JPH0430732U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0430732U JPH0430732U JP1990069905U JP6990590U JPH0430732U JP H0430732 U JPH0430732 U JP H0430732U JP 1990069905 U JP1990069905 U JP 1990069905U JP 6990590 U JP6990590 U JP 6990590U JP H0430732 U JPH0430732 U JP H0430732U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat block
- atmospheric gas
- supply section
- sectional area
- cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第1図は、本考案の一実施例を示すヒートブロ
ツクの側面図、第2図は、同実施例の平面説明図
、第3図イは、第2図−線に沿う断面図、第
3図ロは、本考案の他の実施例にかかる、第2図
−線に相当する断面図、第4図は、本考案に
かかるヒートブロツクのボンデイング部における
表面温度を示すグラフ、第5図は、従来のワイヤ
ボンデイング装置のヒートブロツクを示す平面説
明図、第6図は、同ヒートブロツクを示す側面図
、第7図は、同ヒートブロツク上部でのワイヤボ
ンダ工程における平面説明図、第8図は、同ヒー
トブロツクのボンデイング部における表面温度を
示すグラフである。 1……ヒートブロツク、2……ヒータ、3……
ヒートブロツク本体、4……雰囲気ガス用配管、
5,5a,5b……吹出口、6……トツププレー
ト、7……供給口、8……第1の連通溝、9,9
……第2の連通溝、10……第1の連通部、11
……第2の連通部。
ツクの側面図、第2図は、同実施例の平面説明図
、第3図イは、第2図−線に沿う断面図、第
3図ロは、本考案の他の実施例にかかる、第2図
−線に相当する断面図、第4図は、本考案に
かかるヒートブロツクのボンデイング部における
表面温度を示すグラフ、第5図は、従来のワイヤ
ボンデイング装置のヒートブロツクを示す平面説
明図、第6図は、同ヒートブロツクを示す側面図
、第7図は、同ヒートブロツク上部でのワイヤボ
ンダ工程における平面説明図、第8図は、同ヒー
トブロツクのボンデイング部における表面温度を
示すグラフである。 1……ヒートブロツク、2……ヒータ、3……
ヒートブロツク本体、4……雰囲気ガス用配管、
5,5a,5b……吹出口、6……トツププレー
ト、7……供給口、8……第1の連通溝、9,9
……第2の連通溝、10……第1の連通部、11
……第2の連通部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベアカツパーのリードフレームを過熱する
ためのヒータと、雰囲気ガス導入手段と、該雰囲
気ガス導入手段によつて導入された雰囲気ガスが
吹き出す複数の吹出口とを備えたワイヤボンデイ
ング装置のヒートブロツクにおいて、前記雰囲気
ガス導入手段によつて導入された雰囲気ガスを前
記吹出口へ供給するための供給部と、該供給部と
該供給部に近接した前記吹出口とを連通する第1
の連通部、および前記供給部と前記供給部に離隔
した前記吹出口とを連通する第2の連通部とが前
記ヒートブロツク内部に設けられ、前記第1の連
通部の断面積が、前記第2の連通部の断面積より
も小さいことを特徴とするワイヤボンデイング装
置のヒートブロツク構造。 (2) ヒートブロツク本体の上部端面に深さの異
なる複数の溝が設けられ、該複数の溝が設けられ
た前記ヒートブロツク本体の上部に、雰囲気ガス
の吹出口を有した平板状のトツププレートが載置
されるとともに、前記複数の溝と前記トツププレ
ートとによつて、前記第1の連通部と前記第2の
連通部とが形成されていることを特徴とする請求
項1記載のワイヤボンデイング装置のヒートブロ
ツク構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990069905U JPH0810189Y2 (ja) | 1990-06-30 | 1990-06-30 | ワイヤボンディング装置のヒートブロック構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990069905U JPH0810189Y2 (ja) | 1990-06-30 | 1990-06-30 | ワイヤボンディング装置のヒートブロック構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430732U true JPH0430732U (ja) | 1992-03-12 |
| JPH0810189Y2 JPH0810189Y2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=31605614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990069905U Expired - Fee Related JPH0810189Y2 (ja) | 1990-06-30 | 1990-06-30 | ワイヤボンディング装置のヒートブロック構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810189Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546032U (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-18 | ソニー株式会社 | ワイヤボンデイング装置 |
-
1990
- 1990-06-30 JP JP1990069905U patent/JPH0810189Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546032U (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-18 | ソニー株式会社 | ワイヤボンデイング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0810189Y2 (ja) | 1996-03-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |