JPH07214637A - 同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法 - Google Patents

同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法

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JPH07214637A
JPH07214637A JP6320797A JP32079794A JPH07214637A JP H07214637 A JPH07214637 A JP H07214637A JP 6320797 A JP6320797 A JP 6320797A JP 32079794 A JP32079794 A JP 32079794A JP H07214637 A JPH07214637 A JP H07214637A
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フレデリック サットン ジュニア リチャード
Kuppusamy Kanakarajan
カナカラジャン クップサミ
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 接着剤を使用せずにポリイミド層同士の間の
接着性に優れた多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方
法を提供すること。 【構成】 芳香族テトラカルボン酸二無水物および芳香
族ジアミンの反応から誘導される第1のポリアミン酸の
層と、4,4′−オキシジフタル酸二無水物および(ジ
アミノフェノキシ)ベンゼンの反応から誘導される第2
のポリアミン酸の少なくとも1層とを同時押出して自立
性多層ポリアミン酸フィルムを形成し、この多層フィル
ムを熱処理してポリアミン酸層を多層ポリイミドフィル
ムに完全に転化する。場合によって、ポリアミン酸溶液
に無機充填剤の微細粒子を添加して多層フィルムの特性
を向上させてもよい。同時押出フィルムはフレキシブル
配線回路用途に使用する片面および両面ポリイミド金属
張りラミネートの形成に使用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は2種以上の芳香族ポリア
ミン酸溶液を同時押出して2層以上を有し接着または結
束(tie)層を含まない多層芳香族ポリイミドフィル
ムを形成することにより製造されるフィルムに関するも
のである。特に好ましいのは、ポリイミドフィルムベー
ス層と、1層以上の、4,4′−オキシジフタル酸二無
水物および(ジアミノフェノキシ)ベンゼンから誘導さ
れたポリイミドのヒートシール可能な層とを有する同時
押出多層ポリイミドフィルムである。
【0002】なお、本明細書の記述は本件出願の優先権
の基礎たる米国特許出願第08/172,296号(1
993年12月22日出願)の明細書の記載に基づくも
のであって、当該米国特許出願の番号を参照することに
よって当該米国特許出願の明細書の記載内容が本明細書
の一部分を構成するものとする。
【0003】
【従来の技術】芳香族ポリイミドは一般に他の有機ポリ
マーと比べて優れた耐熱性を示し、さらに、優れた機械
的性質、化学的耐性および電気的絶縁特性を有する。し
かし、そのようなポリイミドは加工し難いためと、市販
の接着剤は高温に限界があるのでポリイミドフィルムの
表面を他のポリイミドフィルムの表面に直接接着するこ
とにより多層ポリイミドフィルムを製造する試みは十分
満足のゆくものとはいえなかった。例えば、市販の非ポ
リイミド接着剤はポリイミドの大部分の最終用途につい
て熱安定性、放射線耐性または可撓性が十分ではない。
【0004】多層ポリイミドフィルムは、ポリアミン酸
または他のポリイミド前駆体のベースゲルフィルム構造
にポリアミン酸溶液を塗布した後、塗布されたベースフ
ィルムを熱処理して完全に全体構造をポリイミドポリマ
ー材料に転換することによっても製造することができ
る。しかし、多くの場合、ポリアミン酸コーティングは
ポリイミドベースフィルムよりも接着性が劣っている。
【0005】欧州特許出願第0474054号出願公開
公報(1992年3月11日公開)は芳香族ポリイミド
フィルムベース層と、4,4′−オキシジフタル酸二無
水物および(ジアミノフェノキシ)ベンゼンから誘導さ
れたイミド反復単位を30モル%以上含有するヒートシ
ール可能なポリイミド接着剤の層を1層以上有する多層
ポリイミドフィルムを開示している。多層ポリイミドは
ポリアミン酸接着剤の溶液を十分に硬化したポリイミド
ベースフィルム上に、あるいは部分的に硬化したポリア
ミン酸ゲルまたは未硬化フィルム上に、直接塗布し、次
いで硬化してポリイミドを形成することにより製造され
る。
【0006】米国特許第3,505,168号(Dun
phy et al.、発行日:1970年4月7日)
公報はヒートシール可能な、2層以上を有するポリイミ
ド積層構造で一つの層のポリイミドが他の層のポリイミ
ドと異なり、ベースポリイミド層にポリアミン酸前駆体
の層を塗布し熱処理して完全にポリアミン酸前駆体をポ
リイミドに転換することにより製造されたものを開示し
ている。
【0007】米国特許第3,770,573号(Dun
phy et al.、発行日:1973年11月6
日)公報は、1層の非ヒートシール可能ポリイミド層を
ヒートシール可能ポリイミド層に相互拡散的に接着され
ている多層ポリイミド構造であって、ベースゲルフィル
ム構造の少なくとも1つの面にポリアミン酸組成物を塗
布し、塗布されたベースフィルムを一体のポリイミドフ
ィルム構造に転換することによって製造されたものを開
示している。
【0008】欧州特許出願第0431636号出願公開
公報(公開日:1991年6月12日)は、1層以上
の、厚みが10マイクロメータ以下の、芳香族テトラカ
ルボン酸二無水物および2以上のベンゼン環を有する芳
香族ジアミンから誘導された芳香族ポリイミドの層と、
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物およびフェニレン
ジアミンから誘導された ベースポリイミド層とを有
し、2以上の芳香族ポリアミン酸溶液を押出成形ダイを
通して同時押出して2または3層フィルムを形成した押
出成形された多層ポリイミドフィルムを開示している。
4,4−オキシジフタル酸二無水物および(ジアミノフ
ェノキシ)ベンゼンから誘導されたイミド反復単位を含
有するコポリアミン酸接着剤を同時押出することにより
製造された多層ポリイミドフィルムは開示されていな
い。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
ようにポリイミド層間の接着に優れ、それらの層の間に
接着剤を使用する必要がない多層芳香族ポリイミドフィ
ルムに対する需要を満たすため、同時押出多層芳香族ポ
リイミドフィルムの製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の解決手段
に従う同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方
法は下記工程を具備することを特徴とする: (a)一種類以上の芳香族テトラカルボン酸二無水物と
一種類以上の芳香族ジアミンとの反応により誘導された
芳香族ポリアミン酸を極性有機溶媒に溶解して成る第1
の溶液流を形成し、(b)4,4′−オキシジフタル酸
二無水物30−100モル%と、ピロメリト酸二無水
物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2′,3,3′−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、2,2′,3,3′−
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロ
パン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物お
よびm−フェニレンビス(トリメリテート)二無水物よ
り成る群から選ばれた芳香族テトラカルボン酸二無水物
0−30モル%と、下式
【0011】
【化3】
【0012】の(ジアミノフェノキシ)ベンゼン30−
100モル%と、p−フェニレンジアミン、ヘキサメチ
レンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレ
ンジアミン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、
3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス
(4−アミノベンゾイロキシ)ベンゼン、4,4′−ジ
アミノベンズアニリド,4,4′−ビス(4−アミノフ
ェノキシ)フェニルエーテルおよびポリシロキサンジア
ミンより成る群から選択されたジアミン0−30モル%
との反応により誘導されたポリアミン酸を前記極性有機
溶媒に溶解した第2の溶液流を形成し、(c)前記工程
(a)からの前記第1の芳香族ポリアミン酸溶液の少な
くとも一つの流れと、前記工程(b)からの前記第2の
芳香族ポリアミン酸溶液の少なくとも一つの流れとを押
出ダイを通して支持体の表面上に同時押出して少なくと
も2層のポリアミン酸フィルム層を形成し、(d)前記
支持体上の前記ポリアミン酸フィルム層を前記有機極性
溶媒を蒸発させることにより固化して自立性多層フィル
ムを形成し、(e)前記支持体から前記自立性多層フィ
ルムを除去し、かつ(f)前記自立性多層フィルムを熱
処理して前記第1および第2のポリアミン酸層を多層ポ
リイミドフィルムに完全に転化する。
【0013】本発明の第2の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1の
解決手段の方法において、前記工程(a)における前記
第1のポリアミン酸がピロメリト酸二無水物と4,4′
−ジアミノジフェニルエーテルとの反応生成物であるこ
とを特徴とする。
【0014】本発明の第3の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1の
解決手段の方法において、前記工程(a)における前記
第1のポリアミン酸が3,3′,4,4′−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物と、ピロメリト酸と、4,
4′−ジアミノジフェニルエーテルとの反応生成物を包
含することを特徴とする。
【0015】本発明の第4の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二無
水物70−95モル%と、ピロメリト酸二無水物5−3
0モル%と、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベ
ンゼン100モル%との反応生成物を包含することを特
徴とする。
【0016】本発明の第5の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第3の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二無
水物70−95モル%と、ピロメリト酸二無水物5−3
0モル%と、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベ
ンゼン100モル%との反応生成物を包含することを特
徴とする。
【0017】本発明の第6の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が1,3−ビス(4−アミノフェノ
キシ)ベンゼン70−95モル%と、ヘキサメチレンジ
アミン5−30モル%、4,4′−オキシジフタル酸二
無水物70−90モル%と、ピロメリト酸二無水物10
−30モル%との反応生成物を包含することを特徴とす
る。
【0018】本発明の第7の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第3の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が1,3−ビス(4−アミノフェノ
キシ)ベンゼン70−95モル%と、ヘキサメチレンジ
アミン5−30モル%、4,4′−オキシジフタル酸二
無水物70−90モル%と、ピロメリト酸二無水物10
−30モル%との反応生成物を包含することを特徴とす
る。
【0019】本発明の第8の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二無
水物100モル%と、1,3−ビス(4−アミノフェノ
キシ)ベンゼン70−95モル%と、p−フェニレンジ
アミン5−30モル%との反応生成物を包含することを
特徴とする。
【0020】本発明の第9の解決手段に従う同時押出多
層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第3の
解決手段の方法において、前記工程(b)における前記
第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二無
水物100モル%と、1,3−ビス(4−アミノフェノ
キシ)ベンゼン70−95モル%と、p−フェニレンジ
アミン5−30モル%との反応生成物を包含することを
特徴とする。
【0021】本発明の第10の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2
の解決手段の方法において、前記工程(b)における前
記第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二
無水物70−95モル%と、3,3′,4,4′−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物5−30モル%と、
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン100
モル%との反応生成物を包含することを特徴とする。
【0022】本発明の第11の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第3
の解決手段の方法において、前記工程(b)における前
記第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸二
無水物70−95モル%と、3,3′,4,4′−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物5−30モル%と、
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン100
モル%との反応生成物を包含することを特徴とする。
【0023】本発明の第12の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記工程(a)における前
記第1のポリアミン酸が3,3′,4,4′−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミン
との反応生成物を包含することを特徴とする。
【0024】本発明の第13の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
2の解決手段の方法において、前記工程(b)における
前記第2のポリアミン酸が4,4′−オキシジフタル酸
二無水物70−95モル%と、ピロメリト酸二無水物5
−30モル%と、1,3−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ベンゼン100モル%との反応生成物を包含するこ
とを特徴とする。
【0025】本発明の第14の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第4
の解決手段の方法において、前記ポリアミン酸の前記第
1および第2の流れが前記工程(c)において2層フィ
ルムに押出されることを特徴とする。
【0026】本発明の第15の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第4
の解決手段の方法において、前記ポリアミン酸の前記第
1および第2の流れが前記工程(c)において3層フィ
ルムに押出されることを特徴とする。
【0027】本発明の第16の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第5
の解決手段の方法において、前記ポリアミン酸の前記第
1および第2の流れが前記工程(c)において2層フィ
ルムに押出されることを特徴とする。
【0028】本発明の第17の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第5
の解決手段の方法において、前記ポリアミン酸の前記第
1および第2の流れが前記工程(c)において3層フィ
ルムに押出されることを特徴とする。
【0029】本発明の第18の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記ポリアミン酸フィルム
層が前記工程(d)において30℃−300℃の温度で
乾燥することにより固化されることを特徴とする。
【0030】本発明の第19の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記自立性多層フィルムが
前記工程(f)において200℃−600℃の温度で
0.1−120分間熱処理されることを特徴とする。
【0031】本発明の第20の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記工程(a)および
(b)における前記第1および第2のポリアミン酸溶液
の双方が無機充填剤粒子を各ポリイミドフィルム層の重
量に基づいて0.001−65重量%含有することを特
徴とする。
【0032】本発明の第21の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記工程(a)における前
記第1のポリアミン酸溶液が無機充填剤粒子を前記第1
のポリイミドフィルム層の重量に基づいて0.001−
65重量%含有することを特徴とする。
【0033】本発明の第22の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記工程(b)における前
記第2のポリアミン酸溶液が無機充填剤粒子を前記第2
のポリイミドフィルム層の重量に基づいて0.001−
65重量%含有することを特徴とする。
【0034】本発明の第23の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第4
の解決手段の方法において、前記工程(a)における前
記第1のポリアミン酸溶液が無機充填剤粒子を前記第1
のポリイミドフィルム層の重量に基づいて0.001−
65重量%含有することを特徴とする。
【0035】本発明の第24の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2
3の解決手段の方法において、前記無機充填剤粒子が燐
酸水素カルシウムを含んでなることを特徴とする。
【0036】本発明の第25の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第5
の解決手段の方法において、前記工程(a)における前
記第1のポリアミン酸溶液が無機充填剤粒子を前記第1
のポリイミドフィルム層の重量に基づいて0.001−
65重量%含有することを特徴とする。
【0037】本発明の第26の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第2
5の解決手段の方法において、前記無機充填剤粒子が燐
酸水素カルシウムを含んでなることを特徴とする。
【0038】本発明の第27の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
の解決手段の方法において、前記同時押出多層ポリイミ
ドフィルムの全厚が0.1−10ミルであることを特徴
とする。
【0039】本発明の第28の解決手段に従う同時押出
多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1
7の解決手段の方法において、前記同時押出3層フィル
ムは3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物92モル%、ピロメリト酸二無水物8モル%、
p−フェニレンジアミン95モル%および4,4′−ジ
アミノジフェニルエーテル5モル%を含んでなる1.4
ミル厚のポリイミド内側層と、4,4′−オキシジフタ
ル酸二無水物80モル%、ピロメリト酸二無水物20モ
ル%および1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベン
ゼン100モル%を含んでなる0.3ミル厚のポリイミ
ド外側層(複数)とを備えたことを特徴とする。
【0040】本発明の第29の解決手段に従う金属箔張
り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法は
下記工程を具備することを特徴とする: (a)一種類以上の芳香族テトラカルボン酸二無水物と
一種類以上の芳香族ジアミンとの反応により誘導された
芳香族ポリアミン酸を極性有機溶媒に溶解して成る第1
の溶液流を形成し、(b)4,4′−オキシジフタル酸
二無水物30−100モル%と、ピロメリト酸二無水
物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、2,2′,3,3′−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、2,2′,3,3′−
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロ
パン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2−ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物お
よびm−フェニレンビス(トリメリテート)二無水物よ
り成る群から選ばれた芳香族テトラカルボン酸二無水物
0−30モル%と、下式
【0041】
【化4】
【0042】の(ジアミノフェノキシ)ベンゼン30−
100モル%と、p−フェニレンジアミン、ヘキサメチ
レンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレ
ンジアミン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、
3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス
(4−アミノベンゾイロキシ)ベンゼン、4,4′−ジ
アミノベンズアニリド,4,4′−ビス(4−アミノフ
ェノキシ)フェニルエーテルおよびポリシロキサンジア
ミンより成る群から選択されたジアミン0−30モル%
との反応により誘導されたポリアミン酸を前記極性有機
溶媒に溶解した第2の溶液流を形成し、(c)前記工程
(a)からの前記第1の芳香族ポリアミン酸溶液の少な
くとも一つの流れと、前記工程(b)からの前記第2の
芳香族ポリアミン酸溶液の少なくとも一つの流れとを押
出ダイを通して支持体の表面上に同時押出して少なくと
も2層のポリアミン酸フィルム層を形成し、(d)前記
支持体上の前記ポリアミン酸フィルム層を前記有機極性
溶媒を蒸発させることにより固化して自立性多層フィル
ムを形成し、(e)前記支持体から前記自立性多層フィ
ルムを除去し、(f)前記自立性多層フィルムを熱処理
して前記第1および第2のポリアミン酸層を多層ポリイ
ミドフィルムに完全に転化し、(g)前記工程(f)か
らの前記多層ポリイミドフィルムの少なくとも一面に、
接着剤を使用することなく、200℃−400℃の温度
および10−50kg/cm2 の圧力で金属箔を直接積
層し、前記金属箔の前記多層フィルムへの接着強さがI
PC法TM2.4.9により決定した際に6pli以上
であるようにする。
【0043】本発明の第30の解決手段に従う金属箔張
り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法
は、前記第29の解決手段の方法において、前記工程
(a)の前記第1のポリアミン酸流と前記工程(b)の
前記第2のポリアミン酸流とが前記工程(c)において
3層ポリイミドフィルムに押出されることを特徴とす
る。
【0044】本発明の第31の解決手段に従う金属箔張
り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法
は、前記第30の解決手段の方法において、前記工程
(a)の前記第1のポリアミン酸流は3,3′,4,
4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリ
ト酸二無水物、p−フェニレンジアミンおよび4、4′
−ジアミノジフェニルエーテルの反応生成物を含んでな
ることを特徴とする。
【0045】本発明の第32の解決手段に従う金属箔張
り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法
は、前記第31の解決手段の方法において、前記工程
(b)の前記第2のポリアミン酸流は4,4′−オキシ
ジフタル酸二無水物70−95モル%、ピロメリト酸5
−30モル%および1,3−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ベンゼン100モル%の反応生成物を含んでなるこ
とを特徴とする。
【0046】本発明の第33の解決手段に従う金属箔張
り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法
は、前記第32の解決手段の方法において、前記工程
(a)の前記第1のポリアミン酸溶液が無機充填剤粒子
を前記第1のポリイミドフィルム層の重量に基づいて
0.001−65重量%含有することを特徴とする
【0047】
【作用】本発明の同時押出多層芳香族ポリイミドフィル
ムの製造方法は、ポリイミドベースフィルムと1層以上
のヒートシール可能ポリイミドフィルムの層を包含し、
適当な芳香族テトラカルボン酸二無水物と適当なジアミ
ンの反応により誘導されたポリアミン酸の第1および第
2の溶液流を同時押出して2層以上のポリアミン酸フィ
ルムの層を形成し、次いで乾燥および熱処理して最終的
に多層のポリイミドフィルム構造を形成するものであ
る。
【0048】上述のポリイミドベースフィルムは次式
【0049】
【化5】
【0050】(式中、Rは炭素数6の少なくとも1つの
環を含む4価の芳香族残基であって、4個のカルボニル
基は残基Rの環の別々の炭素原子に直接結合していると
ともに、各対のカルボニル基は残基Rの環の隣接する炭
素原子に結合しており、R1 は芳香族ジアミンの2価の
残基を表す。)の反復イミド単位を含有する。
【0051】上述のポリイミドベースフィルムで使用す
ることができる酸二無水物は次のものを含む。すなわ
ち、ピロメリト酸二無水物、3,4,9,10−ペリレ
ンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−2,3,
6,7−テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−
テトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキ
シフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)スルホン二無水物、2,3,2′,
3′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)スルフィド二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無
水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)
プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキ
シフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、3,
4,3′,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、2,6−ジクロロナフタレン−1,4,5,8−テ
トラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロナフタレン
−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、2,
3,6,7−テトラクロロナフタレン−1,4,5,8
−テトラカルボン酸二無水物、フェナントレン−1,
8,9,10−テトラカルボン酸二無水物およびベンゼ
ン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物を含
む。
【0052】上述のポリイミドベースフィルム中に酸二
無水物と一緒に使用することができるジアミンは下記の
ものを含む。すなわち、メタフェニレンジアミン、パラ
フェニレンジアミン、2,2−ビス(4−アミノフェニ
ル)プロパン、4,4′−ジアミノジフェニルメタン、
4,4′−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4′−
ジアミノジフェニルスルホン、3,3′−ジアミノジフ
ェニルスルホン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテ
ル、3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、2,6−
ジアミノピリジン、ビス(3−アミノフェニル)ジエチ
ルシラン、ベンジジン、3,3′−ジクロロベンジジ
ン、3,3′−ジメトキシベンジジン、4,4′−ジア
ミノベンゾフェノン、N,N−ビス(4−アミノフェニ
ル)−n−ブチルアミン、N,N−ビス(4−アミノフ
ェニル)メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、
3,3′−ジメチル- 4,4′−ジアミノビフェニル、
m−アミノベンゾイル−p−アミノアニリド、4−アミ
ノフェニル−3−アミノベンゾエート、N,N−ビス
(4−アミノフェニル)アニリン、2,4−ビス(β−
アミノ−t−ブチル)トルエン、ビス(p−β−アミノ
−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス−2−(2
−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス
(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、
m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、上
述のものの位置異性体、およびそれらの混合物を含む。
【0053】ポリイミドおよびポリアミン酸の製造は米
国特許第3,179,614号および同第3,179,
634号公報に詳細に記載されている。
【0054】特に好適なポリイミドベースフィルムは
4,4′−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリト酸
二無水物から誘導される。
【0055】上述のテトラカルボン酸二無水物と芳香族
ジアミンから誘導されるコポリイミドもポリイミドベー
スフィルムとして使用することができる。特に好適なコ
ポリイミドは、米国特許第5,166,308号公報に
記載されているような、3,3′,4,4′−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリト酸二無水物、
p−フェニレンジアミンおよび4,4′−ジアミノジフ
ェニルエーテルから誘導されるものである。そのような
コポリイミドをベースフィルムとして使用すると得られ
るフィルムの低熱膨張率、低吸水率、低吸湿膨張率およ
び高機械強度が得られるので好ましい。
【0056】ヒートシール可能ポリイミドフィルムは、
4,4′−オキシジフタル酸二無水物と(ジアミノフェ
ノキシ)ベンゼンから誘導される下式の反復イミド単位
を30−100モル%、好ましくは40−80モル%含
有する。
【0057】
【化6】
【0058】ヒートシール可能ポリイミドフィルムに使
用するのに適している(ジアミノフェノキシ)ベンゼン
は1,2−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,
2−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−
ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1−(4−ア
ミノフェノキシ)−3−(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンお
よび1−(4−アミノフェノキシ)−4−(3−アミノ
フェノキシ)ベンゼンを含む。
【0059】ヒートシール可能ポリイミドフィルムは、
上述の4,4′−オキシジフタル酸二無水物と(ジアミ
ノフェノキシ)ベンゼンとは異なる酸二無水物とジアミ
ンから誘導された追加の反復イミド単位を0−30モル
%、好ましくは5−15モル%含有していてもよい。こ
のようにして得られたポリイミドはガラス転移温度が2
50℃より低く、得られるフィルムの良好な熱的、機械
的および電気的特性を低下させることなくベースポリイ
ミドフィルムに対する親和性が向上し金属フォイルに対
する接着を改善するので有利である。
【0060】ヒートシール可能ポリイミドフィルムに使
用するのに特に好適な酸二無水物とジアミンはピロメリ
ト酸二無水物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、2,2′,3,3′−ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,
4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,
2′,3,3′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘ
キサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルフィド二無
水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)
メタン二無水物、2、2−ビス(3,4−ジカルボキシ
フェニル)メタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジ
カルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス
(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、
2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパ
ン二無水物、m−フェニレンビス(トリメリテート)二
無水物、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジア
ミン、3,3−ジメチルペンタメチレンジアミン、3−
メチルヘキサメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチ
レンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミ
ン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、
1,1,6,6−テトラメチルヘキサメチレンジアミ
ン、2,2,5,5−テトラメチルヘキサメチレンジア
ミン、4,4−ジメチルヘプタメチレンジアミン、デカ
メチレンジアミン、4,4′−ジアミノベンゾフェノ
ン、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエート、m
−アミノベンゾイル−p−アミノアニリド、4,4′−
ジアミノジフェニルエーテル、3,4′−ジアミノジフ
ェニルエーテル、ビス(4−アミノフェニル)メタン、
1,1−ビス(4−アミノフェニル)エタン、2,2−
ビス(4−アミノフェニル)プロパン、4,4′−ジア
ミノジフェニルスルホキシド、3,3′−ジアミノベン
ゾフェノン、2,2′−ジアミノベンゾフェノン、1,
3−ビス(4−アミノベンオイルオキシ)ベンゼン、
4,4′−ジアミノベンズアニリド、4,4′−ビス
(4−アミノフェノキシ)フェニルエーテル、2,2′
−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)−1,3−ジ
クロロ−1,1,3,3−テトラフルオロプロパン、
4,4′−ジアミノジフェニルスルホン、1,12−ジ
アミノドデカン、1,13−ジアミノトリデカンおよび
次式のポリシロキサンジアミン
【0061】
【化7】
【0062】(式中、R4 は低級アルキレン、アラルキ
レンまたはフェニレン、R5 は低級アルキルまたはフェ
ニル、R6 は低級アルキルまたはフェニルおよびmは1
−100である。)である。ここに、「低級」という用
語は炭素数1−3を含む。
【0063】ヒートシール可能ポリイミドフィルムは欧
州特許出願第0474054号公報により詳細に記載さ
れている。
【0064】本発明の多層ポリイミドフィルムに使用さ
れる特に好適なヒートシール可能ポリイミドフィルムは
4,4′−オキシジフタル酸二無水物70−95モル
%、ピロメリト酸二無水物5−30モル%および1,3
−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン100モル%
ならびに1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン70−95モル%、ヘキサメチレンジアミン5−30
モル%、4,4′−オキシジフタル酸二無水物70−9
0モル%およびピロメリト酸二無水物10−30モル%
を含有する。
【0065】ポリイミドベースフィルムとヒートシール
可能ポリイミドフィルムの双方とも不活性の無機または
有機充填剤粒子をさらに含有して最終的な多層フィルム
のスリップを改善しまたは他の特性を向上させることが
できる。追加の充填剤はシリカ、コロイド状シリカ、二
酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム、アル
ミナ、燐酸カルシウム、カーボンブラック、アルミナシ
リケート分子篩等のような従来の無機充填剤から選択す
ることができる。
【0066】例えば、無機シリカおよび燐酸カルシウム
充填剤粒子を外側のヒートシール可能ポリイミドフィル
ム層に導入して多層フィルムの巻き上げ特性を向上させ
ることができる。アルミナ粒子はポリイミドベースフィ
ルム層および外側のヒートシール可能ポリイミドフィル
ム層に導入して多層フィルムの熱伝導率を向上させるこ
とができる。アルミナ粒子をポリイミドフィルムベース
層に導入すると乳白度を与え多層フィルムのコントラス
トを改善する。カーボン粒子をポリイミドベースフィル
ムと外側のヒートシール可能ポリイミドフィルム層に添
加して種々の最終用途に要求される多層フィルムの導電
度、酸化的耐熱性、紫外線耐性およびスペクトル吸収を
改善することができる。充填剤粒子は平均粒度が0.0
1−20μm、好ましくは0.3−2μmであり、充填
剤粒子が導入されるポリイミドフィルム層の重量に基づ
いて0.001−65重量%の量で使用される。
【0067】本発明の方法に従えば、有機極性溶媒中に
溶解されたポリアミン酸の第1の溶液(a)と極性有機
溶媒中に溶解されたポリアミン酸の第2の溶液(b)を
同時に、数個取り押出ダイの別々のチャネルにあるいは
フィードブロック押出ダイの異なるチャネルに供給す
る。場合によっては、充填剤粒子はポリアミン酸溶液の
一方または双方に導入することができる。次に、ポリア
ミン酸溶液(a)および(b)の双方をダイの出口から
2層以上の複合薄膜の形で回転する加熱されたエンドレ
ス金属ベルトのような支持体の表面上に連続的に押し出
す。
【0068】押し出された多層フィルムは30℃−30
0℃、好ましくは60℃−200℃、の温度で支持体上
のフィルムを乾燥し固化するのに十分な時間加熱する。
【0069】この自立性多層フィルムを支持体から剥離
し、200℃−600℃の温度で0.1−120分間熱
処理してポリアミン酸をポリイミドに転化する。
【0070】本発明の方法においては、第1および第2
のポリアミン酸溶液(a)および(b)は上述のテトラ
カルボン酸とジアミンから誘導されるポリアミン酸と有
機溶媒を包含するポリアミン酸溶液であってもよい。典
型的には、ポリアミン酸溶液(a)および(b)はジア
ミンを有機極性溶媒中に溶解し、不活性雰囲気で撹拌お
よび温度制御条件下でテトラカルボン酸二無水物を徐々
に添加することにより調製する。ジアミンは有機溶媒中
に5−15重量%溶液として存在するのが好都合であ
り、ジアミンと酸二無水物は通常等モル量で使用する。
ポリアミン酸溶液はポリアミン酸を5−40重量%、好
ましくは10−30重量%の量で含有し、溶液粘度が3
0℃において0.01−10,000ポイズ、好ましく
は100−3,000ポイズであるのが好適である。
【0071】ポリアミン酸の固有粘度は30℃でN−ジ
メチルアセタミド溶媒中0.5g/dLの濃度で測定し
て0.7−2.0の範囲内である。
【0072】ポリアミン酸溶液に使用することができる
極性有機溶媒の例としては、N−メチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルアセタミド、N,N−ジエチルア
セタミド、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチルホ
ルムアミドおよびN,N−ジエチルホルムアミド、それ
らの混合物およびそれらと他の共溶媒との混合物が挙げ
られる。
【0073】同時押出された多層ポリイミドフィルム中
のポリイミドフィルムベース層およびヒートシール可能
ポリイミドフィルム層の厚さはポリアミン酸溶液(a)
および(b)をフィルム成形ダイへ供給する供給速度を
調節することによって制御することができる。
【0074】同時押出多層ポリイミドフィルムの全厚は
一般に0.1〜10.0ミル(mil)、好ましくは
0.5〜5.0ミルの範囲である。
【0075】本発明の同時押出多層ポリイミドフィルム
において、ヒートシール可能ポリイミドフィルム層はポ
リイミドベースフィルムの一方の側または両側に形成し
て2層または3層ポリイミドフィルムを提供してもよ
い。さらに、多層ポリイミドフィルムは他の同時押出さ
れた充填または非充填ポリイミド層を含み多層フィルム
に有利な性質を与えるようにしてもよい。例えば、多層
ポリイミドフィルムは、順次に、4,4′−オキシジフ
タル酸二無水物とピロメリト酸二無水物と1,3−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼンとから誘導されるヒ
ートシール可能コポリイミドの外側層、3,3′,4,
4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とピロメリ
ト酸二無水物と4,4′−ジアミノジフェニルエーテル
とp−フェニレンジアミンとから誘導されるコポリアミ
ド層であって高弾性率を付与するためのもの、ピロメリ
ト酸二無水物と4,4′−ジアミノフェニルエーテルと
から誘導されるアルミナ充填ポリイミド層であって熱伝
導性を付与するためのもの、およびアルミナを充填した
もう一層の外側ヒートシール可能ポリイミド層であって
熱伝導性と構造体に接着能力を付与するためのものを包
含する。他の同時押出多層フィルム構造は当業者には明
らかであろう。
【0076】本発明の方法に従って製造された好適な2
層の同時押出多層ポリイミドフィルムは全厚が1ミルで
あり、ピロメリト酸二無水物と4,4′−ジアミノジフ
ェニルエーテルとから誘導される0.5ミル厚のポリイ
ミドベースフィルム、4,4′−オキシジフタル酸二無
水物80モル%とピロメリト酸二無水物20モル%と
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン100
モル%とから誘導される0.5ミル厚のヒートシール可
能ポリイミド層を包含する。
【0077】本発明の方法に従って製造された好適な3
層の同時押出多層ポリイミドフィルムは全厚が2ミルで
あり、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物92モル%とピロメリト酸二無水物8モル%
とp−フェニレンジアミン95モル%と4,4′−ジア
ミノジフェニルエーテル5モル%とから誘導される1.
4ミル厚のポリイミドベースフィルムおよびそれぞれ
4,4′−オキシジフタル酸二無水物80モル%とピロ
メリト酸二無水物20モル%と1,3−ビス(4−アミ
ノフェノキシ)ベンゼン100モル%とから誘導される
0.3ミル厚のヒートシール可能ポリイミド層を包含す
る。この多層フィルムは低熱膨張率、高弾性率および良
好な寸法安定性を有し、金属被覆しまたは種々の基体に
直接に接着して高性能なラミネートを作製することがで
き、優れた接着性、電気的性質、熱的耐久性および化学
物質および放射線に対する抵抗性を有する。そのような
多層フィルムは金属クラッド、フレキシブル配線回路お
よびテープ自動接着のためのポリイミドのオーバーコー
ト/張り合わせ層(bondply)、全ポリイミド多
層配線基板、ヒーター回路、センサ、多チップ・モジュ
ール用セラミック−ポリイミド系、ヒートシンク、進化
した複合構造のような高性能用途並びに高性能部品に使
用するのに適している。
【0078】本発明に従って製造される同時押出多層ポ
リイミドフィルムはフレキシブル配線基板回路用途の片
面および両面ポリイミド金属張りラミネートを形成する
のに使用することができる。片面ポリイミド金属張りラ
ミネートは多層ポリイミドのヒートシール可能ポリイミ
ドを銅、アルミニウム、ニッケル、鋼またはこれらの金
属を一種類以上含有する合金のような金属の箔にあるい
はアモルファス金属の箔に積層することによって製造す
ることができる。ポリイミド層は金属にしっかりと接着
し、6ポンド/インチ(pli)以上の剥離強度を有す
る。特に好適な金属基板は圧延され、アニールされまた
は電着された銅または圧延され、アニールされた銅合金
の箔である。ある場合には金属箔基板を前処理するのが
有利である。前処理は剥離強度をさらに向上させること
ができる化学的処理や機械的粗面化処理を使用すること
ができる。
【0079】同様に、両面ポリイミド金属張りラミネー
トは、金属箔を多層ポリイミドの両方の外側ヒートシー
ル可能ポリイミド層に積層することによって製造するこ
とができる。
【0080】金属箔を同時押出多層ポリイミドフィルム
へ積層するのは金属箔と多層ポリイミドフィルムを接着
剤を用いずに組み合わせ10〜50kg/cm2 、好ま
しくは20〜30kg/cm2 の圧力を使用し、200
℃〜400℃の温度範囲で10秒〜60分間熱圧着する
ことにより行うことができる。
【0081】本発明の方法に従って製造された同時押出
多層ポリイミド金属張りラミネートの先行技術に比べた
特別の利益はポリイミド層同士間の接着強度が顕著に改
善されており、接着不良が起きるのは主として金属とヒ
ートシール可能ポリイミド層との界面であり、隣接する
ポリイミド層同士の間ではない。想像するに、接着力が
向上するのは各ポリアミン酸ポリマーがそれに隣接する
ポリアミン酸ポリマー層中に部分的に溶解性であり、ポ
リマーが層間の界面を横切って拡散して硬化後に分子鎖
が界面を横切って混じり合うことによるものと思われ
る。この浸透または拡散は層同士の接触と接着をより強
固にしているが、これは従来の多層ポリイミドフィルム
には欠けている。
【0082】
【実施例】本発明の利点は以下の実施例を参照すること
によって分かるが、これらの実施例は本発明を限定する
ものではない。特記しない限り、部および%はすべて重
量による。
【0083】用語解
【0084】
【化8】
【0085】実施例において製造された同時押出多層フ
ィルムを評価するテストは以下のようにして行った。
【0086】1.引張強さ、伸びおよび弾性率はAST
M−D−882を用いて行った。
【0087】2.金属積層フィルムの接着強度はIPC
法TM−2.4.9を用いて測定した。
【0088】3.エルメンドルフ引裂強さはASTM−
D−1922−61Tを用いて測定した。
【0089】4.MIT耐折強さはASTM−D217
6−69を用いて測定した。
【0090】5.耐電圧はASTM−D−149−81
を用いて測定した。
【0091】6.誘電率はASTM−D−150−81
を用いて測定した。
【0092】7.体積抵抗率はASTM−D−257−
78(1983)を用いて測定した。
【0093】8.熱膨張率は膨張計での2回目のパスに
おけるフィルムサンプルの50℃−250℃の温度範囲
にわたる熱膨張を測定することにより決定した。
【0094】9.カールの曲率半径はカールしたフィル
ムの直径を測定し、測定値を2で割るか、または次式
【0095】
【数1】
【0096】(式中、wはカールの長さ、hはカールの
高さである。)を用いて決定した。
【0097】10.厚さはミツトヨ・マイクロメータ
(No.1519−615−1)を用いて測定した。
【0098】11.縦および横F3 (3%伸び時の応
力)はASTM−D−882−81を用いて測定した。
【0099】MD方向(machine direct
ion)は縦方向すなわちフィルム走行方向、TD方向
(ttansverse direction)は横方
向すなわちフィルム走行方向に直角の方向である。
【0100】(実施例1−3)これらの実施例は1.0
ミル厚、2.0ミル厚および5.0ミル厚の本発明に従
う同時押出2層ポリイミドフィルムの製造を説明するも
のである。
【0101】ピロメリト酸二無水物(PMDA)および
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)を
N,N−ジメチルアセタミド(DMAC)中で重合して
ポリマー含有量が20重量%、溶液粘度が約1,000
ポイズの第1の芳香族ポリアミン酸溶液を得た。
【0102】これとは別に、4,4′−オキシジフタル
酸二無水物(ODPA)80モル%、ピロメリト酸二無
水物(PMDA)20モル%および1,3−ビス(4−
アミノフェノキシ)ベンゼン(134APB)100モ
ル%をDMAC溶媒中で重合してポリマー含有量が20
重量%の第2のポリアミン酸溶液を得た。
【0103】第1および第2のポリアミン酸溶液の流れ
を数個取り押出ダイを通して加熱された移動ベルト上に
同時に押出して同時押出2層フィルムを成形した。2つ
の層の厚さはそれぞれ2種類のポリアミン酸溶液を押出
ダイへ供給する供給速度を変えることにより変化させ
た。ベルトに接する底部層はPMDA/ODAポリマー
を含んで成り、頂部または空気側層はOPDA 80モ
ル%/PMDA 20モル%/134APB 100モ
ル%ポリマーを含んで成るものであった。
【0104】押出されたフィルムを35℃−180℃の
温度で連続乾燥して約14.4重量%の溶媒を含む自立
性フィルムを得た。この固形フィルムをベルト支持体か
ら剥がし、輻射線テンター炉中でヒーター表面温度12
5℃−770℃で10−25分間輻射線処理して完全乾
燥し、ポリマーをイミド化した。最終的同時押出2層ポ
リイミドフィルムの性質は表1に要約した通りである。
【0105】この2層フィルムのヒートシール可能ポリ
イミド側を厚さ35μmの銅箔と接触させて置き、得ら
れた複合物を加熱プレートの間に挟んで350℃の温
度、25kg/cm2 の圧力で30分間熱圧着してポリ
イミドと銅箔とのラミネートを形成した。接着強さを表
1に示す。
【0106】
【表1】
【0107】(実施例4−8)これらの実施例は本発明
に従う1.0ミル厚、1.5ミル厚、2.0ミル厚、
3.0ミル厚および4.0ミル厚の同時押出フィルムの
製造を説明するものである。
【0108】PMDA/ODAポリイミドのコア層とO
DPA80モル%/PMDA20モル%/134APB
100モル%ヒートシール可能ポリイミドの頂部層およ
び底部層を有する同時押出3層ポリイミドフィルムを実
施例1−3に記載する方法に従って製造した。
【0109】3つの別々のポリアミン酸ポリマー流を数
個取り押出ダイを通して加熱された移動ベルト上に同時
に押出して同時押出3層ポリイミドフィルムを形成し
た。ポリイミドコア層と頂部および底部ヒートシール可
能ポリイミド層の厚さは押出機に供給されるポリアミン
酸の量を変えることにより調節した。頂部層および底部
層は同じ厚さにして多層構造が対称的になりカールが生
じないようにした。
【0110】押出されたフィルムを95℃−150℃で
移動ベルト上で乾燥して溶媒含有量が18.6重量%で
ある自立性フィルムを得た。
【0111】この自立性フィルムを移動ベルトから剥が
しテンター炉内で輻射熱により110℃−770℃(輻
射ヒーター表面温度)で11−33分間加熱して完全乾
燥すると共にポリマーをイミド化した。
【0112】最終的な同時押出3層ポリイミドフィルム
の特性を表2に示す。外側ヒートシール可能ポリイミド
層の相対厚によって多層フィルムは金属張りラミネート
(実施例6、.50A/1.0H/.50A)、張り合
わせシート(実施例7、1.5A/1.0H/1.5
A)または配線絶縁(実施例8、.20A/.60H
/.20A)として使用することができる。
【0113】
【表2】
【0114】(実施例9)第1のポリアミン酸溶液流と
してBPDA92モル%、PMDA8モル%、PPD9
5モル%およびODA5モル%の重合により製造したポ
リアミン酸の15重量%溶液を使用した以外は実施例4
−8に記載したのと同じ方法で同時押出された2.0ミ
ル厚の3層ポリイミドフィルムを製造した。燐酸水素カ
ルシウム(3,000ppm)をスリップ剤としてポリ
マー流に添加した。
【0115】3つのポリマー流を数個取り押出ダイに供
給し移動ベルト上へ押出して3層同時押出ポリイミドフ
ィルムを形成した。押出されたフィルムを110℃−2
30℃の温度で乾燥し、テンター炉内で輻射熱により輻
射ヒーター表面温度250℃−720℃で最終的に加熱
した。
【0116】3層ポリイミドフィルムの特性を表3に示
す。このフィルムは弾性率が非常に高く(>750kp
si)、熱膨張率が低く(22ppm/℃)、両側を銅
箔に接着したときに14pliを超える接着力を示し
た。
【0117】
【表3】
【0118】(実施例10)第1のポリアミン酸溶液流
としてBPDAとPPDの重合により製造したポリアミ
ン酸の20重量%溶液を使用した以外は実施例4−8に
記載したのと同じ方法で同時押出された1.2ミル厚の
3層ポリイミドフィルムを製造した。3つのポリマー流
を数個取り押出ダイに供給した。この場合、真中の流は
BPDA/PPDのポリアミン酸流であり、外側の流れ
は、両方ともODPA80モル%/PMDA20モル%
/134APB100モル%のポリアミン酸流であっ
た。これら3つの流れはすべて同じ押出量となるように
操作して平均層厚比が1:1:1となるようにした。同
時押出されたフィルムを加熱した約1.5fpmで走行
するベルト上へ流延した。このフィルムを150℃以下
の温度で乾燥し、ベルトから除去し、最終的に、テンタ
ー炉内で輻射熱により120℃−773℃で加熱した。
【0119】最終的に得られた同時押出3層ポリイミド
フィルムは弾性率が両方向において450kpsiであ
り、伸びがMD方向において93%であり、TD方向に
おいて69%であった。
【0120】(実施例11−13)同時押出2層および
3層ポリイミドフィルムをそれぞれ実施例1−3および
実施例4−8に従って製造した。第1のポリアミン酸溶
液流としてPMDAとODAの重合により製造したポリ
アミン酸の20重量%溶液を使用し、第2のポリアミン
酸溶液流としてODPA80モル%、PMDA20モル
%、134APB82モル%およびHMDA18モル%
の重合により製造されたポリアミン酸の20重量%溶液
を使用した。
【0121】これらのポリマー流を数個取り押出ダイに
供給し、走行ベルト上に押出して2層(実施例11およ
び12)または3層(実施例13)のポリイミドフィル
ムを形成した。押出されたフィルムは90℃−154℃
の温度で乾燥し、次いでテンター炉内で放射熱により放
射ヒーター表面温度110℃−606℃で12−15分
間加熱した。
【0122】得られた2層および3層ポリイミドフィル
ムの特性を表4に示す。
【0123】
【表4】
【0124】
【発明の効果】本発明に従えば、接着剤を使用せずにポ
リイミド層同士の間の接着性に優れた多層芳香族ポリイ
ミドフィルムを製造することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29L 9:00 (72)発明者 クップサミ カナカラジャン アメリカ合衆国 43017 オハイオ州 ダ ブリン エイボン コート 344

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記工程を具備することを特徴とする同
    時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法: (a)一種類以上の芳香族テトラカルボン酸二無水物と
    一種類以上の芳香族ジアミンとの反応により誘導された
    芳香族ポリアミン酸を極性有機溶媒に溶解して成る第1
    の溶液流を形成し、 (b)4,4′−オキシジフタル酸二無水物30−10
    0モル%と、ピロメリト酸二無水物、3,3′,4,
    4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
    2′,3,3′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
    水物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン
    酸二無水物、2,2′,3,3′−ビフェニルテトラカ
    ルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキ
    シフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2
    −ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無
    水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)
    メタン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシ
    フェニル)プロパン二無水物およびm−フェニレンビス
    (トリメリテート)二無水物より成る群から選ばれた芳
    香族テトラカルボン酸二無水物0−30モル%と、下式 【化1】 の(ジアミノフェノキシ)ベンゼン30−100モル%
    と、p−フェニレンジアミン、ヘキサメチレンジアミ
    ン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミ
    ン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、3,4′
    −ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−ア
    ミノベンゾイロキシ)ベンゼン、4,4′−ジアミノベ
    ンズアニリド,4,4′−ビス(4−アミノフェノキ
    シ)フェニルエーテルおよびポリシロキサンジアミンよ
    り成る群から選択されたジアミン0−30モル%との反
    応により誘導されたポリアミン酸を前記極性有機溶媒に
    溶解した第2の溶液流を形成し、 (c)前記工程(a)からの前記第1の芳香族ポリアミ
    ン酸溶液の少なくとも一つの流れと、前記工程(b)か
    らの前記第2の芳香族ポリアミン酸溶液の少なくとも一
    つの流れとを押出ダイを通して支持体の表面上に同時押
    出して少なくとも2層のポリアミン酸フィルム層を形成
    し、 (d)前記支持体上の前記ポリアミン酸フィルム層を前
    記有機極性溶媒を蒸発させることにより固化して自立性
    多層フィルムを形成し、 (e)前記支持体から前記自立性多層フィルムを除去
    し、かつ (f)前記自立性多層フィルムを熱処理して前記第1お
    よび第2のポリアミン酸層を多層ポリイミドフィルムに
    完全に転化する。
  2. 【請求項2】 下記工程を具備することを特徴とする金
    属箔張り同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造
    方法: (a)一種類以上の芳香族テトラカルボン酸二無水物と
    一種類以上の芳香族ジアミンとの反応により誘導された
    芳香族ポリアミン酸を極性有機溶媒に溶解して成る第1
    の溶液流を形成し、 (b)4,4′−オキシジフタル酸二無水物30−10
    0モル%と、ピロメリト酸二無水物、3,3′,4,
    4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
    2′,3,3′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
    水物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン
    酸二無水物、2,2′,3,3′−ビフェニルテトラカ
    ルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキ
    シフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2
    −ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無
    水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)
    メタン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシ
    フェニル)プロパン二無水物およびm−フェニレンビス
    (トリメリテート)二無水物より成る群から選ばれた芳
    香族テトラカルボン酸二無水物0−30モル%と、下式 【化2】 の(ジアミノフェノキシ)ベンゼン30−100モル%
    と、p−フェニレンジアミン、ヘキサメチレンジアミ
    ン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミ
    ン、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、3,4′
    −ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−ア
    ミノベンゾイロキシ)ベンゼン、4,4′−ジアミノベ
    ンズアニリド,4,4′−ビス(4−アミノフェノキ
    シ)フェニルエーテルおよびポリシロキサンジアミンよ
    り成る群から選択されたジアミン0−30モル%との反
    応により誘導されたポリアミン酸を前記極性有機溶媒に
    溶解した第2の溶液流を形成し、 (c)前記工程(a)からの前記第1の芳香族ポリアミ
    ン酸溶液の少なくとも一つの流れと、前記工程(b)か
    らの前記第2の芳香族ポリアミン酸溶液の少なくとも一
    つの流れとを押出ダイを通して支持体の表面上に同時押
    出して少なくとも2層のポリアミン酸フィルム層を形成
    し、 (d)前記支持体上の前記ポリアミン酸フィルム層を前
    記有機極性溶媒を蒸発させることにより固化して自立性
    多層フィルムを形成し、 (e)前記支持体から前記自立性多層フィルムを除去
    し、 (f)前記自立性多層フィルムを熱処理して前記第1お
    よび第2のポリアミン酸層を多層ポリイミドフィルムに
    完全に転化し、 (g)前記工程(f)からの前記多層ポリイミドフィル
    ムの少なくとも一面に、接着剤を使用することなく、2
    00℃−400℃の温度および10−50kg/cm2
    の圧力で金属箔を直接積層し、前記金属箔の前記多層フ
    ィルムへの接着強さがIPC法TM2.4.9により決
    定した際に6pli以上であるようにする。
JP6320797A 1993-12-22 1994-12-22 同時押出多層芳香族ポリイミドフィルムの製造方法 Pending JPH07214637A (ja)

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