JPH0432849A - ネガ型感光性樹脂組成物用現像液 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、液晶、イメージセンサ−、テレビ。

ビデオモニター、コンピューターデイスプレー及びイメ
ージスキャナー等に用いることができるカラーフィルタ
ーを作成する際に使用する。ネガ型感光性樹脂組生物用
現像液に関するものである。

「従来の技術」 光の透過量もしくは反射量を制御する液晶とカラーフィ
ルターを構成要素とする液晶表示装置において、そのカ
ラーフィルターとしては、染色法。

印刷法、電着法等により赤２　緑、青の画素及びブラッ
クマトリックスをガラス基板上に形成したものが使用さ
れている。

更に、４！開平１−１５２４４９号公報に開示されたよ
うに、多官能アクリレートモノマー、有機重合体結合剤
、光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物中に染料も
しくは顔料を分散した組成物が好適に使用される。

このような組成物をガラス、アクリル樹脂等の基板上に
塗布、乾燥した後、所定のマスクを用いて露光し、所定
の現像液を用いて現像する。

従来、この現像液としては主に、炭酸ナトリウム、水酸
化ナトリウム２　水酸化カリウム等の無機アルカリ、更
に必要に応じてノニオンもしくはカチオン等の界面活性
剤を使用している。

「発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、従来の現像液を使用した場合非画像部の
現像残りが生じやすく、パターンエツジ部のシャープネ
スさも不十分であった。また現像時間もかなり必要等問
題があった。

「問題点を解決するための手段」 本発明者らが鋭意研究を重ねた結果、ポジ型フォトレジ
ストの現像液であるテトラアルキルアンモニウムヒドロ
キシド、ヒドロキシアルキルアンモニウムヒドロキシド
等の四級アンモニウム塩が前記問題点を有効に解決し得
ることを見出した。

更にアルカノールアミン類を加えることにより。

前記四級アンモニウム塩単独で使用の場合と比較して現
像ラチチュードを損なうことなく、現像時間を短くする
ことができ、更に処理能力も向上する。必要に応じて、
界面活性剤を添加すれば濡れ性が向上し、スムースなネ
ガパターンが得られる。

すなわち７本発明の目的は、０．０１〜１重量％の、下
記一般式ＣＩ］で表される四級アンモニウム塩の少なく
とも一種を含有する水溶液から成る現像液により達成さ
れた。

一般式［Ｉコ　　　Ｒ２ Ｒ１−Ｎ“−Ｒ３０Ｈ− ［式中Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４は炭素原子１〜６のアル
キル基もしくはヒドロキシアルキル基であす、同−又は
異なってもよいコ 本発明で用いられる四級アンモニウム塩としては、テト
ラエチルアンモニウムヒドロキシド　テトラエチルアン
モニウムヒドロキシド　テトラｎ−プロビルアンモニウ
ムヒドロキシド、テトラｎ−）゛チルアンモニウムヒド
ロ牛シト、テトラ−ｎ−ヘキンルアンモニウムヒドロ牛
シト　トソメチルヒドロキンエチルア゛ノモニウムヒド
ロキシド（フリン）が有り単独又は混合で用いてもよい
。

これらの四級アンモニウム塩は、ポジ型フォトレジスト
の現像液としてだけでなく、ノボラ、り樹脂、ポリビニ
ルフェノール等のアルカリ可溶性樹脂とアンド化合物と
からなる架橋性ネガ型フォトレジストの現像液としても
知られており、特開昭５９−１９５６４０号公報、特開
昭６０−４５２３９号公報、特開昭６０−１４７７３１
号公報、特開昭６１−１６６５４２号公報等に開示され
ている。これらは、キノンジアジド化合物を含有したポ
ジ型フォトレジストのバインダーを用いた例であり、２
重量％程度の四級アンモニウム塩水溶液を用いてυＶる
。

しかしながら、本発明者等は更に、濃度が０゜０１〜１
重量％の範囲の現像液を使用することにより、多官能ア
クリレートモノマー、有機重合体結合剤、光重合開始剤
を含有する光重合タイプのネガ型感光性樹脂組成物の現
像液としてパターンエツジのシャープネス及び現像性に
優れた性能が得られることを見出した。特に顔料を分散
した光重合タイプのネガ型感光性樹脂組成物に対しては
非画像部の現像残りが無く優れた性能を示す、−濃度は
、０．０１〜１．５重量％が好ましいが、より好ましく
は０．０３〜１重量％であり、０゜０５〜０．　５重量
％がより一層好ましい、この範囲より少なければ、現像
時間を長く必要とし、またこの範囲を超えると、低感度
になり、更に現像ラチチュードが狭くなり好ましくない
。

本発明の現像液には、必要に応じて０．０１〜１０１１
量％のアルカノールアミン類の少なくとも一種、更に０
．０１〜５重■％のノニオン、カチオンもしくは両性系
界面活性剤の少なくとも一種。

を添加することができる。

アルカノールアミンとしては、１−アミノ−２−ブタノ
ール、２−アミノ−１−ブタノール、４−アミノ−１−
ブタノール、３−アミノ−２，２−ジメチル−１−プロ
パツール、２−（２−アミノエチルアミノ）エタノール
、２−アミノ−２−エチル−１，３−プロパンジオール
、６−アミノ−１−ヘキサノール、２−アミノ−２−メ
チル−１、３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メ
チル−１−−７’ロバノール、５−アミノ−１−ペンタ
ノール、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、　１
−アミノ−２−プロパツール、　３−アミノ１−プロパ
ツール、２−ベンジルアミノシクロへ牛サンメタノール
、Ｎ−ｎ−ブチル−Ｎ−ブタン−４−オール−アミン、
　　ｔｅｒｔ−ブチルエタ／−ルアミン、Ｎ−ｎ−ブチ
ルエタノールアミンＮ−シクロヘキシルエタノールアミ
ン、　　１．　３−ジアミノ−２−プロパツール、２−
ジ−ｎ−ブチルアミノエタノール、　ジェタノールアミ
ン、２ジエチルアミノエタノール、２−（２−ジエチル
アミノエトキシ）エタノール、３−ジメチルアミノ−１
，２−プロパンジオール、ジイソプロパツールアミン、
２−ジイソプロピルアミノエタノール、　４−ジメチル
アミノ−１−ブタノール、　２−ジメチルアミノエタノ
ール、２−（２−ジメチルアミノエトキシ）エタノール
、６−シメチルアミノー１−ヘキサノール、２−ジメチ
ルアミノ−２−メチル−１−プロパツール、１−ジメチ
ルアミノ−２−プロパツール、３−ジメチルアミノ−１
プロパツール、エタノールアミン、２−エチルアミノエ
タノール、２．２’、２’、２’−エチレンジニトリロ
テトラエタノール、Ｎ−（β−ヒドロ牛レジプロピルエ
チレンジアミン、Ｎ−（γヒドロキシプロピル）エチレ
ンジアミン、　　Ｎ、　　Ｎ。

Ｎ’、Ｎ’−テトラキス（２−ヒドロキシプロピル）−
エチレンジアミン、　トリエタノールアミントリイソプ
ロパノールアミン、　トリス（ヒドロキシメチル）アミ
ノメタン、Ｎ−トリス（ヒドロキシメチル）メチルグリ
シン等が有り単独もしくは混合で用いてもよい。

添加量は、０．０１〜１０重量％が好ましいが、０．０
３〜５重量％がより好ましく、ｏ、ｏｓ〜１重量％がよ
り一層好ましい。この範囲より少なければ、現像時間を
短くする効果が無く、またこの範囲を超えると、低感度
になり、更に現像ラチチュードが狭くなり好ましくない
。

本発明の現像液に添加することができるアセチレンアル
コール系界面活性剤は下記一般式［ｎ］。

一般式［■］　　　　　　Ｒ６ Ｒ５−ＣミＣ−Ｃ−Ｒ７ 〔式中Ｒ５は水素原子又は　　Ｒ９ Ｃ−ＲＩＯ Ｒ６，Ｒ７，Ｒ９，Ｒ１０は炭素原子１〜６のアル牛ル
基であり、同−又は異なってもよい。

Ｒ８１１−０−（ＣＨ２ＣＨ２０）−Ｈ司 Ｒ１１は　　−〇　−（ＣＨ２ＣＨ２０）−Ｈη であり、ｍ、ｎは０又は　２０以主の整数で同−又は異
なってもよい。コ で表される化合物の少なくとも一種よりなり、消泡性に
ついても効果があり、単独もしくは混合で用いることが
できる。

具体的には、サーフイノール６１．　８２．　１０４．
４４０，４６５，４８５　（商品名；エア・ブロダクツ
アンドケミカルズ社製）が挙げられるが。

これらに限定されない。更に、他種の界面活性剤と併用
しても効果が得られる。

第四級アンモニウム塩系界面活性剤としては。

下記一般式［ｍコ。

一般式［ｍ］　　　Ｒ１３ Ｒ１２−Ｎ”−Ｒ１４Ｃ１− ［式中Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５は炭素原子１〜
２０のアルキル基、ヒドロキシアルキル基又は炭素数１
〜２０のカルボニル基を有する基であり、同−又は異な
ってもよい］で表される化合物の少なくとも一種よりな
り、単独もしくは混合で用いることができる。

具体的には、パイオニンＢ−２１１，−６１１゜８１１
、−２２１１．−８８１１．−２２１Ｂ、−７２１−Ｅ
、−８２，１−Ａ、−２３１゜２７６、−２７７、Ｃ−
１５７−Ａ、Ｄ−１１０５（商品名；竹本油脂（株）製
）フータミン２４Ｐ、８６Ｐフンク、６０Ｗ、８６Ｗ、
Ｄ８６Ｆ。

サニゾールＣ，Ｂ−５０（花王石鹸（株）製）が挙げら
れるが、これらに限定されない。更に、他種の界面活性
剤と併用しても効果が得られる。

その他７　アルキルアミン塩、アルキルピリジニウム塩
等のカチオン系界面活性剤、グリシン型。

ベタイン型、アラニン型、イミダシリン型等の両性系界
面活性剤、ポリオキシエチレン型、多価アル：）　−ル
型、　　アルカノールアミド、ポリエーテル等の７ニオ
ン系界面活性剤が挙げられる。

添加量は、０．０１〜５重量％が好ましいが、０．０つ
　３重量％がより好ましく、　　０．０５〜２重量％が
より一層好ましい。この範囲より少ないと、濡れ性ある
いは消泡性が不十分であり、またこの範囲を超えると、
ノ寸ターン形状がスムースさを欠き好ましくない。

本発明の現像液を使用してカラーフィルターを作成する
工程は。

（ａ）基板洗浄 （ｂ）感光性樹脂組成物の塗布 （ｅ）プリベーク （ｄ）酸素遮断層の塗布及びベーク （ｅ）露光 （ｆ）重合促進加熱 （ｇ）酸素遮断層の除去（水洗） （ｈ）現像 （ｉ）リンス （ｊ）ボストベーク よりなり、赤、緑、青の三色の繰り返し、もしくは黒を
加えた四色の繰り返しとなる。なお酸素遮断層を設けず
に窒素雰囲気下にて露光してもよい。

また重合促進加熱は省略してもよい。

次に、カラーフィルターを構成する材料の例を示す。

基板としては、ガラス、スパッタ等により金属。

金属酸化物等の薄膜を設けたガラス、アクリル板等を用
い、感光性樹脂組成物としては、エチレン性不飽和結合
を有する重合可能な化合物の一つである多官能アクリレ
ートもしくはメタクリレートモノマーと、ｉ熱性、耐薬
品性等の化学的特性及び表面硬度１体積収縮度等の機械
的特性等を付与する為の有機重合体結合剤、及びハロメ
チル−Ｓ−トリアジン系化合物単独もしくは混合物から
なる光重合開始剤を含有する基本組成をもつことができ
る。

着色材料としては２色の耐久性の点から、顔料を用いる
のが好ましい。

以下に、本発明で用いるネガ型感光性樹脂組成物の好ま
しい態様を示すが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。

光重合性感光性樹脂組成物は、米国特許第３゜５４９．
３６７号明細書等に開示されている付加重合性不飽和モ
ノマー　光重合開始剤及びバインダーからなる。付加重
合性不飽和モノマーは、少なくとも１個の付加重合可能
なエチレン性不飽和基を持ち、沸点が常圧で１００℃以
上の化合物である。例えば、ポリエチレングリフールモ
ノ　（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
モノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）
アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレ
ート；ポリプロレングリコールジ（メタ）アクリレート
、トリメチロールエタントリ　（メタ）アクリレート、
ネオペンチルグリコール（メタ）アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオ
ール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパント
リ（アクリロイルオキシプロオイル）エーテル、トリ（
アクリロイロキシエチル）インシアヌレート、グリセリ
ンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチ
レンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後
（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７
０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１
９３号各公報明細載されているようなウレタンアクリレ
ート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３
１９１号、特公昭５２−３０４９．０明細公報に記載さ
れているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と
（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリ
レート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート
を挙げることができる。

更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ、　２０．　　Ｎｏ、　３
００〜３０８頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーと
して紹介されているものも使用できる。使用量は５〜５
０重量％好ましくは、１０〜４０重量％である。

光重合開始剤としては、米国特許第２，３６７゜６６０
号明細書に開示されているビンナールポリケトアルドニ
ル化合物、米国特許第２，３６７゜６６１号および第２
，３６７．６７０号明細書に開示されているα−カルボ
ニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に
開示されているアシロインエーテル、米国特許第２．　
７２２．　５１２号明細書に開示されているα−炭化水
素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３
０４６．１２７号および第２，９５１，７５８号明細書
に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５
４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミ
ダゾールダイマー／ｐ−アミ／フェニルケトンの組み合
せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベ
ンゾチアゾール系化合物／トリへロメチール−８−トリ
アジン系化合物、特願昭６１−１８６２３８号公報に記
載されている感光性−ｓ　−トリアジン化合物、米国特
許第４，２３９，８５０号明細書に開示されていルトリ
ハロメチルーＳ−トリアジン系化合物、米国特許第４，
２１２，９７６号明細書に記載されているオキサジアゾ
ール化合物等が挙げられる。

使用量は固形分比で約０．　２〜２０重量％、より好ま
しくは０．５〜１５重量％が適当である。

バインダーは、モノマーに対して相溶性のアル線状有機
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー
、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３
４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−
２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９
−７１０４８号明細書に記載されているようなメタクリ
ル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合
体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エ
ステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖
にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。

この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させ
たものなどが有用である。特にこれらの中でベンジル（
メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベ
ンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／お
よび他のモノマーとの多元共重合体が好適である。この
他に水溶性ポリマーとして、ポリビニールピロリドンや
ポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール等も
有用である。また硬化皮膜の強度を挙げるためにアルコ
ール可溶性ナイロンや２．２−ビス−（４−ヒドロキシ
フェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエー
テルなども有用である。これらのポリマーは任意な量を
混合させることができるが、９０重量％を越えることは
形成される画像強度等の点で好ましい結果を与えない。

好ましくは３０〜８５重量％である。

以上の他に、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ま
しく、例えばハイドロキノン、ｐ−メト牛ジフェノール
、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ
−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビ
ス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２
′　−メチレン（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノー
ル）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用であ
る。

通常市販のモノマー中には、適量の熱重合防止剤が添加
されている。

上記感光性樹脂組成物に添加される顔料としては、例え
ば、アゾ系、アンスラキノン系、牛サンテン系、キナク
リドン系、インジゴ系、ジオキサジン系、インダンスロ
ン系、イソインドリノン系の顔料が有用であり、例えば
、フタロシアニンブルー（Ｃ，！、　　ピグメントブル
ー１５：６またはＣ，１，ピグメントブルー１５：３　
例えば、東洋インキ製造（株）製のリオノールブルーＥ
Ｓ。

チバガイギー社製のクロモブルーＡ３Ｒ）、　　フタロ
シアニングリーン（Ｃ，１，ピグメントグリーン７．３
６またはＣ，１，ピグメントグリーン３７　例えば、東
洋インキ製造（株）製のリオノールグリーン２ＹＳ）、
ペリレン系顔料（Ｃ，Ｉ。

ピグメントレッド１５５Ｌ　　アントラキノン系顔料（
Ｃ，１，ピグメントレッド１７７：例えば、東洋インキ
製造（株）製のリオノーゲンレッドＧＤ１　　チバガイ
ギー社製のクロモフタルレッドＢＲＮ）等が有用であり
、更に色補正用のためにＣ０■、　ピグメントエロー８
３、Ｃ，１，ピグメントエロー１５４　例えば、東洋イ
ンキ製造（株）製すオノーゲンエロ−３０，Ｃ，１，ピ
グメントバイオレット２３（例えば、東洋インキ製造（
株）製のリオノーゲンバイオレトＲＬ等が特に好ましい
。該顔料は、上記光硬化型感光性樹脂組成物に分散して
着色感光性樹脂組成物を製造する。感光層中に占める該
顔料の比率は、固形分比で５〜９０重量％であり、より
好ましくは１０〜６０重量％である。

以下に本発明を実施例により更に詳細に説明するが１本
発明はこれらに限定されるものではない。

「実施例」 有機塩基としてテトラメチルアンモニウムヒドロキシド
（ＴＭＡＨ）、　　テトラエチルアンモニウムヒドロキ
シド（ＴＥＡＨ）、　　トリメチル（２−ヒドロキシエ
チル）アンモニウムヒドロキシド（フリン）をそれぞれ
水溶液とし、これらにアルカノールアミン類及び界面活
性剤として、サーフシノール４００シリーズ（エア・プ
ロダクツアンドケミカルズ社製）もしくはバイオニンシ
リーズ（竹本油脂（株）製）を加え本発明のネガ型感光
性樹脂組成物用現像液とした。比較として無機アルカリ
系現像液であるＣＤ（富士ハントエレクトロニクステク
ノロジー社製）を５倍希釈したものを同時評価した。

ガラス基板上に、顔料分散ネガ型感光性樹脂組成物であ
るカラーモザイク（フジハントエレクトロニクステクノ
ロジー社製）の中の、緑色用組成物（商品名；　ＣＧ−
２０００）をスピンナー（ＩＨ−Ｄ２　　！カサ（株）
製）を用いて塗布、コンベクションオーブンにて　７０
°ＣＩＯ分間乾燥り、　　２．　０μｍの塗膜を形成し
た。

次に、酸素遮断層としてＣＰ（富士ハントエレクトロニ
クステクノロジー社製）を４０Ｏｒｐｍで回転塗布し、
コンベクションオーブンにて７００Ｃ１０分間乾燥し形
成した。これらのサンプルに対し、２５ｋＷ超高圧水銀
灯（ＰＬＡ−５０１Ｆ　キャノン（株）製）を用いて、
パターン付きフォトマスクを介して紫外線照射を行い、
コンベクションオーブンにて　７０”Ｃ１０分間　重合
促進加熱の後、酸素遮断層を水洗除去し、上記調整の現
像液にて室温下、デイツプ現像しネガパターンを得た。

光学顕微鏡により１画像部のプロファイル、エツジ部の
シャープさ、非画像部の現像残りを観察し、程度をＯ△
×で評価した。消泡性に関しては一定量の現像液を容器
に入れ、一定時間振った後静止し同様に程度を○△×で
評価した。

結果は表が示すように、短い現像時間で現像残りの無い
良好なプロファイルのパターンが得られた。

カラーモザイクの他の色（赤色、青色、黒色、黄色、紫
色、及びそれらの２色以上の混合タイプ）、及び顔料を
含有しない透明タイプについても同様の実験・評価を行
つたところ、同様の優れた結果を得た。

「発明の効果」 本発明の現像液は良好なネガパターンが短い現像時間で
得られ１作業効率が向上するばかりでなく、非画像部の
現像残りが著しく改善され、カラーフィルター各画素間
の色のにじみによるボケがなくなり、　トータルの歩留
りも向上する。更に。

消泡性及び処理能力に関しても優れている。

平成２年５月２８日 １、事件の表示 平成２年特許願第１３８８１８号 ２、発明の名称 ネガ型感光性樹脂組成物用現像液 ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 住　所　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地連絡先　東
京都港区西麻布２丁目２６番３０号富士写真フィルム株
式会社　東京本社 特許出願人　　富士写真フィルム株式会社５、補正の内
容 １．明細書の「特許請求の範囲」を別紙の通り補正する
。

２、明細書の「発明の詳細な説明」の項の８己載を下言
己の通り補正する。

（１）第３頁下から４行目の 「感光性樹脂組生物用現像液」を 「感光性樹脂組成物用現像液」 と補正する。

（２）第５頁１４行目の ｒｏ、０１〜１重量」を ｒＯ，０１〜１．５重量」 と補正する。

（３）第７頁４行〜５行目の ｒＯ，０１〜１重量」を ｒｏ、０１〜１．５重量」 と補正する。

（４）第１２頁５行〜第１２頁６行目のｒ　Ｃ−１５７
−Ａ、Ｄ〜１１０５Ｊを削除する。

（５）第２１頁２０行目の 「５倍希釈したもの」の後に 「、水酸化ナトリウム水溶液、１．７及び２重量％のＭ
ＡＨＪ を追加する。

別紙 ２、特許請求の範囲 （１）下記一般式［Ｉ１で表される四級アンモニウム塩
の少なくとも一極を、０．Ｏ１〜１．５重量％含有する
水溶液から成ることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成
物用現像液。

一般式［Ｉ］ ％式％ ［式中Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４は炭素原子１〜６のアル
キル基もしくはヒドロキシアルキル基であり、同−又は
異なってもよい］ （２）０．０１〜１０ｆ！量％のアルカノールアミンを
含有することを特徴とする請求項（１）記載のネガ型感
光性樹脂組成物用現像液。

（３）ノニオン、カチオンもしくは両性系界面活性剤を
含有することを特徴とする請求項（１）もしくは（２）
記載のネガ型感光性樹脂組成物用現像液。

（４）下記一般式［■］で表されるアセチレンアルコー
ル系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項（１
）もしくは（２）記載のネガ型感光性樹脂組成物用現像
液。

一般式［Ｉ１］ ％式％ ［式中Ｒ５は水素原子又は　　Ｒ９ Ｃ−ＲＩＯ ＲｆｌＲＴ　Ｒ９，Ｒ１０は炭素原子１〜６のアルキル
基であり、同−又は異なってもよい。

Ｒ８は　　−〇　−（ＣＨ２ＣＨ２０）−ＨＲｌｌは　
　−〇　−（ＣＨ２ＣＨ２０）、　Ｈであり、ｍ、ｎは
Ｏ又は　２０以下の整数で同−又は異なってもよい。〕 （５）下記一般式［ｍ］で表される第四級アンモニウム
塩系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項（１
）もしくは（２）記載ノネガ型感光性樹脂組酸物用現像
液。

一般式［ｍ］ Ｒ１２−Ｎ”−Ｒ１４Ｃ１− 〔式中Ｒ１２，Ｒ１３，Ｒ１４，ＲＩｓは炭素原子１〜
２０のアルキル基、ヒドロキシアルキル基又は炭素数１
〜２０のカルボニル基を有する基であり、同−又は異な
ってもよい］

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記一般式［ I ］で表される四級アンモニウム
   塩の少なくとも一種を、０．０１〜１．５重量％含有す
   る水溶液から成ることを特徴とするネガ型感光性樹脂組
   成物用現像液。 一般式［ I ］ ▲数式、化学式、表等があります▼ ［式中Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は炭素原子１〜６のアル
   キル基もしくはヒドロキシアルキル基であり、同一又は
   異なってもよい］
2. （２）０．０１〜１０重量％のアルカノールアミンを含
   有することを特徴とする請求項（１）記載のネガ型感光
   性樹脂組成物用現像液。
3. （３）ノニオン、カチオンもしくは両性系界面活性剤を
   含有することを特徴とする請求項（１）もしくは（２）
   記載のネガ型感光性樹脂組成物用現像液。
4. （４）下記一般式［II］で表されるアセチレンアルコー
   ル系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項（１
   ）もしくは（２）記載のネガ型感光性樹脂組生物用現像
   液。 一般式［II］ ▲数式、化学式、表等があります▼ ［式中Ｒ５は水素原子又は ▲数式、化学式、表等があります▼ Ｒ６、Ｒ７、Ｒ９、Ｒ１０は炭素原子１〜６のアルキル
   基であり、同一又は異なってもよい。 Ｒ８は−Ｏ−（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）＿ｍ−Ｈ Ｒ１１は−Ｏ−（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）＿ｎ−Ｈであり、ｍ
   、ｎは０又は２０以下の整数で同一又は異なってもよい
   。］
5. （５）下記一般式［III］で表される第四級アンモニウ
   ム塩系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項（
   １）もしくは（２）記載ノネガ型感光性樹脂組成物用現
   像液。 一般式［III］ ▲数式、化学式、表等があります▼ ［式中Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１４、Ｒ１５は炭素原子１〜
   ２０のアルキル基、ヒドロキシアルキル基又は炭素数１
   〜２０のカルボニル基を有する基であり、同一又は異な
   ってもよい］