JPH02120830U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02120830U JPH02120830U JP2959289U JP2959289U JPH02120830U JP H02120830 U JPH02120830 U JP H02120830U JP 2959289 U JP2959289 U JP 2959289U JP 2959289 U JP2959289 U JP 2959289U JP H02120830 U JPH02120830 U JP H02120830U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- cooling device
- inert gas
- core tube
- furnace core
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例の熱処理装置の断
面図である。第２図は従来の熱処理装置の断面図
である。 ３……炉体に装着された炉芯管、４……ウエハ
ース熱処理用ボート、５……ウエハース、８……
円筒上の冷却装置、８ａ……不活性ガス導入口、
８ｂ……上部室、８ｃ……ガス吹き出しノズル、
８ｄ……ガス吸入ノズル、８ｅ……下部室、８ｆ
……ガス排出口。
面図である。第２図は従来の熱処理装置の断面図
である。 ３……炉体に装着された炉芯管、４……ウエハ
ース熱処理用ボート、５……ウエハース、８……
円筒上の冷却装置、８ａ……不活性ガス導入口、
８ｂ……上部室、８ｃ……ガス吹き出しノズル、
８ｄ……ガス吸入ノズル、８ｅ……下部室、８ｆ
……ガス排出口。
Claims (1)
- 炉芯管開口部前面に一定温度に設定された不活
性ガスをウエハース面と平行に吹き付ける冷却装
置を有する熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2959289U JPH02120830U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2959289U JPH02120830U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120830U true JPH02120830U (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=31253939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2959289U Pending JPH02120830U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120830U (ja) |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP2959289U patent/JPH02120830U/ja active Pending