JPH04307438A - 光情報記録媒体 - Google Patents
光情報記録媒体Info
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- JPH04307438A JPH04307438A JP3071499A JP7149991A JPH04307438A JP H04307438 A JPH04307438 A JP H04307438A JP 3071499 A JP3071499 A JP 3071499A JP 7149991 A JP7149991 A JP 7149991A JP H04307438 A JPH04307438 A JP H04307438A
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- JP
- Japan
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- layer
- substrate
- refractive index
- moisture
- hard coat
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光情報記録媒体に係り
、より詳細には、光の反射損失が小さく、信号特性・耐
久性共に優れた光情報記録媒体に関する。
、より詳細には、光の反射損失が小さく、信号特性・耐
久性共に優れた光情報記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】透明基板の鏡面側から光を入射して記録
または再生を行なう光情報記録媒体において、基板材料
が樹脂である場合、その鏡面側からの吸湿による機械的
変形を原因とする信号特性の劣化が問題となっている。 そこで鏡面側に防湿層を形成してこの吸湿を防ごうとい
う技術が試みられている(例えば、特開昭58−322
38号公報)。あるいは外界と接触する部位を誘電体膜
で被覆する技術も試みられている(特開昭63−690
46号公報)。
または再生を行なう光情報記録媒体において、基板材料
が樹脂である場合、その鏡面側からの吸湿による機械的
変形を原因とする信号特性の劣化が問題となっている。 そこで鏡面側に防湿層を形成してこの吸湿を防ごうとい
う技術が試みられている(例えば、特開昭58−322
38号公報)。あるいは外界と接触する部位を誘電体膜
で被覆する技術も試みられている(特開昭63−690
46号公報)。
【0003】しかし、前者の場合、防湿層の屈折率によ
っては入射光の反射損失が膜厚によって大きく左右され
、成膜上また信号特性(記録感度)の上で不都合である
。加えて、機械的強度を高めるという観点から防湿層上
にハードコート層を設けた場合には、かかる不都合は更
に顕著になる。後者においても強度の点からハードコー
ト層は不可欠であり、その際には前者の場合と同様に反
射率が問題となる。
っては入射光の反射損失が膜厚によって大きく左右され
、成膜上また信号特性(記録感度)の上で不都合である
。加えて、機械的強度を高めるという観点から防湿層上
にハードコート層を設けた場合には、かかる不都合は更
に顕著になる。後者においても強度の点からハードコー
ト層は不可欠であり、その際には前者の場合と同様に反
射率が問題となる。
【0004】また、高温高湿下での耐久性試験では基板
に対する防湿層の密着力が重要となるが、下地処理のな
い場合、防湿層の密着力は未だ充分とは言えない。
に対する防湿層の密着力が重要となるが、下地処理のな
い場合、防湿層の密着力は未だ充分とは言えない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、防湿層の屈
折率nを基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折
率n(h)との間に設定することによって、光の反射損
失を小さく抑え、信号特性・耐久性共に優れた光情報記
録媒体を提供することを目的とする。
折率nを基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折
率n(h)との間に設定することによって、光の反射損
失を小さく抑え、信号特性・耐久性共に優れた光情報記
録媒体を提供することを目的とする。
【0006】本発明は、上記目的に加え、防湿層の密着
性に優れ、耐久性がより一段と優れた光情報記録媒体を
提供することを目的とする。
性に優れ、耐久性がより一段と優れた光情報記録媒体を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の要旨は、透明樹脂基板の記録面に記録層が形
成され、該透明樹脂基板の鏡面に防湿層が形成されてい
る光情報記録媒体において、該防湿層上にハードコート
層を形成し、該透明樹脂基板、該防湿層、該ハードコー
ト層の屈折率をそれぞれ、n(s),n,n(h)とし
たとき、nの値を、n(s)とn(h)との間の値とし
たことを特徴とする光情報記録媒体に存在する。以下に
本発明の詳細な構成を説明する。
の本発明の要旨は、透明樹脂基板の記録面に記録層が形
成され、該透明樹脂基板の鏡面に防湿層が形成されてい
る光情報記録媒体において、該防湿層上にハードコート
層を形成し、該透明樹脂基板、該防湿層、該ハードコー
ト層の屈折率をそれぞれ、n(s),n,n(h)とし
たとき、nの値を、n(s)とn(h)との間の値とし
たことを特徴とする光情報記録媒体に存在する。以下に
本発明の詳細な構成を説明する。
【0008】(基板)ここで前記透明樹脂基板としては
、例えば、ポリカーボネート(PC)、ポリメタクリル
酸メチル(PMMA)等のアクリル、エポキシ等、光情
報記録媒体の透明基板として使用されうる合成樹脂より
なる基板であれば特に限定されない。なお、これらの樹
脂の屈折率n(s)は樹脂の種類によって異なるが、お
およそ1.5〜1.6である。
、例えば、ポリカーボネート(PC)、ポリメタクリル
酸メチル(PMMA)等のアクリル、エポキシ等、光情
報記録媒体の透明基板として使用されうる合成樹脂より
なる基板であれば特に限定されない。なお、これらの樹
脂の屈折率n(s)は樹脂の種類によって異なるが、お
およそ1.5〜1.6である。
【0009】(記録層)前記透明樹脂基板の記録面には
記録層が形成される。記録層としては、光情報記録媒体
の記録作用を有するものであれば特に限定されず、光磁
気型、相変化型、追記型のいずれでもよい。例えば光磁
気型の場合、例えば、TbFeCo,TbFe,TbC
o,GaTbCo等の薄膜が用いられる。記録層の膜厚
は一般的に100〜1000Åが好適である。
記録層が形成される。記録層としては、光情報記録媒体
の記録作用を有するものであれば特に限定されず、光磁
気型、相変化型、追記型のいずれでもよい。例えば光磁
気型の場合、例えば、TbFeCo,TbFe,TbC
o,GaTbCo等の薄膜が用いられる。記録層の膜厚
は一般的に100〜1000Åが好適である。
【0010】なお、記録層に接する上下に、すなわち記
録層をはさんで、例えばSiN,SiAlON等の誘電
体からなる保護層を100〜1000Å設けてもよい。 更にそれらの上に例えば、Al,Cr等からなる反射層
を500Å程度の膜厚で設け、最上層として例えばアク
リレート系の紫外線硬化型樹脂で厚さ5μm前後のトッ
プコート処理をしてもよい。
録層をはさんで、例えばSiN,SiAlON等の誘電
体からなる保護層を100〜1000Å設けてもよい。 更にそれらの上に例えば、Al,Cr等からなる反射層
を500Å程度の膜厚で設け、最上層として例えばアク
リレート系の紫外線硬化型樹脂で厚さ5μm前後のトッ
プコート処理をしてもよい。
【0011】(透明防湿層)本発明では、透明樹脂基板
の鏡面に透明防湿層を形成する。本発明では、この透明
防湿層の屈折率nの値を、基板の屈折率n(s)と後述
するハードコート層の屈折率n(h)との間の値にする
。
の鏡面に透明防湿層を形成する。本発明では、この透明
防湿層の屈折率nの値を、基板の屈折率n(s)と後述
するハードコート層の屈折率n(h)との間の値にする
。
【0012】なお、該透明防湿層は、光の使用波長域で
の吸収係数がほぼ0であり、なおかつ透湿係数がおおよ
そ5×10−4(gmm/m2day)以下とすること
が好ましい。その構成材料としては、例えば、MgO,
Al2O3,SiTaO,SiZrO等があげられ、そ
の膜厚は1000〜2000Åが好ましく、1400〜
1600Åがより好ましい。
の吸収係数がほぼ0であり、なおかつ透湿係数がおおよ
そ5×10−4(gmm/m2day)以下とすること
が好ましい。その構成材料としては、例えば、MgO,
Al2O3,SiTaO,SiZrO等があげられ、そ
の膜厚は1000〜2000Åが好ましく、1400〜
1600Åがより好ましい。
【0013】透明防湿層の屈折率nは、例えば、その構
成材料の組成比を変化させることにより変化させればよ
く、また、構成材料の組成比を変化させるには成膜条件
を制御すればよい。すなわち、例えば、スパッタリング
により透明防湿層を形成する場合、スパッタリングガス
のガス圧を変化させることにより、また、スパッタリン
グガスが例えば(Ar+O2)の場合O2の分圧を変化
させることにより、さらには、ターゲットに別材料のチ
ップをその個数を変化させて載置すること等により行え
ばよい。
成材料の組成比を変化させることにより変化させればよ
く、また、構成材料の組成比を変化させるには成膜条件
を制御すればよい。すなわち、例えば、スパッタリング
により透明防湿層を形成する場合、スパッタリングガス
のガス圧を変化させることにより、また、スパッタリン
グガスが例えば(Ar+O2)の場合O2の分圧を変化
させることにより、さらには、ターゲットに別材料のチ
ップをその個数を変化させて載置すること等により行え
ばよい。
【0014】(ハードコート層)本発明では、透明防湿
層上に、ハードコート層を形成する。ハードコート層と
しては紫外線硬化型樹脂により構成することが好適で、
例えば、アクリレート系、エポキシ系、シリコン系等が
構成材料としてあげられるが、アクリレート系が特に好
ましい。その屈折率n(h)は1.5程度、厚さは数μ
mが好ましい。
層上に、ハードコート層を形成する。ハードコート層と
しては紫外線硬化型樹脂により構成することが好適で、
例えば、アクリレート系、エポキシ系、シリコン系等が
構成材料としてあげられるが、アクリレート系が特に好
ましい。その屈折率n(h)は1.5程度、厚さは数μ
mが好ましい。
【0015】(下地処理)鏡面には透明防湿層と基板と
の密着性を高めるために下地処理を行うことが好ましい
(請求項2)。下地処理としては、例えば、プラズマ処
理、電子線照射処理等があるが、プラズマ処理が特に効
果的である。プラズマ処理としては、例えばO2による
プラズマ処理、Arによるプラズマ処理等があるが、中
でもO2によるプラズマ処理が最も有効である。
の密着性を高めるために下地処理を行うことが好ましい
(請求項2)。下地処理としては、例えば、プラズマ処
理、電子線照射処理等があるが、プラズマ処理が特に効
果的である。プラズマ処理としては、例えばO2による
プラズマ処理、Arによるプラズマ処理等があるが、中
でもO2によるプラズマ処理が最も有効である。
【0016】(各層の形成方法)前記記録層、保護層、
反射層、透明防湿層の形成手段としては、均一な厚み及
び組成が得られるものであれば特に限定されず、例えば
、真空蒸着、スパッタリング等が適用可能である。トッ
プコート、ハードコート層は、均一な厚みが得られる方
法であれば限定されないが、例えばスピンコート法が適
用できる。
反射層、透明防湿層の形成手段としては、均一な厚み及
び組成が得られるものであれば特に限定されず、例えば
、真空蒸着、スパッタリング等が適用可能である。トッ
プコート、ハードコート層は、均一な厚みが得られる方
法であれば限定されないが、例えばスピンコート法が適
用できる。
【0017】
【実施例】(実施例1)下記■〜■の各種基板を用意し
、その基板に透明防湿層を形成した。
、その基板に透明防湿層を形成した。
【0018】
■反射率測定用:厚さ1.2mmのPC板(屈折率:n
(s)=1.59) ■組成比・吸収係数・屈折率測定用:Siウエハー■透
湿係数測定用:厚さ180μmのPCシート■光情報記
録媒体用:3.5インチPCディスク基板
(s)=1.59) ■組成比・吸収係数・屈折率測定用:Siウエハー■透
湿係数測定用:厚さ180μmのPCシート■光情報記
録媒体用:3.5インチPCディスク基板
【0019】
Al2O3をターゲットとして、(Ar+O2)雰囲気
下でスパッタリングを行い、上記■〜■の基板上に透明
防湿層を形成した。なお、スパッタリング時のO2分圧
を0%,10%,20%と変化させることにより、透明
防湿層の組成を変化させ、それにより表1のNo.11
〜No.13に示す屈折率nを有する透明防湿層を形成
した。なお、透明防湿層の厚さはNo.11〜No.1
3のすべてにつき1500Åとした。
Al2O3をターゲットとして、(Ar+O2)雰囲気
下でスパッタリングを行い、上記■〜■の基板上に透明
防湿層を形成した。なお、スパッタリング時のO2分圧
を0%,10%,20%と変化させることにより、透明
防湿層の組成を変化させ、それにより表1のNo.11
〜No.13に示す屈折率nを有する透明防湿層を形成
した。なお、透明防湿層の厚さはNo.11〜No.1
3のすべてにつき1500Åとした。
【0020】また、MgOをターゲットとしてAr雰囲
気中で、導入するスパッタリングガス圧を0.7Pa,
2.0Pa,3.0Paに変化させることにより透明防
湿層の組成を変化させ、それにより表1のNo.14〜
No.16に示す屈折率nを有する透明防湿層を形成し
た。透明防湿層の厚さはNo.14〜No.16のすべ
てにつき1500Åとした。
気中で、導入するスパッタリングガス圧を0.7Pa,
2.0Pa,3.0Paに変化させることにより透明防
湿層の組成を変化させ、それにより表1のNo.14〜
No.16に示す屈折率nを有する透明防湿層を形成し
た。透明防湿層の厚さはNo.14〜No.16のすべ
てにつき1500Åとした。
【0021】なお、■の3.5インチPCディスク基板
の記録面側には、SiN(保護層)/TbFeCo(記
録層)/SiN(保護層)/Al(反射層)を各々80
0Å/300Å/300Å/500Åの厚さでスパッタ
リング成膜し、鏡面側に前記透明防湿層を形成して光情
報記録媒体を作成した。
の記録面側には、SiN(保護層)/TbFeCo(記
録層)/SiN(保護層)/Al(反射層)を各々80
0Å/300Å/300Å/500Åの厚さでスパッタ
リング成膜し、鏡面側に前記透明防湿層を形成して光情
報記録媒体を作成した。
【0022】また、■の基板(反射率測定用基板)及び
■の基板を用いて作成した光情報記録媒体については、
透明防湿層を形成後、その上に、UVハードコート(大
日本インキ化学工業株式会社EX/704、アクリレー
ト系、n(h)=1.52)をスピンコート法により5
μmの厚さで形成した。
■の基板を用いて作成した光情報記録媒体については、
透明防湿層を形成後、その上に、UVハードコート(大
日本インキ化学工業株式会社EX/704、アクリレー
ト系、n(h)=1.52)をスピンコート法により5
μmの厚さで形成した。
【0023】以上のようにして透明防湿層を形成した■
〜■の基板につき表1に示す項目のそれぞれの特性を測
定した。なお、表1に示す最大そり量は、高温高湿の環
境下(60℃,80%RH)に、透明防湿層が形成され
た■の基板(光情報記録媒体)を置くことにより測定し
た。
〜■の基板につき表1に示す項目のそれぞれの特性を測
定した。なお、表1に示す最大そり量は、高温高湿の環
境下(60℃,80%RH)に、透明防湿層が形成され
た■の基板(光情報記録媒体)を置くことにより測定し
た。
【0024】測定結果を表1に示す。なお、表1におい
て、反射率およびそり量は、ハードコート層と透明防湿
層とのトータルの量を測定している。また、比較のため
に、透明防湿層を形成しない場合(No.17)及び広
く一般に保護膜として用いられているSiN膜を前記A
l2O3膜あるいはMgO膜に代えて透明防湿層とした
場合(No.18)の結果も併記する。なお、反射率の
測定に際してはλ=830nmなる波長の光を用いた。
て、反射率およびそり量は、ハードコート層と透明防湿
層とのトータルの量を測定している。また、比較のため
に、透明防湿層を形成しない場合(No.17)及び広
く一般に保護膜として用いられているSiN膜を前記A
l2O3膜あるいはMgO膜に代えて透明防湿層とした
場合(No.18)の結果も併記する。なお、反射率の
測定に際してはλ=830nmなる波長の光を用いた。
【0025】
【表1】
*PC+ハードコート層の値
*PC基板+ハードコート層の値
**記録部4層膜/PC基板/ハードコート層の値No
.11〜13:Al2O3膜 No.14〜16:MgO膜 No.17:PC基板(透明防湿層なし)No.18:
SiN膜
.11〜13:Al2O3膜 No.14〜16:MgO膜 No.17:PC基板(透明防湿層なし)No.18:
SiN膜
【0026】表1におけるNo.17については、吸収
係数、屈折率、透湿係数はPC基板そのものの値、反射
率はPC基板にハードコート層を形成した時の値、そり
量は記録面側にNo.11〜No.16の場合と同様の
4層膜を成膜し、鏡面側にハードコート層のみを形成し
たものの値である。また、No.18は、Al2O3膜
あるいはMgO膜のかわりにSiN膜を用いたときの値
である。
係数、屈折率、透湿係数はPC基板そのものの値、反射
率はPC基板にハードコート層を形成した時の値、そり
量は記録面側にNo.11〜No.16の場合と同様の
4層膜を成膜し、鏡面側にハードコート層のみを形成し
たものの値である。また、No.18は、Al2O3膜
あるいはMgO膜のかわりにSiN膜を用いたときの値
である。
【0027】表1に示すように、SiN膜の場合(No
.18)に比べAl2O3膜あるいはMgO膜の場合(
No.11からNo.16)はトータルの反射率が著し
く小さくなっていることがわかる。特に本発明の実施例
(No.12,No.15)は、透明防湿層の屈折率n
が基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折率n(
h)との間の値(1.59>n>1.52)であり、P
C基板と透明防湿層、また透明防湿層とハードコート層
の界面での多重反射が殆ど0になり、防湿層があること
によって生じる反射損失を抑え、透明防湿層がない場合
と同等になっている。また、本発明の実施例(No.1
2,No.15)では、透湿係数Qは4×10−4(g
mm/m2day)以下であり、それに伴い最大そり量
は2mrad以下と極めて小さくなっている。
.18)に比べAl2O3膜あるいはMgO膜の場合(
No.11からNo.16)はトータルの反射率が著し
く小さくなっていることがわかる。特に本発明の実施例
(No.12,No.15)は、透明防湿層の屈折率n
が基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折率n(
h)との間の値(1.59>n>1.52)であり、P
C基板と透明防湿層、また透明防湿層とハードコート層
の界面での多重反射が殆ど0になり、防湿層があること
によって生じる反射損失を抑え、透明防湿層がない場合
と同等になっている。また、本発明の実施例(No.1
2,No.15)では、透湿係数Qは4×10−4(g
mm/m2day)以下であり、それに伴い最大そり量
は2mrad以下と極めて小さくなっている。
【0028】次いで、■の基板を用いて作成した光情報
記録媒体につき、信号特性の一つとしてCNR(搬送波
対雑音比)を測定した。その結果を図1に示す。
記録媒体につき、信号特性の一つとしてCNR(搬送波
対雑音比)を測定した。その結果を図1に示す。
【0029】図1に示すように、No.12(n=1.
56)はSiN膜のもの(No.17)に比べて感度で
2.0mW、CNRで2dB程度、またNo.13,N
o.16(ともにn=1.50)に比べても感度が1.
0mW程度向上していることから、防湿層の屈折率nを
基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折率n(h
)との間の値に設定することで、反射損失による信号特
性の劣化を低く抑え、よりブランクに近いものとなって
いることがわかる。
56)はSiN膜のもの(No.17)に比べて感度で
2.0mW、CNRで2dB程度、またNo.13,N
o.16(ともにn=1.50)に比べても感度が1.
0mW程度向上していることから、防湿層の屈折率nを
基板の屈折率n(s)とハードコート層の屈折率n(h
)との間の値に設定することで、反射損失による信号特
性の劣化を低く抑え、よりブランクに近いものとなって
いることがわかる。
【0030】(実施例2)本例では、実施例1における
Al2O3膜あるいはMgO膜に代えSixTayO1
−x−y膜により透明防湿層を形成した。その成膜は以
下のようにして行った。
Al2O3膜あるいはMgO膜に代えSixTayO1
−x−y膜により透明防湿層を形成した。その成膜は以
下のようにして行った。
【0031】SiO2ターゲット上に適宜の数のTaチ
ップを載置し、(Ar+O2)雰囲気下でスパッタリン
グを行い、実施例で述べた■〜■の基板上に透明防湿層
を形成した。なお、スパッタリング時のO2分圧は20
%とし、Taチップの数を変えることにより透明防湿層
の組成(SixTayO1−x−y)を表2のNo.2
1〜No.23に示すように変化させ、屈折率nを変化
させた。膜厚はすべて1500Åとした。
ップを載置し、(Ar+O2)雰囲気下でスパッタリン
グを行い、実施例で述べた■〜■の基板上に透明防湿層
を形成した。なお、スパッタリング時のO2分圧は20
%とし、Taチップの数を変えることにより透明防湿層
の組成(SixTayO1−x−y)を表2のNo.2
1〜No.23に示すように変化させ、屈折率nを変化
させた。膜厚はすべて1500Åとした。
【0032】なお、■の3.5インチPCディスク基板
の記録面側には実施例1と同様に、保護層だ記録層をは
さみ、更にその上に反射層を形成して光情報記録媒体を
作成した。なお、各層の厚さ、成膜方法も実施例1と同
様にした。
の記録面側には実施例1と同様に、保護層だ記録層をは
さみ、更にその上に反射層を形成して光情報記録媒体を
作成した。なお、各層の厚さ、成膜方法も実施例1と同
様にした。
【0033】また、■の基板(反射率測定用基板)及び
■の基板(光情報記録媒体)のについては、透明防湿層
形成後、実施例1と同様のハードコート層を形成した。
■の基板(光情報記録媒体)のについては、透明防湿層
形成後、実施例1と同様のハードコート層を形成した。
【0034】以上のようにして透明防湿層を形成した■
〜■の基板につき実施例1と同様に、表2に示す項目の
それぞれの特性を測定した。なお、表2に示す最大そり
量は、高温高湿の環境下(80℃,80%RH)に、透
明防湿層が形成された■の基板(光情報記録媒体)を置
くことにより測定した。
〜■の基板につき実施例1と同様に、表2に示す項目の
それぞれの特性を測定した。なお、表2に示す最大そり
量は、高温高湿の環境下(80℃,80%RH)に、透
明防湿層が形成された■の基板(光情報記録媒体)を置
くことにより測定した。
【0035】測定結果も表2に示す。なお、表2におい
て、反射率およびそり量は、ハードコート層と透明防湿
層とのトータルの量を測定している。また、反射率の測
定に際してはλ=830nmなる波長の光を用いた。
て、反射率およびそり量は、ハードコート層と透明防湿
層とのトータルの量を測定している。また、反射率の測
定に際してはλ=830nmなる波長の光を用いた。
【0036】
【表2】
*PC+ハードコート層の値
**記録部4層膜/PC基板/ハードコート層の値No
.21〜23:SiTaO膜 No.17:PC基板(透明防湿層なし)No.18:
SiN膜
.21〜23:SiTaO膜 No.17:PC基板(透明防湿層なし)No.18:
SiN膜
【0037】なお、表2におけるNo.17、No.1
8は、表1におけるNo.17、No.18を再掲した
ものである。表2に示すように、SiN膜の場合(No
.18)に比べSiTaO膜の場合(No.21〜No
.23)はトータルの反射率が著しく小さくなっている
ことがわかる。特に本発明の実施例(No.22)は透
明防湿層の屈折率が基板とハードコート層の間の値(1
.59>n>1.52)であり、PC基板と透明防湿層
、また透明防湿層とハードコート層の界面での多重反射
が殆ど0になり、透明防湿層があることによって生じる
反射損失を抑え、透明防湿層がない場合と同等になって
いる。
8は、表1におけるNo.17、No.18を再掲した
ものである。表2に示すように、SiN膜の場合(No
.18)に比べSiTaO膜の場合(No.21〜No
.23)はトータルの反射率が著しく小さくなっている
ことがわかる。特に本発明の実施例(No.22)は透
明防湿層の屈折率が基板とハードコート層の間の値(1
.59>n>1.52)であり、PC基板と透明防湿層
、また透明防湿層とハードコート層の界面での多重反射
が殆ど0になり、透明防湿層があることによって生じる
反射損失を抑え、透明防湿層がない場合と同等になって
いる。
【0038】また、本発明の実施例(No.22)では
、透湿係数が、5×10−4(gmm/m2day)以
下であり、それにともない最大そり量が3mrad以下
と極めて小さくなっている。
、透湿係数が、5×10−4(gmm/m2day)以
下であり、それにともない最大そり量が3mrad以下
と極めて小さくなっている。
【0039】(実施例3)本例では、前記■のPC基板
を用い、その鏡面側に下地処理(O2プラズマ処理:O
2ガス圧2,0Pa,300W,1min)を施した。 次いで、基板鏡面側に表2のNo.21〜23の膜組成
になるようにスッパタリング成膜を行なった(それらを
No.31、32、33とする)。膜厚は実施例1と同
様、総て1500Åとした。
を用い、その鏡面側に下地処理(O2プラズマ処理:O
2ガス圧2,0Pa,300W,1min)を施した。 次いで、基板鏡面側に表2のNo.21〜23の膜組成
になるようにスッパタリング成膜を行なった(それらを
No.31、32、33とする)。膜厚は実施例1と同
様、総て1500Åとした。
【0040】このようにして作成したNo.31〜No
.33(下地処理のあるもの)のサンプルと、実施例2
で作成したNo.21〜No.23(下地処理のないも
の)のサンプルの合計6種類のサンプルについて、密着
力を評価するためにテープ剥離テストを「塗料−K54
00、試験方法その6:塗料及び塗膜の長期性能に関す
る試験」に従い行った。
.33(下地処理のあるもの)のサンプルと、実施例2
で作成したNo.21〜No.23(下地処理のないも
の)のサンプルの合計6種類のサンプルについて、密着
力を評価するためにテープ剥離テストを「塗料−K54
00、試験方法その6:塗料及び塗膜の長期性能に関す
る試験」に従い行った。
【0041】初期及び耐久性試験(80℃,90%RH
,200hr)後の結果を表3に示す。なお、表3にお
いて、(0/100)とは、膜にナイフで切れ目を入れ
た升目100個のうち、テープ剥離テストで膜が完全に
残った升目の数が0であるという意味である。また比較
のため、耐久性に優れる薄膜の例として下地処理を施し
ていないAl2O3,MgO膜についての測定データも
あわせてのせる。なお、膜そのものの密着力を評価する
ために、サンプルにはすべてハードコートを施していな
い。
,200hr)後の結果を表3に示す。なお、表3にお
いて、(0/100)とは、膜にナイフで切れ目を入れ
た升目100個のうち、テープ剥離テストで膜が完全に
残った升目の数が0であるという意味である。また比較
のため、耐久性に優れる薄膜の例として下地処理を施し
ていないAl2O3,MgO膜についての測定データも
あわせてのせる。なお、膜そのものの密着力を評価する
ために、サンプルにはすべてハードコートを施していな
い。
【0042】
【表3】
下地処理を施したことで、特に耐久性試験後の密着力が
大幅に向上し、SiTaO膜であっても、耐久性に優れ
るAl2O3、MgO膜と同等の密着性を示すことがわ
かる。
大幅に向上し、SiTaO膜であっても、耐久性に優れ
るAl2O3、MgO膜と同等の密着性を示すことがわ
かる。
【0043】(実施例4)SiTaO膜を防湿層とする
光情報記録媒体を作製した。3.5インチPCを基板と
し、記録面側には、SiN/TbFeCo/SiN/A
lを各々800Å/300Å/300Å/500Åの厚
さにスパッタリング成膜した。鏡面側は下地処理(O2
プラズマ処理:O2ガス圧2,0Pa,300W,1m
in)をした後、SiTaOを、表2のNo.21〜N
o.23の条件でスパッタリング成膜し、更にスピンコ
ート法により5μmのハードコート(前述EX−704
)を施した(これらをそれぞれNo.41,42,43
とする)。また、鏡面側を下地処理した後、SiTaO
膜のかわりにSiN膜を用いて同様の光情報記録媒体を
作成し(このサンプルをNo.48とする)、CNRを
測定した。その結果を図2に示す。なお、図2には、N
o.17(下地処理・防湿層のない鏡面側ハードコート
層のみの同様の光情報記録媒体)のデータも再掲してあ
る。
光情報記録媒体を作製した。3.5インチPCを基板と
し、記録面側には、SiN/TbFeCo/SiN/A
lを各々800Å/300Å/300Å/500Åの厚
さにスパッタリング成膜した。鏡面側は下地処理(O2
プラズマ処理:O2ガス圧2,0Pa,300W,1m
in)をした後、SiTaOを、表2のNo.21〜N
o.23の条件でスパッタリング成膜し、更にスピンコ
ート法により5μmのハードコート(前述EX−704
)を施した(これらをそれぞれNo.41,42,43
とする)。また、鏡面側を下地処理した後、SiTaO
膜のかわりにSiN膜を用いて同様の光情報記録媒体を
作成し(このサンプルをNo.48とする)、CNRを
測定した。その結果を図2に示す。なお、図2には、N
o.17(下地処理・防湿層のない鏡面側ハードコート
層のみの同様の光情報記録媒体)のデータも再掲してあ
る。
【0044】図2に示すように、本発明の実施例である
No.42(n=1.53)はSiN膜のものに比べて
感度で2.0mW、CNRで2dB程度、また、No.
41(n=1.4),No.43(n=1.66)に比
べても感度が1.0mW程度向上していることから、防
湿層の屈折率を基板とハードコート層の間の値に設定す
ることで、反射損失による信号特性の劣化を低く抑え、
よりブランクに近いものとなっていることがわかる。
No.42(n=1.53)はSiN膜のものに比べて
感度で2.0mW、CNRで2dB程度、また、No.
41(n=1.4),No.43(n=1.66)に比
べても感度が1.0mW程度向上していることから、防
湿層の屈折率を基板とハードコート層の間の値に設定す
ることで、反射損失による信号特性の劣化を低く抑え、
よりブランクに近いものとなっていることがわかる。
【0045】
【発明の効果】本発明によれば、基板鏡面側に透明防湿
層及びハードコート層を形成することによって基板の吸
湿による変形を防ぎ、耐擦傷性も付与することができる
。また基板に下地処理を施すことによって防湿層の密着
性が向上し、高温高湿下における耐久性が向上する。 さらに防湿層の屈折率を基板とハードコート層の間の値
に制御することによって鏡面側から入射する光の反射損
失を低く抑え、その結果信号特性の向上がみられる。
層及びハードコート層を形成することによって基板の吸
湿による変形を防ぎ、耐擦傷性も付与することができる
。また基板に下地処理を施すことによって防湿層の密着
性が向上し、高温高湿下における耐久性が向上する。 さらに防湿層の屈折率を基板とハードコート層の間の値
に制御することによって鏡面側から入射する光の反射損
失を低く抑え、その結果信号特性の向上がみられる。
【図1】 実施例1における光情報記録媒体のCNR
特性を示すグラフ。
特性を示すグラフ。
【図2】 実施例4における光情報記録媒体のCNR
特性を示すグラフ。
特性を示すグラフ。
Claims (2)
- 【請求項1】 透明樹脂基板の片側の面(以下この面
を「記録面」という)に記録層が形成され、該透明樹脂
基板の該記録面と反対側の面(以下この反対側の面を「
鏡面」という)に防湿層が形成されている光情報記録媒
体において、該防湿層上にハードコート層を形成し、該
透明樹脂基板、該防湿層、該ハードコート層の屈折率を
それぞれ、n(s),n,n(h)としたとき、nの値
を、n(s)とn(h)との間の値としたことを特徴と
する光情報記録媒体。 - 【請求項2】 前記鏡面は、下地処理がなされた面で
あることを特徴とする請求項1記載の光情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3071499A JPH04307438A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 光情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3071499A JPH04307438A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 光情報記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307438A true JPH04307438A (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=13462427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3071499A Pending JPH04307438A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 光情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04307438A (ja) |
-
1991
- 1991-04-04 JP JP3071499A patent/JPH04307438A/ja active Pending
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