联合华发五金机械有限公司 | 用于发动机的减震消音装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6127328A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防振支持装置 |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP16735391A patent/JPH04307140A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6127328A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 防振支持装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108488308A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-09-04 | 宁波联合华发五金机械有限公司 | 用于发动机的减震消音装置 |
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