JPH0433124B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は垂直磁気記録媒体の垂直磁化膜形成装
置に関するものである。

（従来技術とその問題点） 高密度記録媒体として近年各方面で研究、開発
がすすめられている垂直磁気記録媒体は、第１図
ａにその一部断面図に示すように、フレキシブル
な基体１の最上面に垂直磁化膜２をスパツタリン
グ又はイオンプレーテイング又は蒸着により形成
したものである。第１図ｂに示すように、この最
上面の垂直磁化膜２と基体１の間に記録再生特性
を向上させる為、軟磁性膜３を重ね形成する場合
もある。

垂直磁気記録媒体の特徴である高密度記録再生
特性を十分に生かす為には、ヘツドと媒体の間隔
いわゆるスペーシングは小さい程良い。この為に
は媒体の表面が平滑でなければならない。

従来の媒体形成法をスパツタリングで形成する
場合について第２図により説明すると、アルゴン
ガスをガス導入バルブ４より真空チエンバー５内
に導入し、強磁性体ターゲツト６にスパツタ電源
１２を接続してグロー放電を起こし、強磁性体タ
ーゲツト６からスパツタ粒子を飛び出させる。ス
パツタ粒子は、加熱源７により40℃から300℃の
範囲の所定温度に加熱された回転ロール８に密着
しつゝ補助ロール９に案内されて走行する基体
（ポリエステルフイルム等）１の表面に付着し
こゝに磁性体薄膜が形成される。ただし、回転ロ
ール８及び補助ロール９としては平滑円筒面を有
するロールが用いられている。

この従来の方法によると次の問題が生ずる。即
ち基体１が回転ロール８及び補助ロール９の全面
に密着して走行する為、回転ロール８及び補助ロ
ール９の表面に凹凸があると、その凹凸がその
まゝ基体１に刻印される。前述したように磁性体
膜に垂直磁気記録媒体としての特性を持たせる為
回転ロールは加熱されているので、基体１は軟化
し、凹凸は極めて刻印されやすい状態になつてい
る。さらにまた、基体１には熱による膨張、収縮
があるが、これらロールに密着する基体１は、走
行方向に直角な方向にに・げ・ることが困難なため、
とかく走行方向に平行なし・わ・が生じ易い。

（発明の目的） 本発明な、上述の問題を解決し、回転ロール及
び補助ロールによつて生ずる媒体表面の凹凸や媒
体のし・わ・をなくするかまたは小さいものにした垂
直磁気記録媒体を形成することを可能にする新規
の装置を提供することを目的とする。

（発明の構成） 本発明は、フレキシブルな長尺の基体１を蒸発
源に対向配置された回転ロールに接しかつ補助ロ
ールに案内されて移動せしめ、該基体の表面上に
磁性体薄膜をスパツタリング、イオンプレーテイ
ング又は蒸着により形成する垂直磁化膜形成装置
に於て、前記回転ロール及び前記補助ロールの円
周方向に深さ50μｍ以上の溝部１５、従つて突出
部１３，１４を形成することにより前記目的を達
成したものである。

（実施例） 以下、本発明を実施例により、図に基いて説明
する。

直径が400φの回転ロール及び400φの補助ロー
ルの表面にその円周方向に、第３図に示すように
幅15mmの突出部１３及び幅10mmの突出部１４及び
幅150mmの溝部１５を３mmの段差をつけて形成し
た。これらのロールを用い、基体１として厚さ
50μｍ幅500mmのポリエステルフイルムを用いこ
れを各ロールの突出部で支持し回転ロールの温度
を70℃にして走行させ表面上に厚さ0.5μｍのコバ
ルト―クロム合金膜をアルゴンスパツタ圧力７×
10^-3Torr、放電電流10A、放電電圧350V、フイ
ルムとターゲツト間距離60mmで形成した。そして
ロールの溝部１５で形成さた媒体部分をプレスで
打ち抜き5″プロツピーデイスクとして表面を段差
計で測定したところポリエステルフイルムの表面
平均粗さ100Åとほぼ同じ表面平均粗さの垂直磁
気記録媒体が得られた。又レベルゲージにて、媒
体表面のしわの高さを測定して判定したがし・わ・は
観測されなかつた。

これに対し、夫々の表面平均粗さが700〜600Å
で、直径が400φの回転ロールと40φの補助ロール
の、溝部、従つて突出部を持たない従来のロール
を70℃に加熱し、上記と同じスパツタ条件で厚さ
50μ幅500mmのポリエステルフイルム上にコバル
ト―クロム膜を0.5μ形成し、打抜いて5″フロツピ
ーデイスクにし、その平均表面粗さを測定したと
ころ、平均表面粗さはロールの粗さと同程度の
750Å〜600Åであつた。又高さ３mmのし・わ・が多数
観察された。

上記の本発明の実施例におけるロールの溝部１
５、従つて突出部１３，１４の幅、深さ、数は本
実施例に限定されるものでなく、製造せんとする
フロツピーデイスクの径、等に応じて随意選択さ
れるものである。振動試料型磁束計によつて測定
された垂直磁気記録媒体の磁気特性は第４図に示
される通りであつて、溝部１５で形成された媒体
の磁気特性（破線）は、従来の方法による媒体の
磁気特性（実線）に比べて垂直異方性及び保持力
が優れることを示している。なお、本発明の如く
ロールに溝部１５及び突出部１３，１４を形成す
るときはロールの表面粗さを小さくする必要がな
くなり、ロールの製作費さらにはロールの保守費
用が大幅に低減されるという副次的効果がある。
さらに、媒体表面の平均粗さが小さく保たれる
為、一層の高密度記録が可能となり、さらにま
た、ヘツドによる媒体の摩耗が減少し、媒体の耐
久性が伸びる効果もある。

（発明の効果） 本発明の凹凸及びし・わ・をなくするか小さいもの
にした磁気記録媒体表面を製造するすぐれた効果
をもつ。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは垂直磁気記録媒体の部分的断面
図である。第２図はスパツタリングによる垂直磁
化膜形成装置の概念図。第３図は本発明の実施例
の回転ロール及び補助ロールの外観図。第４図は
本実施例及び従来の装置で作られた垂直磁気記録
媒体の磁気特性のグラフ。 １……基体、２……垂直磁化膜、３……軟磁性
膜、４……ガス導入バルブ、５……真空チエンバ
ー、６……強磁性体ターゲツト、７……加熱源、
８……回転ロール、９……補助ロール、１０……
防着板、１１……真空ポンプ、１２……スパツタ
電源、１３，１４……回転ロール及び補助ロール
の突出部、１５……回転ロール及び補助ロールの
溝部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ フレキシブルな長尺の基体を、蒸発源に対向
   設置された回転ロールに接し、かつ、補助ロール
   に案内させて移動せしめ、該基体の表面上に磁性
   体薄膜をスパツタリング、イオンプレーテイング
   又は蒸着により形成する垂直磁化膜形成装置に於
   いて、前記回転ロール及び前記補助ロールの表面
   に、円周方向に平行に溝部を形成し、該溝部の幅
   を、該基体から打ち抜きされる垂直磁気記録体の
   記録面の幅よりも広く構成したことを特徴とする
   垂直磁化膜形成装置。