JPH04344439A - 走査光学系における走査面倒れ測定方法及び装置 - Google Patents
走査光学系における走査面倒れ測定方法及び装置Info
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- JPH04344439A JPH04344439A JP11587591A JP11587591A JPH04344439A JP H04344439 A JPH04344439 A JP H04344439A JP 11587591 A JP11587591 A JP 11587591A JP 11587591 A JP11587591 A JP 11587591A JP H04344439 A JPH04344439 A JP H04344439A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転多面鏡を使用する
走査光学系における走査ビームの走査面倒れを測定する
方法及び装置に関し、レーザプリンタ等の走査光学系の
レンズ組立，検査調整、走査曲がりの測定等に適用でき
るものである。
走査光学系における走査ビームの走査面倒れを測定する
方法及び装置に関し、レーザプリンタ等の走査光学系の
レンズ組立，検査調整、走査曲がりの測定等に適用でき
るものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明者は、近年、走査光学系における
走査ビームの走査面倒れや曲がりの測定についての研究
開発を行っており、その内の一つとして、本出願前公知
ではないが、走査ビームの結像位置の範囲に複数個のセ
ンサを配置し、測定される回転多面鏡，ｆθレンズ等の
ユニットを回転ステージに載置して回動し、基準位置を
設定し、その後、前記回転ステージを固定状態にして回
転多面鏡を回転し、各センサの重心位置を測定し、個々
のセンサで各面毎の重心位置を比較することにより、回
転多面鏡の各面の面倒れを測定することができる。
走査ビームの走査面倒れや曲がりの測定についての研究
開発を行っており、その内の一つとして、本出願前公知
ではないが、走査ビームの結像位置の範囲に複数個のセ
ンサを配置し、測定される回転多面鏡，ｆθレンズ等の
ユニットを回転ステージに載置して回動し、基準位置を
設定し、その後、前記回転ステージを固定状態にして回
転多面鏡を回転し、各センサの重心位置を測定し、個々
のセンサで各面毎の重心位置を比較することにより、回
転多面鏡の各面の面倒れを測定することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記した走査ビームの
曲がり，面倒れを測定する手段においては、基準となる
重心位置の測定と各反射面による走査ビームの重心位置
の測定との間に、時間的なずれがあり、このため、環境
の変化により光源のビーム形状が変化し、この結果、重
心位置の測定に変化を来し、高精度の面倒れの測定を困
難としている。
曲がり，面倒れを測定する手段においては、基準となる
重心位置の測定と各反射面による走査ビームの重心位置
の測定との間に、時間的なずれがあり、このため、環境
の変化により光源のビーム形状が変化し、この結果、重
心位置の測定に変化を来し、高精度の面倒れの測定を困
難としている。
【０００４】本発明は、環境の変化があっても、基準と
なる重心位置の測定を各反射面による走査ビームの重心
位置の測定と同時に行う手段を提供し、例えば、光源の
ビーム形状が安定しない場合においても、短時間で高精
度の走査ビームの走査面倒れを測定できる方法及び装置
を提供することを目的とするものである。
なる重心位置の測定を各反射面による走査ビームの重心
位置の測定と同時に行う手段を提供し、例えば、光源の
ビーム形状が安定しない場合においても、短時間で高精
度の走査ビームの走査面倒れを測定できる方法及び装置
を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、光源より射出するビームを回転多面鏡の
回転とｆθレンズで走査する走査光学系の結像位置の複
数箇所に、センサを配置してなる走査光学系における走
査面倒れ測定方法において、光源と回転多面鏡との間に
配置したハーフミラーにより反射したビームを回転多面
鏡の反射面を経た走査ビームと同様に、ｆθレンズを通
過させて結像位置に配置したセンサに結像させ、回転多
面鏡の反射面からの走査ビームを各センサによって重心
位置を計測し、その際、ハーフミラーで反射したビーム
をセンサにより重心位置を計測すると共に、このハーフ
ミラーで計測された重心位置により各走査ビームで計測
された各重心位置を補正し、各反射面の重心位置を比較
することを特徴とするものである。
成するために、光源より射出するビームを回転多面鏡の
回転とｆθレンズで走査する走査光学系の結像位置の複
数箇所に、センサを配置してなる走査光学系における走
査面倒れ測定方法において、光源と回転多面鏡との間に
配置したハーフミラーにより反射したビームを回転多面
鏡の反射面を経た走査ビームと同様に、ｆθレンズを通
過させて結像位置に配置したセンサに結像させ、回転多
面鏡の反射面からの走査ビームを各センサによって重心
位置を計測し、その際、ハーフミラーで反射したビーム
をセンサにより重心位置を計測すると共に、このハーフ
ミラーで計測された重心位置により各走査ビームで計測
された各重心位置を補正し、各反射面の重心位置を比較
することを特徴とするものである。
【０００６】また、本発明は、光源より射出するビーム
を回転多面鏡の回転とｆθレンズで走査する走査光学系
の結像位置の複数箇所に、ラインセンサを配置してなる
走査光学系における走査面倒れ測定装置において、光源
と回転多面鏡との間にハーフミラーを配置し、該ハーフ
ミラーで反射したビームをｆθレンズを介して結像位置
に配置したラインセンサに導き、走査ビーム及びハーフ
ミラーで反射したビームを結像する各ラインセンサには
、夫々Ａ／Ｄ変換装置、マイクロコンピュータを接続し
、且つ走査光学系の走査範囲内に反射面判別用受光セン
サを設置し、前記反射面判別用受光センサにはアンプを
介して前記Ａ／Ｄ変換装置、マイクロコンピュータに接
続していることを特徴とするものである。
を回転多面鏡の回転とｆθレンズで走査する走査光学系
の結像位置の複数箇所に、ラインセンサを配置してなる
走査光学系における走査面倒れ測定装置において、光源
と回転多面鏡との間にハーフミラーを配置し、該ハーフ
ミラーで反射したビームをｆθレンズを介して結像位置
に配置したラインセンサに導き、走査ビーム及びハーフ
ミラーで反射したビームを結像する各ラインセンサには
、夫々Ａ／Ｄ変換装置、マイクロコンピュータを接続し
、且つ走査光学系の走査範囲内に反射面判別用受光セン
サを設置し、前記反射面判別用受光センサにはアンプを
介して前記Ａ／Ｄ変換装置、マイクロコンピュータに接
続していることを特徴とするものである。
【０００７】更に、本発明は、前記走査光学系における
走査面倒れ測定装置において、前記反射面判別用受光セ
ンサからの信号により、マイクロコンピュータに接続さ
れたＬＤ電源を接続し、回転多面鏡の反射面に応じて前
記光源を点灯し、各ラインセンサにより走査光の光重心
位置を測定することを特徴とし、また、回転多面鏡とｆ
θレンズとの間には、各走査ビームがハーフミラーで反
射したビームを結像するラインセンサに到達するのを阻
止する遮蔽板を配置したことを特徴とするものである。
走査面倒れ測定装置において、前記反射面判別用受光セ
ンサからの信号により、マイクロコンピュータに接続さ
れたＬＤ電源を接続し、回転多面鏡の反射面に応じて前
記光源を点灯し、各ラインセンサにより走査光の光重心
位置を測定することを特徴とし、また、回転多面鏡とｆ
θレンズとの間には、各走査ビームがハーフミラーで反
射したビームを結像するラインセンサに到達するのを阻
止する遮蔽板を配置したことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明の構成において、光源と回転多面鏡との
間に設置したハーフミラーにより、ビームの重心位置の
測定と同時に、回転多面鏡の反射面により走査ビームの
重心位置の測定を行うため、回転多面鏡の各反射面での
絶対的な重心位置の測定が可能となり、光源の環境変化
や経時による変動に起因するビーム形状の変化があって
も、このビーム形状の変化は絶対的な重心位置の測定に
影響を与えることなく、また、光源が安定しない状態で
測定を開始しても、測定結果に影響を与えることなく、
高精度の走査ビームの面倒れの測定ができる。
間に設置したハーフミラーにより、ビームの重心位置の
測定と同時に、回転多面鏡の反射面により走査ビームの
重心位置の測定を行うため、回転多面鏡の各反射面での
絶対的な重心位置の測定が可能となり、光源の環境変化
や経時による変動に起因するビーム形状の変化があって
も、このビーム形状の変化は絶対的な重心位置の測定に
影響を与えることなく、また、光源が安定しない状態で
測定を開始しても、測定結果に影響を与えることなく、
高精度の走査ビームの面倒れの測定ができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１の図面に基づい
て説明する。図１において、測定される走査光学系Ａは
、ビームＢを射出するレーザ光源１、シリンドリカルレ
ンズ２、ビームＢを反射・走査する回転多面鏡３、集光
するｆθレンズ４からなり、この走査光学系Ａはユニッ
ト枠５に載置されている。回転多面鏡３が駆動モータ６
により回転軸０を中心に回転されると、レーザ光源１に
より発生したビームＢは、回転多面鏡３の反射面でビー
ムＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ と走査される。各ビー
ムの焦点位置には、面判別センサ９及びラインセンサ８
３ ，８１ ，８２ が配置される。
て説明する。図１において、測定される走査光学系Ａは
、ビームＢを射出するレーザ光源１、シリンドリカルレ
ンズ２、ビームＢを反射・走査する回転多面鏡３、集光
するｆθレンズ４からなり、この走査光学系Ａはユニッ
ト枠５に載置されている。回転多面鏡３が駆動モータ６
により回転軸０を中心に回転されると、レーザ光源１に
より発生したビームＢは、回転多面鏡３の反射面でビー
ムＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ と走査される。各ビー
ムの焦点位置には、面判別センサ９及びラインセンサ８
３ ，８１ ，８２ が配置される。
【００１０】レーザ光源１，シリンドリカルレンズ２と
回転多面鏡３との間には、ハーフミラー７が配置され、
ハーフミラー７を反射したビームＢ０ は、ｆθレンズ
４を通過し、ラインセンサ８３ ，８１ ，８２ と同
じ面上に設置されたラインセンサ８４ に到達すること
ができる。
回転多面鏡３との間には、ハーフミラー７が配置され、
ハーフミラー７を反射したビームＢ０ は、ｆθレンズ
４を通過し、ラインセンサ８３ ，８１ ，８２ と同
じ面上に設置されたラインセンサ８４ に到達すること
ができる。
【００１１】走査ビームの測定幅である、走査ビームＢ
２ 〜Ｂ３の範囲の外側に、走査ビームＢｃが位置し、
走査ビームＢｃの像面位置に、面判別センサとしてのフ
ォトダイオード９が設置されている。このフォトダイオ
ード９は走査ビームＢｃを検知し、回転多面鏡３の回転
による走査回数、すなわち、面数×回転数を計数してい
る。フォトダイオード９はアンプ１１、Ａ／Ｄ変換装置
１２に連結され、ラインセンサ８１ ，８２ ，８３
，８４ はＡ／Ｄ変換装置１２を経てマイクロコンピュ
ータ１３、ディスプレイ１６に連結されており、マイク
ロコンピュータ１３はＬＤ電源１５を経てレーザ光源１
に接続されている。
２ 〜Ｂ３の範囲の外側に、走査ビームＢｃが位置し、
走査ビームＢｃの像面位置に、面判別センサとしてのフ
ォトダイオード９が設置されている。このフォトダイオ
ード９は走査ビームＢｃを検知し、回転多面鏡３の回転
による走査回数、すなわち、面数×回転数を計数してい
る。フォトダイオード９はアンプ１１、Ａ／Ｄ変換装置
１２に連結され、ラインセンサ８１ ，８２ ，８３
，８４ はＡ／Ｄ変換装置１２を経てマイクロコンピュ
ータ１３、ディスプレイ１６に連結されており、マイク
ロコンピュータ１３はＬＤ電源１５を経てレーザ光源１
に接続されている。
【００１２】回転多面鏡３とｆθレンズ４との間には、
走査ビームＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ がラインセン
サ８４ に到達しないように、ｆθレンズ４の光軸と平
行に遮蔽板１０が配置されている。
走査ビームＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ がラインセン
サ８４ に到達しないように、ｆθレンズ４の光軸と平
行に遮蔽板１０が配置されている。
【００１３】図１で示した本発明の実施例の動作を、図
２，図３と共に説明する。回転多面鏡３は８面の反射面
３１ 〜３８ を備えている。レーザ光源１より出射さ
れたビームＢは、軸０を中心に回転する回転多面鏡３の
各反射面３１ 〜３８ でビームＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１
，Ｂ２ と走査される。この場合、回転多面鏡３の各反
射面３１ 〜３８ によるビームＢｃが面判別センサで
あるフォトダイオード９へ到達するチャートは、図２（
ａ）に示される如きものとなる。
２，図３と共に説明する。回転多面鏡３は８面の反射面
３１ 〜３８ を備えている。レーザ光源１より出射さ
れたビームＢは、軸０を中心に回転する回転多面鏡３の
各反射面３１ 〜３８ でビームＢｃ，Ｂ３ ，Ｂ１
，Ｂ２ と走査される。この場合、回転多面鏡３の各反
射面３１ 〜３８ によるビームＢｃが面判別センサで
あるフォトダイオード９へ到達するチャートは、図２（
ａ）に示される如きものとなる。
【００１４】回転多面鏡３の第１面３１ の重心の測定
に関しては、面判別センサ９、アンプ１１、Ａ／Ｄ変換
装置１２、マイクロコンピュータ１３、ＬＤ電源１５に
より、レーザ光源１は第１面３１ によりラインセンサ
８３ ，８１ ，８２ を走査する時に点灯し、他の第
２面から第８面において一定時間、ＬＤ電源１５でレー
ザ光源１を消灯させる（図２（ｂ））。そして、図２（
ｃ）に示されるサイクルにより、ラインセンサ８３ ，
８１ ，８２ に到達したビームの結像点Ｐ３ ，Ｐ１
，Ｐ２ から重心を計測する。
に関しては、面判別センサ９、アンプ１１、Ａ／Ｄ変換
装置１２、マイクロコンピュータ１３、ＬＤ電源１５に
より、レーザ光源１は第１面３１ によりラインセンサ
８３ ，８１ ，８２ を走査する時に点灯し、他の第
２面から第８面において一定時間、ＬＤ電源１５でレー
ザ光源１を消灯させる（図２（ｂ））。そして、図２（
ｃ）に示されるサイクルにより、ラインセンサ８３ ，
８１ ，８２ に到達したビームの結像点Ｐ３ ，Ｐ１
，Ｐ２ から重心を計測する。
【００１５】この際、第１面３１ に向かうビームＢの
うち、ハーフミラー７で反射し、ｆθレンズ４を経たビ
ームＢ０ は、ラインセンサ８４ に到達し、そのビー
ム結像位置Ｐ０ から重心の測定を行う。各ラインセン
サ８３ ，８１ ，８２ による重心位置から、ライン
センサ８４ による重心位置をマイナスした値を、回転
多面鏡３の第１面３１ の絶対重心位置とする。
うち、ハーフミラー７で反射し、ｆθレンズ４を経たビ
ームＢ０ は、ラインセンサ８４ に到達し、そのビー
ム結像位置Ｐ０ から重心の測定を行う。各ラインセン
サ８３ ，８１ ，８２ による重心位置から、ライン
センサ８４ による重心位置をマイナスした値を、回転
多面鏡３の第１面３１ の絶対重心位置とする。
【００１６】次いで、回転多面鏡３の第２面３２ につ
いても同様に、面判別センサ９、アンプ１１、Ａ／Ｄ変
換装置１２、マイクロコンピュータ１３、ＬＤ電源１５
により、レーザ光源１は第２面３２ によりラインセン
サ８３ ，８１ ，８２ を走査する時に点灯し、他の
面において一定時間、ＬＤ電源１５でレーザ光源１を消
灯させる（図２（ｄ））。そして、図２（ｅ）のサイク
ルで、各ラインセンサ８３ ，８１ ，８２ に到達し
たビームの結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ 及びラインセ
ンサ８４ に到達したビームの結像点Ｐ０ から夫々重
心を測定し、同様にその差から回転多面鏡３の第２面３
２ の絶対重心位置を算出する。
いても同様に、面判別センサ９、アンプ１１、Ａ／Ｄ変
換装置１２、マイクロコンピュータ１３、ＬＤ電源１５
により、レーザ光源１は第２面３２ によりラインセン
サ８３ ，８１ ，８２ を走査する時に点灯し、他の
面において一定時間、ＬＤ電源１５でレーザ光源１を消
灯させる（図２（ｄ））。そして、図２（ｅ）のサイク
ルで、各ラインセンサ８３ ，８１ ，８２ に到達し
たビームの結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ 及びラインセ
ンサ８４ に到達したビームの結像点Ｐ０ から夫々重
心を測定し、同様にその差から回転多面鏡３の第２面３
２ の絶対重心位置を算出する。
【００１７】回転多面鏡３の第３面〜第８面に関しても
、同様の測定を行う。しかる後、回転多面鏡３の第１面
３１ を基準として、図３によって、ラインセンサ８１
における回転多面鏡３の各面の倒れの一測定例が得ら
れる。同様な手法により、ラインセンサ８２ 、８３
についての面倒れを測定することができる。
、同様の測定を行う。しかる後、回転多面鏡３の第１面
３１ を基準として、図３によって、ラインセンサ８１
における回転多面鏡３の各面の倒れの一測定例が得ら
れる。同様な手法により、ラインセンサ８２ 、８３
についての面倒れを測定することができる。
【００１８】回転多面鏡３の反射面で反射された走査ビ
ームＢＣ はｆθレンズ４を経てフォトダイオード９に
到達し、走査ビームＢＣ による結像点Ｐ０ を形成し
たフォトダイオード９は、アンプ１３，Ａ／Ｄ変換装置
１４，マイクロコンピュータ１５に接続されているため
、結像点Ｐ０ を計数して図２（Ａ）に示すようなタイ
ミングチャートを得る。
ームＢＣ はｆθレンズ４を経てフォトダイオード９に
到達し、走査ビームＢＣ による結像点Ｐ０ を形成し
たフォトダイオード９は、アンプ１３，Ａ／Ｄ変換装置
１４，マイクロコンピュータ１５に接続されているため
、結像点Ｐ０ を計数して図２（Ａ）に示すようなタイ
ミングチャートを得る。
【００１９】この図２（Ａ）のタイミングチャートによ
り、回転多面鏡３の第１面の反射面３１ の走査タイミ
ング（図２（Ｂ））が１番目，９番目，１７番目と８個
の間隔を置いているため、前記８個の間隔毎の走査ビー
ムＢ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ について、各ラインセンサ８
３ ，８１ ，８２ 上の結像点Ｐ３ ，Ｐ１，Ｐ２
の重心位置を、Ａ／Ｄ変換装置１４，マイクロコンピュ
ータ１５で計測し計算することにより、回転多面鏡３の
第１反射面３１ の重心位置を知ることができる。
り、回転多面鏡３の第１面の反射面３１ の走査タイミ
ング（図２（Ｂ））が１番目，９番目，１７番目と８個
の間隔を置いているため、前記８個の間隔毎の走査ビー
ムＢ３ ，Ｂ１ ，Ｂ２ について、各ラインセンサ８
３ ，８１ ，８２ 上の結像点Ｐ３ ，Ｐ１，Ｐ２
の重心位置を、Ａ／Ｄ変換装置１４，マイクロコンピュ
ータ１５で計測し計算することにより、回転多面鏡３の
第１反射面３１ の重心位置を知ることができる。
【００２０】回転多面鏡３の第２面の反射面３２ につ
いても、図２（Ｃ）のように、走査タイミングが２番目
，１０番目，１８番目となり、このタイミングにおける
結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ の重心位置を、前記第１
面の反射面３１ の場合と同様に測定することで、回転
多面鏡３の第２反射面３２ の重心位置を知ることがで
き、同じく、回転多面鏡３の反射面３３ 〜３８ につ
いて、各重心位置を知ることができる。そして、各面に
ついて、走査ビームの原点となるａ１ ，ａ２ ，ａ３
と、結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ の重心位置とを比
較し、図３に示すような走査線の曲がりを測定すること
ができる。
いても、図２（Ｃ）のように、走査タイミングが２番目
，１０番目，１８番目となり、このタイミングにおける
結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ の重心位置を、前記第１
面の反射面３１ の場合と同様に測定することで、回転
多面鏡３の第２反射面３２ の重心位置を知ることがで
き、同じく、回転多面鏡３の反射面３３ 〜３８ につ
いて、各重心位置を知ることができる。そして、各面に
ついて、走査ビームの原点となるａ１ ，ａ２ ，ａ３
と、結像点Ｐ３ ，Ｐ１ ，Ｐ２ の重心位置とを比
較し、図３に示すような走査線の曲がりを測定すること
ができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の構成において、光源と回転多面
鏡との間に設置したハーフミラーで反射したビームの重
心位置と、ハーフミラーを通過して回転多面鏡の反射面
で走査されたビームの重心位置とから、絶対的な重心位
置を算出し、光源の環境変化や経時による変動に起因す
るビーム形状の変化があっても、このビーム形状の変化
は絶対的な重心位置の測定に影響を与えることなく、ま
た、光源が安定しない状態で測定を開始しても、測定結
果に影響を与えることなく、高精度の走査ビームの面倒
れの測定ができる効果を有する。
鏡との間に設置したハーフミラーで反射したビームの重
心位置と、ハーフミラーを通過して回転多面鏡の反射面
で走査されたビームの重心位置とから、絶対的な重心位
置を算出し、光源の環境変化や経時による変動に起因す
るビーム形状の変化があっても、このビーム形状の変化
は絶対的な重心位置の測定に影響を与えることなく、ま
た、光源が安定しない状態で測定を開始しても、測定結
果に影響を与えることなく、高精度の走査ビームの面倒
れの測定ができる効果を有する。
【図１】本発明の実施例である走査線の走査面倒れの測
定手段を示す概略斜視図である。
定手段を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の前記実施例の測定手段による測定タイ
ミングチャートを示し、（ａ）は面判別センサの受光タ
イミングチャート、（ｂ）は回転多面鏡の第１反射面に
対する光源のタイミングチャート、（ｃ）は回転多面鏡
の第１反射面の測定のタイミングチャート、（ｄ）は回
転多面鏡の第２反射面に対する光源のタイミングチャー
ト、（ｅ）は回転多面鏡の第２反射面の測定のタイミン
グチャートである。
ミングチャートを示し、（ａ）は面判別センサの受光タ
イミングチャート、（ｂ）は回転多面鏡の第１反射面に
対する光源のタイミングチャート、（ｃ）は回転多面鏡
の第１反射面の測定のタイミングチャート、（ｄ）は回
転多面鏡の第２反射面に対する光源のタイミングチャー
ト、（ｅ）は回転多面鏡の第２反射面の測定のタイミン
グチャートである。
【図３】本発明の前記実施例による面倒れ測定結果の一
例を示す。
例を示す。
Claims (4)
- 【請求項１】 光源より射出するビームを回転多面鏡
の回転とｆθレンズで走査する走査光学系の結像位置の
複数箇所に、センサを配置してなる走査光学系における
走査面倒れ測定方法において、光源と回転多面鏡との間
に配置したハーフミラーにより反射したビームを回転多
面鏡の反射面を経た走査ビームと同様に、ｆθレンズを
通過させて結像位置に配置したセンサに結像させ、回転
多面鏡の反射面からの走査ビームを各センサによって重
心位置を計測し、その際、ハーフミラーで反射したビー
ムをセンサにより重心位置を計測すると共に、このハー
フミラーで計測された重心位置により各走査ビームで計
測された各重心位置を補正し、各反射面の重心位置を比
較することを特徴とする走査光学系における走査面倒れ
測定方法。 - 【請求項２】 光源より射出するビームを回転多面鏡
の回転とｆθレンズで走査する走査光学系の結像位置の
複数箇所に、ラインセンサを配置してなる走査光学系に
おける走査面倒れ測定装置において、光源と回転多面鏡
との間にハーフミラーを配置し、該ハーフミラーで反射
したビームをｆθレンズを介して結像位置に配置したラ
インセンサに導き、走査ビーム及びハーフミラーで反射
したビームを結像する各ラインセンサには、夫々Ａ／Ｄ
変換装置、マイクロコンピュータを接続し、且つ走査光
学系の走査範囲内に反射面判別用受光センサを設置し、
前記反射面判別用受光センサにはアンプを介して前記Ａ
／Ｄ変換装置、マイクロコンピュータに接続しているこ
とを特徴とする走査光学系における走査面倒れ測定装置
。 - 【請求項３】 前記反射面判別用受光センサからの信
号により、マイクロコンピュータに接続されたＬＤ電源
を接続し、回転多面鏡の反射面に応じて前記光源を点灯
し、各ラインセンサにより走査光の光重心位置を測定す
ることを特徴とする請求項２記載の走査光学系における
走査面倒れ測定装置。 - 【請求項４】 回転多面鏡とｆθレンズとの間には、
各走査ビームがハーフミラーで反射したビームを結像す
るラインセンサに到達するのを阻止する遮蔽板を配置し
たことを特徴とする請求項２記載の走査光学系における
走査面倒れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11587591A JPH04344439A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 走査光学系における走査面倒れ測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11587591A JPH04344439A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 走査光学系における走査面倒れ測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04344439A true JPH04344439A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=14673329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11587591A Withdrawn JPH04344439A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 走査光学系における走査面倒れ測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04344439A (ja) |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP11587591A patent/JPH04344439A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |