JPH0432043A - 光情報記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、光情報記録媒体に係り、より詳細には、反り
の発生がなく、経時的にも安定した信号特性（例えばＣ
／Ｎ特性）を有する光情報記録媒体に関する。

［従来の技術〕 基板の一方の面に記録膜が形成されているいわゆる単板
構成の光情報記録媒体の記録膜は非常に酸化され易いた
め、−成約に、記録膜を誕電体ではさんだサンドイッチ
構造がとられている。

かかるサンドイッチ構造によって記録膜の酸化は防ぐこ
とができるが、基板鏡面側（記録膜が形成された面と反
対側の面）からの吸湿による基板の反りはおさえること
ができず、そのため信号特性の劣化が起きていた。

そこで、鏡面側にも保ｉｉ！膜を用いる方法が試みられ
、鏡面側の保護膜として、従来Ｓ　ｉ　Ｏ２からなる膜
が試みられている。

しかし、Ｓ　ｉ　Ｏ２からなる膜は、その膜の防湿性、
密着性が不十分であり、また、信号特性の安定性もいま
だ不充分であった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、防湿性に優れ、反りが少なく、かつ、経時的
信号特性の安定した光情報記録媒体を提供することを目
的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の光情報記録媒体は、樹脂基板の鏡面側に、下記
の組成を有する保護膜が積層されていることを特徴とす
る特 （Ｓｉ＋−ｘＺｒＪ　ｒ　−ｙＯｙ ｏ、３６≦ｘ≦０．４６ ０．６２≦ｙ≦０．６４ ここで、基板としては、例えば、ポリカーボネート基板
等、光情報記録媒体の透明基板として使用され得る合成
樹脂基板であれば特に限定されない。

また、基板の他面には記録層が積層されているが、記録
層は誘電体ではさんだサンドインチ構造の層構造て積層
されているのが好ましい。。反射層、紫外線硬化層等を
適宜設けてもよい。

なお、記録膜としては、光情報記録媒体の記録作用を有
するものであわば特に限定されず、光磁気型、相変化型
、追記型のいずれでもよい。例えば、光磁気型の場合は
、Ｔｂ−Ｆｅ、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ　　Ｔｂ−Ｃｏ、Ｇａ
−Ｔｂ−Ｃｏ等からなる膜としてもよい。

本発明では、記録膜が形成された面と反対側の面に、（
Ｓｉ　１−ｘｚｒｘ）　ｌ　−ｙｏｙｏ、３６≦ｘ≦０
．４６ ０．６２≦ｙ≦０．６４ なる組成範囲の膜を形成する。形成方法としては、例え
ば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法等の適宜の成
膜方法を用いればよい。

［作用コ 以下に本発明の作用を本発明をなすに際して得た知見と
ともに説明する。

本発明者は、基板の鏡面側に形成する膜として、密着性
、防湿性に優れ、光情報記録媒体として反りが少なく、
かつ、安定した信号特性が得られるものを鋭意探究した
。その過程において、５ｉ−Ｚｒ−０系の膜がかかる目
的を達成し得る可能性を有していることを知見した。し
かし、単に５ｉ−Ｚｒ−０系の膜を用いたのみでは、必
ずしも上記目的は達成されるわけではないこともわかり
、さらに実験を重ねた結果、ある特定の組成範囲におい
て、反りが少なく、信号特性にも優れた光情報記録媒体
が得られ、かつ、その特定の範囲においてのみ反りが少
なく、かつ、信号特性に優れた光情報記録媒体が得られ
ることを見い出した。その特定の範囲は、 （Ｓｌ　＋　−ｄｒｘ）　＋　−ｙｏｙｏ、３６≦ｘ≦
０．４６ ０．６２≦ｙ≦０．６４ である。

Ｘが０．４６を超えると（あるいはｙが０．６２未満で
あると）、ポリカーボネートと詰腹との屈折率の差が大
きくなる。逆に、Ｘが０．３６未満であると（あるいは
ｙが０．６４を超えると）、防湿性、密着性が劣り、反
りの増加を招き、ひいては信号特性の経時的劣化を生ず
る。

従って、本発明においては、０．３６≦ｘ≦０．４６．
０．６２≦ｙ≦０．６４であって、好ましくは０．４０
≦ｘ≦０．４４である。

［実施例］ （実施例１〜３、比較例１．２） 本例では、基板としてポリカーボネート（以下ｐｃとい
う）基板を用いた。

このｐｃ基板の記録面側に、順次Ｓ　ｉ　−Ｎ。

ＴｂＦｅＣｏ、５ｉ−Ｎを各々９００λ／８００人／９
００人成膜し、サンドイッチ構造の層構造を形成した。

次いで、Ｓｉターゲット上にＺｒチップを必要量乗せ、
（Ａｒ＋０２）ガス雰囲気下で反応スパッタを行い、Ｐ
Ｃ基板の鏡面側およびＳｔウェハー（屈折率測定用）上
に表１に示す組成の５ｉ−Ｚｒ−０膜を９００人の膜厚
に形成した。

なお、０２分圧は２０％とした。

また、比較のため５ｉＺｒＯ［のない光情報記録媒体（
比較例２）も作製した。

以上のようにして作成した試料及びＰＣ基板（比較例１
）につき以下の各種の試験を行った。

（透湿度および屈折率） 透湿度は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気中に試料を放置
し、１日の単位面積当りの水分増加量を求めることによ
り評価した。

屈折率はエリプソ・メータにより測定した。

測定結果を表１に示す。

表１ 表１に示すように、本実施例では、ＰＣ基板と同程度の
屈折率が得られ、かつ透湿度も低く、大きな防湿効果を
有していることがわかる。特に、（ｘ−０，４２，ｙ＝
０．６３）の場合は屈折率はＰＣ基板とほとんど同じで
あり、また、透湿度も２．１５と極めて低い。

それに対して、比較例１は、透湿度が極めて高く、また
、比較例２は、組成が本発明範囲外であり、透湿度も実
施例より高く、しかもＰＣ基板との屈折率の差も大きい
。

（密着性試験） 試料を、８０℃−９０ＲＨ％の高温高湿下に放置する耐
久性試験（２０００ｈｒ）を行った後、５ｉＺｒＯ膜の
密着力を調べるためテープ剥離テストを行った。

基板鏡面側に成膜した５ｉ−Ｚｒ−０膜は、耐久性試験
後も剥離しにくく、その密着力はＺｒ濃度が増えるにつ
れ上がる傾向にあった。

（反り量） 密着性試験で行った耐久性試験において、反り量の経時
的測定を行った。光情報記録媒体の反り量の経時変化を
第１図に示す。

第１図及び表１の結果から、実施例においては、基板の
吸湿が少なく、光情報記録媒体の反り量が大きく抑えら
れることがわかる。

なお、３４１図から、Ｚｒ濃度が増加するにつれ光情報
記録媒体の反りが改善される傾向がみられることがわか
る。

（信号特性） 次に、前記試料につきＣ／Ｎ特性を測った。

本実施例１〜３は、比較例１．２に比べ、Ｃ／Ｎ特性は
優れていた。

［発明の効果コ 本発明によれば、反りが少なく、かつ、信号特性の安定
した光情報記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＺｒ濃度と、反りとの経時的関係を示すグラフ
である。 ディスクそりｉｉ（μｍ） 知

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）樹脂基板の鏡面側に、下記の組成を有する保護膜
   が積層され、他面に記録層が積層されていることを特徴
   とする光情報記録媒体。 （Ｓｉ＿１＿−＿ｘＺｒ＿ｘ）＿１＿−＿ｙＯ＿ｙ０．
   ３６≦ｘ≦０．４６ ０．６２≦ｙ≦０．６４