JPS6184017A - マスク搬送装置 - Google Patents
マスク搬送装置Info
- Publication number
- JPS6184017A JPS6184017A JP59204073A JP20407384A JPS6184017A JP S6184017 A JPS6184017 A JP S6184017A JP 59204073 A JP59204073 A JP 59204073A JP 20407384 A JP20407384 A JP 20407384A JP S6184017 A JPS6184017 A JP S6184017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- light
- obverse
- conveying device
- reverse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は半導体露光装置で用いられるマスク搬送装置に
関し、特にマスクカセット内、マスク搬送路の途中およ
びマスク装填位置のいずれかにマスクの表裏を検知する
手段を設けることによりマスクのミスセツティングを防
止したマスク搬送装置に関する。
関し、特にマスクカセット内、マスク搬送路の途中およ
びマスク装填位置のいずれかにマスクの表裏を検知する
手段を設けることによりマスクのミスセツティングを防
止したマスク搬送装置に関する。
（発明の青票）
従来の半導体露光ｖｔ置においては、マスクの装着はマ
スクが手で持てる程度の大きさであったこと、マスクの
交換が繁雑でないこと等から手作業によって行なわれて
いた。
スクが手で持てる程度の大きさであったこと、マスクの
交換が繁雑でないこと等から手作業によって行なわれて
いた。
しかし、近年集積回路の高集積化や高密度化が急激に進
み、さらに１チツプ当たりのコスト低減を図るために歩
留りの向上が強く望まれるようになってきており、従来
の手作業ではマスクの装着の際に付着するゴミや汚れ等
により上記要望が満足されない場合がしばしば生ずる。
み、さらに１チツプ当たりのコスト低減を図るために歩
留りの向上が強く望まれるようになってきており、従来
の手作業ではマスクの装着の際に付着するゴミや汚れ等
により上記要望が満足されない場合がしばしば生ずる。
ざらに歩留り向上を目的としてウェハが大口径化し、こ
れに伴いマスクも大きくなり、手で持つことが困難にな
−りつつある。
れに伴いマスクも大きくなり、手で持つことが困難にな
−りつつある。
そこで最近ではマスクを自動的に搬送できる装置がいく
つか提案されている。例えば、マスクか収納されたマス
クカレットを複数枚装填でき、このマスクカセットから
マスクを取り出し、マスクステージに設けられたマスク
チャックへ自動的に’ｍ送する線面を有しているものが
知られている。
つか提案されている。例えば、マスクか収納されたマス
クカレットを複数枚装填でき、このマスクカセットから
マスクを取り出し、マスクステージに設けられたマスク
チャックへ自動的に’ｍ送する線面を有しているものが
知られている。
しかし、この装置においてもマスクをマスクカセットに
収納する作業は人の手を介して行なわれるため、作業者
が誤ってマスクを表裏逆に入れてしまった場合、裏返し
のままマスクがマスクチャックにｙ１２送されそのまま
焼付けが行なわれてしまうという欠点があった。
収納する作業は人の手を介して行なわれるため、作業者
が誤ってマスクを表裏逆に入れてしまった場合、裏返し
のままマスクがマスクチャックにｙ１２送されそのまま
焼付けが行なわれてしまうという欠点があった。
（発明の目的および慨要）
本発明は、上記従来技術の欠点を除去するため、マスク
１１０送装置において、焼付けが行なわれる前の段階で
マスクの表裏を自ＵＪ的に検知する手段を設【プるとい
う構想に基づき、マスクのミスセツティングを防止する
ことを目的とする。
１１０送装置において、焼付けが行なわれる前の段階で
マスクの表裏を自ＵＪ的に検知する手段を設【プるとい
う構想に基づき、マスクのミスセツティングを防止する
ことを目的とする。
（実施例の説明）
以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。
第１図（ａ＞はマスク搬送装置のマスクハンド部の斜視
図で、同図（ｂ）は同図（ａ＞の縦断面図である。同図
にＪ５いて、１はマスク、２はマスクカセットの下蓋、
３はマスクカセットを１般送する）Ａ−り、４は表裏検
知センサを喝えたアーム、５はマスク１を搬送するマス
クハンド、および６は表裏検知センＩすである。
図で、同図（ｂ）は同図（ａ＞の縦断面図である。同図
にＪ５いて、１はマスク、２はマスクカセットの下蓋、
３はマスクカセットを１般送する）Ａ−り、４は表裏検
知センサを喝えたアーム、５はマスク１を搬送するマス
クハンド、および６は表裏検知センＩすである。
同図（ａ）において、マスク１はマスクカセットの下蓋
２に収納された状態でフォーク３により、マスクハンド
５の下に搬送される。ここで、マスク１はマスクハンド
５に備えられたマスク位置決め礪構により自動的に位胃
決めされる。この際、同図（ｂ）に示すようにマスク１
下面にアーム４によって表裏検知センサ６が配置されマ
スク１の表裏が正常か否か判定し、正常でなければ警報
を発する。
２に収納された状態でフォーク３により、マスクハンド
５の下に搬送される。ここで、マスク１はマスクハンド
５に備えられたマスク位置決め礪構により自動的に位胃
決めされる。この際、同図（ｂ）に示すようにマスク１
下面にアーム４によって表裏検知センサ６が配置されマ
スク１の表裏が正常か否か判定し、正常でなければ警報
を発する。
次に、本発明の表裏検知メカニズムの詳細を説明する。
第２図（ａ）および（ｂ）は、表裏検知センサとして光
学的センサを用いた場合の表裏検知メカニズムを説明す
る図である。
学的センサを用いた場合の表裏検知メカニズムを説明す
る図である。
同図において、マスク１の下面（表面）には、金属＋１
！Ｊ ７がコーティングされており、表裏が正常である
場合は、同図（ａ＞に示すように発光素子６ａから出た
光は、金属膜７で反則し受光素子６ｂのと＝ろに戻って
くる。しかし、同図（ｂ）に示すように、マスクの表裏
が逆であった場合は発光素子６ａから出た光は、受光素
子６ｂには戻ってこ４丁いため表裏が逆であることが認
識される。
！Ｊ ７がコーティングされており、表裏が正常である
場合は、同図（ａ＞に示すように発光素子６ａから出た
光は、金属膜７で反則し受光素子６ｂのと＝ろに戻って
くる。しかし、同図（ｂ）に示すように、マスクの表裏
が逆であった場合は発光素子６ａから出た光は、受光素
子６ｂには戻ってこ４丁いため表裏が逆であることが認
識される。
また同様に表裏検知センサとして光学的センサを用いた
例として第３図のような配置をとることら可能である。
例として第３図のような配置をとることら可能である。
すなわち、同図（ａ）に示すように表裏が１児である場
合は発光素子６ａから′出た）には、金属膜７で反射し
受光素子６ｂに達しないが、同図（ｂ）に示すようにマ
スクの表裏が逆であった場合は発光諧子６ａから出た光
は受光素子６ｂにｊヱするため表裏が逆であることが認
識されるっ 第４図（ａ ） Ａ３よび（ｂ）は、表裏検知センサと
して電気的センサを用いた場合の表裏検知メカニズムを
説明する図である。
合は発光素子６ａから′出た）には、金属膜７で反射し
受光素子６ｂに達しないが、同図（ｂ）に示すようにマ
スクの表裏が逆であった場合は発光諧子６ａから出た光
は受光素子６ｂにｊヱするため表裏が逆であることが認
識されるっ 第４図（ａ ） Ａ３よび（ｂ）は、表裏検知センサと
して電気的センサを用いた場合の表裏検知メカニズムを
説明する図である。
同図において、静電容量センサ８はマスク１の下面に配
置された時、金属膜７との間隔の差によって静°取容呈
に差が生ずるため表装を判定することが可能となる。ま
た、金属膜部７に電極を接触させて導通の有無を調べる
方式も適用できる。
置された時、金属膜７との間隔の差によって静°取容呈
に差が生ずるため表装を判定することが可能となる。ま
た、金属膜部７に電極を接触させて導通の有無を調べる
方式も適用できる。
なお、上述の実施例においては、マスク搬送路の途中に
表裏検知センサを配置するようにしているが、マスクの
表裏検知手段は焼付けが行なわれる前の段階であればマ
スクカセット内およびマスク装填装置のいずれに設けて
もよい。
表裏検知センサを配置するようにしているが、マスクの
表裏検知手段は焼付けが行なわれる前の段階であればマ
スクカセット内およびマスク装填装置のいずれに設けて
もよい。
（発明の効宋）
以上説明したように、本発明によれば焼付けを行なう館
の段階でマスクの表裏を検知することができるため、マ
スクの表裏のミスセツティングを未然に防止しマスクが
裏返しにセットされたまま焼付けが行なわれることを防
止できる。
の段階でマスクの表裏を検知することができるため、マ
スクの表裏のミスセツティングを未然に防止しマスクが
裏返しにセットされたまま焼付けが行なわれることを防
止できる。
第１図（ａ）はマスク搬送装置のマスクハンド部の斜視
図、 同図＜ ｂ’ ＞は同図（ａ）の縦断面図、第２図およ
び第３図は表裏検知センサとして尤学的センサを用いｌ
；場合の表廖検知メカニズムを説明する図、並びに、 第４図は表裏検λ０レンサとして電気的センサを用いた
場合の表裏検知メカニズムを説明する図である。 １・・・マスク、２・・・マスクカセットの下蓋、３・
・・フォーク、４・・・アーム、５・・・マスクハンド
、６・・・表災ｉ尖知センサ、６ａ・・・発光素子、６
ｂ・・・受光索子、７・・・金属膜、８・・・静電容量
センサ。
図、 同図＜ ｂ’ ＞は同図（ａ）の縦断面図、第２図およ
び第３図は表裏検知センサとして尤学的センサを用いｌ
；場合の表廖検知メカニズムを説明する図、並びに、 第４図は表裏検λ０レンサとして電気的センサを用いた
場合の表裏検知メカニズムを説明する図である。 １・・・マスク、２・・・マスクカセットの下蓋、３・
・・フォーク、４・・・アーム、５・・・マスクハンド
、６・・・表災ｉ尖知センサ、６ａ・・・発光素子、６
ｂ・・・受光索子、７・・・金属膜、８・・・静電容量
センサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、マスクが収納されたマスクカセットを複数枚有し、
このマスクカセットからマスクを取り出してマスクステ
ージに設けられたマスクチャツクへ自動的に搬送する装
置であって、マスクカセット内、マスク搬送路の途中お
よびマスク装填装置のいずれかにマスクの表裏を検知す
る手段を設けたことを特徴とするマスク搬送装置。 ２、前記表裏検知手段が光学的センサである特許請求の
範囲第１項記載のマスク搬送装置。 ３、前記表裏検知手段として電気的センサを用いること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマスク搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59204073A JPS6184017A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | マスク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59204073A JPS6184017A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | マスク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184017A true JPS6184017A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16484317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59204073A Pending JPS6184017A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | マスク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184017A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190003354A (ko) * | 2017-06-30 | 2019-01-09 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
| JP2019062150A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP59204073A patent/JPS6184017A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190003354A (ko) * | 2017-06-30 | 2019-01-09 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
| JP2019012792A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP2019062150A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
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