JPH0236279Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はワイヤボンダに装備され、ボンデイン
グ接続の工程中において、適宜リードワイヤをク
ランプ又はクランプ解除するクランプ装置の改良
に関するものである。

（従来の技術） ワイヤボンダのリードワイヤは、周知のよう
に、ワイヤ供給源からキヤピラリに引き出されて
おり、このキヤピラリの移動によつて第１ボンド
位置から第２ボンド位置へのリード配線が行われ
る。その場合、キヤピラリの移動は次のような経
路をたどる。すなわち、まず、第１ボンド位置で
はワイヤボンド接続が行なわれた後、キヤピラリ
は所定位置まで上昇し、この上昇完了後に第２ボ
ンド位置の直上部まで水平移動を行ない、さらに
この直上部から第２ボンド位置までの下降移動を
行なう。そして、この第２ボンド位置で目的とす
るボンディング接続が行われ、第１ボンド位置と
第２ボンド位置とのリード接続が達成されるので
ある。

ところがこの場合、第１ボンド位置から第２ボ
ンド位置までの直線距離よりも第１ボンド位置か
ら第２ボンド位置の直上部までの直線距離が大き
いため、第２ボンドの直上位置から第２ボンド位
置までキヤピラリが降下したときにはリードワイ
ヤがたるみ、いわゆるアンダーループ状態とな
り、種々の弊害を発生することとなる。

このようなアンダーループを防止するため、近
年、キヤピラリの上方位置にワイヤクランプ装置
が設けられ、キヤピラリが第２ボンド位置に降下
するときにはリードワイヤをクランプし、キヤピ
ラリの下降による余つた分のリードワイヤを相対
的にキヤピラリから上方向に引き上げるようにし
て、前記アンダーループの発生が防止されてい
る。

このようなクランプ装置として第１図に示すも
のが知られている。図において、クランプホルダ
１は図示されていないワイヤボンダの本体に固定
されており、このクランプホルダ１には第１の段
差面１ａと第２の段差面１ｂとが形成されてい
る。第１の段差面１ａの先端部にはクランプ材２
が固定されており、その表面には固定側クランプ
面２ａが形成されている。また、第２の段差面１
ｂには押さえ板３を介して薄肉の可動ばね板４の
基部がねじ５によつて締結固定されており、この
可動ばね板４の先端部には緩衝材６を介して可動
クランプ材７が固定されている。そして、可動ク
ランプ材７の表面には可動側クランプ面７ａが形
成されており、この可動側クランプ面７ａはリー
ドワイヤ８を挟んで固定側クランプ面２ａと対向
している。なお、リードワイヤ８はリードワイヤ
の供給源から繰り出され、これ等のクランプ面２
ａ，７ａ間を通つてキヤピラリに至るものであ
る。

前記クランプホルダ１の端面にはクランプ力伝
達板９の基部が可動ばね板４の場合と同様にねじ
固定されている。このクランプ力伝達板９も薄肉
ばね板からなり、その先端部はほぼ直角に折曲さ
れ、固定・可動両側クランプ面２ａ，７ａの中心
を結ぶ線上で、前記可動ばね板４の裏面に当接さ
れている。

一方、クランプ力伝達板９の側方位置には、図
示されていないカム等によつて駆動される揺動自
在のクランプ開閉ロツド１０が設けられている。
このクランプ開閉ロツド１０にはクランプ力調整
ねじ１１が螺合されており、このクランプ力調整
ねじ１１の先端部はクランプ力伝達板９のほぼ中
央部に当接されている。したがつて、クランプ力
調整ねじを進退させることによつて、リードワイ
ヤ８のクランプ力が調整されることとなり、この
最適調整位置でクランプ調整ねじ１１はロツクね
じ１２によつてロツクされるようになつている。
このクランプ力はリードワイヤ８に異常変形を与
えない範囲で与える必要があり、通常２ｇ〜５ｇ
の範囲で設定されている。なお、上記クランプ力
伝達板９とクランプ開閉ロツド１０は可動側クラ
ンプ面７ａを駆動するクランプ駆動手段１４を構
成する。

上記構成からなる従来装置において、クランプ
開閉ロツド１０がクランプ位置、すなわち、クラ
ンプ開閉ロツド１０がクランプ力伝達板９の方向
に揺動して第１図の位置にあるときには、クラン
プ力伝達板９はクランプ力調整ねじ１１によつて
伝達力を受け、この伝達力によつて可動ばね板４
はリードワイヤ８の方向に撓み、リードワイヤ８
は固定・可動両側クランプ面２ａ，７ａ間にクラ
ンプ固定される。

一方、クランプ開閉ロツド１０が、クランプ解
除位置、すなわち、クランプ開閉ロツド１０が逆
方向に揺動して第２図の位置に動作したときに
は、クランプ調整ねじ１１とクランプ力伝達板９
との当接が解除される。この結果、可動ばね板４
およびクランプ力伝達板９が共に撓み位置から元
の自由位置に復帰し、リードワイヤ８と可動側ク
ランプ面７ａとの間に一定の間隙が形成される。

なお、これらクランプ開閉ロツド１０の動作
は、キヤピラリの上下移動の各工程位置に対応さ
せてカム等により制御されるものである。

（考案が解決しようとする問題点） 近年、生産能率の向上を目ざしてボンデイング
スピードの高速化が図られている。このためクラ
ンプ開閉ロツド１０のクランプおよびその解除動
作が高速で行われることとなり、クランプ力伝達
板９から可動ばね板４へのクランプ力の伝達およ
びその解除は衝撃的に行われている。

ところが、可動ばね板４およびクランプ力伝達
板９はクランプ力を小さくする観点から薄肉ばね
材によつて形成されており、このため、衝撃的な
力の伝達およびその解除によつてこれらのばね材
が振動をおこしてしまうという問題がある。した
がつて、特に、クランプ解除時に、可動側クラン
プ面７ａがリードワイヤ８に対して接離振動、す
なわち、リードワイヤ８への干渉を起し、リード
ワイヤ８のループ形成に際しループの形状不良を
ひきおこすという問題があり、また可動側クラン
プ面７ａの前記接離振動のため、可動側クランプ
面７ａの開閉指令に対して実質的にその追従性が
劣る結果となり、これがワイヤボンデイングの高
速化への障害となつていた。

本考案は上記問題点に顧みてなされたもので、
リードワイヤのクランプ解除時における可動側ク
ランプ面の衝撃的な振動を防止してリードワイヤ
への接離干渉を回避するとともに、クランプ解除
指令に対する可動側クランプ面の追従性を改善
し、ワイヤボンデイングの高速化に十分応え得る
ワイヤボンダのクランプ装置を提供するものであ
る。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記問題点を解決するために次の構成
を有する。即ち、クランプホルダに固定的に配設
されリードワイヤに対面する固定側クランプ面
と、基端部がクランプホルダに固定された可動ば
ね板と、この可動ばね板のおもて面に前記固定側
クランプ面と対向させて配設された可動側クラン
プ面と、前記固定側クランプ面に対し可動側クラ
ンプ面を開閉駆動しリードワイヤのクランプおよ
びクランプ解除を行なうクランプ駆動手段とを有
するワイヤボンダのワイヤクランプ装置におい
て、可動ばね板の近傍位置には特に、リードワイ
ヤのクランプおよびクランプ解除時に発生する可
動ばね板の衝撃振動を規制するバウンド防止部材
が設けられて構成されているワイヤボンダのワイ
ヤクランプ装置である。

（作用） 上記構成からなる本考案において、クランプ駆
動手段がクランプ動作したときには、可動ばね板
はクランプ駆動手段から瞬間的に力を受けて固定
クランプ面の方向に撓み、リードワイヤを固定・
可動両側クランプ面間にクランプする。そして、
クランプ駆動手段がクランプ解除動作したときに
は、可動ばね板は瞬間的に伝達力の解除作用を受
けるので、衝撃振動を開始しようとする。しか
し、この衝撃振動も同様にバウンド防止部材によ
つて規制されるので、可動側クランプ面がリード
ワイヤに対し接離振動をおこすことがない。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来装置
と同一部材には同一符号を付してその説明を省略
する。

第３図には本考案の一実施例が示されており、
本考案において特徴的なバウンド防止部材１３
は、可動ばね板４の近傍位置に配設されている。
このバウンド防止部材１３は第４図に示すよう
に、棒状の基軸１３Ｃの一端に支点軸１３ａが、
他端にバウンド規制腕１３ｂがそれぞれ折曲形成
されてコ字形状をなしており、支点軸１３ａはク
ランプ開閉ロツド１０に設けた回動孔に摩擦回動
自在にはめ込まれている。なお、この支点軸１３
ａの摩擦抵抗は可動ばね板４の反力によつて支点
軸１３ａが勝手に回動しないだけの十分大きな値
に設定される。そして要求があれば、その大きさ
を例えばばね圧等により調節できるように設計さ
れる。また、場合によつては、支点軸１３ａを所
望の調整位置で、ロツクするロツク手段が設けら
れる。さらに、バウンド規制腕１３ｂの配置位置
や寸法、その他各種の仕様が確定している場合
は、支点軸１３ａを所定の最適回動位置に当初か
ら固定配設してもよい。

一方、バウンド規制腕１３ｂは可動ばね板４を
またいで該可動ばね板４の内側、すなわち、可動
クランプ材７の取付側の面に対向される。そし
て、クランプ開閉ロツド１０がクランプ位置にあ
る状態のとき、バウンド規制腕１３ｂは可動ばね
板４と所定間隙ｔを介して配置される。

本実施例は上述の如く構成されており、例え
ば、クランプ開閉ロツド１０がクランプ位置に動
作した場合には、クランプ力伝達板９から可動ば
ね板４にクランプ力が伝達されリードワイヤ８の
クランプが達成される。

一方、クランプ開閉ロツド１０がクランプ解除
位置に動作した場合には、可動ばね板４は瞬間的
にクランプ力の伝達解除作用を受け、衝撃振動を
開始しようとする。しかし、このクランプ解除に
際して、可動ばね板４は開閉ロツド１０に連動し
て第３図の右方向に引き寄せられ、リードワイヤ
８と可動側クランプ面７ａとの間に間隙が形成さ
れるとともに、可動ばね板４の衝撃振動はバウン
ド規制腕１３ｂによつて阻止される結果、可動側
クランプ面７ａはリードワイヤ８と接触するよう
な振動をすることなく確実に切り離される。した
がつて、クランプ解除時にリードワイヤにクラン
プ面７ａが干渉を起すことはなく、また、可動側
クランプ面７ａはクランプ解除指令に対して極め
て迅速に追従することとなる。

（他の適用例） ワイヤボンダには通常２種のクランプ装置が設
けられている。その１つは、キヤピラリの第２ボ
ンド位置への下降時に発生する、アンダーループ
を防止するためのテンシヨンクランプ装置であ
り、他の１つは、第２ボンド位置でのボンデイン
グ完了後、リードワイヤのカツト時に、そのリー
ドワイヤをクランプするカツトクランプ装置であ
る。

本実施例はテンシヨンクランプ装置を例として
説明したが、本考案装置をカツトクランプ装置に
適用することも可能である。

（考案の効果） 本考案は上述の如く構成されているので、クラ
ンプ解除時に、可動側クランプ面が衝撃的な接離
振動によつてリードワイヤに干渉をおよぼすこと
がなく、また、可動ばね板の衝撃振動は効果的に
阻止されるので、クランプおよびクランプ解除指
令に対して、可動側クランプ面の追従性を大幅に
改善することが可能となり、これにより、ワイヤ
ボンデイングの高速化を十分に促進することが可
能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のクランプ装置のクランプ閉状態
の正面図、第２図は同装置のクランプ開状態の正
面図、第３図は本考案のクランプ装置の正面図、
第４図は本考案装置に使用されるバウンド防止部
材の正面図である。 １……クランプホルダ、２ａ……固定側クラン
プ面、４……可動ばね板、７ａ……可動側クラン
プ面、８……リードワイヤ、９……クランプ力伝
達板、１０……クランプ開閉ロツド、１３……バ
ウンド防止部材、１４……クランプ駆動手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クランプホルダに固定的に配設されリードワ
   イヤに対面する固定側クランプ面と、基端部が
   クランプホルダに固定された可動ばね板と、こ
   の可動ばね板のおもて面に前記固定側クランプ
   面と対向させて配設された可動側クランプ面
   と、前記固定側クランプ面に対し可動側クラン
   プ面を開閉駆動しリードワイヤのクランプおよ
   びクランプ解除を行なうクランプ駆動手段とを
   有するワイヤボンダのワイヤクランプ装置にお
   いて、可動ばね板の近傍位置には可動ばね板の
   衝撃振動を規制するバウンド防止部材が設けら
   れていることを特徴とするワイヤボンダのワイ
   ヤクランプ装置。 (2) クランプ駆動手段は、基端部がクランプホル
   ダに固定され先端部が可動ばね板の裏面に連係
   されたクランプ力伝達板と、このクランプ力伝
   達板の側方位置に揺動自在に設けられこの揺動
   作用によりクランプ力伝達板にクランプ力を伝
   達するクランプ開閉ロツドとからなり、バウン
   ド防止部材は、基軸の一端部から支点軸が、他
   端部からバウンド規制腕がそれぞれ折曲形成さ
   れたコ字形状をなし、支点軸はクランプ開閉ロ
   ツドに装着され、バウンド規制腕は可動ばね板
   のおもて面と対置されていることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載のワイヤボ
   ンダのワイヤクランプ装置。