JPH0432005U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る干渉計の概念図、第２図
ａおよびｂは同第１実施例を示し、第２図ａは概
略構成図、第２図ｂは第２図ａの矢視図、第３図
ａおよびｂは同第２実施例を示し、第３図ａは概
略構成図、第３図ｂは第３図ａの矢視図、第４図
ａおよびｂは同第３実施例を示し、第４図ａは概
略構成図、第４図ｂは第４図ａの矢視図、第５図
〜第７図は従来例を示す概略構成図である。 １……干渉計、２……干渉計本体、３，２３，
３７，４７……アダプター、４……光学定盤、５
……筺体、６……レーザ光源、７……レーザ光、
８……ビームエキスパンダー、９……ビームスプ
リツター、１１……観察部、１２，１３……位置
決め部、１４……角度調整機構、１５……基台、
１６……角度基準、１７……光学素子、１８……
被検光学素子、１９，３２……保持部、２０……
参照面、２１……参照レンズ、２２……位置決め
リング、２４……位置決めボス、２５，２６……
角度調整ネジ、２７……バネ、２８，３９……角
度基準面、２９……平面ガラス、３０……光軸方
向移動ステージ、３１……被検ミラー、３３……
フイゾー干渉計、３４……嵌合部、３５……トワ
イマン・グリーン干渉計、３６……位置決めピン
、３８……フランジ、４０……プリズムビームス
プリツター、４１……支持部、４２……参照曲面
、４３……対物レンズ、４４……Ｖブロツク、４
５……リング、４６……ミラービームスプリツタ
ー、４８……ミラー、４９……参照面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レーザ光源と、レーザ光路上に配設したビーム
   エキスパンダーおよびビームスプリツターと、反
   射光の干渉縞を観察する観察部とを内設した筺体
   のレーザ出射部に位置決め部を設けた干渉計本体
   と、光軸と直交する角度基準を備えた光学素子と
   被検光学素子の保持部とを保持するとともに、前
   記位置決め部と対をなす位置決め部および角度調
   整機構を備えたアダプターとを、前記各位置決め
   部を介し接続して成る干渉計。