JPH04335541A - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
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- JPH04335541A JPH04335541A JP3135601A JP13560191A JPH04335541A JP H04335541 A JPH04335541 A JP H04335541A JP 3135601 A JP3135601 A JP 3135601A JP 13560191 A JP13560191 A JP 13560191A JP H04335541 A JPH04335541 A JP H04335541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- dynamic vibration
- vibration absorber
- arm
- tool arm
- Prior art date
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07173—Means for moving chips, wafers or other parts, e.g. conveyor belts
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンデイング装置に係り
、特にツールを保持したツールアームの振動を抑制する
ための動吸振器を備えたボンデイング装置に関する。
、特にツールを保持したツールアームの振動を抑制する
ための動吸振器を備えたボンデイング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今、１例としてワイヤボンデイング装置
について説明する。ワイヤボンデイング装置は、ＸＹテ
ーブル上にボンデイングヘッドが固定されており、ボン
デイングヘッドには、ツールアームが上下動又は回動可
能に設けられている。前記ツールアームの一端にはワイ
ヤを挿通したツールが取付けられている。そこで、ＸＹ
テーブルによるツールのＸＹ方向の移動と、ツールアー
ムの上下動又は回動によるツールの上下のＺ方向の移動
とにより、第１ボンド面と第２ボンド面にツールに挿通
されたワイヤが接続される。
について説明する。ワイヤボンデイング装置は、ＸＹテ
ーブル上にボンデイングヘッドが固定されており、ボン
デイングヘッドには、ツールアームが上下動又は回動可
能に設けられている。前記ツールアームの一端にはワイ
ヤを挿通したツールが取付けられている。そこで、ＸＹ
テーブルによるツールのＸＹ方向の移動と、ツールアー
ムの上下動又は回動によるツールの上下のＺ方向の移動
とにより、第１ボンド面と第２ボンド面にツールに挿通
されたワイヤが接続される。
【０００３】ところで、かかるワイヤボンデイング装置
においては、ボンデイングの安定化及び高速化を図るた
めに、ツールアームの振動を抑制する動吸振器を備えて
いる。従来、動吸振器を備えたワイヤボンデイング装置
として、例えば特公昭６０ー３１１０１号公報があげら
れる。この構造は、ツールを介してワイヤがボンド面に
接触する前及びボンド面よりツールが離れた後にツール
アームを弾性的に付勢する防振機構と、第１ボンド面と
第２ボンド面の落差に追従するように防振機構を上下動
させる防振機構駆動機構とを備えている。
においては、ボンデイングの安定化及び高速化を図るた
めに、ツールアームの振動を抑制する動吸振器を備えて
いる。従来、動吸振器を備えたワイヤボンデイング装置
として、例えば特公昭６０ー３１１０１号公報があげら
れる。この構造は、ツールを介してワイヤがボンド面に
接触する前及びボンド面よりツールが離れた後にツール
アームを弾性的に付勢する防振機構と、第１ボンド面と
第２ボンド面の落差に追従するように防振機構を上下動
させる防振機構駆動機構とを備えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、防振
機構及びこの防振機構を上下動させる防振機構駆動機構
を必要とするので、構造が複雑で高価になると共に、大
型化する。またスプリングの付勢力でツールアームの振
動を抑制するので、Ｚ方向のみの振動が抑制されるのみ
であり、ＸＹ方向の振動は抑制されない。またツールア
ームの振動抑制は、防振機構がツールアームに作用、即
ちツールがボンド面に接触及び離れる時のみである。
機構及びこの防振機構を上下動させる防振機構駆動機構
を必要とするので、構造が複雑で高価になると共に、大
型化する。またスプリングの付勢力でツールアームの振
動を抑制するので、Ｚ方向のみの振動が抑制されるのみ
であり、ＸＹ方向の振動は抑制されない。またツールア
ームの振動抑制は、防振機構がツールアームに作用、即
ちツールがボンド面に接触及び離れる時のみである。
【０００５】本発明の目的は、構造が簡単で安価になる
と共に、小型化が図れ、かつＺ方向及びＸＹ方向の振動
を常に抑制することができるボンデイング装置を提供す
ることにある。
と共に、小型化が図れ、かつＺ方向及びＸＹ方向の振動
を常に抑制することができるボンデイング装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、ＸＹテーブルと、このＸＹテーブル
上に固定されたボンデイングヘッドと、このボンデイン
グヘッドに上下動又は回動可能に設けられたツールアー
ムと、このツールアームの一端に取付けられたツールと
、前記ツールアームの振動を抑制する動吸振器とを備え
たボンデイング装置において、前記動吸振器は、おもり
軸取付穴が形成された本体と、この本体のおもり軸取付
穴にＯリングを介して取付けられたおもり軸とからなり
、ボンデイングヘッドに取付けられて前記ツールアーム
とほぼ同じ共振周波数を有する動吸振器取付部材に前記
動吸振器の本体が固定されてなることを特徴とする。
の本発明の構成は、ＸＹテーブルと、このＸＹテーブル
上に固定されたボンデイングヘッドと、このボンデイン
グヘッドに上下動又は回動可能に設けられたツールアー
ムと、このツールアームの一端に取付けられたツールと
、前記ツールアームの振動を抑制する動吸振器とを備え
たボンデイング装置において、前記動吸振器は、おもり
軸取付穴が形成された本体と、この本体のおもり軸取付
穴にＯリングを介して取付けられたおもり軸とからなり
、ボンデイングヘッドに取付けられて前記ツールアーム
とほぼ同じ共振周波数を有する動吸振器取付部材に前記
動吸振器の本体が固定されてなることを特徴とする。
【０００７】
【作用】動吸振器は、ツールアームとほぼ同じ共振周波
数を有する動吸振器取付部材に取付けられている。従っ
て、ツールアームと動吸振器取付部材はほぼ同じ共振周
波数で振動する。そこで、動吸振器の身代わり振動によ
って動吸振器取付部材の振動が抑制され、動吸振器取付
部材とほぼ同じ共振周波数のツールアームの振動が抑制
される。この場合、おもり軸はＯリングを介して本体に
取付けられているので、Ｚ方向のみならず、ＸＹ方向の
振動も抑制することができる。また振動の抑制は、動吸
振器取付部材、即ちツールアームの振動が発生した時は
、何時でも作用する。また構造が非常に簡単であるので
、安価で小型化が図れる。
数を有する動吸振器取付部材に取付けられている。従っ
て、ツールアームと動吸振器取付部材はほぼ同じ共振周
波数で振動する。そこで、動吸振器の身代わり振動によ
って動吸振器取付部材の振動が抑制され、動吸振器取付
部材とほぼ同じ共振周波数のツールアームの振動が抑制
される。この場合、おもり軸はＯリングを介して本体に
取付けられているので、Ｚ方向のみならず、ＸＹ方向の
振動も抑制することができる。また振動の抑制は、動吸
振器取付部材、即ちツールアームの振動が発生した時は
、何時でも作用する。また構造が非常に簡単であるので
、安価で小型化が図れる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明する
。図１乃至図３に示すように、ＸＹ方向に駆動されるＸ
Ｙテーブル１上には、ボンデイングヘッド２が固定され
ており、ボンデイングヘッド２には、図示しない駆動手
段で上下駆動又は回動させられるツールアーム３が上下
動又は回動可能に設けられている。ツールアーム３には
、ツール４が固定されており、ツール４にはワイヤ（図
示せず）が挿通されている。またボンデイングヘッド２
には、トーチアーム５が固定されており、トーチアーム
５にはトーチ保持部材６が固定されている。トーチ保持
部材６には、回転軸７が回転自在に支承されており、回
転軸７には回転アーム８が固定されている。回転アーム
８には、ワイヤの先端にボールを形成するためのトーチ
電極９が固定されており、回転アーム８は図示しない駆
動手段により回動させられる。
。図１乃至図３に示すように、ＸＹ方向に駆動されるＸ
Ｙテーブル１上には、ボンデイングヘッド２が固定され
ており、ボンデイングヘッド２には、図示しない駆動手
段で上下駆動又は回動させられるツールアーム３が上下
動又は回動可能に設けられている。ツールアーム３には
、ツール４が固定されており、ツール４にはワイヤ（図
示せず）が挿通されている。またボンデイングヘッド２
には、トーチアーム５が固定されており、トーチアーム
５にはトーチ保持部材６が固定されている。トーチ保持
部材６には、回転軸７が回転自在に支承されており、回
転軸７には回転アーム８が固定されている。回転アーム
８には、ワイヤの先端にボールを形成するためのトーチ
電極９が固定されており、回転アーム８は図示しない駆
動手段により回動させられる。
【０００９】かかる構成よりなるワイヤボンデイング装
置は周知であるので、その動作は簡単に説明する。ＸＹ
テーブル１がＸＹ方向に駆動される動作と、ツールアー
ム３が上下動又は回動させられる動作とにより、第１ボ
ンド面と第２ボンド面とにワイヤが接続される。第２ボ
ンド面へのボンデイング後は、ツール４が上昇すると共
に、図示しないクランパを閉じて第２ボンド面のボンド
点よりワイヤを切断する。ワイヤ切断後は、ツール４は
トーチ電極９より上方に位置し、トーチ電極９が回動さ
せられてトーチ電極９の放電部がツール４の真下に位置
してワイヤに放電が行われ、ワイヤの先端にボールが形
成される。
置は周知であるので、その動作は簡単に説明する。ＸＹ
テーブル１がＸＹ方向に駆動される動作と、ツールアー
ム３が上下動又は回動させられる動作とにより、第１ボ
ンド面と第２ボンド面とにワイヤが接続される。第２ボ
ンド面へのボンデイング後は、ツール４が上昇すると共
に、図示しないクランパを閉じて第２ボンド面のボンド
点よりワイヤを切断する。ワイヤ切断後は、ツール４は
トーチ電極９より上方に位置し、トーチ電極９が回動さ
せられてトーチ電極９の放電部がツール４の真下に位置
してワイヤに放電が行われ、ワイヤの先端にボールが形
成される。
【００１０】前記トーチアーム５には動吸振器１５の本
体１６がねじ１７によって固定されている。図４及び図
５に示すように、本体１６にはおもり軸１８が挿入され
るおもり軸取付穴１６ａが形成されており、おもり軸取
付穴１６ａの部分には割り溝１６ｂが形成されている。 おもり軸１８の本体１６への挿入部には、Ｏリング装着
溝１８ａが２箇所形成されており、Ｏリング装着溝１８
ａには弾性体よりなるＯリング１９が装着されている。 そこで、本体１６の割り溝１６ｂ部分に螺合された調整
ねじ２０によってＯリング１９の締め付け力を調整する
ことができる。またおもり軸１８には、おもり２１が摺
動自在に挿入されており、おもり２１はねじ２２によっ
ておもり軸１８に固定される。
体１６がねじ１７によって固定されている。図４及び図
５に示すように、本体１６にはおもり軸１８が挿入され
るおもり軸取付穴１６ａが形成されており、おもり軸取
付穴１６ａの部分には割り溝１６ｂが形成されている。 おもり軸１８の本体１６への挿入部には、Ｏリング装着
溝１８ａが２箇所形成されており、Ｏリング装着溝１８
ａには弾性体よりなるＯリング１９が装着されている。 そこで、本体１６の割り溝１６ｂ部分に螺合された調整
ねじ２０によってＯリング１９の締め付け力を調整する
ことができる。またおもり軸１８には、おもり２１が摺
動自在に挿入されており、おもり２１はねじ２２によっ
ておもり軸１８に固定される。
【００１１】従って、動吸振器１５の固有振動数は、お
もり２１の質量、おもり軸１８の断面２次モーメント及
びおもり軸１８の張り出し長さによって決まる。そこで
、動吸振器１５の固有振動数をトーチアーム５の共振周
波数に同調させることで、トーチアーム５の振動が抑制
できる。この場合、動吸振器１５の振動抑制力は、調整
ねじ２０の締め付け力、即ちＯリング１９の圧縮力を調
整することによって容易に行える。またおもり軸１８は
Ｏリング１９によって本体１６に支持されているので、
振動抑制方向は、Ｚ方向のみでなく、ＸＹ方向にも作用
する。
もり２１の質量、おもり軸１８の断面２次モーメント及
びおもり軸１８の張り出し長さによって決まる。そこで
、動吸振器１５の固有振動数をトーチアーム５の共振周
波数に同調させることで、トーチアーム５の振動が抑制
できる。この場合、動吸振器１５の振動抑制力は、調整
ねじ２０の締め付け力、即ちＯリング１９の圧縮力を調
整することによって容易に行える。またおもり軸１８は
Ｏリング１９によって本体１６に支持されているので、
振動抑制方向は、Ｚ方向のみでなく、ＸＹ方向にも作用
する。
【００１２】ところで、本実施例に示すトーチアーム５
は、Ｚ方向及びＸＹ方向と共にツールアーム３とほぼ同
じ共振周波数を有するので、トーチアーム５の振動が前
記のように抑制されると、結果としてツールアーム３の
振動が抑制される。従って、トーチアーム５がツールア
ーム３とほぼ同じ共振周波数を有しない場合には、ツー
ルアーム３とほぼ同じ共振周波数を有する他の部材又は
ボンデイングヘッド２に動吸振器取付部材を新しく取付
け、該部材に動吸振器１５を取付ければよい。即ち、動
吸振器１５を取付ける動吸振器取付部材は、トーチアー
ム５に限定されない。
は、Ｚ方向及びＸＹ方向と共にツールアーム３とほぼ同
じ共振周波数を有するので、トーチアーム５の振動が前
記のように抑制されると、結果としてツールアーム３の
振動が抑制される。従って、トーチアーム５がツールア
ーム３とほぼ同じ共振周波数を有しない場合には、ツー
ルアーム３とほぼ同じ共振周波数を有する他の部材又は
ボンデイングヘッド２に動吸振器取付部材を新しく取付
け、該部材に動吸振器１５を取付ければよい。即ち、動
吸振器１５を取付ける動吸振器取付部材は、トーチアー
ム５に限定されない。
【００１３】このように、動吸振器１５は、おもり軸１
８をＯリング１９を介して本体１６に取付けた非常に簡
単な構造よりなるので、安価で小型化が図れると共に、
常にツールアーム３のＸＹ方向及びＺ方向の振動を抑制
することができる。なお、上記実施例は、ワイヤボンデ
イング装置に適用した場合について説明したが、ダイボ
ンデイング、テープボンデイング等にも同様に適用でき
る。
８をＯリング１９を介して本体１６に取付けた非常に簡
単な構造よりなるので、安価で小型化が図れると共に、
常にツールアーム３のＸＹ方向及びＺ方向の振動を抑制
することができる。なお、上記実施例は、ワイヤボンデ
イング装置に適用した場合について説明したが、ダイボ
ンデイング、テープボンデイング等にも同様に適用でき
る。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、動吸振器は、おもり軸
をＯリングを介して本体に取付けた非常に簡単な構造よ
りなるので、安価で小型化が図れると共に、常にツール
アームのＸＹ方向及びＺ方向の振動を抑制することがで
きる。
をＯリングを介して本体に取付けた非常に簡単な構造よ
りなるので、安価で小型化が図れると共に、常にツール
アームのＸＹ方向及びＺ方向の振動を抑制することがで
きる。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の正面図である。
【図４】図１のＡーＡ線断面図である。
【図５】図１のＢーＢ線断面図である。
１ ＸＹテーブル
２ ボンデイングヘッド
３ ツールアーム
４ ツール
５ トーチアーム
１５ 動吸振器
１６ 本体
１６ａ おもり軸取付穴
１８ おもり軸
１９ Ｏリング
Claims (1)
- 【請求項１】 ＸＹテーブルと、このＸＹテーブル上
に固定されたボンデイングヘッドと、このボンデイング
ヘッドに上下動又は回動可能に設けられたツールアーム
と、このツールアームの一端に取付けられたツールと、
前記ツールアームの振動を抑制する動吸振器とを備えた
ボンデイング装置において、前記動吸振器は、おもり軸
取付穴が形成された本体と、この本体のおもり軸取付穴
にＯリングを介して取付けられたおもり軸とからなり、
ボンデイングヘッドに取付けられて前記ツールアームと
ほぼ同じ共振周波数を有する動吸振器取付部材に前記動
吸振器の本体が固定されてなることを特徴とするボンデ
イング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3135601A JP2789393B2 (ja) | 1991-05-11 | 1991-05-11 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3135601A JP2789393B2 (ja) | 1991-05-11 | 1991-05-11 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04335541A true JPH04335541A (ja) | 1992-11-24 |
| JP2789393B2 JP2789393B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15155630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3135601A Expired - Lifetime JP2789393B2 (ja) | 1991-05-11 | 1991-05-11 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2789393B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7306082B2 (en) * | 2003-04-08 | 2007-12-11 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Passive damping of vibrations in a support structure |
| US7353976B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-04-08 | Unaxis International Trading Ltd. | Wire bonder |
-
1991
- 1991-05-11 JP JP3135601A patent/JP2789393B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7306082B2 (en) * | 2003-04-08 | 2007-12-11 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Passive damping of vibrations in a support structure |
| US7353976B2 (en) | 2004-09-30 | 2008-04-08 | Unaxis International Trading Ltd. | Wire bonder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2789393B2 (ja) | 1998-08-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980428 |