JPH04328233A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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- JPH04328233A JPH04328233A JP3122931A JP12293191A JPH04328233A JP H04328233 A JPH04328233 A JP H04328233A JP 3122931 A JP3122931 A JP 3122931A JP 12293191 A JP12293191 A JP 12293191A JP H04328233 A JPH04328233 A JP H04328233A
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- sample
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- electron microscope
- sample holder
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡に係り、特に
、複数の試料の切り換え操作および試料微動操作をモー
タ駆動によって行えるようにすることにより、遠隔操作
で多数の試料を観察できるようにした電子顕微鏡に関す
るものである。
、複数の試料の切り換え操作および試料微動操作をモー
タ駆動によって行えるようにすることにより、遠隔操作
で多数の試料を観察できるようにした電子顕微鏡に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡像の観察方法には、試料を透
過した電子線を観察用蛍光板に投射して観察する方法と
、電子線を電気信号に変換し、ＣＲＴに表示して間接的
に観察する方法の２通りがある。
過した電子線を観察用蛍光板に投射して観察する方法と
、電子線を電気信号に変換し、ＣＲＴに表示して間接的
に観察する方法の２通りがある。
【０００３】観察用蛍光板を用いた観察方法では、周囲
を暗くしなければならず、また観察者が少人数に限られ
てしまうことから、最近ではＣＲＴを用いた観察方法が
普及している。
を暗くしなければならず、また観察者が少人数に限られ
てしまうことから、最近ではＣＲＴを用いた観察方法が
普及している。
【０００４】また、高い加速電圧が印加されるために多
量の漏洩Ｘ線が発生する超高圧電子顕微鏡や、放射性試
料の観察にあたっては、漏洩Ｘ線などによる人体への悪
影響を避けるために、電子顕微鏡本体から離れた場所で
観察を行うことが望ましい。
量の漏洩Ｘ線が発生する超高圧電子顕微鏡や、放射性試
料の観察にあたっては、漏洩Ｘ線などによる人体への悪
影響を避けるために、電子顕微鏡本体から離れた場所で
観察を行うことが望ましい。
【０００５】そこで、近年では、加速電圧、倍率等とい
った観察条件の変更や試料微動などを遠隔操作によって
行うことの可能な電子顕微鏡が開発されている。
った観察条件の変更や試料微動などを遠隔操作によって
行うことの可能な電子顕微鏡が開発されている。
【０００６】一方、電子顕微鏡像の観察においては試料
交換に大きな手間がかかるため、この手間を省くために
多数の試料を搭載可能な試料移送装置が、例えば実公昭
５１−２６６１１号公報、特開昭５２−１１９９４８号
公報、あるいは特開昭６１−２００６５７号公報等にお
いて提案されている。
交換に大きな手間がかかるため、この手間を省くために
多数の試料を搭載可能な試料移送装置が、例えば実公昭
５１−２６６１１号公報、特開昭５２−１１９９４８号
公報、あるいは特開昭６１−２００６５７号公報等にお
いて提案されている。
【０００７】ところが、これらの試料移送装置では、せ
いぜい５個程度の試料しか搭載できなかったり、安定し
た観察が困難であるといった問題があった。
いぜい５個程度の試料しか搭載できなかったり、安定し
た観察が困難であるといった問題があった。
【０００８】そこで、本発明の発明者等は、上記した試
料移送装置の問題点を解決するために、特願平３−６２
０９（平成３年１月２３日出願）に記載したように、少
なくとも８個以上の試料が載置可能であり、かついずれ
の試料も安定して観察することの可能な試料切り換え装
置を提案している。
料移送装置の問題点を解決するために、特願平３−６２
０９（平成３年１月２３日出願）に記載したように、少
なくとも８個以上の試料が載置可能であり、かついずれ
の試料も安定して観察することの可能な試料切り換え装
置を提案している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の試料移
送／切換装置では、いずれも試料の切換操作はオペレー
タによる手動操作が前提となっていたため、複数の試料
を順次観察するような場合には、オペレータは電子顕微
鏡の側で観察しなければならなかった。
送／切換装置では、いずれも試料の切換操作はオペレー
タによる手動操作が前提となっていたため、複数の試料
を順次観察するような場合には、オペレータは電子顕微
鏡の側で観察しなければならなかった。
【００１０】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を解決して、複数の試料の切り換え操作および試料微
動のための操作をモータ駆動によって行うことにより、
遠隔操作によって多数の試料を観察できるようにした電
子顕微鏡を提供することにある。
点を解決して、複数の試料の切り換え操作および試料微
動のための操作をモータ駆動によって行うことにより、
遠隔操作によって多数の試料を観察できるようにした電
子顕微鏡を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、複数の試料ホルダを試料移送路に
沿って移送させる試料移送手段と、試料の観察位置を微
動させる試料微動手段と、前記試料移送手段および試料
微動手段を遠隔地から電気的に駆動制御する制御手段と
、遠隔地に設置された表示手段とを具備した点に特徴が
ある。
ために、本発明では、複数の試料ホルダを試料移送路に
沿って移送させる試料移送手段と、試料の観察位置を微
動させる試料微動手段と、前記試料移送手段および試料
微動手段を遠隔地から電気的に駆動制御する制御手段と
、遠隔地に設置された表示手段とを具備した点に特徴が
ある。
【００１２】
【作用】上記した構成によれば、試料の切換は試料移送
手段を遠隔操作することによって行われ、観察位置の微
動は試料微動手段を遠隔操作することによって行われる
ので、電子顕微鏡から離れた位置で複数の試料を効率良
く観察できるようになる。
手段を遠隔操作することによって行われ、観察位置の微
動は試料微動手段を遠隔操作することによって行われる
ので、電子顕微鏡から離れた位置で複数の試料を効率良
く観察できるようになる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明を適用した透過型電子顕微鏡の
ブロック図である。同図において、電子銃１から放射さ
れた電子線２は照射レンズ系３により収束されて観察位
置にある試料４に照射される。試料４を透過した電子線
２は対物レンズ５で拡大・焦点合わせされ、さらに結像
レンズ系６で拡大された後に電子線検出部１９のテレビ
用蛍光板１１に投射される。
ブロック図である。同図において、電子銃１から放射さ
れた電子線２は照射レンズ系３により収束されて観察位
置にある試料４に照射される。試料４を透過した電子線
２は対物レンズ５で拡大・焦点合わせされ、さらに結像
レンズ系６で拡大された後に電子線検出部１９のテレビ
用蛍光板１１に投射される。
【００１４】テレビ用蛍光板１１に写し出された電顕像
はＴＶカメラ７に取り込まれる。ＴＶカメラ７は、可視
光線を検出するＣＣＤ素子等によって構成されている。 ＴＶカメラ７から出力された映像信号は、コントローラ
８を介して電子顕微鏡から離れた場所に設置された画像
表示部９上に電顕像として表示される。
はＴＶカメラ７に取り込まれる。ＴＶカメラ７は、可視
光線を検出するＣＣＤ素子等によって構成されている。 ＴＶカメラ７から出力された映像信号は、コントローラ
８を介して電子顕微鏡から離れた場所に設置された画像
表示部９上に電顕像として表示される。
【００１５】また、電顕像を記録する場合にはテレビ用
蛍光板１１上にフィルム（図示せず）を載置し、電子線
２によってフィルムを感光する。電子線検出部１９の側
壁には、試料の識別情報を表示する蛍光表示管２１が設
けられており、蛍光表示管２１に表示された識別情報は
レンズ系（図示せず）を介してフィルム上に投射される
。この結果、フィルムには電顕像と共にその識別情報が
記録される。
蛍光板１１上にフィルム（図示せず）を載置し、電子線
２によってフィルムを感光する。電子線検出部１９の側
壁には、試料の識別情報を表示する蛍光表示管２１が設
けられており、蛍光表示管２１に表示された識別情報は
レンズ系（図示せず）を介してフィルム上に投射される
。この結果、フィルムには電顕像と共にその識別情報が
記録される。
【００１６】試料微動／切換部１０は、主に試料支持体
２９およびモータ１４によって構成されている。試料支
持体２９の先端部には、後述する楕円状でドーナツ型の
試料移送路が設けられており、試料移送路内には複数の
試料４が装填される。モータ１４は複数の試料４を前記
試料移送路内で環状に移送させて電子線光軸上に順次切
り換え配置するための駆動源となる。
２９およびモータ１４によって構成されている。試料支
持体２９の先端部には、後述する楕円状でドーナツ型の
試料移送路が設けられており、試料移送路内には複数の
試料４が装填される。モータ１４は複数の試料４を前記
試料移送路内で環状に移送させて電子線光軸上に順次切
り換え配置するための駆動源となる。
【００１７】試料支持体２９の先端部は、モータ１２Ｘ
（１２Ｙ）によって駆動されるリニアアクチュエータ１
３Ｘ（１３Ｙ）によってＸ軸およびＹ軸方向に往復動さ
れる。なお、試料微動／切換部１０の構造に関しては、
後に図２を参照して詳細に説明する。
（１２Ｙ）によって駆動されるリニアアクチュエータ１
３Ｘ（１３Ｙ）によってＸ軸およびＹ軸方向に往復動さ
れる。なお、試料微動／切換部１０の構造に関しては、
後に図２を参照して詳細に説明する。
【００１８】モータ１２Ｘ（１２Ｙ）には、その回転軸
を共用するロータリエンコーダ１５Ｘ（１５Ｙ）がそれ
ぞれ接続され、ロータリエンコーダ１５Ｘ（１５Ｙ）か
ら出力されたパルス信号はマイクロプロセッサ（以下、
ＭＰＵと略する）１６に入力される。ＭＰＵ１６は電子
顕微鏡の各種の制御系として機能し、モータ駆動回路１
７を制御してモータ１２Ｘ（１２Ｙ）、１４の制御を行
うほか、対物レンズ５を制御して観察時の焦点合わせを
行う。
を共用するロータリエンコーダ１５Ｘ（１５Ｙ）がそれ
ぞれ接続され、ロータリエンコーダ１５Ｘ（１５Ｙ）か
ら出力されたパルス信号はマイクロプロセッサ（以下、
ＭＰＵと略する）１６に入力される。ＭＰＵ１６は電子
顕微鏡の各種の制御系として機能し、モータ駆動回路１
７を制御してモータ１２Ｘ（１２Ｙ）、１４の制御を行
うほか、対物レンズ５を制御して観察時の焦点合わせを
行う。
【００１９】このＭＰＵ１６は電子顕微鏡から離れた場
所に設置された遠隔操作用の外部ＣＰＵ１８に接続され
、外部ＣＰＵ１８には遠隔操作部２０が接続されている
。遠隔操作部２０は、主にテンキー２０ａ、エンコーダ
２０ｂ、２０ｃによって構成されている。
所に設置された遠隔操作用の外部ＣＰＵ１８に接続され
、外部ＣＰＵ１８には遠隔操作部２０が接続されている
。遠隔操作部２０は、主にテンキー２０ａ、エンコーダ
２０ｂ、２０ｃによって構成されている。
【００２０】テンキー２０ａからは、所望の試料（試料
ホルダ）を指定するための番号がオペレータによって入
力され、該番号に応答したキー信号がＭＰＵ１６に出力
される。エンコーダ２０ｂからは、観察位置を微動させ
るためのパルス信号がオペレータの操作に応じて出力さ
れる。エンコーダ２０ｃからは、観察時の焦点合わせの
ためのパルス信号がオペレータの操作に応じて出力され
る。
ホルダ）を指定するための番号がオペレータによって入
力され、該番号に応答したキー信号がＭＰＵ１６に出力
される。エンコーダ２０ｂからは、観察位置を微動させ
るためのパルス信号がオペレータの操作に応じて出力さ
れる。エンコーダ２０ｃからは、観察時の焦点合わせの
ためのパルス信号がオペレータの操作に応じて出力され
る。
【００２１】観察条件表示部２２には、拡大倍率、加速
電圧などの各種の観察条件が表示される。ＭＰＵ１６か
ら対物レンズ５へ出力された励磁電流データはＤ／Ａコ
ンバータ２３および増幅器２４によって励磁電流に変換
されて対物レンズ５に入力される。
電圧などの各種の観察条件が表示される。ＭＰＵ１６か
ら対物レンズ５へ出力された励磁電流データはＤ／Ａコ
ンバータ２３および増幅器２４によって励磁電流に変換
されて対物レンズ５に入力される。
【００２２】図２は試料微動／切換部１０での電子顕微
鏡の横断面図である。
鏡の横断面図である。
【００２３】同図において、電子顕微鏡の側壁２５Ａで
囲まれた試料室２５内は真空に保たれている。側壁２５
Ａには受金具２６が耐真空的に取り付けられ、受金具２
６には、球状体部２７を中心として首振運動する首振運
動軸２８が耐真空的に挿入されている。中空軸状の試料
支持体２９は、首振運動軸２８を通して試料室２５の外
部から内部へ耐真空的に貫通している。試料支持体２９
内には、試料室２５の内部まで貫通するモータ１４の回
転軸４３が挿入されている。
囲まれた試料室２５内は真空に保たれている。側壁２５
Ａには受金具２６が耐真空的に取り付けられ、受金具２
６には、球状体部２７を中心として首振運動する首振運
動軸２８が耐真空的に挿入されている。中空軸状の試料
支持体２９は、首振運動軸２８を通して試料室２５の外
部から内部へ耐真空的に貫通している。試料支持体２９
内には、試料室２５の内部まで貫通するモータ１４の回
転軸４３が挿入されている。
【００２４】試料支持体２９は、モータ１２Ｙの回転運
動を直進運動に変換するリニアアクチュエータ１３と戻
しばね３０によって支持された押しピン３１とによって
挟持され、リニアアクチュエータ１３を作動させると、
試料支持体２９の先端部２９ａは球状体部２７を回転軸
として首振運動をする。また、支持体受け４４は、図１
に関して説明したモータ１２Ｘによって図中矢印Ａ方向
に往復運動する。
動を直進運動に変換するリニアアクチュエータ１３と戻
しばね３０によって支持された押しピン３１とによって
挟持され、リニアアクチュエータ１３を作動させると、
試料支持体２９の先端部２９ａは球状体部２７を回転軸
として首振運動をする。また、支持体受け４４は、図１
に関して説明したモータ１２Ｘによって図中矢印Ａ方向
に往復運動する。
【００２５】試料支持体２９の先端部２９ａには、図３
に示したように試料移送路３５内で８つの試料ホルダ３
４ａ〜３４ｈを送り車３９によって移送させる試料切換
機構が構成されている。
に示したように試料移送路３５内で８つの試料ホルダ３
４ａ〜３４ｈを送り車３９によって移送させる試料切換
機構が構成されている。
【００２６】図４は試料切換機構の構成を示した分解図
であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表し
ている。
であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表し
ている。
【００２７】同図において、試料切換機構は、２つの開
口部を有するメガネ状の４つの上側連結駒３５ａ〜３５
ｄおよび下側連結駒３７ａ〜３７ｄ、送り車３９、角穴
車４１、ならびに伝え車４２によって構成されている。
口部を有するメガネ状の４つの上側連結駒３５ａ〜３５
ｄおよび下側連結駒３７ａ〜３７ｄ、送り車３９、角穴
車４１、ならびに伝え車４２によって構成されている。
【００２８】４つの上側連結駒３５ａ〜３５ｄは環状に
配置され、隣接する２つの上側連結駒の各開口部９０周
囲の凸状部３６を、１つの下側連結駒の開口部３８に嵌
合することによって上側連結駒３５ａ〜３５ｄおよび下
側連結駒３７ａ〜３７ｄはチェーン状に連結されてチェ
ーン状連結体を構成している。上側連結駒３５ａ〜３５
ｄと下側連結駒３７ａ〜３７ｄとが連結される開口部３
８、９０の摺動面には二硫化モリブデン等の潤滑剤がコ
ーティングあるいは塗布されている。
配置され、隣接する２つの上側連結駒の各開口部９０周
囲の凸状部３６を、１つの下側連結駒の開口部３８に嵌
合することによって上側連結駒３５ａ〜３５ｄおよび下
側連結駒３７ａ〜３７ｄはチェーン状に連結されてチェ
ーン状連結体を構成している。上側連結駒３５ａ〜３５
ｄと下側連結駒３７ａ〜３７ｄとが連結される開口部３
８、９０の摺動面には二硫化モリブデン等の潤滑剤がコ
ーティングあるいは塗布されている。
【００２９】試料ホルダ３４は、その凸状部３４ａを上
側連結駒の開口部９０に嵌合することによって支持され
る。このとき、試料ホルダ３４は各上側連結駒３５ａ〜
３５ｄに対して予定の方向性を持って支持される。
側連結駒の開口部９０に嵌合することによって支持され
る。このとき、試料ホルダ３４は各上側連結駒３５ａ〜
３５ｄに対して予定の方向性を持って支持される。
【００３０】送り車３９は各上側連結駒３５ａ〜３５ｄ
の切欠部８０および各下側連結駒３７ａ〜３７ｄの切欠
部８１と係合する１／４円周形状爪を４か所に備えた噛
合部３９ａ、後述する角穴車４１に係合される角型状部
３９ｂ、および各連結駒の浮きを押さえる押さえ部３９
ｃを備えている。
の切欠部８０および各下側連結駒３７ａ〜３７ｄの切欠
部８１と係合する１／４円周形状爪を４か所に備えた噛
合部３９ａ、後述する角穴車４１に係合される角型状部
３９ｂ、および各連結駒の浮きを押さえる押さえ部３９
ｃを備えている。
【００３１】角穴車４１は、歯部４１ａおよび前記送り
車３９の角型状部３９ｂと嵌合する角穴４１ｂを備えて
いる。伝え車４２は、歯部４２ａおよび回転軸４３と係
合する嵌合部４２ｂ備えており、角穴車４１の歯部４１
ａと伝え車４２の歯部４２ａとは噛み合っている。
車３９の角型状部３９ｂと嵌合する角穴４１ｂを備えて
いる。伝え車４２は、歯部４２ａおよび回転軸４３と係
合する嵌合部４２ｂ備えており、角穴車４１の歯部４１
ａと伝え車４２の歯部４２ａとは噛み合っている。
【００３２】ここで、前記モータ１４を制御して伝え車
４２を回転させ、角穴車４１を介して送り車３９を回転
させると、送り車３９の爪が上側連結駒および下側連結
駒の切欠部８０、８１に係合するのでチェーン状連結体
が移送路内を回転する。
４２を回転させ、角穴車４１を介して送り車３９を回転
させると、送り車３９の爪が上側連結駒および下側連結
駒の切欠部８０、８１に係合するのでチェーン状連結体
が移送路内を回転する。
【００３３】例えば図３に示したように、試料ホルダ３
４ａが観察位置にある状態から送り車３９が矢印方向に
回転すると、試料ホルダ３４ｄ、３４ｅ、３４ｆを載置
した連結駒には送り車３９の爪が直接作用して送り力が
与えられ、試料ホルダ３４ｆよりも前方の試料ホルダ３
４ｇ、３４ｈを載置した連結駒には押しの力が与えられ
る。同様に、試料ホルダ３４ｄよりも後方の試料ホルダ
３４ｂ、３４ｃを載置した連結駒には引きの力が与えら
れる。
４ａが観察位置にある状態から送り車３９が矢印方向に
回転すると、試料ホルダ３４ｄ、３４ｅ、３４ｆを載置
した連結駒には送り車３９の爪が直接作用して送り力が
与えられ、試料ホルダ３４ｆよりも前方の試料ホルダ３
４ｇ、３４ｈを載置した連結駒には押しの力が与えられ
る。同様に、試料ホルダ３４ｄよりも後方の試料ホルダ
３４ｂ、３４ｃを載置した連結駒には引きの力が与えら
れる。
【００３４】この結果、各試料ホルダ３４ａ〜３４ｈは
、試料移送路３５内をスムーズに移送できるようになる
。
、試料移送路３５内をスムーズに移送できるようになる
。
【００３５】再び図２に戻り、モータ１４の回転軸４３
には初期位置検出板５２が設けられており、初期位置検
出板５２の有無はセンサ５１によって検出される。この
初期位置検出板５２は、基準となる特定の試料ホルダ（
例えば、試料ホルダ３４ａ）が観察位置にあればセンサ
５１によって検出される位置に設けられている。
には初期位置検出板５２が設けられており、初期位置検
出板５２の有無はセンサ５１によって検出される。この
初期位置検出板５２は、基準となる特定の試料ホルダ（
例えば、試料ホルダ３４ａ）が観察位置にあればセンサ
５１によって検出される位置に設けられている。
【００３６】オペレータによってイニシャル処理が実行
されると、センサ５１によって初期位置検出板５２が検
出されるまでモータ１４が回転し、初期位置検出板５２
が検出されると、モータ１４へ供給されるパルス信号を
カウントするパルスカウンタＰＣがリセットされる。
されると、センサ５１によって初期位置検出板５２が検
出されるまでモータ１４が回転し、初期位置検出板５２
が検出されると、モータ１４へ供給されるパルス信号を
カウントするパルスカウンタＰＣがリセットされる。
【００３７】移送路３５内での各試料ホルダ３４ａ〜３
４ｈの位置はパルスカウンタＰＣによって管理され、例
えば、パルスカウンタＰＣのカウント値が１００カウン
トであれば試料ホルダ３４ｈが観察位置に達し、カウン
ト値が２００カウントであれば試料ホルダ３４ｇが観察
位置に達し，以下同様に、カウント値が７００カウント
であれば試料ホルダ３４ｂが観察位置に達するように予
め設定されている。
４ｈの位置はパルスカウンタＰＣによって管理され、例
えば、パルスカウンタＰＣのカウント値が１００カウン
トであれば試料ホルダ３４ｈが観察位置に達し、カウン
ト値が２００カウントであれば試料ホルダ３４ｇが観察
位置に達し，以下同様に、カウント値が７００カウント
であれば試料ホルダ３４ｂが観察位置に達するように予
め設定されている。
【００３８】このような構成において、各試料ホルダ３
４ａ〜３４ｈに試料を載置して試料支持体２９を試料室
２５内に挿入した後、真空排気と共にイニシャル処理を
実行する。
４ａ〜３４ｈに試料を載置して試料支持体２９を試料室
２５内に挿入した後、真空排気と共にイニシャル処理を
実行する。
【００３９】このとき、試料ホルダ３４ａは観察位置に
移送されているので、試料ホルダ３４ａに載置された試
料の観察が可能になる。
移送されているので、試料ホルダ３４ａに載置された試
料の観察が可能になる。
【００４０】また、観察位置の試料ホルダを試料ホルダ
３４ａから試料ホルダ３４ｇに切り換える場合には、オ
ペレータがテンキー２０ａ（図１参照）を操作して試料
ホルダ３４ｇに応答したキーを入力すると、パルスカウ
ンタＰＣのカウント値が２００カウントになるまでモー
タ駆動回路１７からモータ１４にパルス信号が出力され
る。この結果、所望の試料がダイレクト選択されるよう
になる。
３４ａから試料ホルダ３４ｇに切り換える場合には、オ
ペレータがテンキー２０ａ（図１参照）を操作して試料
ホルダ３４ｇに応答したキーを入力すると、パルスカウ
ンタＰＣのカウント値が２００カウントになるまでモー
タ駆動回路１７からモータ１４にパルス信号が出力され
る。この結果、所望の試料がダイレクト選択されるよう
になる。
【００４１】本実施例によれば、複数の試料の切り換え
操作および観察位置を微動するための操作がモータ駆動
によって行われるので、このモータを遠隔地から操作す
るようにすれば、遠隔操作によって多数の試料を観察で
きるようになり、放射線によるオペレータへの悪影響が
防止される。
操作および観察位置を微動するための操作がモータ駆動
によって行われるので、このモータを遠隔地から操作す
るようにすれば、遠隔操作によって多数の試料を観察で
きるようになり、放射線によるオペレータへの悪影響が
防止される。
【００４２】また、本実施例によれば、観察位置の試料
ホルダを識別するための試料識別情報がＣＰＵ１８から
画像表示部９へ出力されるので、画像表示部９には電顕
像と共に試料識別情報が表示される。この試料識別情報
は蛍光表示管２１にも出力されるので、電顕像をフィル
ムに記録すると、試料識別情報も同時に記録されるよう
になり、情報管理が容易になる。
ホルダを識別するための試料識別情報がＣＰＵ１８から
画像表示部９へ出力されるので、画像表示部９には電顕
像と共に試料識別情報が表示される。この試料識別情報
は蛍光表示管２１にも出力されるので、電顕像をフィル
ムに記録すると、試料識別情報も同時に記録されるよう
になり、情報管理が容易になる。
【００４３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果が達成される。 （１） 複数の試料の切り換え操作および観察位置を微
動するための操作がモータ駆動によって行われるので、
このモータを遠隔地から操作するようにすれば、遠隔操
作によって多数の試料を観察できるようになり、放射線
によるオペレータへの悪影響が防止される。 （２） 試料を識別するための識別情報が観察画面およ
びフィルム上に記録されるので、情報管理が容易になる
。 （３） 試料ホルダが各上側連結駒３５ａ〜３５ｄに対
して予定の方向性を持って支持されるので、試料の視野
選択時における位置の再現性が容易になる。
によれば、次のような効果が達成される。 （１） 複数の試料の切り換え操作および観察位置を微
動するための操作がモータ駆動によって行われるので、
このモータを遠隔地から操作するようにすれば、遠隔操
作によって多数の試料を観察できるようになり、放射線
によるオペレータへの悪影響が防止される。 （２） 試料を識別するための識別情報が観察画面およ
びフィルム上に記録されるので、情報管理が容易になる
。 （３） 試料ホルダが各上側連結駒３５ａ〜３５ｄに対
して予定の方向性を持って支持されるので、試料の視野
選択時における位置の再現性が容易になる。
【図１】 本発明を適用した透過型電子顕微鏡のブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】 試料微動／切換部１０での電子顕微鏡の横
断面図である。
断面図である。
【図３】 試料切換機構の平面図である。
【図４】 試料切換機構の構成を示した分解図である
。
。
１…電子銃、２…電子線、３…照射レンズ系、４…試料
、５…対物レンズ、６…結像レンズ系、７…ＴＶカメラ
、１０…試料微動／切換部、１１…テレビ用蛍光板、１
４…モータ、１６…ＭＰＵ、１８…外部ＣＰＵ、１９…
電子線検出部、２０…遠隔操作部、２１…蛍光表示管、
２９…試料支持体
、５…対物レンズ、６…結像レンズ系、７…ＴＶカメラ
、１０…試料微動／切換部、１１…テレビ用蛍光板、１
４…モータ、１６…ＭＰＵ、１８…外部ＣＰＵ、１９…
電子線検出部、２０…遠隔操作部、２１…蛍光表示管、
２９…試料支持体
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の試料ホルダを真空内で環状に移
送するための試料移送路を備えた試料支持手段と、試料
ホルダを前記試料移送路に沿って環状に移送させる試料
移送手段と、試料の観察位置を微動させる試料微動手段
と、前記試料移送手段および試料微動手段を遠隔地から
電気的に駆動制御する制御手段と、遠隔地に設置され、
試料を透過した電子線に基づく観察像を表示する表示手
段とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】 前記試料移送手段は、相互に連結可能
な第１および第２の連結駒を交互にチェーン状に連結し
て構成され、前記試料移送路内を流れるチェーン状連結
体と、前記チェーン状連結体に係合し、これを移送させ
る回転体とによって構成され、 前記チェーン状連結
体の各連結駒には、複数の試料ホルダが支持されたこと
を特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡。 - 【請求項３】 前記複数の試料ホルダは、着脱可能な
状態で支持されたことを特徴とする請求項２記載の電子
顕微鏡。 - 【請求項４】 観察位置にある試料ホルダを識別する
ための識別情報を出力する識別情報出力手段と、識別情
報を前記表示手段に出力する識別情報表示手段とをさら
に具備したことを特徴とする請求項１ないし請求項３の
いずれかに記載の電子顕微鏡。 - 【請求項５】 試料を透過した電子線でフィルムを感
光させる撮影手段と、前記識別情報を光学的に表示する
識別情報表示手段と、識別情報表示手段の表示内容をフ
ィルムに感光させるレンズ手段とをさらに具備したこと
を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載
の電子顕微鏡。 - 【請求項６】 任意の試料ホルダを指定する試料ホル
ダ指定手段と、指定された試料ホルダが観察位置にある
ときの基準試料ホルダの位置に応答した第１の位置信号
を出力する手段と、基準試料ホルダの位置に応答した第
２の位置信号を出力する手段と、第１および第２の位置
信号が一致するまで前記チェーン状連結体を移送させる
手段とをさらに具備したことを特徴とする請求項１ない
し請求項５のいずれかに記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122931A JP2818981B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 電子顕微鏡 |
| EP92106891A EP0510618A1 (en) | 1991-04-26 | 1992-04-22 | Electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122931A JP2818981B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04328233A true JPH04328233A (ja) | 1992-11-17 |
| JP2818981B2 JP2818981B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=14848160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3122931A Expired - Lifetime JP2818981B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0510618A1 (ja) |
| JP (1) | JP2818981B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5783830A (en) * | 1996-06-13 | 1998-07-21 | Hitachi, Ltd. | Sample evaluation/process observation system and method |
| JP2001066231A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Hitachi Ltd | 試料作成装置および試料作成方法 |
| JP2017157544A (ja) * | 2016-03-01 | 2017-09-07 | 閤康生物科技股▲ふん▼有限公司Ｂｉｏ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃ． | サンプルホルダ及びその操作方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6630668B1 (en) | 2001-10-04 | 2003-10-07 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Remote control of a scanning electron microscope aperture and gun alignment |
| DE10335504B4 (de) * | 2003-07-31 | 2008-11-27 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Elektronenstrahlgerät mit Präparathalter |
| DE102009001587A1 (de) * | 2009-01-06 | 2010-07-08 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zur Einstellung eines Betriebsparameters eines Teilchenstrahlgeräts sowie Probenhalter zur Durchführung des Verfahrens |
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| JPS61163314A (ja) * | 1985-01-04 | 1986-07-24 | ユナイテッド キングドム アトミック エナ↓−ヂイ オ↓−ソリテイ | 走査顕微鏡 |
| JPS61239553A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
| JPS63292554A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPH0234065U (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-05 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2046832B1 (ja) * | 1969-06-17 | 1973-01-12 | Ass Elect Ind | |
| JPS5477060A (en) * | 1977-12-01 | 1979-06-20 | Hitachi Ltd | Electron microscope |
| EP0138250A3 (en) * | 1983-09-19 | 1986-12-30 | North American Philips Corporation | Structure for increasing number of specimens viewed in an electron microscope |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3122931A patent/JP2818981B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-04-22 EP EP92106891A patent/EP0510618A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0234065U (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-05 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0510618A1 (en) | 1992-10-28 |
| JP2818981B2 (ja) | 1998-10-30 |
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